JP2005293822A - テーパ状トレーリングエッジ構造およびシールドを備えた垂直記録ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】トレーリングシールドを利用して記録用磁極から放射された磁界を傾斜させることは、垂直磁気反転を発生させるのに必要な反転磁界を減らして、データの記録速度を上げるには有利であるが、この反転磁界の改善による磁界の喪失という犠牲を強いることになる。
【解決手段】磁気記録ヘッド２００は、空気軸受面２１２を形成する記録用磁極２１６と、後部ギャップ領域２３２において記録用磁極と磁気的に接続されるリターン磁極２３０とを有する。記録用磁極は、テーパ部２２２を有する一層以上の磁性層であり、空気軸受面から離れるに伴い次第に厚みが大きくなる。磁気記録ヘッドは、リターン磁極と磁気的に接続され、かつ、記録用磁極のテーパ面に対して平行で、かつ記録ギャップ層２２６によって記録用磁極から分離されたテーパ面２０４を有するトレーリングシールド２０２をさらに有する。
【選択図】図２

Description

本発明は、垂直磁気記録に関し、特に磁界強度および磁界勾配性能を改善したテーパ状トレーリングシールド（trailing shield）を用いたトレーリングシールド構造に関するものである。

コンピュータの心臓部である磁気ディスク装置は、磁気ディスク、記録再生ヘッドを含む磁気ヘッドアセンブリが取り付けられたスライダ、サスペンションアーム、およびアクチュエータアームを備えている。磁気ディスクが回転すると、ディスク面に接した空気が一緒に動いて、それによりスライダが非常に薄い空気のクッション上に浮上する。この空気のクッションは一般に空気軸受と称されている。スライダが空気軸受上に浮上すると、アクチュエータアームがサスペンションアームを回動して、磁気ヘッドアセンブリを回転している磁気ディスクの選択された円周状トラック上に配置する。この円周状トラックには記録ヘッドおよび再生ヘッドによって信号領域がそれぞれ記録再生される。記録再生ヘッドには、記録再生を実施するため、コンピュータプログラムに従って作動する処理回路が接続されている。

従来の磁気ディスク装置は一般的に面内磁気記録方式であり、これは、磁気データがディスク面に長手方向に形成された磁気遷移として記録されるものである。ディスク面は、データのトラックに沿った方向に磁化され、次いで反対方向に遷移する。この方向は共にディスク面に対して平行であり、かつデータトラックの方向に対しても平行である。

しかしながら、データ密度に対する要求は、物理的限界に急速に近づいている。例えば、データ容量の増大はビットサイズの縮小を要求し、これが、さらに磁気媒体の粒子サイズの微細化を要求する。粒子サイズの微細化に伴い、1ビットのデータを記録するのに必要な磁界は比例的に大きくなる。従来の面内記録ヘッド技術を利用して1ビットのデータを記録するのに十分な強さの磁界を形成する能力は物理的限界に近づきつつある。

この物理的限界を克服するための一つの手段が垂直方向記録の導入であった。垂直記録方式においては、データビットがディスク面の平面に対して垂直方向に磁気的に記録される。磁気ディスクは、その面に比較的大きな飽和保磁力の材料を有することができ、かつ、その面の直下に比較的小さな飽和保磁力の材料を有することができる。小さな断面と非常に大きな磁束を有する記録用磁極は、ディスク面に対して垂直に、集中した強磁界を放射する。この記録用磁極から放射された磁界は、この表面材料に関し、その高飽和保磁力に打ち勝ち、かつその表面に対して垂直な方向に磁化するのに十分な強さを有している。この磁束は比較的軟磁性の下地層を通って流れ、記録用素子のリターン磁極近くのディスク面に戻ってくる。この記録用素子のリターン磁極は、記録用磁極の断面よりも非常に大きな断面を有しているので、リターン磁極の部位におけるディスクを通る磁束（およびその結果としてのディクスとリターン磁極間の磁界）は、十分に拡散し、ディスク表面材料の飽和保磁力に打ち勝つには小さすぎることとなる。このため、記録用磁極による磁化がリターン磁極によって消去されることはない。

当業者には明らかなように、ディスク面材料は、高飽和保磁力を有していると、磁化することが難しく、特に磁性粒子のサイズが小さくなるにつれて難しくなる。磁界をわずかに傾斜させると、遷移のシャープネス（transition sharpness）を改善でき、媒体のSN比を改善できることが知られている。一提案では、これを達成するためには、トレーリングシールドを記録ギャップの近くに配置し、かつリターン磁極と磁気的に接続しなければならなかった。このシールドは、実質的に、記録用磁極から放射された磁界を引き付け、わずかに傾斜させる。

