JP2013246850A - 記録ヘッド、およびこれを備えたディスク装置 - Google Patents

Abstract

【課題】記録媒体に記録される信号品質が向上し、高記録密度化を可能とする記録ヘッドおよびこれを備えたディスク装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、ディスク装置の記録ヘッド５８は、記録媒体の記録層１０３に対して垂直方向の記録磁界を発生する主磁極６０と、主磁極のトレーリング側にライトギャップを置いて対向するライトシールド磁極６２と、主磁極とライトシールド磁極が形成する磁気回路に磁束を励起する記録コイルと、主磁極の記録媒体側の先端部とライトシールド磁極との間に設けられ高周波磁界を発生するスピントルク発振子６５と、を備えている。主磁極の先端部６０ａは、スピントルク発振子と対向するトレーリング側端面６０ｂを備え、このトレーリング側端面は、記録媒体の記録層に垂直な方向に対し、記録媒体から離れるに従ってヘッドリーディング側へ傾斜して延び、スピントルク発振子６５は、トレーリング側端面６０ｂとほぼ平行に傾斜して配置されている。
【選択図】図５

Description

ここで述べる実施形態は、ディスク装置に用いる垂直磁気記録用の記録ヘッド、この記録ヘッドを備えたディスク装置に関する。

ディスク装置として、例えば、磁気ディスク装置は、ケース内に配設された磁気ディスクと、磁気ディスクを支持および回転駆動するスピンドルモータと、磁気ディスクに対して情報のリード／ライトを行う磁気ヘッドと、磁気ヘッドは、サスペンションに取り付けられたスライダ、およびスライダに設けられたヘッド部を有し、このヘッド部は、ライト用の記録ヘッドとリード用の再生ヘッドとを含んで構成されている。

近年、磁気ディスク装置の高記録密度化、大容量化あるいは小型化を図るため、垂直磁気記録用の磁気ヘッドが提案されている。このような磁気ヘッドにおいて、記録ヘッドは、垂直方向磁界を発生させる主磁極と、その主磁極のトレーリング側にライトギャップを挟んで配置されて磁気ディスクとの間で磁路を閉じるライトシールド磁極と、主磁極に磁束を流すためのコイルとを有している。更に、ライトシールド磁極の媒体側端部と主磁極との間に高周波発振子、例えば、スピントルク発振子、を設け、主磁極およびライトシールド磁極を通して高周波発振子に電流を流す高周波アシストヘッドが提案されている。

特開２００９−７０５４１号公報

上述した磁気ヘッドにおいて、主磁極とライトシールド磁極との間に設けられるスピントルク発振子は、膜成長方向に対して平行に配置されている。すなわち、スピントルク発振子は、磁気ヘッドのディスク対向面（ＡＢＳ）にほぼ垂直に設けられている。このようなスピントルク発振子を発振させると、スピントルク発振子から漏れ磁界として高周波磁界（ｃ−Ｈａｃ）が発生する。スピントルク発振子の回転磁化の向きにより、スピントルク発振子の主磁極対向面とライトシールド磁極対向面で発生するｃ−Ｈａｃの回転方向は逆回転になっている。このｃ−Ｈａｃの回転方向により、主磁極側で発生するｃ−Ｈａｃ（Ｐｏｓ）は主磁極からの磁界によるディスク記録層の磁化反転状態を良好にするように働く。しかし、ライトシールド磁極側で発生するｃ−Ｈａｃ（Ｎｅｇ）は、ライトシールド磁極直下への戻り磁界によって記録層の情報を劣化させるＲＦＰＥ(Return Field Partial Erasure)を増大するように働いてしまう。これにより、記録信号品質が劣化するおそれがある。

この発明が解決しようとする課題は、記録媒体に記録される信号品質が向上し、高記録密度化を可能とする記録ヘッドおよびこれを備えたディスク装置を提供することにある。

実施形態によれば、記録ヘッドは、記録媒体の記録層に対して垂直方向の記録磁界を発生する主磁極と、前記主磁極のトレーリング側にライトギャップを置いて対向するトレーリングシールドと、前記主磁極とライトシールド磁極が形成する磁気回路に磁束を励起する記録コイルと、前記主磁極の前記記録媒体側の先端部と前記トレーリングシールドとの間に設けられ高周波磁界を発生するスピントルク発振子と、を備え、
前記主磁極の先端部は、前記スピントルク発振子と対向するトレーリング側端面を備え、このトレーリング側端面は、前記記録媒体の記録層に垂直な方向に対し、前記記録媒体から離れるに従ってヘッドリーディング側へ傾斜して延び、前記スピントルク発振子は、前記トレーリング側端面とほぼ平行に傾斜して配置されている。

図１は、第１の実施形態に係るハードディスクドライブ（以下、ＨＤＤ）を示す斜視図。 図２は、前記ＨＤＤにおける磁気ヘッドおよびサスペンションを示す側面図。 図３は、前記磁気ヘッドのヘッド部を拡大して示す断面図。 図４は、前記磁気ヘッドの記録ヘッドを模式的に示す斜視図。 図５は、前記記録ヘッドのＡＢＳ側端部を拡大して示す断面図。 図６は、前記記録ヘッドのＡＢＳ側端部をスライダのリーディング端側から見た側面図。 図５は、前記記録ヘッドをＡＢＳ側から見た平面図。 図８は、記録ヘッドの製造プロセスを示すフローチャート。 図９は、記録ヘッドの製造プロセスを示すフローチャート。 図１０は、記録ヘッドの各製造プロセスにおける記録ヘッドをＡＢＳ側から見た平面図、記録ヘッドの縦断面図、記録ヘッドをトレーリング側から見た側面図。 図１１は、記録ヘッドの各製造プロセスにおける記録ヘッドをＡＢＳ側から見た平面図、記録ヘッドの縦断面図、記録ヘッドをトレーリング側から見た側面図。 図１２は、記録ヘッドの各製造プロセスにおける記録ヘッドをＡＢＳ側から見た平面図、記録ヘッドの縦断面図、記録ヘッドをトレーリング側から見た側面図。 図１３は、記録ヘッドの各製造プロセスにおける記録ヘッドをＡＢＳ側から見た平面図、記録ヘッドの縦断面図、記録ヘッドをトレーリング側から見た側面図。 図１４は、記録ヘッドのスピントルク発振子の傾き角と高周波磁界強度との関係を示す図。 図１５は、主磁極の傾き角とビットエラー率との関係を示す図。 図１６は、複数の発振周波数において、比較例に係る磁気ヘッドに対する本実施形態に係る磁気ヘッドの信号出力改善度を示す図。 図１７は、第２の実施形態に係るＨＤＤの磁気ヘッドの記録ヘッドを示す断面図。 図１８は、第２の実施形態に係るＨＤＤの磁気ヘッドの記録ヘッドを模式的に示す斜視図。 図１９は、前記記録ヘッドのＡＢＳ側端部をスライダのリーディング端側から見た側面図。 図２０は、前記記録ヘッドをＡＢＳ側から見た平面図。 図２１は、第３の実施形態に係るＨＤＤの磁気ヘッドの記録ヘッドを示す断面図。 図２２は、第３の実施形態に係るＨＤＤの磁気ヘッドの記録ヘッドを模式的に示す斜視図。 図２３は、前記記録ヘッドのＡＢＳ側端部をスライダのリーディング端側から見た側面図。 図２４は、前記記録ヘッドをＡＢＳ側から見た平面図。 図２５は、第４の実施形態に係るＨＤＤの磁気ヘッドの記録ヘッドを示す断面図。 図２６は、第４の実施形態に係るＨＤＤの磁気ヘッドの記録ヘッドを模式的に示す斜視図。 図１７は、前記記録ヘッドのＡＢＳ側端部をスライダのリーディング端側から見た側面図。 図２８は、前記記録ヘッドをＡＢＳ側から見た平面図。

