JP2005290427A - 電鋳部品及び電鋳部品の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 電鋳加工によって作製した電鋳部品に他の部品を取付ける工程をなくして、簡単な工程で複数部品からなる金属部品を製造する方法を提供する。
【解決手段】 本発明の電鋳部品の製造方法は、マスク４２２を有する基板４２０にエッチング穴４２０ｈを形成する工程と、軸部品４２６の下軸部４２６ｂの先端を含む下軸部の部分を基板４２０のエッチング穴４２０ｈに挿入する工程と、軸部品４２６の一部を挿入した基板４２０に対して電鋳加工を行い、軸部品４２６と一体に電鋳金属部４３０を形成する工程とを含む。
【選択図】 図１

Description

本発明は、電鋳部品及び電鋳部品の製造方法に関する。特に、本発明は、機械式時計用の電鋳部品の製造方法、電子時計用の電鋳部品の製造方法、前記製造方法によって作られた機械式時計の部品、前記製造方法によって作られた電子時計用の部品に関する。さらに、本発明は、前記製造方法によって作られた電鋳部品を少なくとも１つ含む機械式時計、および、前記製造方法によって作られた電鋳部品を少なくとも１つ含むアナログ電子時計に関する。

第１のタイプの従来技術において、微細パターン複製用金型の製作方法では、シリコン基板にフォトレジストを塗布し、このフォトレジストにフォトマスク上のパターンを露光、現像してフォトレジストのパターンを形成し、シリコン基板をエッチング加工し、フォトレジストのパターンを除去して複製用金型の原盤を製作している。さらに、この原盤の表面にＩＴＯ膜を形成し、このＩＴＯ膜上にニッケル電鋳を行い、その後、電鋳部品を剥離することによって金型を製作していた（特許文献１参照）。

第２のタイプの従来技術において、電鋳部品の製造方法は、一部が導電性を有する基板上に非導電性材料をパターン化して電鋳型を形成する工程と、基台の導電性部上に電鋳部品を形成する工程と、非導電性材料を基台および電鋳部品から除去する工程と、電鋳部品を基台から分離する工程とを有している。すなわち、この方法では、ガラス基板上にニッケル導電膜を形成し、非導電性のマスクパターニング（レジスト）を行い、ニッケル電鋳を行い、レジストリムーブの後、超音波、水圧、空圧などを用いて電鋳部品を基台から分離している（特許文献２参照）。

第３のタイプの従来技術では、アンクルの基型を作り、この基型を樹脂基板に転写して母型を作り、樹脂基板の全面に導電膜を作り、電鋳加工により時計のアンクルを形成している（特許文献３参照）。
従来の電鋳加工の工程では、母型を作り、母型が導体の場合には、表面に離型処理をして電着工程に入り、母型が不導体の場合には、母型表面を導体化してから離型処理をして電着工程に入り、所要厚さまで電着した後、電鋳部品を母型から剥離している（非特許文献１参照）。

特開平２−１７０９９４号公報（第２〜４頁、第１図〜第３図） 特開２００１−２５４１９３号公報(第２〜４頁、第１図〜第３図) 特開昭４８−４４１３８号公報（第２〜４頁、第４図） 佐藤敏一著、「特殊加工」、第２３５〜２６１頁、１９８１年第１版発行、１９９７年第８版発行、養賢堂

第１のタイプの従来技術は、光ディスクやホログラムディスクなどの、表面に凹凸を有する平板状の部品を製造するのに使用する金型の製作には適しているけれども、様々な形状を有する機械部品の製造に使用する金型の製作に適用するのが困難であるという課題があった。

第２のタイプの従来技術、或いは、第３のタイプの従来技術を用いると、機械部品を作製することは可能である。しかし、例えば、電鋳部品を回転する機械部品として使用する場合、軸などの部品の取り付けを行う必要が生じることがある。例えば、腕時計を構成する機械部品のように、部品サイズが微小である場合、電鋳部品に他の部品を取付ける工程（例えば、軸の打ち込み、部品相互の接着など）は、部品の材料、形状、寸法の選定、加工機械の製造と調整、加工作業などに高度の技術が要求されている。このような微小部品の製造工程においては、部品のハンドリングが難しいことに加え、圧入による応力で部品が破壊するおそれが生じるという課題があった。また、接着工程において、部品が微小であるため、接着の貼り付け代を十分に確保することができず、余分な接着剤が部品の形状や厚さに悪い影響を及ぼすという課題があった。

本発明の目的は、電鋳加工によって作製した電鋳部品に他の部品を取付ける工程をなくして、簡単な工程で複数部品からなる金属部品を製造する方法を提供することにある。本発明の他の目的は、簡単な工程からなる電鋳加工によって製造された小型の電鋳部品を提供することにある。

