JP2005294706A - 照明光学系及び当該照明光学系を有する露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 光源からの光を用いて被照明面を照明する照明光学系であって、前記光の光量を検出するセンサーと、前記光の一部を分岐させる光分岐部材と、前記光分岐部材よりも前記光源側に配置され、前記光を透過すると共に、前記光分岐部材で分岐された前記光の一部を反射し、前記センサーに入射させる光学部材とを有することを特徴とする照明光学系を提供する。
【選択図】 図1
Description
の係数が干渉縞となり、周期
のx方向のラインアンドスペースの強度分布となる。レンズ(投影光学系)のNAが大きくなり、微細なパターンの投影を行うと、回折光のなす角θが大きくなる。例えば、ArFエキシマレーザーの波長λ=193nmで、周期Lnmのラインアンドスペースの投影を行った場合のレジスト内(屈折率1.7)の回折光のなす角θを図8に示す。図8を参照するに、バイナリーマスクを用いると、ラインアンドスペースの周期が160nmを切るあたりで回折光のなす角θが45度となり、レベンソン位相シフトマスクを用いると、ラインアンドスペースの周期が80nmを切るあたりで回折光のなす角θが45度となる。
100 照明装置
110 光源部
120 照明光学系
121 ランダム位相板
122 減光フィルター
123 マイクロレンズアレイ
124 内面反射部材
125a及び125b 光学素子
126 コンデンサーレンズ
127 変倍リレー光学系
128 偏光分離膜
129 ハエの目レンズ
130 コンデンサーレンズ
131 ハーフミラー
132 センサー
200 レチクル
300 投影光学系
400 被処理体
500 ウェハステージ
600 制御部
Claims (13)
- 光源からの光を用いて被照明面を照明する照明光学系であって、
前記光の光量を検出するセンサーと、
前記光の一部を分岐させる光分岐部材と、
前記光分岐部材よりも前記光源側に配置され、前記光を透過すると共に、前記光分岐部材で分岐された前記光の一部を反射し、前記センサーに入射させる光学部材とを有することを特徴とする照明光学系。 - 前記センサーは、前記被照明面と実質的に共役な位置に配置されることを特徴とする請求項1記載の照明光学系。
- 光源からの光を用いて被照明面を照明する照明光学系であって、
前記光の一部を分岐させる光分岐部材と、
前記光分岐部材よりも前記光源側に配置され、2%以上の反射率を有し、前記光分岐部材で反射された前記光の一部を反射する反射面を有する光学部材とを有することを特徴とする照明光学系。 - 前記光分岐部材は、光軸に対して10度以上30度以下の角度で傾けて配置されることを特徴とする請求項1又は3記載の照明光学系。
- 前記被照明面における前記光の偏光状態を所定の偏光に制御する偏光制御手段を更に有することを特徴とする請求項1又は3記載の照明光学系。
- 瞳面における有効光源の形状を規定する有効光源形成手段を更に有し、
前記所定の偏光は、前記有効光源において偏光方向が一定の方向に揃っていることを特徴とする請求項5記載の照明光学系。 - 瞳面における有効光源の形状を輪帯形状に規定する有効光源形成手段を更に有し、
前記所定の偏光は、輪帯形状の接線方向に偏光方向が揃っていることを特徴とする請求項5記載の照明光学系。 - 前記光分岐部材は、前記光の一部を反射することを特徴とする請求項1又は3記載の照明光学系。
- 請求項1乃8のうちいずれか一項記載の照明光学系によりレチクルを照明し、当該レチクルを経た光を投影光学系を介して被処理体に照射して当該被処理体を露光することを特徴とする露光装置。
- 光源からの光でパターンを照明し、前記パターンを投影光学系を介して被処理体に露光する露光装置であって、
前記光源と前記パターンとの間に配置され、前記被処理体に到達する前記光の一部を分岐する光分岐部材と、
前記光分岐部材が分岐した前記光の一部を検出し、前記被処理体における露光量をモニターするセンサーと、
前記光源と前記光分岐部材との間に配置され、前記光分岐部材で分岐された前記光の一部を反射し、前記センサーに入射させる光学部材とを有することを特徴とする露光装置。 - 前記光学部材は、前記光の一部を反射する反射面に2%以上の反射率を有することを特徴とする請求項10記載の露光装置。
- 前記投影光学系は、0.9以上の開口数(NA)を有することを特徴とする請求項9又は10記載の露光装置。
- 請求項9乃至12のうちいずれか一項記載の露光装置を用いて被処理体を露光するステップと、
露光した前記被処理体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
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