以下図面を参照しながら、種々の実施形態について説明する。
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係るＨＤＤのトップカバーを取り外して内部構造を示し、図２は、浮上状態の磁気ヘッドを示している。図１に示すように、ＨＤＤは筐体１０を備えている。この筐体１０は、上面の開口した矩形箱状のベース１０ａと、図示しない矩形板状のトップカバーとを備えている。トップカバーは、複数のねじによりベースにねじ止めされ、ベースの上端開口を閉塞している。これにより、筐体１０内部は気密に保持され、呼吸フィルター２６を通してのみ、外部と通気可能となっている。

ベース１０ａ上には、記録媒体としての磁気ディスク１２および機構部が設けられている。機構部は、磁気ディスク１２を支持および回転させるスピンドルモータ１３、磁気ディスクに対して情報の記録、再生を行なう複数、例えば、２つの磁気ヘッド３３、これらの磁気ヘッド３３を磁気ディスク１２の表面に対して移動自在に支持したヘッドアクチュエータ１４、ヘッドアクチュエータを回動および位置決めするボイスコイルモータ（以下ＶＣＭと称する）１６を備えている。また、ベース１０ａ上には、磁気ヘッド３３が磁気ディスク１２の最外周に移動した際、磁気ヘッド３３を磁気ディスク１２から離間した位置に保持するランプロード機構１８、ＨＤＤに衝撃等が作用した際、ヘッドアクチュエータ１４を退避位置に保持するラッチ機構２０、およびプリアンプ、ヘッドＩＣ等の電子部品が実装された基板ユニット１７が設けられている。

ベース１０ａの外面には、制御回路基板２５がねじ止めされ、ベース１０ａの底壁と対向して位置している。制御回路基板２５は、基板ユニット１７を介してスピンドルモータ１３、ＶＣＭ１６、および磁気ヘッド３３の動作を制御する。

図１に示すように、磁気ディスク１２は、スピンドルモータ１３のハブに互いに同軸的に嵌合されているとともにハブの上端にねじ止めされたクランプばね１５によりクランプされ、ハブに固定されている。磁気ディスク１２は、駆動モータとしてのスピンドルモータ１３により所定の速度で矢印Ｂ方向に回転される。

ヘッドアクチュエータ１４は、ベース１０ａの底壁上に固定された軸受部２４と、軸受部２４から延出した複数のアーム２７と、を備えている。これらのアーム２７は、磁気ディスク１２の表面と平行に、かつ、互いに所定の間隔を置いて位置しているとともに、軸受部２４から同一の方向へ延出している。ヘッドアクチュエータ１４は、弾性変形可能な細長い板状のサスペンション３０を備えている。サスペンション３０は、板ばねにより構成され、その基端がスポット溶接あるいは接着によりアーム２７の先端に固定され、アームから延出している。各サスペンション３０は対応するアーム２７と一体に形成されていてもよい。各サスペンション３０の延出端に磁気ヘッド３３が支持されている。アーム２７およびサスペンション３０によりヘッドサスペンションを構成し、このヘッドサスペンションと磁気ヘッド３３とによりヘッドサスペンションアッセンブリを構成している。

図２に示すように、各磁気ヘッド３３は、ほぼ直方体形状のスライダ４２とこのスライダの流出端（トレーリング端）に設けられた記録再生用のヘッド部４４とを有している。磁気ヘッド３３は、サスペンション３０の先端部に設けられたジンバルばね４１に固定されている。各磁気ヘッド３３は、サスペンション３０の弾性により、磁気ディスク１２の表面に向かうヘッド荷重Ｌが印加されている。２本のアーム２７は所定の間隔を置いて互いに平行に位置し、これらのアームに取り付けられたサスペンション３０および磁気ヘッド３３は、磁気ディスク１２を間に挟んで互いに向かい合っている。

各磁気ヘッド３３は、サスペンション３０およびアーム２７上に固定された中継フレキシブルプリント回路基板（以下、中継ＦＰＣと称する）３５を介して後述するメインＦＰＣ３８に電気的に接続されている。

図１に示すように、基板ユニット１７は、フレキシブルプリント回路基板により形成されたＦＰＣ本体３６と、このＦＰＣ本体から延出したメインＦＰＣ３８とを有している。ＦＰＣ本体３６は、ベース１０ａの底面上に固定されている。ＦＰＣ本体３６上には、プリアンプ３７、ヘッドＩＣを含む電子部品が実装されている。メインＦＰＣ３８の延出端は、ヘッドアクチュエータ１４に接続され、各中継ＦＰＣ３５を介して磁気ヘッド３３に接続されている。

ＶＣＭ１６は、軸受部２１からアーム２７と反対方向に延出した図示しない支持フレーム、および支持フレームに支持されたボイスコイルを有している。ヘッドアクチュエータ１４をベース１０ａに組み込んだ状態において、ボイスコイルは、ベース１０ａ上に固定された一対のヨーク３４間に位置し、これらのヨークおよびヨークに固定された磁石とともにＶＣＭ１６を構成している。