本発明は、電鋳部品の製造方法において、（あ）マスクを有する基板にエッチング穴４２０ｈを形成する工程と、（い）軸部品の下軸部の先端を含む下軸部の部分を基板のエッチング穴に挿入する工程と、（う）軸部品の一部を挿入した基板に電鋳加工を行い、軸部品と一体に電鋳金属部を形成する工程とを含むことを特徴とする。また、本発明の方法では、前記（あ）に記載した工程の後に、基板の表面からマスクをリムーブする工程と、基板の表面と、エッチング穴の底面に導電膜を付着させて、基板の表面の導体化を行う工程とを更に含むようにするのがよい。或いは、本発明の方法では、前記（あ）に記載した工程の後に、基板の表面からマスクをリムーブする工程を実施せずに、マスクの上に金属薄膜を形成し、電鋳加工のための表面導体化を行う工程とを更に含むようにすることもできる。この方法を用いることにより、微小な機械部品を簡単な工程からなる電鋳加工によって製造することができる。

さらに、本発明は、電鋳部品の製造方法において、（ａ）基板を準備する工程と、（ｂ）基板の表面にフォトレジストをコートし、コートしたフォトレジストに必要形状を露光し、現像してマスクをパターニングする工程と、（ｃ）マスクを有する基板にエッチング穴を形成する工程と、（ｄ）基板の表面からマスクをリムーブする工程と、（ｅ）基板の表面と、エッチング穴の底面に導電膜を付着させて、基板の表面の導体化を行う工程と、（ｆ）軸部品を準備し、軸部品の下軸部の先端を含む下軸部の部分を基板のエッチング穴に挿入する工程と、（ｇ）基板に厚膜レジストを堆積させ、堆積した厚膜レジストに必要形状を露光し、現像して外形形成用レジストをパターニングする工程と、（ｈ）軸部品の一部を挿入した基板に電鋳加工を行い、外形形成用レジストと軸部品との間に電鋳金属部を形成する工程とを含むことを特徴とする。

本発明の方法では、前記（ｄ）に記載した工程の代わりに、マスクの上に金属薄膜を形成し、電鋳加工のための表面導体化を行う工程を含むようにしてもよい。或いは、本発明の方法では、前記（ｆ）に記載した工程の後に前記（ｇ）に記載した工程を行う代わりに、前記（ｇ）に記載した工程の後に前記（ｆ）に記載した工程を行うこともできる。また、本発明の方法では、軸部品は、軸部品と一体に形成される電鋳金属部の中に位置するように構成された、軸部品の抜け、及び／又は、軸部品の回転を阻止するための輪郭形状を有するのが好ましい。更に、本発明は、上記いずれかの方法によって製造された電鋳部品を提供することができる。

更に、本発明は、時計用の輪列部品において、マスクを有する基板にエッチング穴を形成し、「かな」の下軸部の先端を含む下軸部の部分を基板のエッチング穴に挿入し、「かな」を挿入した基板に電鋳加工を行い、「かな」と一体に歯車を形成することによって製造されることを特徴とする。また、本発明の時計用のアンクルは、マスクを有する基板にエッチング穴を形成し、アンクル真の下軸部の先端を含む下軸部の部分を基板のエッチング穴に挿入し、アンクル真を挿入した基板に電鋳加工を行い、アンクル真と一体にアンクル体を形成し、さらに、剣先およびつめ石をアンクル体に固定することによって製造されることを特徴とする。この方法を用いることにより、時計用の部品を簡単な工程からなる電鋳加工によって製造することができる。更に、本発明は、時計用のアンクルの製造方法において、（あ）マスクを有する基板にエッチング凹部を形成する工程と、（い）基板の表面と、エッチング凹部の表面に導電膜を付着させて、基板の表面の導体化を行う工程と、（う）つめ石を基板のエッチング凹部に配置する工程と、（え）つめ石を配置した基板に電鋳加工を行い、つめ石と一体に電鋳金属部を形成する工程とを含むことを特徴とする。この方法を用いることにより、２つのつめ石を備えた時計用のアンクルを簡単な工程からなる電鋳加工によって製造することができる。

さらに、本発明は、電鋳部品の製造方法において、（あ）基板の凸部を形成する工程と、基板の表面の導体化を行う工程と、中空軸の構造をもつ筒部品の中心穴の部分を基板の凸部に配置する工程と、基板に外形形成用レジストをパターニングする工程と、（お）外形形成用レジストと筒部品との間に電鋳金属部を形成する工程とを含むことを特徴とする。また、本発明は、電鋳部品の製造方法において、基板の凸部を形成する工程と、（い）基板の表面の導体化を行う工程と、（う）基板に外形形成用レジストをパターニングする工程と、（え）中空軸の構造をもつ筒部品の中心穴の部分を基板の凸部に配置する工程と、（お）外形形成用レジストと筒部品との間に電鋳金属部を形成する工程とを含むことを特徴とする。上記の方法において、筒部品はフランジ部を有し、該フランジ部は、電鋳金属部の中に配置されるのが好ましい。さらに、本発明により、上記のいずれかの方法によって製造された筒部品付き電鋳部品を提供することができる。特に、本発明により、上記のいずれかの方法によって製造された筒部品付きの時計用の歯車部品を提供することができる。さらに、本発明により、上記のいずれかの方法によって製造された電鋳部品、上記の方法によって製造された時計用アンクルのうちの少なくとも１つ含む機械式時計を提供することができる。さらに、本発明により、上記のいずれかの方法によって製造された電鋳部品のうちの少なくとも１つ含むアナログ電子時計を提供することができる。