しかし、この方法が直面する問題は、磁界がいくらかシールドに漏れること、およびこれを補うため記録磁界を大きくすると、残留磁界（stay fields）による隣接トラックへの干渉が発生することである。換言すると、トレーリングシールドを利用して記録用磁極から放射された磁界を傾斜させることは、垂直磁気反転を発生させるのに必要な反転磁界（switching field）を減らして、データの記録速度を上げるには有利であるが、この反転磁界の改善による磁界の喪失という犠牲を強いることになる。これは、磁界がいくらかシールドに漏れ（ディスク面に対して平行に）、記録用磁極によって放射された磁界が弱まるためである。従って、磁界の喪失を最小限に抑えながら、垂直記録用磁極の磁界を傾斜するための機構に対する必要性は、そのまま残っている。また、そのための機構は、大量生産が実施可能でなければならない。

本発明は、記録磁界および記録勾配性能が改善された、垂直記録用磁気記録ヘッドを提供するものである。この記録ヘッドは、記録用磁極およびテーパ面を有するトレーリングシールドを備えている。このトレーリングシールドに接合されたリターン磁極は、空気軸受面から離れた位置で記録用磁極と磁気的に接続されている。

トレーリングシールドのテーパ面は、隣接した記録用磁極のテーパ面に対して平行とすることができる。垂直磁気記録ヘッドにトレーリングシールドを用いることによって記録性能を改善できるが、磁界が記録ヘッドから記録ギャップを介してトレーリングシールドへ漏洩して失われ、記録用磁界強度が減少してしまう。トレーリングシールドのテーパ面は、トレーリングシールドの存在による利点を維持しつつ、磁界の喪失を軽減するものである。トレーリングシールドの一面、好ましくは、記録用磁極の隣接部分の一面をテーパ状とすることによって、センサに漏れる磁界が空気軸受面に向かう方向に傾斜する。この磁界ベクトルの一成分は、空気軸受面に対して直交する目的の方向（磁性媒体に向かう）となっており、そのため、磁界強度の改善に寄与することができる。実験によって、このようなテーパシールドを利用することが記録性能に効果のあることが示された。

隣接トラックに干渉を生じさせる隣接トラックへの漏洩を防ぐために、テーパ状トレーリングシールドにテーパ部のみならず横方向に拡がる翼部を設けてもよい。これらの翼部は、テーパが始まる位置よりも空気軸受面に近い位置から始まる。

本発明によれば、記録磁界および記録勾配性能が改善された垂直記録用磁気記録ヘッドを提供することができる。

本発明を実施するために現在考えられる最良の形態を下記にて説明する。但し、本実施形態は、本発明を説明することだけを目的としたものであって、本出願において請求する発明上の概念を制限するものではない。本発明の本質および利点、並びに好適な使用態様を十分に理解するため、下記の詳細な説明を添付図と共に読まれたい。

図１に、本発明を具現化するディスク装置１００を示す。図１に示すように、少なくとも一つの回転磁気ディスク１１２がスピンドル軸１１４によって支持され、ディスク駆動モータ１１８によって回転される。各ディスク上における磁気記録は、磁気ディスク１１２上における同心状データトラック（図示せず）の円周状パターンの形態で行われる。

少なくとも一つのスライダ１１３が磁気ディスク１１２の近傍に配置されており、各スライダ１１３は、一つ以上の磁気ヘッドアセンブリ１２１を支持している。磁気ディスクの回転に伴い、磁気ヘッドアセンブリ１２１が、所望のデータが記録された磁気ディスクのトラックにアクセスするように、スライダ１1３はディスク面１２２上に到達し、かつ離脱するように半径方向に移動する。各スライダ１１３はサスペンション１１５を介してアクチュエータアーム１１９に取り付けられている。サスペンション１１５は、わずかなばね力を付与して、スライダ１１３をディスク面１２２に対して付勢する。各アクチュエータアーム１１９はアクチュエータ手段１２７に取り付けられている。図１に示すようなアクチュエータ手段１２７は、ボイスコイルモータ（VCM）とすることができる。このボイスコイルモータは、一定の磁界内を移動可能なコイルを備えており、このコイルの運動の方向および速度は、制御装置１２９から供給されるモータ電流信号によって制御される。