磁気ディスク１２が回転した状態でＶＣＭ１６のボイスコイルに通電することにより、ヘッドアクチュエータ１４が回動し、磁気ヘッド３３は磁気ディスク１２の所望のトラック上に移動および位置決めされる。この際、磁気ヘッド３３は、磁気ディスク１２の径方向に沿って、磁気ディスクの内周縁部と外周縁部との間を移動される。

次に、磁気ディスク１２および磁気ヘッド３３の構成について詳細に説明する。図３は、磁気ヘッド３３のヘッド部４４および磁気ディスクを拡大して示す断面図である。

図１ないし図３に示すように、磁気ディスク１２は、例えば、直径約２．５インチの円板状に形成され非磁性体からなる基板１０１を有している。基板１０１の各表面には、下地層として軟磁気特性を示す材料からなる軟磁性層１０２と、その上層部に、ディスク面に対して垂直方向に磁気異方性を有する磁気記録層１０３と、その上層部に保護膜層１０４が順に積層されている。

図２および図３に示すように、磁気ヘッド３３は浮上型のヘッドとして構成され、ほぼ直方体状に形成されたスライダ４２と、スライダの流出端（トレーリング）側の端部に形成されたヘッド部４４とを有している。スライダ４２は、例えば、アルミナとチタンカーバイドの焼結体（アルチック）で形成され、ヘッド部４４は薄膜を積層することにより形成されている。

スライダ４２は、磁気ディスク１２の表面に対向する矩形状のディスク対向面（空気支持面（ＡＢＳ））４３を有している。スライダ４２は、磁気ディスク１２の回転によってディスク表面とディスク対向面４３との間に生じる空気流Ｃにより浮上する。空気流Ｃの方向は、磁気ディスク１２の回転方向Ｂと一致している。スライダ４２は、磁気ディスク１２表面に対し、ディスク対向面４３の長手方向が空気流Ｃの方向とほぼ一致するように配置されている。

スライダ４２は、空気流Ｃの流入側に位置するリーディング端４２ａおよび空気流Ｃの流出側に位置するトレーリング端４２ｂを有している。スライダ４２のディスク対向面４３には、図示しないリーディングステップ、トレーリングステップ、サイドステップ、負圧キャビティ等が形成されている。

図３に示すように、ヘッド部４４は、スライダ４２のトレーリング端４２ｂに薄膜プロセスで形成された再生ヘッド５４および記録ヘッド５８を有し、分離型の磁気ヘッドとして形成されている。

再生ヘッド５４は、磁気抵抗効果を示す磁性膜５５と、この磁性膜のトレーリング側およびリーディング側に磁性膜５５を挟むように配置されたシールド膜５６、５７と、で構成されている。これら磁性膜５５、シールド膜５６、５７の下端は、スライダ４２のディスク対向面４３に露出している。

記録ヘッド５８は、再生ヘッド５４に対して、スライダ４２のトレーリング端４２ｂ側に設けられている。図４は、記録ヘッド５８および磁気ディスク１２を模式的に示す斜視図、図５は、記録ヘッド部分の主磁極先端部およびライトシールド磁極先端部を拡大して示す断面図、図６は、記録ヘッドのＡＢＳ側端部をスライダのリーディング端側から見た側面図、図７は、記録ヘッド部分をＡＢＳ側から見た平面図である。

図３および図４に示すように、記録ヘッド５８は、磁気ディスク１２の表面に対して（記録層に対して）垂直方向の記録磁界を発生させる高透磁率、高飽和磁束密度を有する軟磁性材料からなる主磁極６０と、主磁極６０のトレーリング側にライトギャップＷＧを置いて配置され、主磁極直下の軟磁性層１０２を介して効率的に磁路を閉じるために設けられた軟磁性材料からなるライトシールド磁極（トレーリングシールド磁極）６２と、主磁極６０の上部をライトシールド磁極６２に物理的に接合する接合部６７と、主磁極６０の先端部６０ａとライトシールド磁極６２との間で、かつ、ＡＢＳに面する部分に配置された非磁性導電体からなる高周波発振素子、例えば、スピントルク発振子６５と、磁気ディスク１２に信号を書き込む際、主磁極６０に磁束を流すために主磁極６０およびライトシールド磁極６２を含む磁路に巻きつくように配置された記録コイル７０と、を有している。記録コイル７０に供給する電流は、ＨＤＤの制御回路基板（制御部）２５によって制御される。

主磁極６０とライトシールド磁極６２の接合部６７には電気的な絶縁層６１が配置され、主磁極とライトシールド磁極とは互いに絶縁されている。主磁極６０およびライトシールド磁極６２はそれぞれ駆動端子電極６３に電気的に接続されている。これらの駆動電子電極６３から主磁極６０、スピントルク発振子６５、ライトシールド磁極６２を通して電流を直列に通電できるように電流回路が構成されている。これによりライトシールド磁極６２および主磁極６０はスピントルク発振子６５に垂直通電する電極としても働くことになる。

記録コイル７０は、例えば、主磁極６０とライトシールド磁極６２との間で、接合部６７の回りに巻付けられている。図しない電源から記録コイル７０に供給する電流は、ＨＤＤの制御回路基板（制御部）２５によって制御される。磁気ディスク１２に信号を書き込む際、電源から記録コイル７０に所定の電流が供給され、主磁極６０に磁束を流し磁界を発生させる。

図３、図４、図６、図７に示すように、主磁極６０は、磁気ディスク１２の表面に対してほぼ垂直に延びている。主磁極６０の磁気ディスク１２側の先端部６０ａは、ディスク面に向かって先細に絞り込まれ、他の部分に対して幅の狭い柱状に形成されている。主磁極６０の先端面は、スライダ４２のディスク対向面４３に露出している。主磁極６０の先端部６０ａの幅は、磁気ディスク１２におけるトラックの幅にほぼ対応している。

ライトシールド磁極６２は、ほぼＬ字形状に形成され、その先端部６２ａは、細長い矩形状に形成されている。ライトシールド磁極６２の先端面は、スライダ４２のＡＢＳ４３に露出している。先端部６２ａのリーディング側端面６２ｃは、磁気ディスク１２のトラックの幅方向に沿って延びている。このリーディング側端面６２ｃは、主磁極６０のトレーリング側端面６０ｂとライトギャップＷＧを置いて平行に対向している。

