JP2003157510A - 薄膜書込みヘッド、データ記憶システム、及び薄膜書込みヘッドの製造方法 - Google Patents
薄膜書込みヘッド、データ記憶システム、及び薄膜書込みヘッドの製造方法Info
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Abstract
クドライブのようなデータ記憶システムに読出し/書込
みヘッド及びその製造方法を用いる。このヘッドは、ス
パッタした高モーメント磁気材料で形成された主磁極
と、電気めっきした軟磁性薄膜で形成された補助磁極と
を有する二層磁極構造を用いる。補助磁極は、空気ベア
リング面から実質的に凹ませて設けられる。 【効果】 本発明のヘッド構造は、書込み磁場を大きく
増大させ、かつ磁気記録媒体の隣接トラックに意図しな
いデータの消去を生じることになるサイド書込みを実質
的に低減させる。
Description
ライブのようなデータ記憶システム及びそれを製造する
方法に関し、特に、このようなデータ記憶システムにお
いて使用するための薄膜読出し/書込みヘッドに関す
る。より詳細にいえば、本発明は、垂直磁気記録のため
の薄膜インダクティブ型書込みヘッドの改良された構造
を開示するものである。
ドがスライダ上に取り付けられたインダクティブ読出し
/書込み素子を有する。磁気ヘッドが、サスペンション
と、回転する磁気ディスクの表面の上に配置されたアク
チュエータアームとにより回転アクチュエータマグネッ
ト及びボイスコイルアセンブリに接続されている。動作
時には、磁気ヘッドと回転磁気ディスクとの間の空気力
学的相互作用により持上げ力が発生する。この持上げ力
は、回転磁気ディスクの表面の上方に回転アクチュエー
タアセンブリの半径方向の全ストロークに亘って所定の
浮上高さが維持されるように、サスペンションによって
与えられる等しい逆向きのばね力に対抗するものであ
る。
クティブ書込みヘッドは、一般に長手記録ヘッド及び垂
直記録ヘッドの2つのカテゴリに入る。最近まで、長手
記録ヘッドが垂直記録ヘッドに先行していた。この技術
分野における傾向として、非常に高密度の記憶媒体に対
する継続的な強い要求が確立されていることから、垂直
記録ヘッドは、長手記録ヘッドよりも高密度の用途に対
してより有効な記録方法を提供するという垂直記録ヘッ
ドの能力によって、益々受け入れられている。
媒体に関して磁束を配向する向きにおいて、長手記録ヘ
ッドとは機能的に区別される。目標トラックへの書込み
動作中、垂直記録ヘッドは磁束を、磁気ディスクの表面
に対して概ね直角に配向する。この直角方向は媒体の異
方性の向きでもある。対照的に、長手記録ヘッドにより
発生する磁束は、一般に磁気ディスク表面の面内にあ
る。
ヘッドの特徴における他の典型的な相違は、次のように
要約することができる。即ち、長手書込みヘッドは一般
に、長手方向の磁場を最適化するべく、その間を狭いギ
ャップで分離した2つの磁極からなるリング状ヘッド構
造を使用する。図3A及び図3Bを参照すると、典型的
な長手書込みヘッドは一般的に、下側磁極(P1)及び
上側磁極(P2)を有する薄膜書込みヘッドからなる。
呼ばれる磁極先端部の高さ寸法を有する。完成した書込
みヘッドでは、スロートハイトは、磁極先端部のラッピ
ング及びポリッシング加工により形成される空気ベアリ
ング面(「ABS」)と、書込みヘッドのポール先端部
が後部領域に移行する位置のゼロスロート高さとの間で
画定される。この磁極先端領域は、ABSとゼロスロー
ト高さ間の領域として定義される。この領域は、磁極P
1の延長部であるペデスタルとしても知られている。
さ」と呼ばれる磁極先端部の高さ寸法を有する。完成し
た書込みヘッドでは、ノーズは、ABSと磁極先端部が
後部領域に移行する位置である「フレア位置」間の磁極
P2の領域として定義される。
置された磁極先端部を有する。磁極P1及びP2の先端
領域は、絶縁材料の薄膜である磁気記録ギャップにより
分離されている。書込み動作において、磁極P1により
発生する磁場は、磁束を磁極P1から中間の磁気ディス
クを介して磁極P2へと通し、それによってデジタルデ
ータを磁気ディスク上に記録させる。
られた直後の磁束は、磁気ディスクの表面に関して概ね
平行である。この磁場の部分が一般に、長手書込みヘッ
ドの書込み動作の役目を負うフリンジ(縁端)磁場と考
えられている。
録は、それを越えては長手記録ヘッドを用いる磁気媒体
の面密度の大きな増加が全く達成され得ない熱安定性の
限界に達していると考えられる。これは、面密度の増加
により必要とされる遷移幅の減少を実現するために、磁
気媒体の厚さを小さくしたことによるものである。この
遷移幅は、記憶ビットの磁化が変化する距離である。
における結晶粒の数に比例することから、ビットボリュ
ームが小さくなるにつれて、結晶粒度を小さくする必要
がある。これは、磁性結晶粒の磁化にとって熱安定性の
重大な問題をもたらす。
バイスに対する継続的な技術的要求を処理するために、
垂直書込みヘッドが益々望ましいものになっている。特
に、垂直に書込まれたビットにおける消磁磁場は、隣接
するビットの安定性を高める性質がある。その結果、垂
直記録モードではより狭い遷移を記録することができ
る。垂直記録ヘッドについて使用される磁気媒体はより
薄くすることができ、従って長手記録ヘッドについて使
用するものよりも、より高い熱安定性を有することがで
きる。軟下地層を用いることによって、垂直書込みヘッ
ドにより発生する磁場の垂直または直角方向の成分及び
磁場勾配を大きくすることができる。
に配置される軟下地層は、高モーメント磁気材料で形成
される。書込み動作において、書込み磁極から軟下地層
に接近する全ての磁束が効果的に書込み磁極の虚像を作
り出し、それによってより高い書込み磁場及びより鋭角
な磁場勾配を可能にする。
手書込みヘッドを適当に変更することによって構成する
ことができる。この派生的な技術を用いた場合、典型的
な垂直書込みヘッドは依然として、同様にP1及びP2
と呼ばれる2つの磁極を有する従来の長手書込みヘッド
のリング状ヘッド構造を用いることになる。
実質的に区別される垂直書込みヘッドの重要な特徴は、
磁極P1及びP2間の距離が大きいことである。磁極P
1及びP2間の狭いギャップは、長手書込みヘッドでは
基本的なことであるが、垂直書込みヘッドでは必要でな
い。これは、垂直書込みヘッドの最適の形態が通常単磁
極構造だからである。
では、磁極P2は、書込み動作において垂直方向に磁束
を発生させる役目を果たす書込み磁極と考えられる。前
記磁束は、垂直書込みヘッドについて使用するための磁
気媒体を透過して、磁気ディスクへのデジタルデータの
記録を可能にする。磁極P1によって磁束の復路が提供
される。
求されることによって、記憶媒体のジオメトリを大きく
変更することなくトラック密度を増加させる手段とし
て、トラック幅の減少が必要となっている。トラック幅
を減少させると、従来の垂直書込みヘッドの構造には大
きな問題が生じる。
極P2の破線で示す磁極先端部109は一般に、空気ベ
アリング面(ABS)から見たとき、幅と厚さとによっ
て画定される矩形形状(またはフットプリント)を有す