本発明の製造方法を用いることによって、微小な機械部品を簡単な工程からなる電鋳加工によって製造することができる。本発明の製造方法を用いることによって、電鋳部品と一体化される部品、例えば、軸、「かな」、つめ石などの微小な部品の取付け精度を向上させることができる。本明細書において「かな」とは、小歯車（ピニオン）を意味する。本発明の製造方法は、ウェハ上の決まった座標に部品を配置するので、工程の自動化が容易である。本発明により、軸、「かな」、つめ石などの微小な部品を備えた小型部品を、簡単な工程からなる電鋳加工によって製造することができる。さらに、本発明の方法を用いることにより、２つのつめ石を備えた時計用のアンクルを簡単な工程からなる電鋳加工によって製造することができる。本発明の方法を用いることにより、時計用の輪列部品を簡単な工程からなる電鋳加工によって製造することができる。本発明の方法を用いることにより、簡単な工程からなる電鋳加工によって製造した電鋳部品を含む機械式時計、アナログ電子時計を提供することができる。

以下に、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
（１）電鋳部品の製造方法
図１を参照して、本発明の電鋳部品の製造方法の実施形態について説明する。図１（ａ）を参照すると、電鋳部品の製造のために用いる基板４２０を準備する（工程４０１）。基板４２０を構成する材料は、シリコン、ガラス、プラスチックなどである。エッチングの加工精度を考えると、シリコンが適している。基板４２０の大きさは、例えば、２インチ（約５０ｍｍ）〜８インチ（約２００ｍｍ）の範囲の半導体製造に用いられる標準寸法であるのが好ましい。基板４２０の厚さは、基板４２０の大きさによって異なるが、例えば４インチシリコン基板の場合、３００μｍ〜６２５μｍの厚さのものが用いられる。
図１（ｂ）を参照すると、基板４２０の表面にフォトレジストをコートし、コートしたフォトレジストに必要形状を露光し、現像してマスク４２２をパターニングする（工程４０２）。マスク４２２は、フォトレジスト、ＳｉＯ₂ などの他の酸化膜、アルムニウム、クロムなどの金属膜で形成することができる。フォトレジスト以外の材料で構成したマスクを用いる場合、フォトレジストをマスクとして、フォトレジスト以外の材料をエッチングすることによりマスクを形成することができる。マスク４２２の厚さは、基板４２０とマスク４２２のエッチング時の選択比とエッチング深さによって決定される。例えば、基板４２０とマスク４２２の選択比が１００対１のとき、基板４２０のエッチング深さ１００μｍに対する必要なマスク４２２の厚さは１μｍ以上である。好ましくは１．５μｍ〜１０μｍの範囲とする。

図１（ｃ）を参照すると、マスク４２２を有する基板４２０をＤＲＩＥ（Deep RIE）によりエッチングし、基板４２０にエッチング穴４２０ｈを形成する（工程４０３）。図１（ｄ）を参照すると、基板４２０の表面からマスク４２２をリムーブする（工程４０４）。或いは、マスク４２２をリムーブしないで、マスク４２２の上に金属薄膜を形成し、電鋳加工のための表面導体化を行うこともできる。マスク４２２の上に形成する金属薄膜は、例えば、金、銀、銅、ニッケルなどで構成することができる。このような方法では、マスク４２２を構成する材料を選択することによって、電鋳部品を基板４２０の表面から取り外すときの犠牲層として用いることも可能である。このような犠牲層として用いることができる材料として、例えばフォトレジストに代表される樹脂材料が挙げられる。フォトレジストは有機溶媒、発煙硝酸等によって容易に除去することが可能である。

図１（ｅ）を参照すると、基板４２０の表面と、エッチング穴４２０ｈの底面に、金、銀、銅、ニッケルなどの金属の導電膜４２４を付着させて、基板４２０の表面の導体化を行う（工程４０５）。金属の導電膜４２４の付着は、スパッタリング、蒸着、無電解めっきなどの方法により行うことができる。金属の導電膜４２４の膜厚は、数ｎｍ（不連続膜）〜数μｍの範囲であるのが好ましい。

図２（ａ）を参照すると、軸部品４２６を準備する。軸部品４２６を構成する材料は、ガラス、セラミック、プラスチックなどの非導電性の材料を用いることができる。軸部品４２６をアルミニウムで構成する場合、軸部品４２６にアルマイト処理を行うのがよい。軸部品４２６を炭素鋼、ステンレス鋼などの金属で構成する場合、軸部品４２６に酸化膜を付加するのがよい。付加する酸化膜として、軸部品４２６を構成する金属の陽極酸化膜、ＳｉＯ２などがあげられる。或いは、軸部品４２６を金属で構成する場合、軸部品４２６にテフロン（登録商標）などの合成樹脂をコーティングしてもよい。コーティングする材料は、前記テフロン（登録商標）のほか、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリカーボネート、ポリイミドなどの非導電性樹脂があげられる。或いは、軸部品４２６を金属で構成する場合、軸部品４２６の電鋳金属を析出させない部分にレジストを付着させ、電鋳加工が終わったのち、レジストを剥離してもよい。