図３および図５に示すように、スピントルク発振子６５は、主磁極６０の先端部６０ａのトレーリング側端面６０ｂと、ライトシールド磁極６２の先端部６２ａのリーディング側端面６２ｂとの間に配置され、ライトギャップＷＧ内に位置している。

スピントルク発振子６５は、下地層、スピン注入層（第２磁性体層）６５ａ、中間層、発振層（第１磁性体層）６５ｂ、キャップ層を、主磁極６０側からトレーリングシールド６２側に順に積層して構成されている。

主磁極６０の先端部６０ａのトレーリング側端面６０ｂは、磁気ディスク１２の記録層に垂直な方向に対し、磁気ディスク１２から離れるに従ってヘッドリーディング側へ傾斜して延びている。すなわち、トレーリング側端面６０ｂは、ＡＢＳ４３から高さ方向奥側（ＡＢＳから離れる方向）に向かうに従い、ＡＢＳ４３に垂直な方向に対してヘッドリーディング側に角度θだけ傾斜している。

スピントルク発振子６５は、トレーリング側端面６０ｂに対向し、このトレーリング側端面６０ｂと平行に配置されている。これにより、スピントルク発振子６５のスピン注入層６５ａ、発振層６５ｂおよび他の層は、ＡＢＳ４３に垂直な方向に対してヘッドリーディング側に角度θだけ傾斜している。なお、スピントルク発振子６５のＡＢＳ側の端は、ＡＢＳ４３と平行かつ面一に形成されている。

ライトシールド磁極６２はスピントルク発振子６５に対向するリーディング側端面６２ｂを有し、このリーディング側端面６２ｂは、磁気ディスク１２の記録層に垂直な方向に対し、磁気ディスク１２から離れるに従ってヘッドリーディング側へ傾斜して延びている。すなわち、トレーリング側端面６０ｂは、ＡＢＳ４３から高さ方向奥側（ＡＢＳから離れる方向）に向かうに従い、ＡＢＳ４３に垂直な方向に対してヘッドリーディング側に角度（傾き角）θだけ傾斜している。これにより、リーディング側端面６２ｂは、スピントルク発振子６５とほぼ平行に位置している。

また、本実施形態において、主磁極６０の先端部６０ａは、トレーリング側端面６０ｂの反対側に位置するリーディング側端面６０ｃを有し、このリーディング側端面６０ｃは、磁気ディスク１２の記録層に垂直な方向に対し、磁気ディスク１２から離れるに従ってヘッドリーディング側へ傾斜している。すなわち、リーディング側端面６０ｃは、ＡＢＳ４３から高さ方向奥側（ＡＢＳから離れる方向）に向かうに従い、ＡＢＳ４３に垂直な方向に対してヘッドリーディング側に傾斜している。

磁気ディスク装置に磁気ヘッドを搭載する場合、スキュー角によって、隣接トラックの記録を劣化させるフリンジ磁界を低減するため、主磁極６０のＡＢＳ４３におけるヘッド走行方向の長さであるポール長は、５０から１００ｎｍに設計されている。また、磁気ディスク１２における記録層の記録状態を良好にする磁界強度を確保するためには、主磁極６０奥側（高さ方向でＡＢＳから離れる側）での厚さを増大させることが好ましい。そのため、主磁極６０は、主磁極の厚さをＡＢＳ４３に向かって絞り込むように、ヘッドリーディング側端面６０ｃにテーパーを設けた構成とすることが好ましい。

図３に示すように、再生ヘッド５４および記録ヘッド５８は、スライダ４２のＡＢＳ４３に露出する部分を除いて、非磁性の保護絶縁膜８１により覆われている。保護絶縁膜８１は、ヘッド部４４の外形を構成している。

上記のように構成された記録ヘッド５８の製造プロセスについて説明する。図８および図９は、製造プロセスを示すフローチャート、図１０、図１１、図１２は、各工程におけるＡＢＳ側から見た記録ヘッドの平面図、記録ヘッドの縦断面図、記録ヘッドをトレーリング側から見た正面図を示している。

図８および図１０（ａ−１）、（ｂ−１）、（ｃ−１）に示すように、下地としてのアルミナ膜２０１を成膜し、その上にレジストパターン２２０を形成する。この状態で、斜めからＩＢＥ(イオン・ビーム・エッチング)によりアルミナ膜２０１をエッチングし、主磁極のリーディング側先端部の形状を形成する（ステップ１）。

図１０（ａ−２）、（ｂ−２）、（ｃ−２）に示すように、レジストパターン２２０を除去した後、アルミナ膜２０１上にスパッタ層２０３を成膜する。更に、スパッタ層２０３上をアルミナ膜２０１で埋め戻し、ＣＭＰ（化学機械研磨）により平坦化し、その上に、メタルマスク２０２を成膜する（ステップ２）。

図１０（ａ−３）、（ｂ−３）、（ｃ−３）に示すように、メタルマスク２０２上に、主磁極６０のリーディング側先端部の形状に対応する形状のレジストパターン２０４を成膜する（ステップ３）。図１０（ａ−４）、（ｂ−４）、（ｃ−４）に示すように、ＩＢＥにより、レジストパターン２０４を通してメタルマスク２０２をエッチングした後（ステップ４）、図１０（ａ−５）、（ｂ−５）、（ｃ−５）に示すように、レジストパターン２０４を除去する(ステップ５)。

図１１（ａ−６）、（ｂ−６）、（ｃ−６）に示すように、ＩＢＥにより、メタルマスク２０２を通してアルミナ膜２０１をエッチングして主磁極６０のリーディング側先端部の形状を形成する(ステップ６)。続いて、図１１（ａ−７）、（ｂ−７）、（ｃ−７）に示すように、エッチングにより形成されたリーディング側先端部領域およびメタルマスク２０２上に磁性体層２０５をメッキにより形成した後（ステップ７）、図１１（ａ−８）、（ｂ−８）、（ｃ−８）に示すように、ＣＭＰにより磁性体層２０５をリーディング側先端部領域まで平坦化する（ステップ８）。

図１１（ａ−９）、（ｂ−９）、（ｃ−９）に示すように、磁性体層２０５のＡＢＳ側端部上にレジストパターン２０６を形成する。この状態で、斜めからＩＢＥにより磁性体層２０５およびメタルマスク２０２をエッチングし、主磁極６０のトレーリング側先端部の形状を形成する（ステップ９）。これにより、傾斜したトレーリング側端面およびリーディング側端面を有する主磁極６０を形成する。