る。磁極P2の先端部の幅はトラック幅と呼ばれ、かつ
磁極P2の先端部の厚さは一般にトラック幅より非常に
大きい。
は、磁気ディスクの目標データトラック上に磁極P2先
端部の物理的領域の寸法を有する磁気活性領域を押し付
ける。データトラックは一般に同心状であるが、磁極P
2先端部は矩形であるので、前記磁気活性領域の一部分
のみがその焦点を目標トラック上に適当に合わせるのに
対し、残りの磁気活性領域は実際上その焦点を隣接トラ
ック上に合わせ(斜めになり)、それにより先に記録さ
れたビットを妨害する。
る。このサイド書込み動作は、最悪の場合、これら隣接
トラックのデータを意図せずに完全に消去することにな
る場合がある。従って、各書込み動作間におけるデータ
の検査及び訂正がない場合、磁気ディスクのデータ品質
を著しく危うくする虞がある。
る別の重大な問題は、磁極P2の材料特性によって書込
み磁極P2の性能が最善のものではないことにある。従
来の垂直書込みヘッドでは、磁極P2は、従来の垂直書
込みヘッド構造が派生した長手書込みヘッド技術に従っ
て、NiFeまたはCoNiFeのような従来の電気め
っきによる磁性材料で形成される。
の書込み磁極を用いる長手書込みヘッド構造では充分で
あるが、従来の垂直書込みヘッドの単磁極書込み構造に
は不充分と考えられる。書込み磁極が単磁極構造のた
め、従来の磁気材料は、最適のデータ記録を達成する充
分な磁場強度を発生するのに充分な高度の磁気モーメン
ト、透過率及び他の必要な特性を示さない。
込みヘッドの技術的により効果的な構造に対する要求は
依然として満足されていない。この構造は、サイド書込
みによる隣接トラックのデータの消去という長年の問題
を解決しつつ、垂直書込みヘッドの製造性に妥協するこ
となく、磁気書込み磁場強度を高めようとする要求を目
的とするものでなければならない。
磁場を高めるため及び隣接トラックの意図しないデータ
消去をもたらすことがあるサイド書込みを排除するため
に、新規な薄膜インダクティブ垂直書込みヘッド構造を
提供することにある。
は、単磁極書込み素子を組み込んだ垂直書込みヘッド構
造によって実現される。データを記録する役割を果たす
主磁極の主要部は、厚さ約0.1μm〜0.7μmのス
パッタされた高モーメント磁気材料で形成される。前記
主磁極の補助部分は、電気めっきによる軟磁性材料で形
成される。
つつ、線形記録密度及びサイド書込みがないことを確保
するために、主磁極構造の補助部分に組み込まれる。
従来の長手書込みヘッドにおいて発生するよりも高い書
込み磁場及び高い磁場勾配、飛行高さに対する感度の低
下、スパッタによる高モーメント磁気材料付着の実行容
易性、優れたオーバライト及びNLTS(非線形遷移シ
フト)性能のような幾つかの性能及び製造上の利点が得
られる。本発明の垂直書込みヘッド構造は、例えば1
5.5Gb/cm2(100Gb/in2)の高線密度の
垂直記録に使用される読出し/書込みヘッドに用いるこ
とができる。
素には類似の番号が付与される。図中の各構成要素の寸
法は正確に比例させたものではなく、見やすさ及び説明
の目的で表示されたものであることを理解されたい。
共通の軸15に関して回転可能な、離隔された磁気デー
タ記憶ディスクまたは媒体の積層体14とからなるディ
スクドライブ10を示している。ヘッド積層体アセンブ
リ12は、アクチュエータ軸16に関して矢印Cの向き
に回転可能である。ヘッド積層体アセンブリ12は、デ
ィスク14の間の間隙内に延長する多数のアクチュエー
タアームを有するが、添付図面にはその内の3つ18
A、18B、18Cのみが示されている。
型ブロック19と、該ブロック19にアクチュエータア
ーム18A、18B、18Cとは直径方向反対側の位置
に取り付けられた磁気ロータ20とを有する。ロータ2
0は、アクチュエータ軸16に関して円弧状に回転する
ために、図示しないステータと協働する。ロータ20の
コイルをある極性または逆の極性の直流電流で通電する
と、アクチュエータアーム18A、18B、18Cを含
むヘッド積層体アセンブリ12が、アクチュエータ軸1
6に関してディスク14の概ね半径方向に回転する。
は、各アクチュエータアーム、例えば18Aに固定され
ている。図2を参照すると、HGA28はサスペンショ
ン33及び読出し/書込みヘッド35を備える。サスペ
ンション33は、弾性ロードビーム36と、ヘッド35
が固定されたフレクシャ40とを有する。
ドビーム36の自由端に固定されたスライダ47と、ス
ライダ47に支持された読出し/書込み素子50とで形
成されている。
0は、その最前の先端部が概ねスライダ47のABSと
同一平面上にあるように、スライダ47の後縁部に取り
付けられる。スライダ47は、従来のまたは利用可能な
あらゆるスライダとすることができる。本発明による別
の実施例では、複数の読出し/書込み素子50をスライ
ダ47の後縁部55または他の側面に固定することがで
きる。
より形成された読出し/書込み素子50の垂直書込みヘ
ッド60は、ABS面からバックギャップ92まで延長
する第1磁極層即ち下側磁極P1(符号90で示す)か
らなる。下側磁極P1は、好ましくはNiFeまたはC
oNiFe合金のような導磁性材料で形成される。下側
磁極P1(90)によって、磁気ディスク14への書込
み動作における磁束の復路が提供される。
からなるまたは多層構造からなる導電コイル要素(また
は導体)94Aで形成された書込みコイル94を有す
る。図6には、少数のコイル要素94Aのみが例示的に
示されている。コイル要素94Aは、絶縁層95の上に
形成される。書込みコイル94は必要に応じて1つ、2
つ、4つまたはそれ以上の巻線を有し、所望の書込み磁
場を発生させることができる。書込みコイル94の前部
は、ABS面とバックギャップ92との間に存在する。
の背後に配置され、かつ好ましくはNiFeまたはCo
NiFe合金のような導磁性材料で形成される。バック
ギャップ92は、磁束の通路を提供するために、磁極P
1(90)を第2磁極層即ち補助磁極96に接続する。
はCoNiFe合金のような導磁性材料の軟質薄膜で形
成される。書込みヘッド60の好適な実施例では、補助
磁極層96が書込みコイル94の上に形成される。補助
磁極層96の厚さは、下側磁極P1(90)のそれと実
質的に同じまたは同程度にすることができる。
特徴は、補助磁極96が前記ABS面から例えば約0.
5μm乃至2.0μmの距離だけ実質的に凹ませてある
ことである。凹み98は、大きな体積の補助磁極96を
必要とする強化された磁場強度と、他方補助磁極96の
先端部がより後方に配置されることを必要とするサイド
書込みの実質的な低減または除去との間で、最適に平衡
させるように設計される。補助磁極96は実質的にサイ
ド書込みを低減しつつ、磁束を磁極先端部108に送る
ことを補助する。
は、第3の磁極即ち主磁極102の追加である。主磁極
102は、磁気ディスク14上にデジタルデータを書き
込む役割を有する。好適な実施例では、主磁極102は
補助磁極96の上に形成される。
主磁極102は、スパッタされた高モーメント磁気材料
で形成され、かつその厚さは例えば0.1μm乃至0.
