JP2009299115A - 蒸着装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】容器本体4に充填された蒸着材料を蒸発させる蒸発用容器5及び蒸発した蒸着材料を材料移送管6を介して導きガラス基板Kの表面に蒸着させる蒸着用容器3を具備する蒸着装置であって、下側本体部4B内の蒸着材料を冷却水により冷却する冷却用ジャケット14を設けるとともに、上側本体部4Aと下側本体部4Bとの接続部分に断熱材8を配置し、材料移送管6及び上側本体部4Aを加熱する電熱線12を設けると共に、容器本体4内に充填された蒸着材料を、上記電熱線12により加熱された材料移送管6の内壁面からの輻射熱及び上側本体部4Aに設けられた電熱線12により加熱し蒸発させるようにしたもの。
【選択図】図1
Description
しかし、蒸着材料によっては、加熱を必要以上に続けると、その性状が劣化するものがあり、この場合には、長時間の運転を行うことができないという問題があった。
上記容器本体を上側本体部と下側本体部とに分割するとともに、上記下側本体部に蒸着材料を冷却する冷却手段を設け、
上記上側本体部と上記下側本体部との接続部分に断熱材を配置し、
上記材料移送管および上記上側本体部を加熱する加熱手段を設けるとともに、上記容器本体内に充填された蒸着材料を、上記加熱手段により加熱された材料移送管表面からの輻射熱および上記上側本体部に設けられた加熱手段により、加熱させるようにしたものである。
以下、本発明の実施の形態に係る蒸着装置を、図面に基づき説明する。
この蒸着装置には、図1に示すように、内部に蒸着室1を有するとともにこの蒸着室1内に被蒸着部材であるガラス基板Kの保持具2が設けられた蒸着用容器3と、この蒸着用容器3内の下方に配置され且つ蒸着材料が充填される容器本体(坩堝ともいい、その内部が蒸発室となる)4を有する蒸発用容器5と、上記蒸着用容器3とこの蒸発用容器5との間に上下方向で配置されて容器本体4内すなわち蒸発室で蒸発された蒸着材料(以下、蒸着材蒸気という)を蒸着室1に導くための材料移送管(材料導入管ともいえる)6とが具備されている。なお、蒸着用容器3の側壁部には、ガラス基板Kの搬入出用の開口部3aが形成されるとともに、その開口部3aを開閉する開閉蓋7が具備されている。
さらに、蒸着装置には、上記温度検出器13,16からの検出信号を入力して、各検出部位がそれぞれに設定された温度となるように、電熱線12のコントローラ21および冷却媒体供給管15途中に設けられた流量制御弁20に制御信号を出力するための制御部22が具備されている。なお、蒸着装置には、上述した温度を制御するための制御部22以外に、他の制御機器を制御する制御本体が具備されているが、制御本体についての説明は省略する。
まず、ガラス基板Kを、開口部3aより蒸着室1内に搬入した後、開閉蓋7を閉じる。そして、図示しない真空装置により、蒸着室1内を所定の真空度にする。なお、材料移送管6および容器本体(蒸発室である)4内も、同様に真空にされる。
図2から、上方の温度が、大体、500〜580Kであり、またその下方は、400〜499Kであり、さらにその下方では、400K以下であり、蒸着材料にとっては、性状劣化が少ない温度範囲になっているのが分かる。
3 蒸着用容器
4 容器本体
4A 上側本体部
4B 下側本体部
5 蒸発用容器
6 材料移送管
8 分散部材
11 調節弁
12 電熱線
13 移送管用温度検出器
14 冷却用ジャケット
15 冷却媒体供給管
16 容器用温度検出器
20 流量制御弁
22 制御部
Claims (2)
- 容器本体に充填された蒸着材料を蒸発させる蒸発用容器および蒸発した蒸着材料を材料移送管を介して導き被蒸着部材の表面に蒸着させる蒸着用容器を具備する蒸着装置であって、
上記容器本体を上側本体部と下側本体部とに分割するとともに、上記下側本体部に蒸着材料を冷却する冷却手段を設け、
上記上側本体部と上記下側本体部との接続部分に断熱材を配置し、
上記材料移送管および上記上側本体部を加熱する加熱手段を設けるとともに、上記容器本体内に充填された蒸着材料を、上記加熱手段により加熱された材料移送管表面からの輻射熱および上記上側本体部に設けられた加熱手段により、加熱させるようにしたことを特徴とする蒸着装置。 - 材料移送管の温度を検出する移送管用温度検出器および下側本体部の温度を検出する容器用温度検出器を設けるとともに、これら各温度検出器からの検出信号を入力して加熱手段および冷却手段を制御する制御部を具備したことを特徴とする請求項1に記載の蒸着装置。
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