図１１（ａ−１０）、（ｂ−１０）、（ｃ−１０）に示すように、スパッタにより、スピントルク発振子を構成するスピン注入層、発振層、中間層、ギャップ層を含む成膜２０７を磁性体層２０５上およびメタルマスク２０２上に順次、形成する。

図１２（ａ−１１）、（ｂ−１１）、（ｃ−１１）に示すように、主磁極６０のトレーリング側先端部の形状に対応する形状のレジストパターン２０８を成膜２０７上に形成する（ステップ１１）。次いで、図９および図１２（ａ−１２）、（ｂ−１２）、（ｃ−１２）に示すように、ＩＢＥにより、レジストパターン２０８側から成膜２０７をエッチングし、成膜２０７を主磁極６０のトレーリング側先端部に対応する形状に形成する（ステップ１２）。

図１２（ａ−１３）、（ｂ−１３）、（ｃ−１３）に示すように、レジストパターン２０８およびアルミナ膜２０１を覆う酸化シリコン膜２０９を形成した後（ステップ１３）、図１２（ａ−１４）、（ｂ−１４）、（ｃ−１４）に示すように、リフトオフにより、レジストパターン２０８およびその上に形成された酸化シリコン膜２０９の部分を除去する（ステップ１４）。

次いで、図１２（ａ−１５）、（ｂ−１５）、（ｃ−１５）に示すように、成膜２０７上において、スピントルク発振子の形成位置に対応する部分に、スピントルク発振の高さに相当する幅のレジストパターン２１０を形成する（ステップ１５）。図１２（ａ−１６）、（ｂ−１６）、（ｃ−１６）に示すように、ＩＢＥにより、レジストパターン２１０を通して成膜２０７および酸化シリコン膜２０９をエッチングし、主磁極の上部に重なる部分を除去する（ステップ１６）。

図１３（ａ−１７）、（ｂ−１７）、（ｃ−１７）に示すように、レジストパターン２１０にて非磁性体層２１１を埋め戻し（ステップ１７）、次いで、図１３（ａ−１８）、（ｂ−１８）、（ｃ−１８）に示すように、レジストパターン２１０およびこのレジストパターン２１０上に位置する非磁性体層２１１の部分をリフトオフする（ステップ１８）。

その後、図１３（ａ−１９）、（ｂ−１９）、（ｃ−１９）に示すように、メッキフレームとなるレジストパターン２１２を形成し、更に、成膜２０７および非磁性体層２１１にライトシールドを構成する磁性体２１３をメッキにより形成する（ステップ１９）。その後、ＡＢＳまで、主磁極、スピントルク発振子、およびライトシールド磁極をＣＭＰにて平坦化する。以上の工程により、前述した構成を有する主磁極６０、スピントルク発振子６５、ライトシールド磁極６２が形成される。

以上のように構成されたＨＤＤによれば、ＶＣＭ１６を駆動することにより、ヘッドアクチュエータ１４が回動し、磁気ヘッド３３は、磁気ディスク１２の所望のトラック上に移動され、位置決めされる。また、磁気ヘッド３３は、磁気ディスク１２の回転によってディスク表面とＡＢＳ４３との間に生じる空気流Ｃにより浮上する。ＨＤＤの動作時、スライダ４２のＡＢＳ４３はディスク表面に対し隙間を保って対向している。図２に示すように、磁気ヘッド３３は、ヘッド部４４の記録ヘッド５８部分が最も磁気ディスク１２表面に接近した傾斜姿勢をとって浮上する。この状態で、磁気ディスク１２に対して、再生ヘッド５４により記録情報の読み出しを行うとともに、記録ヘッド５８により情報の書き込みを行う。

情報の書き込みにおいては、記録コイル７０により主磁極６０を励磁し、この主磁極から直下の磁気ディスク１２の記録層１０３に垂直方向の記録磁界を印加することにより、所望のトラック幅にて情報を記録する。

この際、図５に示すように、スピントルク発振子６５の膜面に対して垂直に、主磁極６０とライトシールド磁極６２との間に通電し、かつ、記録コイル７０に通電すると、主磁極６０とライトシールド磁極６２との間に発生するギャップ磁界により、スピントルク発振子６５内の磁化が一様に磁化回転し始めることで、スピントルク発振子６５より漏れ磁界として高周波磁界ｃ−Ｈａｃが発生する。スピントルク発振子６５に発生する回転磁化の向きにより、主磁極６０の対向面（トレーリング側端面６０ｂ）とライトシールド磁極６２の対向面（リーディング側端面６２ｂ）とに発生する高周波磁界ｃ−Ｈａｃの回転方向は互いに逆回転になっている。これらの高周波磁界ｃ−Ｈａｃの回転方向により、主磁極６０側に発生する高周波磁界ｃ−Ｈａｃ（Ｐｏｓ）は主磁極６０からの磁界による記録層１０３の磁化反転状態を良好にするように働くが、他方で、ライトシールド磁極６２側に発生する高周波磁界ｃ−Ｈａｃ（Ｎｅｇ）はライトシールド磁極直下への戻り磁界によって記録層１０３の情報を劣化させるＲＦＰＥ(Return Field Partial Erasure)を増大するように働いてしまう。

この高周波磁界ｃ−Ｈａｃの強度について、スピントルク発振子６５の傾き角θ依存性を計算により調べた結果を図１４に示す。ここで、主磁極６０のトレーリング側端面６０ｂおよびスピントルク発振子６５の傾き角θ＞０は、ＡＢＳ４３から高さ方向奥側（ＡＢＳから離れる方向）に向うに従い、ヘッドリーディング側へ傾斜させた配置であり、傾き角θ＜０は、ＡＢＳ４３から高さ方向奥側に向うに従い、ヘッドトレーリング側へ傾斜させた配置である。