7μmの範囲内である。垂直記録モードにおける高線形
密度のために、磁極の厚さは小さいことが望ましい。
は、単層または積層FeXN(ここで、X=Rh、T
a、Al、Ti、Zr等)、CoFeN、CoFeX
N、またはCoNiFeX膜とすることができる。Fe
XNの磁気モーメントBsは、一般に19〜25キロガ
ウスの範囲内である。前記スパッタされた高モーメント
磁気材料は一般に、従来の電気めっきされたNiFeま
たはCoNiFe材料と比較して、より高いモーメン
ト、高透磁率、より高い周波数におけるより低い渦電流
損失、及び改善された耐食性のような有利な特徴を有す
る。
度は、従来の上側磁極P2(図4)の例えば1.0〜
1.7テスラの磁場強度と比較して、例えば2.3テス
ラより大きくすることができる。書込み動作において、
補助磁極96は主磁極102と磁気的に協働して、磁極
先端部108に十分な磁束を伝導させる。
線で示す)補助磁極96の後方の面に亘って配置され
る。主磁極102は、凹み98を画定する補助磁極96
の前縁部と後縁部104との間で、補助磁極96のそれ
と実質的に同じフットプリントを有する。
98の前方に延長している。前記主磁極の先端部108
は、フレア位置106の前方に配置され、かつ本実施例
では、ABS面から下側磁極P1の先端部までと同じ高
さである、前記フレア位置から前記ABS面まで延長し
ている。
108の好適なフットプリントは一般に正方形であり、
4つの概ね等しい辺で画定される。主磁極先端部108
の各辺は、実質的にトラック幅に等しい。主磁極先端部
108の正方形のフットプリントにより、それから発生
する磁極が、書込み動作時に隣接トラックへの好ましく
ないサイド書込みを生じさせることなく、目標トラック
に実質的に制限され得るようにしている。別の実施例で
は、主磁極先端部108のフットプリントが異なる形状
をとり得ることが理解される。
り、主磁極102及び補助磁極96の位置が、図6の好
適実施例と比較して逆になっている。この変形例では、
主磁極102が書込みコイル94の上に形成され、かつ
補助磁極96が主磁極102の上に形成されて、図6に
関して前述した凹み98を画定している。
法が、それぞれ図9及び図10に示されている。図6の
書込みヘッド60を製造する方法400について、図9
に関連して以下に説明する。方法400は概ね次の各工
程から構成される。即ち、 1.P1の形成(ステップ405); 2.中間層の付着及び化学的機械的ポリッシング加工即
ちCMP(ステップ410); 3.コイルの形成(ステップ415); 4.コイルの検査(ステップ420); 5.コイル絶縁及び硬化(ステップ425); 6.バックギャップの形成(ステップ430); 7.Al2O3絶縁物の付着及びCMP(ステップ43
3); 8.補助磁極の電気めっき(ステップ435); 9.絶縁層の付着及びCMP(ステップ440); 10.高モーメント材料のスパッタ付着(ステップ44
5);及び 11.スパッタした主磁極のパターニング(ステップ4
50)。
明する。磁極戻り層90とも称される下側磁極P1を、
ステップ405において電気めっき加工により形成す
る。ある実施例では、下側磁極P1は、読出し/書込み
素子50の読出しヘッドのための第2シールドとして機
能させることができる。
グ(CMP)工程は、ステップ410で実行され、例え
ばAl2O3からなる絶縁層が磁極P1(90)上にスパ
ッタにより付着される。次に、ウエハをCMP加工によ
り平坦化する。下側磁極P1(90)の上に、書込みコ
イル94と下側磁極P1間を絶縁する機能を有するAl
2O3からなる層を付着させる。
ル94を平坦なウエハ表面上に、狭コイルピッチを達成
するように形成する。コイルの形成過程は、従来の銅め
っき技術により実行してフォトリソグラフィで画定する
パターンにすることができ、その後でウェットまたはド
ライエッチング加工により銅下地層を除去する。
留まりを確保するべく、ステップ420において検査さ
れる。フォトレジスト絶縁層をコイル94の上に付着さ
せ、かつ続いて硬化させる。
を提供するために、磁気材料を付着させて下側磁極P1
と補助磁極96とを接続することにより、書込みコイル
94の背後に形成する。
縁層をスパッタして、書込みコイル94及びフォトレジ
ストコイル絶縁層の上に付着させる。前記Al2O3絶縁
層を付着させる前に、コイル巻線94A間の狭い隙間を
埋めるのに、硬化させたフォトレジスト材料の絶縁層を
必要とする場合がある。ウエハを平坦化するのに、別の
CMP工程を必要とする場合がある。別の実施例では、
書込みコイル94は、誘電層の付着に始まり、溝の異方
性エッチング、化学蒸着法による銅下地層の付着、銅の
めっき、及び銅/誘電層のCMPからなる銅ダマシン技
術を用いて形成することができる。
6を、予め画定されたフォトリソグラフィパターンに電
気めっきすることによって形成する。補助磁極96は、
例えばNiFeまたはCoNiFe合金で形成すること
ができる。補助磁極96の前縁部96は、前記ABS面
から約0.5μm乃至2.0μm凹ませる。
除去及び下地のめっきに続いて、ステップ440におい
て、Al2O3からなる絶縁層をスパッタして補助磁極9
6の上に付着させ、次にCMP工程を用いてウエハを平
坦化し、かつそれにより補助磁極96の上面を露出させ
る。主磁極102を形成する次の工程の準備として、即
ち主磁極102の磁極先端部108を支持するために、
前記絶縁層で凹み98を充填する。
m乃至0.7μmの高モーメント膜を、主磁極102を
形成するためにスパッタして前記平坦なウエハ表面の上
に付着させる。ステップ45において、前記スパッタ膜
(ステップ445)の上にフォトリソグラフィによるパ
ターンを形成し、かつエッチング過程におけるマスクと
して用いて、主磁極102構造を画定する。また、フォ
トリソグラフィ技術を平坦なウエハ表面に用いることが
できる。ハードマスク層を用いて、高モーメント膜に関
する前記マスクのエッチング選択性を改善することがで
きる。この場合、主磁極102をパターニングする前に
前記ハードマスクをパターニングする別個のエッチング
工程が必要である。
00について、以下に図10に関連して説明する。方法
500は一般に次の工程から構成される。即ち、 1.P1の形成(ステップ405); 2.中間層の付着及び化学的機械的ポリッシング即ちC