ディスク記憶装置の作動時には、磁気ディスク１１２の回転によってスライダ１１３とディスク面１２２間に空気軸受が生じ、上方向の力すなわち浮力をスライダに対して付与する。この空気軸受が、サスペンション１１５の小さなばね力とバランスすることによって、スライダ１１３を、ディスク面から上方にわずかに離れた状態で、通常の動作時には略一定の小さな間隔で、保持する。

ディスク装置の種々の構成部分は、動作時において、制御装置１２９が生成したアクセス制御信号や内部クロック信号などの制御信号によって制御される。一般に、制御装置１２９は、論理制御回路、記憶手段およびマイクロプロセッサを備えている。制御装置１２９は、ライン１２３による駆動モータ制御信号およびライン１２８によるヘッドの位置、シーク制御信号などのような種々のシステム動作を制御するための制御信号を生成する。ライン１２８の制御信号は、所望のカレントプロファイルを提供して、スライダ１１３をディスク１１２上の目的のデータトラックに最も適した状態で移動、配置する。記録再生信号は記録チャネル１２５を介して記録再生ヘッド１２との間でそれぞれ伝達される。

尚、上記の代表的な磁気ディスク記憶装置および図１に示した図は、説明を目的としただけのものである。ディスク記憶装置が多数のディスクとアクチュエータを有し、また、各アクチュエータが多数のスライダを支持できることは言うまでもない。

図２において、本発明は、垂直記録方式に使用される記録ヘッド２００を提供するものであり、この記録ヘッドはテーパ面２０４を含むトレーリングシールド２０２を有し、それによって磁気的性能を改善するものである。記録ヘッドは、例えばアルミナＡｌ_２Ｏ_３、あるいは他の非磁性体からなる絶縁層２０６の上に形成される。絶縁層２０６は、一般に、再生素子（図示なし）の上部に形成され、かつ記録ヘッド２００を再生素子から分離している。

絶縁層すなわち基板２０６上には磁気整形層２０８が形成されており、この磁気整形層２０８は空気軸受面（ＡＢＳ）２１２から後退した端部２１０を有している。この端部２１０とＡＢＳ面２１２との間の空間は非磁性絶縁体２１４で満たされている。磁気整形層２０８および充填材すなわち非磁性絶縁体２１４は、好ましくは、化学的機械的研磨法によって形成できる同一上面を有している。

再度図２において、記録用磁極２１６が磁気整形層上に形成されており、この記録用磁極２１６は、ＡＢＳ面２１２まで延びる磁極端部２１８を有している。記録用磁極は、磁極端部２１８の領域内においてＡＢＳ面から線２２０で示す拡大開始点までの短い距離を直線的に後退し、一方、横外側方向に拡大し始める。これは図３を参照するとより簡単に理解することができる。図２において、記録用磁極はテーパ部２２２を有している。このテーパ部はポイント２２４から始まってもよいし、記録用磁極２１６の拡大開始点２２０の前から始まってもよいし、あるいは、拡大開始点２２０の後（すなわち、ＡＢＳ面からより離れた位置）から始まってもよい。これは設計上の要件によって決定される。

記録用磁極の上には非磁性記録ギャップ薄膜層２２６が形成されている。この非磁性記録ギャップ薄膜層２２６は、アルミナＡｌ_２Ｏ_３のような多くの非磁性体で形成することができる。しかし、下記にて説明する理由によって、アルミナ層およびダイアモンドライクカーボン層で形成されるのが好ましい。

テーパ状トレーリングシールド２０２は、記録素子２００の磁極端部領域２１８における記録ギャップ層２２６上に形成される。トレーリングシールドは、トレーリングシールドがその上に形成される記録用磁極２１６の形状をなし、その端部において、記録用磁極２１６のテーパ部２２２に対応したテーパ形状部２０４を有している。従って、このテーパはＡＢＳ面２１２から略同じ距離２２４だけ離れた位置から始まる。

リターン磁極２３０は、トレーリングシールド２０２の上に接合され、かつ後部ギャップ領域２３２まで後方に延在し、そこで、記録用磁極２１６と磁気的に接続し、磁気ヨーク２３４を形成する。また、記録ヘッド２００は、複数の巻線２３８（断面に図示）を有する導電コイル２３６を備えており、巻線２３８は磁気ヨーク２３４を貫通している。導電コイル２３６の巻線２３８は、非磁性絶縁層２４０によって取り巻かれ、絶縁されている。