軸部品４２６は上軸部４２６ａと、下軸部４２６ｂと、上軸部４２６ａと下軸部４２６ｂとの間に位置するフランジ部４２６ｆとを含む。軸部品４２６の下軸部４２６ｂの先端を含む下軸部の部分を基板４２０のエッチング穴４２０ｈに挿入する（工程４０６）。この状態で、軸部品４２６のフランジ部４２６ｆの下面は、導電膜４２４から離れて配置されるのがよい。エッチング穴４２０ｈの内径は、下軸部４２６ｂを受け入れることができるように決められている。本発明の方法により、軸部品４２６をばらばらになっている本体部品に挿入するよりも作業を容易に行うことができる。また、本発明の方法では、軸部品４２６の下軸部４２６ｂを挿入すべき基板４２０のエッチング穴４２０ｈの位置が予め定められているので、軸部品４２６を挿入する工程を自動化するのが可能になる。さらに、本発明の方法では、例えば、外径が４インチ（約１００ｍｍ）〜８インチ（約２００ｍｍ）であるような大きなウェハに軸部品４２６を挿入するので、軸部品４２６を挿入すべき部品の機械的強度が大きく、この部品が破損するおそれはほとんどない。

図２（ｂ）を参照すると、基板４２０に厚膜レジストを堆積させ、堆積した厚膜レジストに必要形状を露光し、現像して外形形成用レジスト４２８をパターニングする（工程４０７）。外形形成用レジスト４２８の厚さは、電鋳加工すべき部品の本体の厚さより厚くなるように設定する。外形形成用レジスト４２８の厚さは、軸部品４２６のフランジ部４２６ｆの上面より厚くなるように形成されるのがよい。外形形成用レジスト４２８の厚さは、電鋳加工すべき部品の本体の厚さによって異なるけれども、１００μｍ〜数ｍｍの範囲であるのが好ましい。本発明の方法では、前記工程４０６を行った後に前記工程４０７を行ってもよいし、或いは、これらの工程を行う順番を逆にして、前記工程４０７を行った後に前記工程４０６を行ってもよい。図２（ｃ）を参照すると、軸部品４２６を挿入した基板４２０に電鋳加工を行い、外形形成用レジスト４２８と軸部品４２６との間に電鋳金属部４３０を形成する（工程４０８）。機械部品を形成する場合において、電鋳金属部４３０を形成する電鋳金属は、例えば、歯車などの構造物に使用する場合、摺動性を考慮し、硬度が高いクロム、ニッケル、鉄、およびこれらを含む合金で構成することができる。また、電鋳金属部４３０を形成する電鋳金属は、装飾性が高い構造物に使用する場合、金、銀、銅、ニッケル、クロム、およびこれらを含む合金で構成することができる。また、構造物の内面を硬度が高いクロム、ニッケル、鉄、およびこれらを含む合金で構成し、構造物の表面を硬度が低い錫、亜鉛、およびこれらを含む合金などで構成するように、特性が異なる二種以上の金属又は合金で電鋳金属部４３０を構成することができる。また、電鋳金属部４３０は、構造物の表面と内面で金属の組成が異なる合金などで構成することができる。
軸部品４２６のフランジ部４２６ｆは、電鋳金属部４３０の中に配置されるのがよい。フランジ部４２６ｆを電鋳金属部４３０の中に配置することにより、軸部品４２６と電鋳金属部４３０との間の接触面積を増やすことができ、軸部品４２６が電鋳金属部４３０から抜けるのを阻止するだけでなく、軸部品４２６が電鋳金属部４３０に対して回転するのを効果的に阻止することができる。すなわち、フランジ部４２６ｆは、軸部品４２６と一体に形成される電鋳金属部４３０の中に位置するように構成された、軸部品４２６の抜け、及び／又は、軸部品４２６の回転を阻止するための輪郭形状を構成している。

次に、図３を参照して、電鋳加工の具体的な方法を説明する。図３（ａ）を参照すると、電鋳すべき金属材料により電鋳液を選ぶ必要があり、例えば、ニッケル電鋳加工ではスルファミン酸浴、ワット浴、硫酸浴などが用いられる。スルファミン酸浴を用いてニッケル電鋳を行う場合は、電鋳加工用の処理槽７４０の中にスルファミン酸ニッケル水和塩を主成分とするスルファミン酸浴電鋳液７４２を入れる。電鋳すべき金属材料からなる陽極電極７４４をスルファミン酸浴７４２の中に浸漬させる。例えば、陽極電極７４４は、電鋳すべき金属材料からなるボールを複数用意し、この金属ボールをチタン等で作った金属製のかごの中に入れることにより構成することができる。電鋳加工を行うべき電鋳型７４８をスルファミン酸浴７４２の中に浸漬させる。図３（ｂ）を参照すると、電鋳型７４８を電源７６０の陰極に接続し、陽極電極７４４を電源７６０の陽極に接続すると、陽極電極７４４を構成する金属がイオン化してスルファミン酸浴中を移動し、電鋳型７４８の型キャビティ７４８ｆ上に金属として析出する。配管（図示せず）を介して弁（図示せず）を処理槽７４０に接続することができる。濾過用フィルタを配管に設け、処理槽７４０から排出されるスルファミン酸浴を濾過することができる。濾過されたスルファミン酸浴は、注入用配管（図示せず）から処理槽７４０の中に戻すことができる。