MP(ステップ410) ; 3.コイルの形成(ステップ415); 4.コイルの検査(ステップ420); 5.コイル絶縁及び硬化(ステップ425); 6.バックギャップの形成(ステップ430); 7.Al2O3絶縁物の付着及びCMP(ステップ43
3); 8.高モーメント材料のスパッタ付着(ステップ53
5); 9.スパッタした主磁極のパターニング(ステップ54
0);及び 10.補助磁極の電気めっき(ステップ545)。
6)の製造方法に関連して上述したものと類似または一
致している。図6の方法と図7の変形例による製造方法
500との主な相違の1つは、主磁極102及び補助磁
極96の製造の順序である。
補助磁極96より前に形成される。そのために、高モー
メント材料のスパッタ付着であるステップ535及びス
パッタした主磁極102のパターニングであるステップ
540は、補助磁極96を形成するステップ545に先
行する。
点が得られるが、その中には次のようなものが含まれ
る。即ち、書込みヘッドは約0.1μmの狭いトラック
幅において媒体に553、000A/m(7000エル
ステッド)の磁場を発生させることができること;磁場
勾配が従来の長手書込みヘッドより非常に高いこと;本
発明の垂直書込みヘッド構造は、従来の垂直書込みヘッ
ドより飛行高さに関する感度が低いこと;及び本発明の
垂直書込みヘッドは優れたオーバーライト及びNLTS
性能を有することである。
トリ、構成及び寸法は本発明の技術的範囲内において変
更することができ、かつ排他的であることを意味するも
のでなく、むしろ本発明の技術的範囲内において様々に
変更・変形し得ることが理解できる。特定の環境におい
て本発明を実行する場合には、他の変形・変更を行うこ
とが可能である。
た高モーメント磁気材料からなる主磁極と、電気めっき
された軟磁性膜からなりかつ実質的に空気ベアリング面
から凹ませた補助磁極とを有する二層磁極構造を用いて
いる。この新規な構成によって、書込み磁場が実質的に
増大し、かつ磁気記録媒体上の隣接トラックにおけるデ
ータの意図しない消去を生じさせ得るサイド書込みを実
質的に低減させることができる。
記憶システムの部分斜視図。
スペンション及び図1の読出し/書込みヘッドに固定さ
れたスライダからなるヘッドジンバルアセンブリの斜視
図。
来構造を有する長手書込みヘッドの側部断面図、(B)
図はその上面図。
を示す従来構造の垂直書込みヘッドを示す断面図。
明の垂直書込みヘッドのサイド書込み過程を比較して示
す図。
断面図。
断面図。
示す上面図。
フロー図。
すフロー図。
Claims (30)
- 【請求項1】 導磁性材料で形成され、媒体への書込
み動作における磁束の復路を提供する第1磁極(P1)
と、 前記第1磁極(P1)の上に配置されたインダクティブ
書込みコイルと、 薄膜導磁性材料で形成されかつ前記書込みコイルの上に
配置され、空気ベアリング面(ABS)から凹ませた前
縁部を有する補助磁極と、 前記補助磁極の上に形成されかつ前記ABSまで延長す
る、前記媒体上に書込むための主磁極とを備える垂直磁
気記録用薄膜書込みヘッド。 - 【請求項2】 前記主磁極が、前記ABSから前記補
助磁極の前縁部から所定の距離まで延長する先端部を有
することを特徴とする請求項1に記載の薄膜書込みヘッ
ド。 - 【請求項3】 前記主磁極の先端部が概ね正方形のフ
ットプリントを有することを特徴とする請求項2に記載
の薄膜書込みヘッド。 - 【請求項4】 前記先端部の一辺が前記媒体のトラッ
ク幅と等しいことを特徴とする請求項3に記載の薄膜書
込みヘッド。 - 【請求項5】 前記主磁極が、スパッタされた高モー
メント磁気材料で形成されていることを特徴とする請求
項4に記載の薄膜書込みヘッド。 - 【請求項6】 前記主磁極が、約0.1μm乃至0.
7μmの範囲内の厚さを有することを特徴とする請求項
5に記載の薄膜書込みヘッド。 - 【請求項7】 前記スパッタされた高モーメント磁気
材料が、約19乃至25キロガウスの範囲内の磁気モー
メントを有することを特徴とする請求項5に記載の薄膜
書込みヘッド。 - 【請求項8】 前記第1磁極(P1)が、磁束の通路
を提供するために、前記ABSから前記第1磁極(P
1)を前記補助磁極に接続するバックギャップまで延長
していることを特徴とする請求項5に記載の薄膜書込み
ヘッド。 - 【請求項9】 前記バックギャップが前記書込みコイ
ルの後方に配置されていることを特徴とする請求項8に
記載の薄膜書込みヘッド。 - 【請求項10】 前記バックギャップが導磁性材料で形
成されていることを特徴とする請求項9に記載の薄膜書
込みヘッド。 - 【請求項11】 前記補助磁極の前記前縁部が、前記A
BSから約0.5μm乃至2.0μmだけ凹まされてい
ることを特徴とする請求項5に記載の薄膜書込みヘッ
ド。 - 【請求項12】 前記補助磁極及び前記第1磁極(P
1)が概ね等しい厚さを有することを特徴とする請求項
5に記載の薄膜書込みヘッド。 - 【請求項13】 導磁性材料で形成され、媒体への書込
み動作における磁束の復路を提供する第1磁極(P1)
と、 前記第1磁極(P1)の上に配置されたインダクティブ
書込みコイルと、 前記書込みコイルの上に形成されかつ空気ベアリング面
(ABS)まで延長する、前記媒体にデータを書込むた
めの主磁極と、 薄膜導磁性材料で形成されかつ前記主磁極の上に形成さ
れた補助磁極とを備え、 前記補助磁極が、空気ベアリング面から凹ませた前縁部
を有することを特徴とする垂直磁気記録用薄膜書込みヘ
ッド。 - 【請求項14】 前記主磁極が、前記ABSから前記補
助磁極の前縁部から所定の距離まで延長する先端部を有
することを特徴とする請求項13に記載の薄膜書込みヘ
ッド。 - 【請求項15】 前記主磁極の先端部が概ね正方形のフ
ットプリントを有することを特徴とする請求項14に記
載の薄膜書込みヘッド。 - 【請求項16】 前記先端部の一辺が前記媒体のトラッ
ク幅と等しいことを特徴とする請求項15に記載の薄膜
書込みヘッド。 - 【請求項17】 前記主磁極が、スパッタされた高モー
メント磁気材料で形成されていることを特徴とする請求
項12に記載の薄膜書込みヘッド。 - 【請求項18】 前記主磁極が、約0.1μm乃至0.