トレーリングシールド２０２があることによって、記録用磁極２１６から放射された記録用磁界を適切に傾斜させることによって、磁界勾配を改善し、かつ反転磁界性能を改善することができる。しかし、トレーリングシールドがあることは、以前から、記録用磁界の漏れを意味していた。従来技術の構成では、テーパなしでＡＢＳ面から後方に真っ直ぐに延びるトレーリングシールドおよびこれに隣接した記録用磁極を使用していた。換言すると、トレーリングシールドおよび、記録用ギャップと接した記録用磁極の表面は、ＡＢＳ面に対して垂直に延びていた。そのような構造を用いた、記録用磁極とトレーリングシールドとの間で漏洩した磁界は、ＡＢＳ面に対して平行であり、かつ大部分の記録用磁界の目的とした放射方向に対して垂直のベクトルとして表わすことができるかもしれない。

従って、この漏洩磁界のベクトルの成分は、記録用磁界に寄与することがない。テーパ部２０４をトレーリングシールドに設けることによって、記録用磁極とトレーリングシールド間の漏洩磁界は磁気媒体に向かって傾斜する。このため、このベクトルの成分は、記録用磁極に寄与し、記録用磁界強度を高める。実験によれば、このようなテーパトレーリングシールド２０２を使用することによって記録用磁界性能が非常に改善されることが示された。トレーリングシールド２０２のテーパ面は、ＡＢＳ面に対して、好ましくは９０度未満の角度、より好ましくは６０度〜９０度の間の角度を有する面を形成する。

図５〜８は、テーパのトレーリングシールドを有する垂直磁気記録ヘッド２００を形成するための工程を示す図である。図５において、整形層５０２と、この層に隣接したアルミナのような材料からなる非磁性層５０４とが、基板（図示なし）上に形成される。これらは、当業者には周知の工程で形成することができ、フォトレジストマスク（図示なし）を使用し、導電シード層をスパッタで形成し、整形層５０２を電気めっきするフォトリソグラフィが挙げられる。整形層５０２は例えばＮｉＦｅで形成される。

次いで、磁気記録用磁極材の第一層５０６が、例えば電気めっきによって形成される。この磁気記録用磁極材の第一層は、非常に高飽和で、低保磁力の材料が好ましく、また、ＣｏＦｅ、ＮｉＦｅ、あるいはＣｒ、Ｒｕなどの非磁性膜を含めたそれらの合金のような高磁気飽和材(高Ｂｓａｔ)を積層したもので形成するのが好ましい。記録用磁極材の第二層５０８が、第一層５０６の上に形成される。この第二層５０８は、反応性イオンエッチングで第一層５０６よりも簡単に除去される磁性材料でよい。

その後、Ｔａ層５１０を形成し、次いでフォトレジストのようなマスク５１２を形成する。図５に示すように、マスク５１２は、所望のテーパ停止位置を終端とする前端を有し、そこから後方へと延びている。

図６において、ＲＩＥ処理を行うことによってＴＡ層５１０および第二層５０８の一部を除去することができる。好ましくは、ＲＩＥ処理を図示のような角度で行うことによって、マスクのシャドウ効果によって図示のように材料をテーパ状に除去することが促進される。前述のように、第一磁極層５０６は、ＲＩＥ処理では簡単に除去できない材料で構成されているので、ＲＩＥ処理がその表面まで達し、かつＲＩＥ処理が停止すべき位置まできたとき、その表面は簡単に平坦化される。

図７において、マスク５１２が除去され、記録ギャップ材の薄膜７０２、およびダイアモンドライクカーボン（ＤＬＣ）の薄膜７０４が連続して形成される。記録ギャップ材には、数種類の非磁性材が挙げられるが、アルミナが好ましい。記録ギャップ薄膜７０２およびＤＬＣ薄膜７０４は、スパッタ蒸着で形成することができる。その後、ＮｉＦｅのような磁気シールド材の比較的厚い層７０６をシード層スパッタリングおよび電気めっきのような処理によって形成する。ついで、化学的機械的研磨処理ＣＭＰ７０８が実施され、このとき、ＣＭＰ停止部材としてＤＬＣ層７０４を用いることによって、化学的機械的研磨処理を所望のレベル７１０で停止させることができる。