図２（ｄ）を参照すると、基板４２０から外形形成用レジスト４２８をリムーブし、電鋳部品４３２を取り外す（工程４０９）。電鋳部品４３２は、軸部品４２６と、軸部品４２６に一体化された電鋳金属部４３０とを含む。軸部品４２６のフランジ部４２６ｆが電鋳金属部４３０の中に配置されるので、軸部品４２６が電鋳金属部４３０から分離するおそれがない。
本発明の電鋳部品の製造方法を用いると、電鋳加工により作製した電鋳金属部に他部品を打ち込む必要がなく、或いは、電鋳金属部に他部品を接着などにより取付ける必要がない。したがって、本発明により、金属部品と金属部品（軸、「かな」など）を一体電鋳成形することができるし、また、金属部品と非導電性の部品（軸、「かな」など）を一体電鋳成形することができる。すなわち、本発明の電鋳部品の製造方法を用いることにより、金属部品と金属部品、或いは、金属部品と非導電性の部品が一体電鋳成形されるので、後付け工程を用意することなしに、複数部品からなる機械部品を形成することができる。さらに、電鋳の加工条件を調整することにより、電鋳部品に生じる内部応力を調整することができ、非導電性の部品の取付け圧力をコントロールし、電鋳部品を破損させることなく強固に非導電性の部品を電鋳金属部に固定することができる。

さらに、電鋳金属部に固定すべき部品の固定部に、半径方向に凹凸する種々の輪郭形状を設けることができる。このような半径方向に凹凸する輪郭形状として、例えば、フランジ部、波状部、雄ねじ部、ローレット部、丸カット部、溝部などを挙げることができる。このような電鋳金属部に固定すべき部品に設けられた半径方向に凹凸する輪郭形状を、それぞれ、１つ、或いは、複数個、或いは、前記輪郭形状の何種類かを組み合わせて複数個、電鋳金属部に固定すべき部品の固定部に設けることにより、電鋳金属部に固定すべき部品が電鋳金属部から外れたり、電鋳金属部から抜けたり、電鋳金属部に対して滑ったりするのを確実かつ効果的に防止することができる。すなわち、半径方向に凹凸する輪郭形状を電鋳金属部の中に配置することにより、電鋳金属部に固定すべき部品と電鋳金属部との間の接触面積を増やすことができ、電鋳金属部に固定すべき部品が電鋳金属部から抜けるのを阻止するだけでなく、電鋳金属部に固定すべき部品が電鋳金属部に対して回転するのを効果的に阻止することができる。すなわち、電鋳金属部に固定すべき部品に設けられた半径方向に凹凸する輪郭形状は、電鋳金属部に固定すべき部品と一体に形成される電鋳金属部の中に位置するように構成された、電鋳金属部に固定すべき部品の抜け、及び／又は、電鋳金属部に固定すべき部品の回転を阻止するための輪郭形状を構成している。

（２）電鋳部品の構造
図４および図５を参照すると、電鋳部品４３５は、軸部品４３６と、電鋳金属部４３７とを含む。以下に示すいずれの実施形態においても、軸部品を構成する材料は、ガラス、セラミック、プラスチックなどの非導電性の材料を用いることができる。軸部品をアルミニウムで構成する場合、軸部品にアルマイト処理を行うのがよい。軸部品を、炭素鋼、ステンレス鋼などの金属で構成する場合、軸部品に酸化膜を付加するのがよい。或いは、軸部品を金属で構成する場合、軸部品にテフロン（登録商標）などの合成樹脂をコーティングするのがよい。電鋳金属部４３７の外周部には、歯車部４３７ｇを形成することができる。歯車部４３７ｇの平面形状は、上述した工程４０７において、外形形成用レジスト４２８をパターニングするときの外形形成用レジスト４２８の内側の形状により定められる。或いは、電鋳部品４３５を形成したのち、二次加工として、プレス加工、或いは、歯切り加工などによって、歯車部４３７ｇを形成することもできる。

変形例として、図６を参照すると、電鋳部品４４０は、軸部品４４２と、電鋳金属部４４４とを含む。軸部品４４２は上軸部４４２ａと、下軸部４４２ｂと、上軸部４４２ａと下軸部４４２ｂとの間に位置するフランジ部４４２ｆとを含む。電鋳金属部４４４の外周部には、歯車部４４４ｇを形成することができる。歯車部４４４ｇの平面形状は、上述した工程４０７において、外形形成用レジスト４２８をパターニングするときの外形形成用レジスト４２８の内側の形状により定められる。或いは、電鋳部品４４０を形成したのち、二次加工として、プレス加工、或いは、歯切り加工などによって、歯車部４４４ｇを形成することもできる。電鋳金属部４４４の中に配置される軸部品４４２の固定部に、フランジ部を設けることにより、軸部品４４２が電鋳金属部４４４から外れたり、電鋳金属部４４４から抜けたり、電鋳金属部４４４に対して滑ったりするのを確実かつ効果的に防止することができる。さらに、変形例として、図６に二点鎖線で示すように、電鋳加工を行う前に、軸部品４４２の下軸部４４２ｂに、ピニオン部（外周部に歯車部を設けた小歯車部）を形成することができる。本発明のこのような構成により、減速輪列又は増速輪列を構成する部品として、２つの歯車部を備えた輪列部品（例えば、時計の「番車」、「日の裏車」、「がんぎ車」、「伝え車」など）を効率的に製造することができる。