7μmの範囲内の厚さを有することを特徴とする請求項
17に記載の薄膜書込みヘッド。 - 【請求項19】 前記スパッタされた高モーメント磁気
材料が、約19乃至25キロガウスの範囲内の磁気モー
メントを有することを特徴とする請求項17に記載の薄
膜書込みヘッド。 - 【請求項20】 前記第1磁極(P1)が、磁束の通路
を提供するために、前記ABSから前記第1磁極(P
1)を前記補助磁極に接続するバックギャップまで延長
していることを特徴とする請求項17に記載の薄膜書込
みヘッド。 - 【請求項21】 前記バックギャップが前記書込みコイ
ルの後方に配置されていることを特徴とする請求項20
に記載の薄膜書込みヘッド。 - 【請求項22】 前記バックギャップが導磁性材料で形
成されていることを特徴とする請求項21に記載の薄膜
書込みヘッド。 - 【請求項23】 前記補助磁極の前記前縁部が、前記A
BSから約0.5μm乃至2.0μmだけ凹まされてい
る請求項17に記載の薄膜書込みヘッド。 - 【請求項24】 前記補助磁極及び前記第1磁極(P
1)が概ね等しい厚さを有することを特徴とする請求項
17に記載の薄膜書込みヘッド。 - 【請求項25】 垂直磁気記録用薄膜書込みヘッドを有
し、前記書込みヘッドが、導磁性材料で形成され、媒体
への書込み動作における磁束の復路を提供する第1磁極
(P1)と、 前記第1磁極(P1)の上に配置されたインダクティブ
書込みコイルと、 薄膜導磁性材料で形成されかつ前記書込みコイルの上に
配置され、空気ベアリング面(ABS)から凹ませた前
縁部を有する補助磁極と、 前記補助磁極の上に形成されかつ前記ABSまで延長す
る、前記媒体上に書込むための主磁極とを備えるデータ
記憶システム。 - 【請求項26】 垂直磁気記録用薄膜書込みヘッドを有
し、前記書込みヘッドが、導磁性材料で形成され、媒体
への書込み動作における磁束の復路を提供する第1磁極
(P1)と、 前記第1磁極(P1)の上に配置されたインダクティブ
書込みコイルと、 前記書込みコイルの上に形成されかつ空気ベアリング面
(ABS)まで延長する、前記媒体にデータを書込むた
めの主磁極と、 薄膜導磁性材料で形成されかつ前記主磁極の上に形成さ
れた補助磁極とを備え、 前記補助磁極が、空気ベアリング面から凹ませた前縁部
を有するデータ記憶システム。 - 【請求項27】 垂直磁気記録用薄膜書込みヘッドの製
造方法であって、 媒体への書込み動作における磁束の復路を設けるべく、
導磁性材料の第1磁極(P1)を形成する過程と、 前記第1磁極(P1)の上にインダクティブ書込みコイ
ルを形成する過程と、前記書込みコイルの上に薄膜導磁
性材料の補助磁極を形成する過程と、 前記補助磁極を空気ベアリング面(ABS)から凹ませ
る過程と、 前記媒体にデータを書込むための主磁極を、前記補助磁
極の上に、前記主磁極が前記ABSまで延長するように
形成する過程とからなる方法。 - 【請求項28】 バックギャップを形成する過程を更に
含むことを特徴とする請求項27に記載の方法。 - 【請求項29】 垂直磁気記録用薄膜書込みヘッドの製
造方法であって、 媒体への書込み動作における磁束の復路を設けるべく、
導磁性材料の第1磁極(P1)を形成する過程と、 前記第1磁極(P1)の上にインダクティブ書込みコイ
ルを形成する過程と、 前記媒体の上にデータを書込むための主磁極を、前記書
込みコイルの上に、前記主磁極が空気ベアリング面(A
BS)まで延長するように形成する過程と、 薄膜導磁性材料の補助磁極を前記主磁極の上に形成する
過程と、 前記補助磁極を前記ABSから凹ませる過程とからなる
方法。 - 【請求項30】バックギャップを形成する過程を更に含
むことを特徴とする請求項29に記載の方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005276421A (ja) * | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Seagate Technology Llc | クラッド・コイルを有する磁気記録ヘッド |
JP2007220273A (ja) * | 2006-02-15 | 2007-08-30 | Samsung Electronics Co Ltd | 垂直磁気ヘッド及びその製造方法 |
Families Citing this family (165)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6651313B1 (en) * | 2000-10-06 | 2003-11-25 | International Business Machines Corporation | Method for manufacturing a magnetic head |
JP2003036503A (ja) * | 2001-07-24 | 2003-02-07 | Hitachi Ltd | 垂直記録用磁気ヘッド及びそれを搭載した磁気ディスク装置 |
US6948231B2 (en) * | 2002-05-21 | 2005-09-27 | International Business Machines Corporation | Method of depositing material into high aspect ratio features |
JP2004086961A (ja) * | 2002-08-26 | 2004-03-18 | Hitachi Ltd | 磁気ヘッド及び磁気記録装置 |
US6980395B2 (en) * | 2002-10-31 | 2005-12-27 | International Business Machines Corporation | Enhanced coplanar conductance structure for inductive heads |
JP2004342210A (ja) * | 2003-05-15 | 2004-12-02 | Tdk Corp | 垂直磁気記録用磁気ヘッドおよびその製造方法、ヘッドジンバルアセンブリならびにハードディスク装置 |
US7508624B1 (en) | 2003-08-01 | 2009-03-24 | Lauer Mark A | Transducers for perpendicular recording with write pole tip angled toward media |
US7075750B2 (en) * | 2003-08-29 | 2006-07-11 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Apparatus for patterning a self-aligned coil using a damascene process |
US20050099727A1 (en) * | 2003-11-12 | 2005-05-12 | Headway Technologies, Inc. | Write-head having recessed magnetic material in gap region |
US7660080B1 (en) | 2004-04-30 | 2010-02-09 | Western Digital (Fremont), Llc | Read/write head with dynamic flying height control by magnetostriction |
US7441325B2 (en) * | 2004-04-30 | 2008-10-28 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Perpendicular head with trailing shield and rhodium gap process |
US7092195B1 (en) | 2004-05-28 | 2006-08-15 | Western Digital (Fremont), Inc. | Method of using a magnetic write head having an internal heater |
US7732069B1 (en) * | 2004-06-10 | 2010-06-08 | Seagate Technology Llc | Thin SUL media with shielded pole head |
US7372665B1 (en) | 2005-01-18 | 2008-05-13 | Western Digital (Fremont), Llc | Magnetic recording head with resistive heating element located near the write coil |
US7428124B1 (en) | 2005-01-18 | 2008-09-23 | Western Digital (Fremont), Llc | Magnetic recording head with resistive heating element and thermal barrier layer |
US7430098B1 (en) | 2005-01-18 | 2008-09-30 | Western Digital (Fremont), Llc | Perpendicular magnetic recording head with dynamic flying height heating element |
JP4113879B2 (ja) * | 2005-02-04 | 2008-07-09 | Tdk株式会社 | 垂直磁気記録ヘッドおよび磁気記録装置 |
US7463450B2 (en) * | 2005-05-23 | 2008-12-09 | Headweay Technologies, Inc. | Thin film magnetic head |
US7365942B2 (en) * | 2005-06-22 | 2008-04-29 | Headway Technologies, Inc. | Thin-film magnetic head |
US8689430B1 (en) | 2006-11-29 | 2014-04-08 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for providing a perpendicular magnetic recording (PMR)head |
US7688546B1 (en) * | 2006-12-21 | 2010-03-30 | Western Digital (Fremont), Llc | Perpendicular magnetic recording head having nonmagnetic insertion layers |
KR100866956B1 (ko) * | 2007-01-26 | 2008-11-05 | 삼성전자주식회사 | 수직 자기 기록 헤드 |
US7990652B2 (en) * | 2007-12-03 | 2011-08-02 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Perpendicular magnetic write head with stepped write pole for reduced MCW dependency on skew angle |
US20090244787A1 (en) * | 2008-03-31 | 2009-10-01 | Alan Paul Giorgi | Perpendicular head with wide track writing capability and methods of media testing |
US8066893B2 (en) * | 2008-12-23 | 2011-11-29 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method for creating a magnetic write pole having a stepped perpendicular pole via CMP-assisted liftoff |
US8404128B1 (en) | 2009-02-23 | 2013-03-26 | Western Digital (Fremont), Llc | Method and system for providing a perpendicular magnetic recording head |
US8400731B1 (en) | 2009-04-19 | 2013-03-19 | Western Digital (Fremont), Llc | Write head with variable side shield gaps |
US8611055B1 (en) | 2009-07-31 | 2013-12-17 | Western Digital (Fremont), Llc | Magnetic etch-stop layer for magnetoresistive read heads |
US20110075299A1 (en) * | 2009-09-30 | 2011-03-31 | Olson Trevor W | Magnetic write heads for hard disk drives and method of forming same |
US8449752B2 (en) * | 2009-09-30 | 2013-05-28 | HGST Netherlands B.V. | Trailing plated step |
US8724258B2 (en) * | 2009-09-30 | 2014-05-13 | HGST Netherlands B.V. | Slanted bump design for magnetic shields in perpendicular write heads and method of making same |
US9202480B2 (en) | 2009-10-14 | 2015-12-01 | Western Digital (Fremont), LLC. | Double patterning hard mask for damascene perpendicular magnetic recording (PMR) writer |
US8842389B2 (en) * | 2009-10-26 | 2014-09-23 | Headway Technologies, Inc. | Wrap-around shielded writer with highly homogeneous shield material |
US8441896B2 (en) | 2010-06-25 | 2013-05-14 | Western Digital (Fremont), Llc | Energy assisted magnetic recording head having laser integrated mounted to slider |
US8416529B2 (en) | 2010-08-27 | 2013-04-09 | Seagate Technology Llc | Magnetically damped return pole in a magnetic head |
US8997832B1 (en) | 2010-11-23 | 2015-04-07 | Western Digital (Fremont), Llc | Method of fabricating micrometer scale components |