スピントルク発振子６５から生じる高周波磁界ｃ−Ｈａｃの各成分の強度を計算し、図１４にプロットしている。図１４において、点線で示した特性線は、ＡＢＳ４３から記録層１０３に向かって１０ｎｍの位置（記録層中間部に相当）における高周波磁界ｃ−Ｈａｃ（Ｐｏｓ）の強度を示し、実線の特性線は、高周波磁界ｃ−Ｈａｃ（Ｎｅｇ）の強度を示し、それぞれ傾き角θに応じた強度を示している。これらの特性線から分かるように、スピントルク発振子６５が傾斜した側の高周波磁界ｃ−Ｈａｃが増加する。スピントルク発振子６５をヘッドリーディング側に傾斜させることで、高周波磁界ｃ−Ｈａｃ（Ｐｏｓ）を増大させ、高周波磁界ｃ−Ｈａｃ（Ｎｅｇ）を減少させることが可能となることが分かる。本実施形態において、主磁極６０のトレーリング側端面６０ｂおよびスピントルク発振子６５の傾き角θは、０＜θ≦４５°に設定され、好ましくは、１５°＜θ＜４０°程度に設定される。

以上のように、スピントルク発振子６５から発生する高周波磁界ｃ−Ｈａｃ（Ｐｏｓ）を増大させ、ｃ−Ｈａｃ（Ｎｅｇ）を減少させることにより、記録媒体に記録される信号品質が向上し、高記録密度化が可能となる。

図１５は、記録ヘッドによるビット誤り率（ビットエラーレート）と、主磁極のトレーリングシールド側端面の傾き角θとの関係を示している。縦軸のΔビット誤り率は、スピントルク発振子を搭載しない記録ヘッドを用いた場合のビット誤り率と、スピントルク発振子を搭載した記録ヘッドを用いた場合のビット誤り率と、の差分である。傾き角θ＝０°の場合、ＰＲＦＰＥアシストにより、スピントルク発振子を搭載しない場合のビット誤り率に対して−０．５桁程度の改善しか見られないが、傾き角θを増大させることで、ＰＲＦＰＥアシストの寄与が減り、すなわち、高周波磁界ｃ−Ｈａｃ（Ｎｅｇ）が減少し、傾き角θ＝２０〜４０°では、ビットエラー率が−２桁程改善していることがわかる。

スピントルク発振子６５を良好に発振させるためには、ギャップ磁界が７８００（Ｏｅ）程度で必要であることが計算から分かっている。ギャップ磁界強度を確保するためには、主磁極６０をスピントルク発振子７５と平行にする必要がある。上述した第１の実施形態では、傾き角θ＞４５°では、発振に必要なギャップ磁界を下回ることで、スピントルク発振子が発振しなくなり、ビットエラー率の改善が見られないことがわかる。

上記の結果から、主磁極のトレーリング側端面およびスピントルク発振子の傾き角θは、０°＜θ≦４５°の範囲であれば、ギャップ磁界を維持しつつ、高周波磁界ｃ−Ｈａｃ（Ｐｏｓ）を増大させ、高周波磁界ｃ−Ｈａｃ（Ｎｅｇ）を減少させることが可能となり、記録層１０３の情報劣化を抑制し、記録媒体に記録される信号品質が向上し、高記録密度化が可能となることが分かる。

図１６は、比較例に係るスピントルク発振子の傾き角θ＝０°の磁気ヘッドと、本実施形態に係る磁気ヘッドとの性能を比較して示している。なお、本実施形態の磁気ヘッドにおいて、スピントルク発振子６５と対向する主磁極６０のトレーリング側端面６０ｂと膜成長面（ＡＢＳ４３に垂直な方向）とのなす角度（傾き角θ）は２５°、主磁極６０とライトシールド磁極６２との間のライトギャップ長は４０ｎｍ、ＡＢＳ４３における主磁極のトラック幅方向の長さは５０ｎｍとし、記録を行う記録層１０３の異方性磁界Ｈｋは１６ｋＯｅとした。

スピントルク発振子６５を発振周波数２４ＧＨｚ、２８ＧＨｚ、３６ＧＨｚで発振させ、磁気ディスクに書き込んだ場合の記録パターンの信号出力をそれぞれ計算した。スピントルク発振子６５を発振させない場合の信号出力に対して、スピントルク発振子３１を発振させた場合の信号出力の増大分（％）をアシストゲインとした。比較例に係る磁気ヘッドにおけるアシストゲインと本実施形態におけるアシストゲイン磁気ヘッドのアシストゲインとの差分をアシスト改善度（％）と定義し、複数の発振周波数に対してアシスト改善度をプロットした。この領域の発振周波数で見ると、本実施形態に係る磁気ヘッドによれば、比較例に係る磁気ヘッドに対して、１０〜１５％のアシストゲインの改善が見られる。

以上のことから、本実施形態に係るＨＤＤの記録ヘッドによれば、高周波磁界ｃ−Ｈａｃ（Ｎｅｇ）の低減により記録信号の劣化を抑制することができ、記録媒体に記録される信号品質が向上し、高記録密度化を可能とする記録ヘッドおよびこれを備えたＨＤＤが得られる。

次に、他の実施形態に係るＨＤＤおよび磁気ヘッドについて説明する。なお、以下に述べる種々の実施形態において、前述した第１の実施形態と同一の部分には、第１の実施形態と同一の参照符号を付して、その詳細な説明を省略する。

（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態に係るＨＤＤの記録ヘッドについて説明する。
図１７は、第２の実施形態に係るＨＤＤの磁気ヘッドのヘッド部、特に、記録ヘッドを拡大して示す断面図、図１８は、記録ヘッドを模式的に示す斜視図、図１９は、記録ヘッドのＡＢＳ側端部をスライダのリーディング端側から見た側面図、図２０は、記録ヘッドをＡＢＳ側から見た平面図である。

第２の実施形態に係るＨＤＤの記録ヘッド５８は、主に、リーディングシールド磁極を更に備えている点で構成が第１の実施形態と相違し、他の構成は、第１の実施形態に係る記録ヘッドと同一である。第１の実施形態と同一の部分には、第１の実施形態と同一の参照符号を付して、その詳細な説明を省略する。

図１７ないし図２０に示すように、第２の実施形態によれば、ＨＤＤの記録ヘッド５８は、磁気ディスク１２の表面に対して（記録層に対して）垂直方向の記録磁界を発生させる高透磁率、高飽和磁束密度を有する軟磁性材料からなる主磁極６０と、主磁極６０のトレーリング側にライトギャップＷＧを置いて配置され、主磁極直下の軟磁性層１０２を介して効率的に磁路を閉じるために設けられた軟磁性材料からなるライトシールド磁極（トレーリングシールド磁極）６２と、主磁極６０の上部をライトシールド磁極６２に接合する接合部６７と、主磁極６０の先端部６０ａとライトシールド磁極６２との間で、かつ、ＡＢＳに面する部分に配置された非磁性導電体からなる高周波発振素子、例えば、スピントルク発振子６５と、磁気ディスク１２に信号を書き込む際、主磁極６０に磁束を流すために主磁極６０およびライトシールド磁極６２を含む磁路に巻きつくように配置された記録コイル７０と、を有している。記録ヘッド５８は、更に、主磁極６０のリーディング側に配置され、主磁極直下の軟磁性層を介して効率的に磁路を閉じるために設けられたリーディングシールド磁極７２と、主磁極６０に磁束を流すために主磁極及びリーディングシールド磁極を含む磁路に巻きつくように配置された記録コイル７１と、を有している。