図８において、続いて、リターン磁極２３０をＮｉＦｅのような磁性材で形成することができる。図８では見えないが、リターン磁極２３０は、トレーリングシールド２０２または記録用磁極端部２１８よりもかなり横方向に拡がっている。

図９および図１０において、テーパ状シールド９０２の一実施例には、横方向に延びる拡大部すなわち翼部９０４を含むことができる。このような拡大部９０４は、磁性媒体１１２（図１）における隣接トラックのデータと干渉するサイドライティング（side writing）を減らすという利点がある。このような横方向に延びる拡大部、すなわち翼部９０４は、テーパライン９０６の前方（すなわち、ＡＢＳ面に寄った方）に形成するのが好ましく、これによって最適な性能を得ることができる。

種々の実施例を説明したが、これらの実施例は例示のためだけであり、制限するものではないことは理解すべきである。他の変形例および実施例が本発明の範囲内にあることは、当業者には明らかであろう。例えば、本発明は、記録用磁極の上部（すなわち、トレーリング）に形成されたリターン磁極を有する記録ヘッドを参照して説明したが、本発明は、記録用磁極の下部（すなわち、リーディング）に形成されたリターン磁極を有する垂直記録素子に実施することも可能である。従って、本発明の範囲は、上述したいずれの実施例によっても制限すべきではなく、附属の特許請求の範囲およびその均等物によってのみ制限されるべきである。

本発明が具現化される磁気記憶装置の概略図である。 本発明の一実施例における垂直磁気記録ヘッドを示す断面図である。 図２に示す実施例において使用される記録用磁極を示す、図２の線３−３に沿った平面図である。 図２に示す実施例における、図２の線４−４に沿った空気軸受面を示す図である。 中間製造過程における磁気記録素子の一部を示す断面図である。 中間製造過程における磁気記録素子の一部を示す断面図である。 中間製造過程における磁気記録素子の一部を示す断面図である。 中間製造過程における磁気記録素子の一部を示す断面図である。 本発明の一実施例におけるテーパシールドを示す斜視図である。 図９のテーパシールドを示す側面図である。

符号の説明

２００…垂直磁気記録ヘッド、
２０２…トレーリングシールド、
２０４…テーパ面、
２０６…絶縁層、
２０８，５０２…磁気整形層、
２１０…端部、
２１２…空気軸受面（ABS）、
２１４，５０４…非磁性絶縁体（充填材）、
２１６…記録用磁極、
２１８…磁極端部、
２２０…拡大開始点、
２２２…テーパ部、
２２６…非磁性記録ギャップ層、
２３０…リターン磁極、
２３２…後部ギャップ領域、
２３４…磁気ヨーク、
２３６…導電コイル、
２３８…巻線、
２４０…非磁性絶縁層、
５０６…記録用磁極材の第一層、
５０８…記録用磁極材の第二層、
５１０…Ta層、
５１２…マスク、
７０２…記録ギャップ薄膜、
７０４…DLC薄膜、
９０２…テーパ状シールド、
９０４…翼部。

Claims (19)