US8441756B1 (en) | 2010-12-16 | 2013-05-14 | Western Digital (Fremont), Llc | Method and system for providing an antiferromagnetically coupled writer |
US9123359B1 (en) | 2010-12-22 | 2015-09-01 | Western Digital (Fremont), Llc | Magnetic recording transducer with sputtered antiferromagnetic coupling trilayer between plated ferromagnetic shields and method of fabrication |
US8797686B1 (en) | 2010-12-23 | 2014-08-05 | Western Digital (Fremont), Llc | Magnetic recording transducer with short effective throat height and method of fabrication |
US8456961B1 (en) | 2011-03-22 | 2013-06-04 | Western Digital (Fremont), Llc | Systems and methods for mounting and aligning a laser in an electrically assisted magnetic recording assembly |
US9053715B1 (en) | 2011-03-29 | 2015-06-09 | Western Digital (Fremont), LLC. | System for providing a transducer having a split main pole |
US8419954B1 (en) | 2011-10-31 | 2013-04-16 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for providing a side shield for a magnetic recording transducer |
US8451563B1 (en) | 2011-12-20 | 2013-05-28 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for providing a side shield for a magnetic recording transducer using an air bridge |
US8760823B1 (en) | 2011-12-20 | 2014-06-24 | Western Digital (Fremont), Llc | Method and system for providing a read transducer having soft and hard magnetic bias structures |
US9093639B2 (en) | 2012-02-21 | 2015-07-28 | Western Digital (Fremont), Llc | Methods for manufacturing a magnetoresistive structure utilizing heating and cooling |
US9349392B1 (en) | 2012-05-24 | 2016-05-24 | Western Digital (Fremont), Llc | Methods for improving adhesion on dielectric substrates |
US8724259B1 (en) | 2012-06-11 | 2014-05-13 | Western Digital (Fremont), Llc | Conformal high moment side shield seed layer for perpendicular magnetic recording writer |
US8628672B1 (en) | 2012-06-27 | 2014-01-14 | Western Digital (Fremont), Llc | Process for manufacturing a perpendicular magnetic recording writer pole with nonmagnetic bevel |
US9269382B1 (en) | 2012-06-29 | 2016-02-23 | Western Digital (Fremont), Llc | Method and system for providing a read transducer having improved pinning of the pinned layer at higher recording densities |
US8711528B1 (en) | 2012-06-29 | 2014-04-29 | Western Digital (Fremont), Llc | Tunnel magnetoresistance read head with narrow shield-to-shield spacing |
US9213322B1 (en) | 2012-08-16 | 2015-12-15 | Western Digital (Fremont), Llc | Methods for providing run to run process control using a dynamic tuner |
US9053719B2 (en) | 2012-11-30 | 2015-06-09 | Western Digital (Fremont), Llc | Magnetoresistive sensor for a magnetic storage system read head, and fabrication method thereof |
US8984740B1 (en) | 2012-11-30 | 2015-03-24 | Western Digital (Fremont), Llc | Process for providing a magnetic recording transducer having a smooth magnetic seed layer |
US8980109B1 (en) | 2012-12-11 | 2015-03-17 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for providing a magnetic recording transducer using a combined main pole and side shield CMP for a wraparound shield scheme |
US8760818B1 (en) | 2013-01-09 | 2014-06-24 | Western Digital (Fremont), Llc | Systems and methods for providing magnetic storage elements with high magneto-resistance using heusler alloys |
US9042208B1 (en) | 2013-03-11 | 2015-05-26 | Western Digital Technologies, Inc. | Disk drive measuring fly height by applying a bias voltage to an electrically insulated write component of a head |
US9336814B1 (en) | 2013-03-12 | 2016-05-10 | Western Digital (Fremont), Llc | Inverse tapered waveguide for use in a heat assisted magnetic recording head |
US8883017B1 (en) | 2013-03-12 | 2014-11-11 | Western Digital (Fremont), Llc | Method and system for providing a read transducer having seamless interfaces |
US9013836B1 (en) | 2013-04-02 | 2015-04-21 | Western Digital (Fremont), Llc | Method and system for providing an antiferromagnetically coupled return pole |
US9111564B1 (en) | 2013-04-02 | 2015-08-18 | Western Digital (Fremont), Llc | Magnetic recording writer having a main pole with multiple flare angles |
US9104107B1 (en) | 2013-04-03 | 2015-08-11 | Western Digital (Fremont), Llc | DUV photoresist process |
US8993217B1 (en) | 2013-04-04 | 2015-03-31 | Western Digital (Fremont), Llc | Double exposure technique for high resolution disk imaging |
US9070381B1 (en) | 2013-04-12 | 2015-06-30 | Western Digital (Fremont), Llc | Magnetic recording read transducer having a laminated free layer |
US9245545B1 (en) | 2013-04-12 | 2016-01-26 | Wester Digital (Fremont), Llc | Short yoke length coils for magnetic heads in disk drives |
US9064527B1 (en) | 2013-04-12 | 2015-06-23 | Western Digital (Fremont), Llc | High order tapered waveguide for use in a heat assisted magnetic recording head |
US9431047B1 (en) | 2013-05-01 | 2016-08-30 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for providing an improved AFM reader shield |
US9064528B1 (en) | 2013-05-17 | 2015-06-23 | Western Digital Technologies, Inc. | Interferometric waveguide usable in shingled heat assisted magnetic recording in the absence of a near-field transducer |
US9431039B1 (en) | 2013-05-21 | 2016-08-30 | Western Digital (Fremont), Llc | Multiple sensor array usable in two-dimensional magnetic recording |
US9263067B1 (en) | 2013-05-29 | 2016-02-16 | Western Digital (Fremont), Llc | Process for making PMR writer with constant side wall angle |
US9361913B1 (en) | 2013-06-03 | 2016-06-07 | Western Digital (Fremont), Llc | Recording read heads with a multi-layer AFM layer methods and apparatuses |
US9406331B1 (en) | 2013-06-17 | 2016-08-02 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for making ultra-narrow read sensor and read transducer device resulting therefrom |
US9287494B1 (en) | 2013-06-28 | 2016-03-15 | Western Digital (Fremont), Llc | Magnetic tunnel junction (MTJ) with a magnesium oxide tunnel barrier |
US9318130B1 (en) | 2013-07-02 | 2016-04-19 | Western Digital (Fremont), Llc | Method to fabricate tunneling magnetic recording heads with extended pinned layer |
US8947985B1 (en) | 2013-07-16 | 2015-02-03 | Western Digital (Fremont), Llc | Heat assisted magnetic recording transducers having a recessed pole |
US8923102B1 (en) | 2013-07-16 | 2014-12-30 | Western Digital (Fremont), Llc | Optical grating coupling for interferometric waveguides in heat assisted magnetic recording heads |
US9275657B1 (en) | 2013-08-14 | 2016-03-01 | Western Digital (Fremont), Llc | Process for making PMR writer with non-conformal side gaps |
US9431032B1 (en) | 2013-08-14 | 2016-08-30 | Western Digital (Fremont), Llc | Electrical connection arrangement for a multiple sensor array usable in two-dimensional magnetic recording |
US9042051B2 (en) | 2013-08-15 | 2015-05-26 | Western Digital (Fremont), Llc | Gradient write gap for perpendicular magnetic recording writer |
US9343098B1 (en) | 2013-08-23 | 2016-05-17 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for providing a heat assisted magnetic recording transducer having protective pads |