図７を参照すると、図６に示す構造の変形例として、電鋳部品４５０は、軸部品４５２と、電鋳金属部４５４とを含む。軸部品４５２は上軸部４５２ａと、下軸部４５２ｂと、上軸部４５２ａと下軸部４５２ｂとの間に位置する波形部４５２ｊとを含む。図７には、波形部４５２ｊの一例として、軸部品４５２の一部に雄ねじを設ける構成を示している。波形部４５２ｊの断面形状は、三角形であってもよいし、四角形であってもよいし、半円形であってもよいし、先端に円弧部をもつ三角形などであってもよい。波形部４５２ｊは、雄ねじであってもよいし、１個の凸状部であってもよいし、軸部品４５２の軸線方向に複数個配置された凸状部であってもよい。波形部４５２ｊは、複数ピッチを含む雄ねじで構成するか、或いは、複数個の凸状部で構成するのが好ましい。この構成により、軸部品４５２が電鋳金属部４５４から外れたり、電鋳金属部４５４から抜けたり、電鋳金属部４５４に対して滑ったりするのを一層確実かつ効果的に防止することができる。波形部４５２ｊ（或いは、雄ねじ）などの半径方向に凹凸する輪郭形状を電鋳金属部４５４の中に配置することにより、軸部品４５２と電鋳金属部４５４との間の接触面積を増やすことができ、軸部品４５２が電鋳金属部４５４から抜けるのを阻止するだけでなく、軸部品４５２が電鋳金属部４５４に対して回転するのを効果的に阻止することができる。すなわち、軸部品４５２に設けられた波形部４５２ｊ（或いは、雄ねじ）などの半径方向に凹凸する輪郭形状は、軸部品４５２と一体に形成される電鋳金属部４５４の中に位置するように構成された、軸部品４５２の抜け、及び／又は、軸部品４５２の回転を阻止するための輪郭形状を構成している。

図８を参照すると、図６に示す構造の更なる変形例として、電鋳部品４６０は、軸部品４６２と、電鋳金属部４６４とを含む。軸部品４６２は上軸部４６２ａと、下軸部４６２ｂと、上軸部４６２ａと下軸部４６２ｂとの間に位置する回り止め部４６２ｋとを含む。図８には、回り止め部４６２ｋの一例として、軸部品４６２の一部に、軸部品４６２の軸線方向に２個配置されたローレット部を設ける構成を示している。図９を参照すると、ローレット部４６２ｋの平面図が示されている。ローレット部４６２ｋは転造加工で形成してもよいし、歯切り加工で形成してもよいし、他の加工方法で形成してもよい。回り止め部４６２ｋは、軸部品４６２の軸線方向に１個配置されていてもよいが、軸部品４６２の軸線方向に複数個配置されるのが好ましい。この構成により、軸部品４６２が電鋳金属部４６４から外れたり、電鋳金属部４６４から抜けたり、電鋳金属部４６４に対して滑ったりするのを一層確実かつ効果的に防止することができる。すなわち、軸部品４６２に設けられたローレット部４６２ｋのように半径方向に凹凸する輪郭形状は、軸部品４６２と一体に形成される電鋳金属部４６４の中に位置するように構成された、軸部品４６２の抜け、及び／又は、軸部品４６２の回転を阻止するための輪郭形状を構成している。

図１０を参照すると、二面カットしたフランジを含むフランジ部４６２ｍが、図９に示すローレット部４６２ｋの代わりに設けることができる。フランジ部４６２ｍには、フランジ部４６２ｍの厚さ方向の中間部の一部に、半径方向にくぼんだ溝部４６２ｎを設けることができる。フランジ部４６２ｍは転造加工で形成してもよいし、歯切り加工で形成してもよいし、他の加工方法で形成してもよい。フランジ部４６２ｍは、軸部品４６２の軸線方向に１個形成してもよいが、軸部品４６２の軸線方向に複数個形成してもよい。この構成により、軸部品４６２が電鋳金属部４６４から外れたり、電鋳金属部４６４から抜けたり、電鋳金属部４６４に対して滑ったりするのを一層確実かつ効果的に防止することができる。

図１１を参照すると、フランジ部の厚さ方向の中間部の一部に、半径方向に切り取られた切欠部４６２ｔを形成したフランジ部４６２ｕが、図９に示すローレット部４６２ｋの代わりに設けることができる。フランジ部４６２ｕは転造加工で形成してもよいし、旋盤加工で形成してもよいし、他の加工方法で形成してもよい。フランジ部４６２ｕは、軸部品４６２の軸線方向に１個形成してもよいし、軸部品４６２の軸線方向に複数個形成してもよい。この構成により、軸部品４６２が電鋳金属部４６４から外れたり、電鋳金属部４６４から抜けたり、電鋳金属部２２４に対して滑ったりするのを一層確実かつ効果的に防止することができる。加えて、図５から図８に示すいずれの実施形態においても、電鋳金属部４６４の外周部に、歯車部４６４ｇを形成することができる。さらに、図５から図８に示すいずれの実施形態においても、軸部品４６２の上軸部４６２ａ及び／又は下軸部４６２ｂに、ピニオン部（小歯車部）を形成することができる。