1. 空気軸受面を形成する平面まで延在し、かつ前記空気軸受面に対して平行に測定されたトラック幅を有する記録用磁極と、
   後部ギャップ領域において前記記録用磁極と磁気的に接続され、かつ前記トラック幅より大きい幅を有するリターン磁極とを有し、
   前記記録用磁極は、テーパ面部分を有する一層以上の磁性層であり、前記空気軸受面から離れるに伴い次第に厚みが増し、
   前記リターン磁極と磁気的に接続され、かつ、前記記録用磁極の前記テーパ面部分に対して平行で、かつ非磁性記録ギャップ層によって前記記録用磁極から分離されたテーパ面部分を有する磁気シールドをさらに有することを特徴とする垂直磁気記録用記録素子。
2. 前記磁気シールドの前記テーパ面部分は、前記空気軸受面に対して９０度未満の角度をなすことを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録用記録素子。
3. 前記磁気シールドの前記テーパ面部分は、前記空気軸受面に対して６０度から９０度の間の角度をなすことを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録用記録素子。
4. 前記磁気シールドは、前記空気軸受面から離れるに伴い大きくなる横幅を有する拡大部を備えており、前記拡大部は、前記磁気シールドのテーパ面よりも前記空気軸受面の近くから始まることを特徴とする請求項１記載の磁気記録用記録素子。
5. 前記記録用磁極は、前記空気軸受面から離れるに伴い大きくなる横幅を有する拡大部を備えており、前記テーパ面部分は、前記磁気シールドの前記拡大部より前記空気軸受面の近くから始まることを特徴とする請求項４記載の磁気記録用記録素子。
6. 前記テーパ状の磁気シールドは、さらに、横方向に拡がる第一と第二の翼部を含むことを特徴とする請求項１記載の磁気記録用記録素子。
7. 前記横方向に拡がる第一と第二の翼部は、前記テーパ面部分よりも前記空気軸受面に近い位置から始まることを特徴とする請求項６記載の磁気記録用記録素子。
8. トラック幅を有し、空気軸受面（ＡＢＳ）まで延びる磁気記録用磁極と、
   前記磁気記録用磁極より大きい幅のリターン磁極と、を有し、前記リターン磁極は、後部ギャップ領域において前記磁気記録用磁極と磁気的に接続し、
   トレーリングシールドをさらに有し、前記トレーリングシールドは、前記記録用磁極に隣接配置されかつ非磁性記録ギャップによって前記記録用磁極から分離されたテーパ面を有することを特徴とする垂直磁気記録用磁気記録素子。
9. 前記トレーリングシールドの前記テーパ面は、前記空気軸受面に対して９０度未満の角度をなす平面を形成することを特徴とする請求項８記載の垂直磁気記録用記録素子。
10. 前記トレーリングシールドの前記テーパ面は、前記空気軸受面に対して６０度から９０度の間の角度をなす平面を形成することを特徴とする請求項８記載の垂直磁気記録用記録素子。
11. 前記テーパ状のトレーリングシールドは、横方向に拡がる第一と第二の翼部をさらに含むことを特徴とする請求項８記載の垂直磁気記録用記録素子。
12. 前記横方向に拡がる第一と第二の翼部は、前記テーパ部分より前記空気軸受面に近い位置から始まることを特徴とする請求項１１記載の垂直磁気記録用記録素子。
13. 磁性材の第一層を形成し、
    空気軸受面の位置から後退したマスク層を形成し、
    イオンミリング処理を実施して、前記マスク層から前記空気軸受面の位置に向かって延びる緩やかなテーパ面を形成し、
    前記マスク層を除去し、
    非磁性材の記録ギャップ層を形成し、
    非磁性材の第二層を形成することを特徴とする垂直磁気記録に使用される磁気記録素子の製造方法。
14. 前記イオンミリング処理は、前記第一層および前記マスク層の面に対して８０度未満の角度で実施することを特徴とする請求項１３記載の製造方法。
15. さらに、前記磁性材の第一層を形成した後、Ｔａの層を形成することを特徴とする請求項１３記載の製造方法。
16. 空気軸受面（ＡＢＳ）の位置から後退した端部を有する磁気整形層を形成し、
    非磁性材の第一層を形成し、
    第一の化学的機械的研磨処理を実施して前記磁気整形層および前記非磁性材の第一層の上面を平面とし、前記非磁性材の第一層は前記磁性整形層の前記端部と前記空気軸受面の間に配置され、
    第一の磁性材層を形成し、
    第二の磁性材層を形成し、前記第二の磁性材層はイオンミリングによって前記第一の磁性材層よりも容易に除去することができ、
    前記空気軸受面の位置よりも後退した端部を有するマスクを形成し、
    イオンミリング処理を実施して、前記第二の磁性材層上にテーパ面を形成し、前記テーパ面は、前記マスクから前記空気軸受面の位置に向かって下方に傾斜し、
    前記マスクを除去し、
    非磁性記録ギャップ層を形成し、
    前記非磁性記録ギャップ層上に磁性材の第三層を形成し、
    磁性材の前記第三層を平坦化し、
    前記第三の磁性材層上にリターン磁極を形成することを特徴とする垂直磁気記録に使用され、かつテーパ状のトレーリングシールドを有する磁気ヘッドの製造方法。
17. さらに、前記第二の磁性材層を形成した後、Ｔａの層を形成することを特徴とする請求項１６記載の製造方法。
18. さらに、前記非磁性記録ギャップ層を形成した後、ダイアモンドライクカーボンの層を形成することを特徴とする請求項１６記載の製造方法。
19. 前記イオンミリング処理は、前記第一の磁性材層に対する垂直線に対して１５度より大きな角度で実施することを特徴とする請求項１６記載の製造方法。
    

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