US9343086B1 (en) | 2013-09-11 | 2016-05-17 | Western Digital (Fremont), Llc | Magnetic recording write transducer having an improved sidewall angle profile |
US9441938B1 (en) | 2013-10-08 | 2016-09-13 | Western Digital (Fremont), Llc | Test structures for measuring near field transducer disc length |
US9042058B1 (en) | 2013-10-17 | 2015-05-26 | Western Digital Technologies, Inc. | Shield designed for middle shields in a multiple sensor array |
US9349394B1 (en) | 2013-10-18 | 2016-05-24 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for fabricating a magnetic writer having a gradient side gap |
US9214172B2 (en) | 2013-10-23 | 2015-12-15 | Western Digital (Fremont), Llc | Method of manufacturing a magnetic read head |
US9007719B1 (en) | 2013-10-23 | 2015-04-14 | Western Digital (Fremont), Llc | Systems and methods for using double mask techniques to achieve very small features |
US8988812B1 (en) | 2013-11-27 | 2015-03-24 | Western Digital (Fremont), Llc | Multi-sensor array configuration for a two-dimensional magnetic recording (TDMR) operation |
US9194692B1 (en) | 2013-12-06 | 2015-11-24 | Western Digital (Fremont), Llc | Systems and methods for using white light interferometry to measure undercut of a bi-layer structure |
US9280990B1 (en) | 2013-12-11 | 2016-03-08 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for fabricating a magnetic writer using multiple etches |
US9001628B1 (en) | 2013-12-16 | 2015-04-07 | Western Digital (Fremont), Llc | Assistant waveguides for evaluating main waveguide coupling efficiency and diode laser alignment tolerances for hard disk |
US8917581B1 (en) | 2013-12-18 | 2014-12-23 | Western Digital Technologies, Inc. | Self-anneal process for a near field transducer and chimney in a hard disk drive assembly |
US9082423B1 (en) | 2013-12-18 | 2015-07-14 | Western Digital (Fremont), Llc | Magnetic recording write transducer having an improved trailing surface profile |
US8971160B1 (en) | 2013-12-19 | 2015-03-03 | Western Digital (Fremont), Llc | Near field transducer with high refractive index pin for heat assisted magnetic recording |
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US9183854B2 (en) | 2014-02-24 | 2015-11-10 | Western Digital (Fremont), Llc | Method to make interferometric taper waveguide for HAMR light delivery |
US9396743B1 (en) | 2014-02-28 | 2016-07-19 | Western Digital (Fremont), Llc | Systems and methods for controlling soft bias thickness for tunnel magnetoresistance readers |
US8988825B1 (en) | 2014-02-28 | 2015-03-24 | Western Digital (Fremont, LLC | Method for fabricating a magnetic writer having half-side shields |
US9142233B1 (en) | 2014-02-28 | 2015-09-22 | Western Digital (Fremont), Llc | Heat assisted magnetic recording writer having a recessed pole |
US9202493B1 (en) | 2014-02-28 | 2015-12-01 | Western Digital (Fremont), Llc | Method of making an ultra-sharp tip mode converter for a HAMR head |
US9153255B1 (en) | 2014-03-05 | 2015-10-06 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for fabricating a magnetic writer having an asymmetric gap and shields |
US9001467B1 (en) | 2014-03-05 | 2015-04-07 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for fabricating side shields in a magnetic writer |
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US9135937B1 (en) | 2014-05-09 | 2015-09-15 | Western Digital (Fremont), Llc | Current modulation on laser diode for energy assisted magnetic recording transducer |
US8958272B1 (en) | 2014-06-10 | 2015-02-17 | Western Digital (Fremont), Llc | Interfering near field transducer for energy assisted magnetic recording |
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US9508363B1 (en) | 2014-06-17 | 2016-11-29 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for fabricating a magnetic write pole having a leading edge bevel |
US9361914B1 (en) | 2014-06-18 | 2016-06-07 | Western Digital (Fremont), Llc | Magnetic sensor with thin capping layer |
US9214169B1 (en) | 2014-06-20 | 2015-12-15 | Western Digital (Fremont), Llc | Magnetic recording read transducer having a laminated free layer |
US9053735B1 (en) | 2014-06-20 | 2015-06-09 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for fabricating a magnetic writer using a full-film metal planarization |
US9042052B1 (en) | 2014-06-23 | 2015-05-26 | Western Digital (Fremont), Llc | Magnetic writer having a partially shunted coil |
US9230565B1 (en) | 2014-06-24 | 2016-01-05 | Western Digital (Fremont), Llc | Magnetic shield for magnetic recording head |
US9190079B1 (en) | 2014-09-22 | 2015-11-17 | Western Digital (Fremont), Llc | Magnetic write pole having engineered radius of curvature and chisel angle profiles |
US9007725B1 (en) | 2014-10-07 | 2015-04-14 | Western Digital (Fremont), Llc | Sensor with positive coupling between dual ferromagnetic free layer laminates |
US9087527B1 (en) | 2014-10-28 | 2015-07-21 | Western Digital (Fremont), Llc | Apparatus and method for middle shield connection in magnetic recording transducers |
US9704511B2 (en) * | 2014-11-12 | 2017-07-11 | Tdk Corporation | Perpendicular magnetic recording head with improved density recording |
US9786301B1 (en) | 2014-12-02 | 2017-10-10 | Western Digital (Fremont), Llc | Apparatuses and methods for providing thin shields in a multiple sensor array |
US9721595B1 (en) | 2014-12-04 | 2017-08-01 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for providing a storage device |
US9111550B1 (en) | 2014-12-04 | 2015-08-18 | Western Digital (Fremont), Llc | Write transducer having a magnetic buffer layer spaced between a side shield and a write pole by non-magnetic layers |
US9236560B1 (en) | 2014-12-08 | 2016-01-12 | Western Digital (Fremont), Llc | Spin transfer torque tunneling magnetoresistive device having a laminated free layer with perpendicular magnetic anisotropy |
US9286919B1 (en) | 2014-12-17 | 2016-03-15 | Western Digital (Fremont), Llc | Magnetic writer having a dual side gap |
US9881638B1 (en) | 2014-12-17 | 2018-01-30 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for providing a near-field transducer (NFT) for a heat assisted magnetic recording (HAMR) device |
US9214165B1 (en) | 2014-12-18 | 2015-12-15 | Western Digital (Fremont), Llc | Magnetic writer having a gradient in saturation magnetization of the shields |
US9741366B1 (en) | 2014-12-18 | 2017-08-22 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for fabricating a magnetic writer having a gradient in saturation magnetization of the shields |
US9343087B1 (en) | 2014-12-21 | 2016-05-17 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for fabricating a magnetic writer having half shields |
US10074387B1 (en) | 2014-12-21 | 2018-09-11 | Western Digital (Fremont), Llc | Method and system for providing a read transducer having symmetric antiferromagnetically coupled shields |
US9437251B1 (en) | 2014-12-22 | 2016-09-06 | Western Digital (Fremont), Llc | Apparatus and method having TDMR reader to reader shunts |
