JP2008156724A - 真空蒸着装置 - Google Patents
真空蒸着装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008156724A JP2008156724A JP2006348566A JP2006348566A JP2008156724A JP 2008156724 A JP2008156724 A JP 2008156724A JP 2006348566 A JP2006348566 A JP 2006348566A JP 2006348566 A JP2006348566 A JP 2006348566A JP 2008156724 A JP2008156724 A JP 2008156724A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- evaporation source
- temperature
- cylindrical body
- vapor deposition
- opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
【解決手段】真空チャンバー1内に蒸発源2と被蒸着体3とを配置すると共に蒸発源2と被蒸着体3の間の空間を筒状体4で囲み、蒸発源2から気化した物質9を筒状体4内を通して被蒸着体3の表面に到達させて蒸着させるようにした真空蒸着装置に関する。筒状体4の温度を蒸発源2の物質が気化する温度と気化しない温度の間で調整する温度調整手段10と、蒸発源2と被蒸着体3の間に配置され、蒸発源2から気化した物質9を蒸着させてその蒸着厚みを計測する蒸着厚み計測手段7と、蒸着厚み計測手段7で計測される蒸着厚みに応じて、温度調整手段10で調整される筒状体4の温度を制御する温度制御手段11とを備える。
【選択図】図1
Description
2 蒸発源
3 被蒸着体
4 筒状体
5 開口部
6 開閉手段
7 蒸着厚み計測手段
8 開閉制御手段
9 気化物質
10 温度調整手段
11 温度制御手段
Claims (2)
- 真空チャンバー内に蒸発源と被蒸着体とを配置すると共に蒸発源と被蒸着体の間の空間を筒状体で囲み、蒸発源から気化した物質を筒状体内を通して被蒸着体の表面に到達させて蒸着させるようにした真空蒸着装置において、筒状体の温度を蒸発源の物質が気化する温度と気化しない温度の間で調整する温度調整手段と、蒸発源と被蒸着体の間に配置され、蒸発源から気化した物質を蒸着させてその蒸着厚みを計測する蒸着厚み計測手段と、蒸着厚み計測手段で計測される蒸着厚みに応じて、温度調整手段で調整される筒状体の温度を制御する温度制御手段と、を備えて成ることを特徴とする真空蒸着装置。
- 蒸発源から気化した物質を開口部を通過させた後に筒状体内を通して被蒸着体の表面に到達させるようにし、この開口部の開口度を調整可能な開閉手段と、蒸着厚み計測手段で計測される蒸着厚みに応じて開閉手段の開口度を調整する開閉制御手段とを備えて成ることを特徴とする請求項1に記載の真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006348566A JP4830847B2 (ja) | 2006-12-25 | 2006-12-25 | 真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006348566A JP4830847B2 (ja) | 2006-12-25 | 2006-12-25 | 真空蒸着装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008156724A true JP2008156724A (ja) | 2008-07-10 |
JP4830847B2 JP4830847B2 (ja) | 2011-12-07 |
Family
ID=39657961
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006348566A Expired - Fee Related JP4830847B2 (ja) | 2006-12-25 | 2006-12-25 | 真空蒸着装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4830847B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014027578A1 (ja) * | 2012-08-13 | 2014-02-20 | 株式会社カネカ | 真空蒸着装置及び有機el装置の製造方法 |
CN107210188A (zh) * | 2014-12-19 | 2017-09-26 | 应用材料公司 | 用于沉积的监控系统与操作该系统的方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000223269A (ja) * | 1999-01-28 | 2000-08-11 | Anelva Corp | 有機薄膜形成装置 |
JP2002080961A (ja) * | 2000-06-22 | 2002-03-22 | Matsushita Electric Works Ltd | 真空蒸着装置及び真空蒸着方法 |
JP2004059982A (ja) * | 2002-07-26 | 2004-02-26 | Matsushita Electric Works Ltd | 真空蒸着方法 |
JP2004307877A (ja) * | 2003-04-02 | 2004-11-04 | Nippon Biitec:Kk | 薄膜堆積用分子線源とそれを使用した薄膜堆積方法 |
JP2005082872A (ja) * | 2003-09-10 | 2005-03-31 | Tokki Corp | 蒸着装置並びに蒸着方法 |
WO2005098079A1 (en) * | 2004-03-22 | 2005-10-20 | Eastman Kodak Company | High thickness uniformity vaporization source |
JP2005298926A (ja) * | 2004-04-14 | 2005-10-27 | Hitachi Zosen Corp | 蒸着装置 |
-
2006
- 2006-12-25 JP JP2006348566A patent/JP4830847B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000223269A (ja) * | 1999-01-28 | 2000-08-11 | Anelva Corp | 有機薄膜形成装置 |