主磁極６０の先端部とライトシールド磁極６２の先端部との間にスピントルク発振子６５が配置され、これらは、前述した第１の実施形態と同様に構成されている。

リーディングシールド磁極７２は、ほぼＬ字形状に形成され、その先端部７２ａは、細長い矩形状に形成されている。リーディングシールド磁極７２の先端面は、スライダ４２のＡＢＳ４３に露出している。先端部７２ａのトレーリング側端面７２ｂは、主磁極６０のリーディング側端面６０ｃと隙間をおいて対向している。

主磁極６０とライトシールド磁極６２との接合部６７、および主磁極６０とリーディングシールド磁極７２との接合部７３には、それぞれ電気的な絶縁層６１、７５が配置され、互いに電気的に絶縁されている。主磁極６０とライトシールド磁極６２部分はそれぞれ駆動端子電極６３に電気的に接続されている。

上記のように構成された第２の実施形態においても、高周波磁界ｃ−Ｈａｃ（Ｎｅｇ）の低減により記録信号の劣化を抑制することができ、記録媒体に記録される信号品質が向上し、高記録密度化を可能とする記録ヘッドおよびこれを備えたＨＤＤが得られる。

（第３の実施形態）
次に、第３の実施形態に係るＨＤＤの記録ヘッドについて説明する。
図２１は、第３の実施形態に係るＨＤＤの磁気ヘッドのヘッド部、特に、記録ヘッドを拡大して示す断面図、図２２は、記録ヘッドを模式的に示す斜視図、図２３は、記録ヘッドのＡＢＳ側端部をスライダのリーディング端側から見た側面図、図２４は、記録ヘッドをＡＢＳ側から見た平面図である。

第３の実施形態に係るＨＤＤの記録ヘッド５８は、主に、サイドシールドを備えている点で第１の実施形態と構成が相違し、他の構成は、第１の実施形態に係る記録ヘッドと同一である。第１の実施形態と同一の部分には、第１の実施形態と同一の参照符号を付して、その詳細な説明を省略する。

図２１ないし図２４に示すように、第２の実施形態によれば、ＨＤＤの記録ヘッド５８は、磁気ディスク１２の表面に対して（記録層に対して）垂直方向の記録磁界を発生させる高透磁率、高飽和磁束密度を有する軟磁性材料からなる主磁極６０と、主磁極６０のトレーリング側にライトギャップＷＧを置いて配置され、主磁極直下の軟磁性層１０２を介して効率的に磁路を閉じるために設けられた軟磁性材料からなるライトシールド磁極（トレーリングシールド磁極）６２と、主磁極６０の上部をライトシールド磁極６２に接合する接合部６７と、主磁極６０の先端部６０ａとライトシールド磁極６２との間で、かつ、ＡＢＳに面する部分に配置された非磁性導電体からなる高周波発振素子、例えば、スピントルク発振子６５と、磁気ディスク１２に信号を書き込む際、主磁極６０に磁束を流すために主磁極６０およびライトシールド磁極６２を含む磁路に巻きつくように配置された記録コイル７０と、を有している。記録ヘッド５８は、更に、主磁極６０のトラック幅方向両側に主磁極６０とＡＢＳ４３上では磁気的に分断されて配置された軟磁性材料からなる一対のサイドシールド７４を有している。

一対のサイドシールド７４は、高透磁率材料により、ライトシールド磁極６２の先端部６２ａと一体に形成され、先端部６２ａのリーディング側端面６２ｃからスライダ４２のリーディング端側に向かって突出している。各サイドシールド７４は、ライトシールド磁極６２のリーディング側端面から、主磁極６０のリーディング側端面６０ｃを越えるレベル位置まで延びている。

主磁極６０の先端部とライトシールド磁極６２の先端部との間にスピントルク発振子６５が配置され、これらは、前述した第１の実施形態と同様に構成されている。

上記のように構成された第３の実施形態においても、高周波磁界ｃ−Ｈａｃ（Ｎｅｇ）の低減により記録信号の劣化を抑制することができ、記録媒体に記録される信号品質が向上し、高記録密度化を可能とする記録ヘッドおよびこれを備えたＨＤＤが得られる。

（第４の実施形態）
次に、第４の実施形態に係るＨＤＤの記録ヘッドについて説明する。
図２５は、第４の実施形態に係るＨＤＤの磁気ヘッドのヘッド部、特に、記録ヘッドを拡大して示す断面図、図２６は、記録ヘッドを模式的に示す斜視図、図２７は、記録ヘッドのＡＢＳ側端部をスライダのリーディング端側から見た側面図、図２８は、記録ヘッドをＡＢＳ側から見た平面図である。

第４の実施形態に係るＨＤＤの記録ヘッド５８は、主に、サイドシールドを備えている点で第１の実施形態と構成が相違し、他の構成は、第１の実施形態に係る記録ヘッドと同一である。第１の実施形態と同一の部分には、第１の実施形態と同一の参照符号を付して、その詳細な説明を省略する。

図２５ないし図２８に示すように、第２の実施形態によれば、ＨＤＤの記録ヘッド５８は、磁気ディスク１２の表面に対して（記録層に対して）垂直方向の記録磁界を発生させる高透磁率、高飽和磁束密度を有する軟磁性材料からなる主磁極６０と、主磁極６０のトレーリング側にライトギャップＷＧを置いて配置され、主磁極直下の軟磁性層１０２を介して効率的に磁路を閉じるために設けられた軟磁性材料からなるライトシールド磁極（トレーリングシールド磁極）６２と、主磁極６０の上部をライトシールド磁極６２に接合する連結部６７と、主磁極６０の先端部６０ａとライトシールド磁極６２との間で、かつ、ＡＢＳに面する部分に配置された非磁性導電体からなる高周波発振素子、例えば、スピントルク発振子６５と、磁気ディスク１２に信号を書き込む際、主磁極６０に磁束を流すために主磁極６０およびライトシールド磁極６２を含む磁路に巻きつくように配置された記録コイル７０と、を有している。記録ヘッド５８は、更に、主磁極６０のリーディング側に配置され、主磁極直下の軟磁性層を介して効率的に磁路を閉じるために設けられたリーディングシールド磁極７２と、主磁極６０に磁束を流すために主磁極及びリーディングシールド磁極を含む磁路に巻きつくように配置された記録コイル７１と、主磁極６０のトラック幅方向両側に主磁極６０とＡＢＳ４３上では磁気的に分断されて配置された軟磁性材料からなる一対のサイドシールド７４と、を有している。

一対のサイドシールド７４は、高透磁率材料により、ライトシールド磁極６２の先端部６２ａと一体に形成され、先端部６２ａのリーディング側端面６２ｃからスライダ４２のリーディング端側に向かって突出している。各サイドシールド７４は、ライトシールド磁極６２のリーディング側端面から、主磁極６０のリーディング側端面６０ｃを越えるレベル位置まで延びている。

リーディングシールド磁極７２は、ほぼＬ字形状に形成され、その先端部７２ａは、細長い矩形状に形成されている。リーディングシールド磁極７２の先端面は、スライダ４２のＡＢＳ４３に露出している。先端部７２ａのトレーリング側端面７２ｂは、主磁極６０のリーディング側端面６０ｃと隙間をおいて対向し、更に、一対のサイドシールド７４の先端面に接合している。本実施形態では、リーディングシールド磁極７２は、軟磁性材料により、ライトシールド磁極６２およびサイドシールド７４と一体に形成されている。

主磁極６０とライトシールド磁極６２との接合部６７、および主磁極６０とリーディングシールド磁極７２との接合部７３には、それぞれ電気的な絶縁層６１、７５が配置され、互いに電気的に絶縁されている。主磁極６０とライトシールド磁極６２部分はそれぞれ駆動端子電極６３に電気的に接続されている。

主磁極６０の先端部とライトシールド磁極６２の先端部との間にスピントルク発振子６５が配置され、これらは、前述した第１の実施形態と同様に構成されている。

上記のように構成された第４の実施形態においても、高周波磁界ｃ−Ｈａｃ（Ｎｅｇ）の低減により記録信号の劣化を抑制することができ、記録媒体に記録される信号品質が向上し、高記録密度化を可能とする記録ヘッドおよびこれを備えたＨＤＤが得られる。

本発明は上述した実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。

例えば、ヘッド部を構成する要素の材料、形状、大きさ等は、必要に応じて変更可能である。また、磁気ディスク装置において、磁気ディスクおよび磁気ヘッドの数は、必要に応じて増加可能であり、磁気ディスクのサイズも種々選択可能である。

１０…筺体、１１…ベース、１２…磁気ディスク、１３…スピンドルモータ、
１４…ヘッドアクチュエータ、２５…制御回路基板、４２…スライダ、
４３…ディスク対向面（ＡＢＳ）、４４…ヘッド部、５４…再生ヘッド、
５８…記録ヘッド、６０…主磁極、６０ａ…先端部、６０ｂ…トレーリング側端面、
６０ｃ…リーディング側端面、６２…ライトシールド磁極、６２ａ…先端部、
６２ｂ…リーディング側端面、６５…スピントルク発振子、６５ａ…スピン注入層、
６５ｂ…発振層、７０、７１…記録コイル、７２…リーディングシールド磁極、
７４…サイドシールド

Claims (8)

1. 記録媒体の記録層に対して垂直方向の記録磁界を発生する主磁極と、
   前記主磁極のトレーリング側にライトギャップを置いて対向するライトシールド磁極と、
   前記主磁極とライトシールド磁極が形成する磁気回路に磁束を励起する記録コイルと、
   前記主磁極の前記記録媒体側の先端部と前記ライトシールド磁極との間に設けられ高周波磁界を発生するスピントルク発振子と、を備え、
   前記主磁極の先端部は、前記スピントルク発振子と対向するトレーリング側端面を備え、このトレーリング側端面は、前記記録媒体の記録層に垂直な方向に対し、前記記録媒体から離れるに従ってヘッドリーディング側へ傾斜して延び、前記スピントルク発振子は、前記トレーリング側端面とほぼ平行に傾斜して配置されている記録ヘッド。
2. 前記ライトシールド磁極は、前記スピントルク発振子に対向するリーディング側端面を有し、このリーディング側端面は、前記記録媒体の記録層に垂直な方向に対して、前記記録媒体から離れるに従いヘッドリーディング側へ傾斜して延び、前記スピントルク発振子とほぼ平行に位置している請求項１に記載の記録ヘッド。
3. 前記主磁極の先端部は、前記トレーリング側端面の反対側に位置するリーディング側端面を有し、このリーディング側端面は、前記記録媒体の記録層に垂直な方向に対してヘッドリーディング側に傾斜している請求項１又は２に記載の記録ヘッド。
4. 前記記録媒体から離れた位置で前記主磁極とライトシールド磁極とを物理的に接合する接合部を備え、前記接合部は、前記主磁極とライトシールド磁極とを電気的に絶縁する絶縁層を有する請求項１ないし３のいずれか１項に記載の記録ヘッド。
5. 前記主磁極のトラック幅方向両側に主磁極とは磁気的に離間して配置されたサイドシールドを備えている請求項１ないし４のいずれか１項に記載の記録ヘッド。
6. 前記主磁極のリーディング側にギャップを置いて配置され、前記主磁極とともに磁気回路を形成する軟磁性材料で形成されたリーディングシールド磁極を備えている請求項１ないし４のいずれか１項に記載の記録ヘッド。
7. 前記主磁極のリーディング側にギャップを置いて配置され、前記主磁極とともに磁気回路を形成するリーディングシールド磁極を備え、前記リーディングシールド磁極は軟磁性材料で前記サイドシールドと一体に形成されている請求項５に記載の記録ヘッド。
8. 媒体面に対して垂直方向に磁気異方性を有する磁気記録層を有する記録媒体と、
   前記記録媒体を回転する駆動部と、
   前記記録媒体に対し情報処理を行う請求項１ないし７のいずれか１項に記載の記録ヘッドを有する磁気ヘッドと、
   を備えるディスク装置。

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