（３）機械式時計の構造
次に、本発明の電鋳部品を適用した機械式時計の実施の形態について説明する。図１２〜図１４を参照すると、機械式時計において、機械式時計のムーブメント（機械体）３００は、ムーブメントの基板を構成する地板３０２を有する。巻真３１０が、地板３０２の巻真案内穴３０２ａに回転可能に組み込まれる。文字板３０４（図２６に仮想線で示す）がムーブメント３００に取付けられる。一般に、地板の両側のうちで、文字板のある方の側をムーブメントの「裏側」と称し、文字板のある方の側と反対側をムーブメントの「表側」と称する。ムーブメントの「表側」に組み込まれる輪列を「表輪列」と称し、ムーブメントの「裏側」に組み込まれる輪列を「裏輪列」と称する。おしどり３９０、かんぬき３９２、かんぬきばね３９４、裏押さえ３９６を含む切換装置により、巻真３１０の軸線方向の位置を決める。きち車３１２が巻真３１０の案内軸部に回転可能に設けられる。巻真３１０が、回転軸線方向に沿ってムーブメントの内側に一番近い方の第１の巻真位置（０段目）にある状態で巻真３１０を回転させると、つづみ車の回転を介してきち車３１２が回転する。丸穴車３１４が、きち車３１２の回転により回転する。角穴車３１６が、丸穴車３１４の回転により回転する。角穴車３１６が回転することにより、香箱車３２０に収容されたぜんまい３２２を巻き上げる。二番車３２４が、香箱車３２０の回転により回転する。がんぎ車３３０が、四番車３２８、三番車３２６、二番車３２４の回転を介して回転する。香箱車３２０、二番車３２４、三番車３２６、四番車３２８は表輪列を構成する。

表輪列の回転を制御するための脱進・調速装置は、てんぷ３４０と、がんぎ車３３０と、アンクル３４２とを含む。てんぷ３４０は、てん真３４０ａと、てん輪３４０ｂと、ひげぜんまい３４０ｃとを含む。二番車３２４の回転に基づいて、筒かな３５０が同時に回転する。筒かな３５０に取付けられた分針３５２が「分」を表示する。筒かな３５０には、二番車３２４に対するスリップ機構が設けられる。筒かな３５０の回転に基づいて、日の裏車の回転を介して、筒車３５４が回転する。筒車３５４に取付けられた時針３５６が「時」を表示する。ひげぜんまい３４０ｃは、複数の巻き数をもったうずまき状（螺旋状）の形態の薄板ばねである。ひげぜんまい３４０ｃの内端部は、てん真３４０ａに固定されたひげ玉３４０ｄに固定され、ひげぜんまい３４０ｃの外端部は、てんぷ受３６６に固定されたひげ持受３７０に取り付けたひげ持３７０ａを介してねじ締めにより固定される。緩急針３６８が、てんぷ受３６６に回転可能に取付けられている。ひげ受１３４０とひげ棒１３４２が、緩急針３６８に取付けられている。ひげぜんまい３４０ｃの外端部に近い部分は、ひげ受１３４０とひげ棒１３４２との間に位置する。てんぷ３４０は、地板３０２及びてんぷ受３６６に対して回転可能なように支持される。

香箱車３２０は、香箱歯車３２０ｄと、香箱真３２０ｆ、ぜんまい３２２とを備える。香箱真３２０ｆは、上軸部３２０ａと、下軸部３２０ｂとを含む。香箱真３２０ｆは、炭素鋼などの金属で形成される。香箱歯車３２０ｄは黄銅などの金属で形成される。二番車３２４は、上軸部３２４ａと、下軸部３２４ｂと、かな部３２４ｃと、歯車部３２４ｄと、そろばん玉部３２４ｈとを含む。二番車３２４のかな部３２４ｃは香箱歯車３２０ｄと噛み合うように構成される。上軸部３２４ａと、下軸部３２４ｂと、そろばん玉部３２４ｂは、炭素鋼などの金属で形成される。歯車部３２４ｄは黄銅などの金属で形成される。三番車３２６は、上軸部３２６ａと、下軸部３２６ｂと、かな部３２６ｃと、歯車部３２６ｄとを含む。三番車３２６のかな部３２６ｃは歯車部３２４ｄと噛み合うように構成される。四番車３２８は、上軸部３２８ａと、下軸部３２８ｂと、かな部３２８ｃと、歯車部３２８ｄとを含む。四番車３２８のかな部３２８ｃは歯車部３２６ｄと噛み合うように構成される。上軸部３２８ａと、下軸部３２８ｂは、炭素鋼などの金属で形成される。歯車部３２８ｄは黄銅などの金属で形成される。がんぎ車３３０は、上軸部３３０ａと、下軸部３３０ｂと、かな部３３０ｃと、歯車部３３０ｄとを含む。がんぎ車３３０のかな部３３０ｃは歯車部３２８ｄと噛み合うように構成される。アンクル３４２は、アンクル体３４２ｄと、アンクル真３４２ｆとを備える。アンクル真３４２ｆは、上軸部３４２ａと、下軸部３４２ｂとを含む。