JP2002080961A (ja) * | 2000-06-22 | 2002-03-22 | Matsushita Electric Works Ltd | 真空蒸着装置及び真空蒸着方法 |
JP2004059982A (ja) * | 2002-07-26 | 2004-02-26 | Matsushita Electric Works Ltd | 真空蒸着方法 |
JP2004307877A (ja) * | 2003-04-02 | 2004-11-04 | Nippon Biitec:Kk | 薄膜堆積用分子線源とそれを使用した薄膜堆積方法 |
JP2005082872A (ja) * | 2003-09-10 | 2005-03-31 | Tokki Corp | 蒸着装置並びに蒸着方法 |
WO2005098079A1 (en) * | 2004-03-22 | 2005-10-20 | Eastman Kodak Company | High thickness uniformity vaporization source |
JP2005298926A (ja) * | 2004-04-14 | 2005-10-27 | Hitachi Zosen Corp | 蒸着装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014027578A1 (ja) * | 2012-08-13 | 2014-02-20 | 株式会社カネカ | 真空蒸着装置及び有機el装置の製造方法 |
JPWO2014027578A1 (ja) * | 2012-08-13 | 2016-07-25 | 株式会社カネカ | 真空蒸着装置及び有機el装置の製造方法 |
US9496527B2 (en) | 2012-08-13 | 2016-11-15 | Kaneka Corporation | Vacuum deposition device and method of manufacturing organic EL device |
CN107210188A (zh) * | 2014-12-19 | 2017-09-26 | 应用材料公司 | 用于沉积的监控系统与操作该系统的方法 |
CN107210188B (zh) * | 2014-12-19 | 2021-04-09 | 应用材料公司 | 用于沉积的监控系统与操作该系统的方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4830847B2 (ja) | 2011-12-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4966028B2 (ja) | 真空蒸着装置 | |
JP2011256427A (ja) | 真空蒸着装置における蒸着材料の蒸発、昇華方法および真空蒸着用るつぼ装置 | |
US10267768B2 (en) | Device and method for determining the concentration of a vapor by means of an oscillating body sensor | |
JP5013591B2 (ja) | 真空蒸着装置 | |
TW200532037A (en) | Vapor deposition source with minimized condensation effects | |
KR101284394B1 (ko) | 박막 퇴적용 분자선원과 그 분자선량 제어방법 | |
US20130160712A1 (en) | Evaporation cell and vacuum deposition system the same | |
JP2011162846A (ja) | 真空蒸発源 | |
JP2007224393A (ja) | 蒸着源セル、薄膜の製造方法、絞り部材、及び蒸着源加熱ヒータ | |
KR20110095982A (ko) | 씨아이지에스 박막제조용 병합증발원 | |
JP5180469B2 (ja) | 真空蒸着装置 | |
JP4830847B2 (ja) | 真空蒸着装置 | |
JP2008169457A (ja) | 真空蒸着装置 | |
JP5044223B2 (ja) | 真空蒸着装置 | |
JP4139158B2 (ja) | 真空蒸着方法 | |
TW201317374A (zh) | 真空蒸鍍裝置 | |
US20120052189A1 (en) | Vapor deposition system | |
JP2009299115A (ja) | 蒸着装置 | |
EP1834364A1 (en) | Method and apparatus for controlling the vaporization of organic material | |
WO2012086230A1 (ja) | 真空蒸着装置及び真空蒸着方法 | |
KR101258252B1 (ko) | 증착 장치 | |
JP2015209559A (ja) | 蒸着装置 | |
KR20190060272A (ko) | 기체상 파릴렌 다이머 배출 조절 가능한 파릴렌 증착 장비용 기화기 및 그의 운용 방법, 그리고 그를 구비하는 파릴렌 증착 장비 | |
TWI839614B (zh) | 液體材料驟蒸發坩堝、蒸氣沉積設備及用於塗覆真空腔室內的基板的方法 | |
KR20230019194A (ko) | 진공 챔버에서 기판을 코팅하기 위한 기상 증착 장치 및 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090825 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20100903 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110228 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110823 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110905 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4830847 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140930 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |