CN104103281B - 具有细长形状的附加极的磁记录换能器 - Google Patents
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- CN104103281B CN104103281B CN201410226229.7A CN201410226229A CN104103281B CN 104103281 B CN104103281 B CN 104103281B CN 201410226229 A CN201410226229 A CN 201410226229A CN 104103281 B CN104103281 B CN 104103281B
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Abstract
一种具有空气支承面(ABS)的磁换能器。该磁换能器具有主极、至少一个用于激励主极的线圈和至少一个附加极。主极具有磁轭和具有面向ABS的表面的极尖。所述至少一个附加极在下行轨道方向上相邻于主极。该附加极相对于ABS凹陷，具有面向ABS的前表面，具有至少一个侧表面，并在前表面和至少一个侧表面之间具有至少一个张角，从ABS到至少一个侧表面测量所述至少一个张角，并且该张角至少是50度且小于90度。
Description
相关申请的交叉引用
本申请要求于2013年4月12日提交的美国临时专利申请61/811255(Atty.DocketNo F6188.P)的优先权，其全部内容通过引用纳入于此。
背景技术
图1A和1B描述了常规磁记录磁头10的侧视面和平面图。磁记录磁头10可以是垂直磁记录(PMR)磁头。常规磁记录磁头10包括读取换能器12和写入换能器20。常规读取换能器12包括屏蔽结构14、18和传感器16。读传感器16通常为巨型磁阻(GMR)传感器或者隧道磁阻(TMR)传感器。写换能器20包括第一极或返回极22、线圈24和32、背隙26、辅助极28、主极30和屏蔽结构/返回极34。从平面图中能看到，辅助极28相对于ABS凹陷(recess)并具有张角β。辅助极28通常也是相同的。张角通常约为29度或更小。辅助极28的前表面面向ABS的表面。张角被示出从该前表面延伸。该前表面通常约为2微米宽。辅助极28的宽度通常情况下也较大。比如，通常情况下，辅助极28在横向轨道方向上延伸远至主极30。在一些情况下，在横向轨道方向上，该距离大约是11微米。尽管没有示出，主极30可以具有前缘和/或缘斜角。在这种情况下，在下行轨道方向上，主极30在ABS处最短。
尽管常规磁记录磁头10具有各种用途，但是仍具有各种缺陷。具体地，常规磁记录磁头10在较高记录密度时不能充分执行。比如，在较高记录密度如高于920Gb/in2时，由于广域磁道擦除(WATER)，因而对可靠性要求很严苛。常规磁记录磁头10不能满足这些标准。因此，需要一种提高磁记录磁头的性能的系统和方法。
附图说明
附图1A和1B描述了常规磁记录磁头的侧视面和平面图。
附图2是磁记录盘驱动器的一个示例性实施例的侧视图。
附图3是磁记录磁头的一部分的一个示例性实施例的平面图。
附图4是磁记录磁头的一部分的另一示例性实施例的平面图。
附图5是磁记录磁头的一部分的另一示例性实施例的平面图。
附图6是磁记录磁头的一部分的另一示例性实施例的平面图。
附图7是磁记录磁头的一部分的另一示例性实施例的平面图。
附图8是磁记录磁头的一部分的另一示例性实施例的平面图。
附图9A和9B描述了磁记录磁头的另一示例性实施例的侧视面和平面图。
附图10A和10B描述了磁记录磁头的另一示例性实施例的侧视面和平面图。
附图11A和11B描述了磁记录磁头的另一示例性实施例的侧视面和平面图。
附图12是制作磁记录换能器的方法的一个示例性实施例的流程图。
具体实施方式
图2描述了磁盘驱动器100的一部分的示例性实施例的侧视图。为清楚起见，图2并非按比例绘制。为简要起见，并未示出磁盘驱动器100的所有部分。此外，尽管上下文中只描述了磁盘驱动器100的特定元件，然而，也可以使用其他和/或不同的元件。举例来说，用于驱动和控制磁盘驱动器100各种部件的电路未示出。为简要起见，只示出单一元件。然而，许多一个或更多个元件和/或它们的子元件也可能使用。磁盘驱动器100可以是PMR磁盘驱动器。然而，在其它实施例中，磁盘驱动器100可以被配置用于其它类型的磁记录。
磁盘驱动器100包括媒介101和常驻在滑块上并包括读取换能器103和写换能器110的磁记录磁头102。额外的和/或不同的元件可以被包括在磁盘驱动器100内。尽管未示出，磁头102和换能器110通常附接到悬挂组件(未示出)。
读取换能器103包括屏蔽结构104和108，以及至少一个读传感器106。读传感器106可以是巨型磁阻(GMR)传感器、隧道磁阻(TMR)传感器或其他传感器。尽管此处只示出一个传感器106和两个屏蔽结构104和108，但可以使用其他数目的屏蔽结构和/或传感器(一个或更多)。
写换能器110至少包括主极120、线圈(一个或更多)114、116和一个或更多个辅助极130和132。线圈(一个或更多)114、116可以是相同螺旋线圈的部分或者可以是两个盘形线圈的部分。主极120具有极尖121和磁轭122。还示出了背隙124。写换能器110还可以包含返回极112和屏蔽结构/返回极118。屏蔽结构104和108、屏蔽结构/返回极118和返回极112由软金属组成，比如镍铁(NiFe)。主极120以及辅助极130、132可以由高饱和材料组成，包括，但不限于，钴铁(CoFe)和/或钴镍铁(CoNiFe)。
在图2所描述的实施例中，两个辅助极130和132被示出。然而，可以使用其他数目的辅助极。辅助极130和132被描述为在下行轨道方向上与主极相邻。然而，在其他实施例中，辅助极(一个或更多)130/132中的一个或两个可以与主极130分离。比如，非磁性间隔器层(图2中未示出)可以位于一个或更多个辅助极130/132与主极120之间。此外，尽管所示出的辅助极具有相同的厚度，但在其它实施例中，辅助极(一个或更多)130/132可以具有不同的厚度。
图3是磁记录磁盘驱动器100的一部分的一个示例性实施例的平面图。更具体地，显示了磁盘驱动器的磁记录磁头102的部分的一个示例性实施例。为清楚起见，图3不是按比例绘制。为简要起见，并没有示出磁记录磁头102的所有部分。此外，尽管在上下文中只描述了磁记录磁头102的特定元件，然而，也可以使用其他和/或不同的元件。举例来讲，用于驱动和控制磁记录磁头102的各种部件的电路未示出。为简要起见，只显示了单一元件。然而，可以使用许多一个或更多个元件和/或它们的子元件。磁记录磁头102可以是PMR写入器。然而，在其它实施例中，磁记录磁头102可以被配置用于其它类型的磁记录。为清楚起见，这里只显示了背隙124、主极120和辅助极130/132。另外，图3使用虚线显示主极120和背隙124。图3中示出了辅助极130/132。在一些实施例中，辅助极130如图3中所示。在其它实施例中，辅助极132如图3中所示。在其他实施例中，辅助极130和132均如图3所示。
参见图2和图3，在图3中，辅助极(一个或更多)130/132相对于ABS凹陷并具有面向ABS的表面，其位置最靠近ABS。辅助极(一个或更多)130/132还包括侧表面和背侧表面。该侧表面位于背侧表面和前端的面向ABS的表面之间。面向ABS的表面可以具有与图1B中所示的常规辅助极22的面向ABS的表面大致相同的宽度。例如，辅助极(一个或更多)130/132的前端的面向ABS的表面可以至少是主极120宽度的18％。在一些这样的实施例中，在工艺限制内，辅助极(一个或更多)130/132的面向ABS的表面的宽度是2微米。辅助极(一个或更多)130/132可以相对于ABS凹陷至少1.5微米，并且不超过3.5微米。在一些这种实施例中，辅助极(一个或更多)130/132相对于ABS凹陷至少1.7微米，并且不超过2.3微米。例如，在工艺限制内，辅助极(一个或更多)130/132凹陷2微米。在其它实施例中，辅助极(一个或更多)130/132的前表面(一个或更多)可以位于距ABS另一距离的位置。进一步地，辅助极130可以相对于ABS凹陷的距离与辅助极132从ABS凹陷的距离不同。在其它实施例中，辅助极130和132相对于ABS凹陷相同距离。
辅助极(一个或更多)130/132的侧表面与面向ABS的表面形成张角α。换句话说，张角是ABS与侧表面之间的角度，如图3所示。该张角至少是50度，并且小于90度。在一些实施例中，张角不超过64度。在一些这种实施例中，张角至少是55度并不超过59度。因为张角较大，因此大部分辅助极130/132在横向轨道方向上比常规磁记录换能器薄。换句话说，即使辅助极(一个或更多)130/132的面向ABS的表面具有和常规辅助极相同的宽度，由于张角α较大，远离ABS的辅助极(一个或更多)130/132的部分比常规辅助极窄。在图3所示的实施例中，辅助极(一个或更多)130/132的尾部具有垂直于ABS的背面(即，背侧壁)。这些背面邻近形成张角的侧壁。因而，辅助极(一个或更多)130/132的宽度可以比常规辅助极的宽度进一步减小。
在图3中示出的实施例中，辅助极(一个或更多)130/132的宽度也小于或等于主极120的宽度。举例来讲，在一些实施例中，在横向轨道方向上，辅助极(一个或更多)130/132的最大宽度不会大于主极120宽度的80％。例如，在一些实施例中，主极120的磁轭122在横向轨道方向上约为10-20微米。背隙124可以具有相似的宽度。然而，在工艺限制内，辅助极(一个或更多)130/132的最大宽度可以约为8-16微米。因而，辅助极(一个或更多)130/132的总的最大宽度可以小于主极120的总的最大宽度，并小于常规辅助极的总的最大宽度。
磁盘驱动器100可以显现改进的性能。更具体地，辅助极(一个或更多)130/132可以提高写入器102的性能。由于大的张角，在横向轨道方向上，辅助极(一个或更多)130/132越接近ABS可以越薄。进一步地，辅助极(一个或更多)130/132的总宽度可以减小。这样的实施例在图3中被示出。由于它们减小的宽度，辅助极(一个或更多)130/132可以有助于在主极120内聚集磁通量。用于主极120的磁写入场的上升时间(从零到期望场的时间)可以因此减少。另外，可以提高磁盘驱动器100/写入器102的偏离轨道(off-track)性能。辅助极(一个或更多)130/132在横向轨道方向上的细长形状可以不仅聚集磁场，而且降低了偏离轨道场(off-track field)。从而，可以增强写入器102的WATER性能。因而，促进了更高密度的磁记录。也可以容易制作辅助极(一个或更多)130/132。因此，实现了辅助极(一个或更多)130/132的优点。
图4描述了磁记录盘驱动100的一部分的另一个示例性实施例的平面图。更具体地，示出了磁记录磁头102′的一部分的一个示例性实施例。为清楚起见，附图4并非按比例绘制。为简要起见，并没有示出磁记录磁头102′的所有部分。磁记录磁头102′类似于磁记录磁头102。因而，相似的元件具有相似的附图标记。此外，磁记录磁头102′可以用于磁盘驱动器100中。
参见图2和图4，图4中的辅助极(一个或更多)130′/132′的一个或两个相对于ABS凹陷，并具有面向ABS的表面，其最靠近ABS。辅助极(一个或更多)130′/132′还包括侧表面和背侧表面。面向ABS的表面可以具有与辅助极(一个或更多)130/132的面向ABS的表面大致相同的宽度。与辅助极(一个或更多)130/132相比，辅助极(一个或更多)130′/132′可以相对于ABS进一步凹陷。辅助极(一个或更多)130′/132′的侧表面和面向ABS的表面形成张角，α。该张角至少是50度并小于90度。在一些实施例中，张角不大于64度。在一些这种实施例中，张角至少为55度并且不大于59度。由于张角较大，因此辅助极130′/132′的大部分在横向轨道方向上比常规磁记录换能器薄。辅助极(一个或更多)130′/132′的宽度以类似于辅助极(一个或更多)130/132的方式减少。在图4所示的实施例中，辅助极(一个或更多)130′/132′的宽度也小于或等于主极120的宽度。例如，在一些实施例中，在横向轨道方向上，辅助极(一个或更多)130′/132′的最大宽度不大于主极120宽度的80％。因而，辅助极(一个或更多)130′/132′总的最大宽度可以小于主极120的总的最大宽度，并小于常规辅助极的总的最大宽度。然而，与图3所示的实施例相比，图4所示的实施例中的辅助极(一个或更多)130′/132′相对ABS进一步凹陷。具体地，辅助极(一个或更多)130′/132′的前表面在背隙内。
因此磁记录磁头102′和磁盘驱动器100可以显现改进的性能。由于大的张角，在横向轨道方向上，辅助极(一个或更多)130′/132′越接近ABS可以越薄。进一步地，辅助极(一个或更多)130′/132′的总宽度可以减小。这样的实施例在图4中被示出。由于它们减小的宽度，辅助极(一个或更多)130′/132′可以有助于在主极120内聚集磁通量。可以增强写入器102′的上升时间和WATER性能。因而，促进了更高密度的磁记录。也可以容易地制作辅助极(一个或更多)130′/132′。因此，可以实现辅助极(一个或更多)130′/132′的优点。
图5描述了磁记录磁盘驱动器100的一部分的另一个示例性实施例的平面图。更具体地，示出了磁记录磁头102″的一部分的一个示例性实施例。为清楚起见，图5并非按比例绘制。为简要起见，并没有示出磁记录磁头102″的所有部分。磁记录磁头102″类似于磁记录磁头102。因而，相似的元件具有相似的附图标记。此外，磁记录磁头102″可以用于磁盘驱动器100中。
参见图2和图5，图5中的辅助极(一个或更多)130″/132″的一个或两个相对于ABS凹陷并具有面向ABS的表面，其最靠近ABS。辅助极(一个或更多)130″/132″还包括侧表面和背侧表面。面向ABS的表面可以具有与辅助极(一个或更多)130/132的面向ABS的表面大致相同的宽度。辅助极(一个或更多)130″/132″可以相对于ABS凹陷和辅助极(一个或更多)130/132相对于ABS凹陷大致相同的量。辅助极(一个或更多)130″/132″的侧表面和面向ABS的表面形成张角α。该张角至少是50度并小于90度。在一些实施例中，张角不大于64度。在一些这种实施例中，张角至少为55度且不大于59度。由于张角较大，在横向轨道方向上，因此辅助极130″/132″的大部分比常规磁记录换能器薄。辅助极(一个或更多)130″/132″的宽度以和辅助极(一个或更多)130/132相似的方式减少。然而，在图5所示的实施例中，辅助极(一个或更多)130″/132″的总宽度和主极120的总宽度相等。
因此磁记录磁头102″和磁盘驱动器100可以显现改进的性能。由于较大的张角，在横向轨道方向上，越接近ABS，辅助极(一个或更多)130″/132″可以越薄。由于它们减小的宽度，辅助极(一个或更多)130″/132″可以有助于在主极120内聚集磁通量。可以增强写入器102″的上升时间和WATER性能。因而，促进了更高密度的磁记录。也可以容易地制作辅助极(一个或更多)130″/132″。因此，可以实现辅助极(一个或更多)130″/132″的优点。
图6描述了磁记录磁盘驱动器100的一部分的另一个示例性实施例的平面图。更具体地，示出了磁记录磁头102″′的一部分的一个示例性实施例。为清楚起见，图6并非按比例绘制。为简要起见，并没有示出磁记录磁头102″′的所有部分。磁记录磁头102″′类似于磁记录头102。因而，相似的元件具有相似的附图标记。此外，磁记录磁头102″′可以用于磁盘驱动器100中。
参见图2和图6，图6中的辅助极(一个或更多)130″′/132″′的一个或两个相对于ABS凹陷并具有面向ABS的表面，其最靠近ABS。辅助极(一个或更多)130″′/132″′还包括侧表面和背侧表面。面向ABS的表面可以具有与辅助极(一个或更多)130/132的面向ABS的表面大致相同的宽度。辅助极(一个或更多)130″′/132″′可以相对于ABS凹陷与辅助极(一个或更多)130/132相对于ABS凹陷大致相同的量。辅助极(一个或更多)130″′/132″′的侧表面和面向ABS的表面形成张角α。该张角至少为50度并小于90度。在一些实施例中，该张角不大于64度。在一些这种实施例中，张角至少为55度且不大于59度。由于张角较大，在横向轨道方向上，辅助极130″′/132″′的大部分比常规磁记录换能器薄。辅助极(一个或更多)130″/132″的宽度以和辅助极(一个或更多)130/132相似的方式减少。在图6所示的实施例中，辅助极(一个或更多)130″′/132″′的宽度也小于主极120的宽度。例如，在一些实施例中，在横向轨道方向上，辅助极(一个或更多)130″′/132″′的最大宽度不大于主极120宽度的80％。因而，辅助极(一个或更多)130″′/132″′总的最大宽度可以小于主极120的总的最大宽度，并小于常规辅助极的总的最大宽度。然而，在其它实施例中，辅助极(一个或更多)130″′/132″′的尾宽度可以等于主极120和/或背隙124的宽度。进一步地，辅助极130″′/132″′包括面向ABS的侧表面。因而，从图6中能够看出，辅助极(一个或更多)130″′/132″′可以具有各种形状。
因此磁记录头102″′和磁盘驱动器100可以显现改进的性能。由于较大的张角，在横向轨道方向上，辅助极(一个或更多)130″′/132″′越接近ABS可以越薄。进一步地，辅助极(一个或更多)130″′/132″′的总宽度可以减小。这样的实施例被图6示出。由于它们减小的宽度，辅助极(一个或更多)130″′/132″′可以有助于在主极120内聚集磁通量。可以增强写入器102″′的上升时间和WATER性能。因而，促进了更高密度的磁记录。也可以容易地制作辅助极(一个或更多)130″′/132″′。因此，可以实现辅助极(一个或更多)130″′/132″′的优点。
图7描述了磁记录磁盘驱动器100的一部分的另一个示例性实施例的平面图。更具体地，示出了磁记录磁头102″″的一部分的一个示例性实施例。为清楚起见，图7并非按比例绘制。为简要起见，并没有示出磁记录磁头102″″的所有部分。磁记录磁头102″″类似于磁记录磁头102。因而，相似的元件具有相似的附图标记。此外，磁记录磁头102″″可以用于磁盘驱动器100中。
参见图2和图7，图7中的辅助极(一个或更多)130″″/132″″的一个或两个相对于ABS凹陷并具有面向ABS的表面，其最靠近ABS。辅助极(一个或更多)130″″/132″″还包括侧表面。该侧表面通过任意途径延伸回到辅助极(一个或更多)130″″/132″″的尾部表面。面向ABS的表面可以具有与辅助极(一个或更多)130/132的面向ABS的表面大致相同的宽度。辅助极(一个或更多)130″″/132″″可以相对于ABS凹陷与辅助极(一个或更多)130/132相对于ABS凹陷大致相同的量。辅助极(一个或更多)130″″/132″″的侧表面和面向ABS的表面形成张角α。该张角至少为50度且小于90度。在一些实施例中，该张角不大于64度。在一些这种实施例中，张角至少为55度且不大于59度。由于张角较大，在横向轨道方向上，辅助极(一个或更多)130″″/132″″的大部分比常规磁记录换能器薄。辅助极(一个或更多)130″″/132″″的宽度以和辅助极(一个或更多)130/132相似的方式减小。在图7所示的实施例中，辅助极(一个或更多)130″″/132″″的宽度也小于主极120的宽度。例如，在一些实施例中，在横向轨道方向上，辅助极(一个或更多)130″″/132″″的最大宽度不大于主极120宽度的80％。因而，辅助极(一个或更多)130″″/132″″总的最大宽度可以小于或等于主极120的总的最大宽度并小于或等于常规辅助极的总的最大宽度。形成辅助极(一个或更多)130″″/132″″的张角的侧表面延伸至辅助极(一个或更多)130″′/132″′的背面。
因此，磁记录磁头102″″和磁盘驱动器100可以显现改进的性能。由于较大的张角，在横向轨道方向上，辅助极(一个或更多)130″″/132″″越接近ABS可以越薄。进一步地，辅助极(一个或更多)130″″/132″″的总宽度可以减小。这样的实施例被图7示出。由于它们减小的宽度，辅助极(一个或更多)130″″/132″″可以有助于在主极120内聚集磁通量。可以增强写入器102″″的上升时间和WATER性能。因而，促进了更高密度的磁记录。也可以容易地制作辅助极(一个或更多)130″″/132″″。因此，可以实现辅助极(一个或更多)130″″/132″″的优点。
图8描述了磁记录磁盘驱动器100的一部分的另一个示例性实施例的平面图。更具体地，示出了磁记录磁头102″″′的一部分的一个示例性实施例。为清楚起见，图8并非按比例绘制。为简要起见，并没有示出磁记录磁头102″″′的所有部分。磁记录磁头102″″′类似于磁记录磁头102。因而，相似的元件具有相似的附图标记。此外，磁记录磁头102″″′可以用于磁盘驱动器100中。
参见图2和图8，图8中的辅助极(一个或更多)130″″′/132″″′的一个或两个相对于ABS凹陷并具有面向ABS的表面，其最靠近ABS。辅助极(一个或更多)130″″′/132″″′也包括侧表面和背侧表面。面向ABS的表面可以具有与辅助极(一个或更多)130/132的面向ABS的表面大致相同的宽度。辅助极(一个或更多)130″″′/132″″′相对于ABS凹陷可以与辅助极(一个或更多)130/132相对于ABS凹陷大致相同的量。最接近ABS的辅助极(一个或更多)130″″′/132″″′的侧表面的部分和面向ABS的表面形成张角α。远离ABS的辅助极(一个或更多)130″″′/132″″′的侧表面的背部与面向ABS的表面形成附加角度γ。在所示的实施例中，γ小于α。然而，在其它实施例中，γ可以大于α。此外，虽然此处只示出了两个片段，但是，辅助极(一个或更多)130″″′/132″″′的侧表面可以具有其它数量的片段。侧表面还可以弯曲。在一些实施例中，该弧度可以相对于ABS向内凹进(concave)。在其它实施例中，该弧度可以相对于ABS向外凸出。而在其它实施例中，该弧度可以变化。
张角α至少为50度并小于90度。在一些实施例中，张角不大于64度。在一些这种实施例中，该张角至少为55度且不大于59度。由于张角较大，在横向轨道方向上，辅助极(一个或更多)130″″′/132″″′的大部分比常规磁记录换能器薄。辅助极(一个或更多)130″″′/132″″′的宽度以和辅助极(一个或更多)130/132相似的方式减小。在图8所示的实施例中，辅助极(一个或更多)130″″′/132″″′的宽度也小于主极120的宽度。举例来说，在一些实施例中，在横向轨道方向上，辅助极(一个或更多)130″″′/132″″′的最大宽度不大于主极120宽度的80％。因而，辅助极(一个或更多)130″″′/132″″′总的最大宽度小于主极的总的最大宽度且小于常规辅助极的总的最大宽度。
因此磁记录磁头102″″′和磁盘驱动器100可以显现改进的性能。由于较大的张角，在横向轨道方向上，辅助极(一个或更多)130″″′/132″″′越接近ABS可以越薄。进一步地，辅助极(一个或更多)130″″′/132″″′的总宽度可以减小。这样的实施例被图8示出。由于它们减小的宽度，辅助极(一个或更多)130″″′/132″″′可以有助于在主极120内聚集磁通量。可以增强写入器102″″′的上升时间和WATER性能。因而，促进了更高密度的磁记录。也可以容易地制作辅助极(一个或更多)130″″′/132″″′。因此，可以实现辅助极(一个或更多)130″″′/132″″′的优点。
图9A和9B描述了磁记录磁盘驱动器200的一部分的另一个示例性实施例的侧视图和平面图。为清楚起见，图9A和图9B并非按比例绘制。为简要起见，并没有示出磁记录磁盘驱动器200的所有部分。磁记录磁盘驱动器200类似于磁记录磁盘驱动器100。因而，相似的元件具有相似的附图标记。比如，磁记录磁盘驱动器200包括具有屏蔽结构204和208以及读传感器206的磁性读取换能器202，其类似于具有屏蔽结构104和108以及读传感器106的磁性读取换能器102。
磁盘驱动器200包括常驻滑块上并包括读取换能器203和写换能器210的磁记录磁头202，它们分别类似于磁记录磁头102、读取换能器103和写换能器110。读取换能器203包括屏蔽结构204和208以及至少一个读传感器206，它们分别类似于读取换能器103、屏蔽结构104和读传感器(一个或更多)106。写换能器210至少包括主极220、线圈(一个或更多)214和216、返回极212、屏蔽结构/返回极218和背隙224，它们分别类似于110、主极120、线圈(一个或更多)114和116、返回极112、屏蔽结构/返回极118和背隙124。此外，主极220包括极尖221和磁轭222，其分别类似于极尖121和磁轭122。
磁记录磁头202还包括辅助/附加极230。该辅助极类似于辅助极130。因而，辅助极230也类似于先前所示的辅助极130′/132′、130″/132″、130″′/132″′、130″″/132″″和/或130″″′/132″″′。因而，辅助极203可以包括辅助极130′/132′、130″/132″、130″′/132″′、130″″/132″″和/或130″″′/132″″′的一个或更多个特征。然而，此处只描述了单个辅助极230。
磁记录磁头202和磁盘驱动器200可以共享磁记录磁头(一个或更多)102、102′、102″、102″′、102″″和/或102″″′与磁盘驱动器100的优点。比如，磁通量可以聚集在主极220内。可以增强写入器202的上升时间和WATER性能。因而，促进了更高密度的磁记录。也可以容易地制作辅助极230。因此，可以实现辅助极230的优点。
图10A和10B描述了磁记录磁盘驱动器200′与磁记录磁头202′的一部分的另一个示例性实施例的侧面图和平面图。为清楚起见，图10A和图10B并非按比例绘制。为简要起见，并没有示出磁记录磁盘驱动器200′的所有部分。磁记录磁盘驱动器200′和磁记录磁头202′类似于磁记录磁盘驱动器200和磁记录磁头202。因而，相似的元件具有相似的附图标记。
磁记录磁头202′还包括辅助/附加极232而不是辅助极230。该辅助极位于主极220与线圈216之间而不是位于主极220与线圈214之间。因而，此处只描述了单个辅助极232。
磁记录磁头202′和磁盘驱动器200′可以共享磁记录磁头(一个或更多)202、102、102′、102″、102″′、102″″和/或102″″′与磁盘驱动器(一个或更多)200、100的优点。比如，磁通量可以聚集在主极220内。可以增强写入器202′的上升时间和WATER性能。因而，促进了更高密度的磁记录。也可以容易地制作辅助极232。因此，可以实现辅助极232的优点。
图11A和11B描述了磁记录磁盘驱动器200″与磁记录磁头202″的一部分的另一个示例性实施例的侧面图和平面图。为清楚起见，图11A和图11B并非按比例绘制。为简要起见，并没有示出磁记录磁盘驱动器200″的所有部分。磁记录磁盘驱动器200″和磁记录磁头202″类似于磁记录磁盘驱动器200/200′和磁记录磁头202/202′。因而，相似的元件具有相似的附图标记。
磁记录磁头202″包括两个辅助极230和232。此外，非磁性层223和225分别位于主极与辅助极230和232之间。在其它实施例中，可以省略一个或更多个所述非磁性层223和225。进一步地，辅助极230和232中的一个可以省略。
磁记录磁头202″和磁盘驱动器200″可以共享磁记录磁头(一个或更多个)202、202′、102、102′、102″、102″′、102″″和/或102″″′与磁盘驱动器(一个或更多)200、200′和/或100的优点。比如，磁通量可以聚集在主极220内。可以增强写入器202″的上升时间和WATER性能。因而，促进了更高密度的磁记录。也可以容易地制作辅助极230与232。因此，可以实现辅助极230与232的优点。这里示出了具有各种特征的磁记录磁头102、102′、102″、102″′、102″″、102″″′、202、202′和202″的各种实施例。在其它实施例中，可以以图中没有示出的方式结合磁记录磁头102、102′、102″、102″′、102″″、102″″′、202、202′和/或202″的一个或更多个特征。
附图12是用于制作换能器的方法300的一个示例性实施例的流程图。方法300可以用于制作诸如换能器110、110′、110″、110″′、110″″、110″″′、210、210′和/或210″的换能器，当然其他的换能器也可以如此制作。为清楚起见，结合换能器110的上下文描述方法300。为简要起见，一些步骤可以省略、可以以其它顺序执行和/或结合一些步骤。制作的磁记录换能器可以是还包括读取磁头(未示出)和常驻在磁盘驱动器中的滑块上(未示出)的合并磁头的一部分。还在提供单个磁记录换能器的上下文中描述方法300。然而，可以使用方法300几乎同时制作多个换能器。还能够在具体层的上下文中描述方法300和系统。然而，在一些实施例中，这些层可以包括多个子层。还可以在换能器的其它部分形成之后开始方法300。
通过步骤302提供主极。步骤302包括形成极尖121和磁轭122。步骤302通常包括多次沉积、掩膜和移除步骤。通过步骤304形成一个或两个辅助极130和/或132。步骤304包括侧壁的形成，从而形成上述的张角α。在其它实施例中，可以形成辅助极(一个或更多)130′/132′、130″/132″、130″′/132″′、130″″/132″″、130″″′/132″″′、230和/或232。进一步地，步骤306可以包括提供一个或更多个非磁性层223和225。
通过使用方法300，可以制作换能器110、110′、110″、110″′、110″″、110″″′、210、210′和/或210″。从而可以实现一个或更多个换能器110、110′、110″、110″′、110″″、110″″′、210、210′和/或210″的优点(一个或更多)。
Claims (21)
1.一种具有空气支承面即ABS的磁换能器,其包括：
具有极尖和磁轭的主极，所述极尖具有面向ABS的表面；
至少一个附加极，其在下行轨道方向上与所述主极相邻，所述至少一个附加极相对于所述ABS凹陷、具有面向所述ABS的前表面、具有在横向轨道方向上的至少一个侧表面并在所述前表面和所述至少一个侧表面之间具有至少一个张角，从所述ABS到所述至少一个侧表面测量所述至少一个张角，并且所述张角至少是50度且小于90度；和
至少一个用于激励所述主极的线圈，
其中所述主极具有第一宽度，以及
其中所述至少一个附加极具有小于所述第一宽度的第二宽度。
2.如权利要求1所述的磁换能器，其中所述张角不大于64度。
3.如权利要求1所述的磁换能器，其中所述张角至少是55度且不大于59度。
4.如权利要求1所述的磁换能器，其中所述第二宽度不超过所述第一宽度的80％。
5.如权利要求1所述的磁换能器，其中所述前表面具有第三宽度，所述第三宽度至少是所述第一宽度的18％。
6.如权利要求1所述的磁换能器，其中所述至少一个附加极包括第一附加极和第二附加极，所述主极位于所述第一附加极和所述第二附加极之间。
7.如权利要求6所述的磁换能器，其中所述第一附加极和所述第二附加极的每个都相邻于所述主极。
8.如权利要求6所述的磁换能器，进一步包括：
非磁性间隔器层，其位于所述主极和所述第一附加极之间。
9.如权利要求1所述的磁换能器，其中所述至少一个附加极包括垂直于所述ABS的至少一个附加侧表面，所述至少一个侧表面位于所述前表面和所述至少一个附加侧表面之间。
10.如权利要求1所述的磁换能器，其中所述至少一个附加极相对于所述ABS凹陷至少1.5微米并且不超过3.5微米。
11.如权利要求10所述的磁换能器，其中所述至少一个附加极相对于所述ABS凹陷至少1.7微米并且不超过2.3微米。
12.一种具有空气支承面即ABS的磁换能器，其包括：
具有极尖和磁轭的主极，所述极尖具有面向ABS的表面，所述磁轭具有第一宽度；
多个附加极，其在下行轨道方向上与所述主极相邻，并且将所述主极夹入中间，所述多个附加极的每个相对于所述ABS凹陷、具有面向所述ABS的前表面、具有在横向轨道方向上的至少一个侧表面并在所述前表面和所述至少一个侧表面之间具有至少一个张角，从所述ABS到所述至少一个侧表面测量所述至少一个张角，并且所述至少一个张角至少是55度且小于59度，所述多个极的每一个具有小于所述第一宽度的第二宽度，所述前表面在垂直于所述下行轨道方向的横向轨道方向上不超过2微米宽，所述多个附加极的每一个包括垂直于所述ABS的至少一个附加侧表面，所述至少一个侧表面位于所述前表面和所述至少一个附加侧表面之间；和
至少一个用于激励写入极的线圈。
13.一种磁盘驱动器，包括：
媒介，
滑块，和
耦合于所述滑块的磁换能器，所述磁换能器具有空气支承面即ABS、主极、在下行轨道方向上相邻于所述主极的至少一个附加极和至少一个用于激励所述主极的写入线圈，所述主极具有极尖和磁轭，所述极尖具有面向所述ABS的表面，所述至少一个附加极在所述下行轨道方向上相邻于所述主极，所述至少一个附加极相对于所述ABS凹陷、具有面向所述ABS的前表面、具有在横向轨道方向上的至少一个侧表面并在所述前表面和所述至少一个侧表面之间具有至少一个张角，从所述ABS到所述至少一个侧表面测量所述至少一个张角，并且所述至少一个张角至少是50度且小于90度，其中所述主极具有第一宽度，并且其中所述至少一个附加极具有小于所述第一宽度的第二宽度。
14.一种用于制作磁换能器的方法，所述磁换能器具有对应于空气支承面即ABS的ABS位置，并包括非磁性层，所述方法包括：
提供具有极尖和磁轭的主极，所述极尖具有面向ABS的表面；
提供至少一个附加极，所述至少一个附加极在下行轨道方向上与所述主极相邻，所述至少一个附加极相对于所述ABS凹陷、具有面向所述ABS的前表面、具有在横向轨道方向上的至少一个侧表面并在所述前表面和所述至少一个侧表面之间具有至少一个张角，从所述ABS到所述至少一个侧表面测量所述至少一个张角，并且所述至少一个张角至少是50度且小于90度；以及
提供至少一个用于激励所述主极的线圈，
其中所述主极具有第一宽度，以及
其中所述至少一个附加极具有小于所述第一宽度的第二宽度。
15.如权利要求14所述的方法，其中所述张角不大于64度。
16.如权利要求14所述的方法，其中所述张角至少是55度并且不大于59度。
17.如权利要求14所述的方法，其中所述第二宽度不超过所述第一宽度的80％。
18.如权利要求14所述的方法，其中所述前表面具有第三宽度，其至少是所述第一宽度的18％。
19.如权利要求14所述的方法，其中所述至少一个附加极包括第一附加极和第二附加极，所述主极位于所述第一附加极和所述第二附加极之间。
20.如权利要求19所述的方法，其中所述第一附加极和所述第二附加极的每个都相邻于所述主极。
21.如权利要求14所述的方法，其中所述至少一个附加极包括垂直于所述ABS的至少一个附加侧表面，所述至少一个侧表面位于所述前表面和所述至少一个附加侧表面之间。
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