US9449625B1 (en) | 2014-12-24 | 2016-09-20 | Western Digital (Fremont), Llc | Heat assisted magnetic recording head having a plurality of diffusion barrier layers |
US9123374B1 (en) | 2015-02-12 | 2015-09-01 | Western Digital (Fremont), Llc | Heat assisted magnetic recording writer having an integrated polarization rotation plate |
US9312064B1 (en) | 2015-03-02 | 2016-04-12 | Western Digital (Fremont), Llc | Method to fabricate a magnetic head including ion milling of read gap using dual layer hard mask |
US9431031B1 (en) | 2015-03-24 | 2016-08-30 | Western Digital (Fremont), Llc | System and method for magnetic transducers having multiple sensors and AFC shields |
US9443541B1 (en) | 2015-03-24 | 2016-09-13 | Western Digital (Fremont), Llc | Magnetic writer having a gradient in saturation magnetization of the shields and return pole |
US9449621B1 (en) | 2015-03-26 | 2016-09-20 | Western Digital (Fremont), Llc | Dual free layer magnetic reader having a rear bias structure having a high aspect ratio |
US9384763B1 (en) | 2015-03-26 | 2016-07-05 | Western Digital (Fremont), Llc | Dual free layer magnetic reader having a rear bias structure including a soft bias layer |
US9245562B1 (en) | 2015-03-30 | 2016-01-26 | Western Digital (Fremont), Llc | Magnetic recording writer with a composite main pole |
US9147404B1 (en) | 2015-03-31 | 2015-09-29 | Western Digital (Fremont), Llc | Method and system for providing a read transducer having a dual free layer |
US9263071B1 (en) | 2015-03-31 | 2016-02-16 | Western Digital (Fremont), Llc | Flat NFT for heat assisted magnetic recording |
US9508372B1 (en) | 2015-06-03 | 2016-11-29 | Western Digital (Fremont), Llc | Shingle magnetic writer having a low sidewall angle pole |
US9508365B1 (en) | 2015-06-24 | 2016-11-29 | Western Digital (Fremont), LLC. | Magnetic reader having a crystal decoupling structure |
US9530443B1 (en) | 2015-06-25 | 2016-12-27 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for fabricating a magnetic recording device having a high aspect ratio structure |
US9842615B1 (en) | 2015-06-26 | 2017-12-12 | Western Digital (Fremont), Llc | Magnetic reader having a nonmagnetic insertion layer for the pinning layer |
US9646639B2 (en) | 2015-06-26 | 2017-05-09 | Western Digital (Fremont), Llc | Heat assisted magnetic recording writer having integrated polarization rotation waveguides |
US9431038B1 (en) | 2015-06-29 | 2016-08-30 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for fabricating a magnetic write pole having an improved sidewall angle profile |
US9666214B1 (en) | 2015-09-23 | 2017-05-30 | Western Digital (Fremont), Llc | Free layer magnetic reader that may have a reduced shield-to-shield spacing |
US9472216B1 (en) | 2015-09-23 | 2016-10-18 | Western Digital (Fremont), Llc | Differential dual free layer magnetic reader |
US9384765B1 (en) | 2015-09-24 | 2016-07-05 | Western Digital (Fremont), Llc | Method and system for providing a HAMR writer having improved optical efficiency |
US9424866B1 (en) | 2015-09-24 | 2016-08-23 | Western Digital (Fremont), Llc | Heat assisted magnetic recording write apparatus having a dielectric gap |
US9595273B1 (en) | 2015-09-30 | 2017-03-14 | Western Digital (Fremont), Llc | Shingle magnetic writer having nonconformal shields |
US9484051B1 (en) | 2015-11-09 | 2016-11-01 | The Provost, Fellows, Foundation Scholars and the other members of Board, of the College of the Holy and Undivided Trinity of Queen Elizabeth near Dublin | Method and system for reducing undesirable reflections in a HAMR write apparatus |
US9953670B1 (en) | 2015-11-10 | 2018-04-24 | Western Digital (Fremont), Llc | Method and system for providing a HAMR writer including a multi-mode interference device |
US10037770B1 (en) | 2015-11-12 | 2018-07-31 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for providing a magnetic recording write apparatus having a seamless pole |
US9812155B1 (en) | 2015-11-23 | 2017-11-07 | Western Digital (Fremont), Llc | Method and system for fabricating high junction angle read sensors |
US9564150B1 (en) | 2015-11-24 | 2017-02-07 | Western Digital (Fremont), Llc | Magnetic read apparatus having an improved read sensor isolation circuit |
US9799351B1 (en) | 2015-11-30 | 2017-10-24 | Western Digital (Fremont), Llc | Short yoke length writer having assist coils |
US9754611B1 (en) | 2015-11-30 | 2017-09-05 | Western Digital (Fremont), Llc | Magnetic recording write apparatus having a stepped conformal trailing shield |
US9740805B1 (en) | 2015-12-01 | 2017-08-22 | Western Digital (Fremont), Llc | Method and system for detecting hotspots for photolithographically-defined devices |
US9767831B1 (en) | 2015-12-01 | 2017-09-19 | Western Digital (Fremont), Llc | Magnetic writer having convex trailing surface pole and conformal write gap |
US9858951B1 (en) | 2015-12-01 | 2018-01-02 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for providing a multilayer AFM layer in a read sensor |
US9721591B1 (en) | 2016-04-12 | 2017-08-01 | Western Digital (Fremont), Llc | Magnetic recording write apparatus having a pole having an aspect ratio greater than one and an auxiliary pole |
US9576598B1 (en) | 2016-06-30 | 2017-02-21 | Western Digital (Fremont), Llc | Magnetic recording write apparatus having a pole and a magnetic separation layer |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6032353A (en) * | 1997-05-15 | 2000-03-07 | Read-Rite Corporation | Magnetic head with low stack height and self-aligned pole tips |
US6111724A (en) * | 1998-04-10 | 2000-08-29 | International Business Machines Corporation | Method of making a magnetic write head with plated self-aligned zero throat height defining layer without reflective notching of a second pole tip |
US6490125B1 (en) * | 1999-04-09 | 2002-12-03 | Read-Rite Corporation | Thin film write head with improved yoke to pole stitch |
US6466401B1 (en) * | 1999-06-02 | 2002-10-15 | Read-Rite Corporation | Thin film write head with interlaced coil winding and method of fabrication |
US6469874B1 (en) * | 2000-03-13 | 2002-10-22 | Headway Technologies, Inc. | Method to make a stitched writer for a giant magneto-resistive head |
US6591480B1 (en) * | 2000-05-12 | 2003-07-15 | Headway Technologies, Inc. | Process for fabricating a flux concentrating stitched head |
-
2001
- 2001-09-14 US US09/952,989 patent/US6791793B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-09-13 JP JP2002269155A patent/JP2003157510A/ja active Pending
-
2004
- 2004-07-29 US US10/903,977 patent/US6906894B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005276421A (ja) * | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Seagate Technology Llc | クラッド・コイルを有する磁気記録ヘッド |
JP2007220273A (ja) * | 2006-02-15 | 2007-08-30 | Samsung Electronics Co Ltd | 垂直磁気ヘッド及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6906894B2 (en) | 2005-06-14 |
US20050007696A1 (en) | 2005-01-13 |
US6791793B1 (en) | 2004-09-14 |
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