香箱車３２０は、地板３０２及び香箱受３６０に対して回転可能なように支持される。すなわち、香箱真３２０ｆの上軸部３２０ａは、香箱受３６０に対して回転可能なように支持される。香箱真３２０ｆの下軸部３２０ｂは、地板３０２に対して、回転可能に支持される。二番車３２４、三番車３２６、四番車３２８、がんぎ車３３０は、地板３０２及び輪列受３６２に対して回転可能なように支持される。すなわち、二番車３２４の上軸部３２４ａ、三番車３２６の上軸部３２６ａ、四番車３２８の上軸部３２８ａ、がんぎ車３３０の上軸部３３０ａは、輪列受３６２に対して回転可能なように支持される。また、二番車３２４の下軸部３２４ｂ、三番車３２６の下軸部３２６ｂ、四番車３２８の下軸部３２８ｂ、がんぎ車３３０の下軸部３３０ｂは、地板３０２に対して、回転可能に支持される。アンクル３４２は、地板３０２及びアンクル受３６４に対して回転可能なように支持される。すなわち、アンクル３４２の上軸部３４２ａは、アンクル受３６４に対して回転可能なように支持される。アンクル３４２の下軸部３４２ｂは、地板３０２に対して、回転可能に支持される。

香箱真３２０ｆの上軸部３２０ａを回転可能に支持する香箱受３６０の軸受部と、二番車３２４の上軸部３２４ａを回転可能に支持する輪列受３６２の軸受部と、三番車３２６の上軸部３２６ａを回転可能に支持する輪列受３６２の軸受部と、四番車３２８の上軸部３２８ａを回転可能に支持する輪列受３６２の軸受部と、がんぎ車３３０の上軸部３３０ａを回転可能に支持する輪列受３６２の軸受部と、アンクル３４２の上軸部３４２ａを回転可能に支持するアンクル受３６４の軸受部には、潤滑油が注油される。秒ロータ２７６の下軸部２７６ｂを回転可能に支持する地板３０２の軸受部と、香箱真３２０ｆの下軸部３２０ｂを回転可能に支持する地板３０２の軸受部と、二番車３２４の下軸部３２４ｂを回転可能に支持する地板３０２の軸受部と、三番車３２６の下軸部３２６ｂを回転可能に支持する地板３０２の軸受部と、四番車３２８の下軸部３２８ｂを回転可能に支持する地板３０２の軸受部と、がんぎ車３３０の下軸部３２０ｂを回転可能に支持する地板３０２の軸受部と、アンクル３４２の下軸部３４２ｂを回転可能に支持する地板３０２の軸受部には、潤滑油が注油される。この潤滑油は、精密機械用油であるのが好ましく、いわゆる時計油であるのが特に好ましい。地板３０２のそれぞれの軸受部、香箱受３６０の軸受部、輪列受３６２のそれぞれの軸受部には、潤滑油の保持性能を高めるために、円錐状、円筒状、又は、円錐台状の油溜め部を設けるのが好ましい。油溜め部を設けると、潤滑油の表面張力により油が拡散するのを効果的に阻止することができる。地板３０２、香箱受３６０、輪列受３６２、アンクル受３６４は、黄銅などの金属で形成してもよいし、ポリ−カーボネートなどのエンジニアリングプラスチックで形成してもよい。

（４）三番車の製造方法と構造
図１５〜図１７を参照すると、本発明の実施形態において、三番車３２６は、三番かな３２６ｆと、三番歯車３２６ｇとを含む。三番歯車３２６ｇの厚さは、例えば、１００μｍ〜５００μｍであり、好ましくは１５０μｍ〜２５０μｍである。三番かな３２６ｆは、上軸部３２６ａと、下軸部３２６ｂと、かな部３２６ｃとを含む。三番歯車３２６ｇは、中心支持部３２６ｈと、あみだ部３２６ｊと、歯車部３２６ｄとを含む。図示する実施形態では、あみだ部３２６ｊは５本である。あみだ部３２６ｊの数は３本であってもよいし、４本以上であってもよい。或いは、あみだ部３２６ｊを設けなくてもよい。三番かな３２６ｆは、炭素鋼などの金属で形成される。三番歯車３２６ｇはニッケルなどの金属で形成される。

図２（ａ）を参照すると、軸部品３２６として、三番かな３２６ｆを準備する。三番かな３２６ｆにテフロン（登録商標）などの合成樹脂をコーティングするのがよい。或いは、三番かな３２６ｆの電鋳金属を析出させない部分にレジストを付着させ、電鋳加工が終わったのち、レジストを剥離してもよい。変形例として、三番かな３２６ｆは、ポリアセタールなどのエンジニアリングプラスチックで形成してもよい。この場合、三番かな３２６ｆにテフロン（登録商標）などの合成樹脂をコーティングする必要はないし、三番かな３２６ｆにレジストを付着させる必要もない。

図２（ｂ）を参照すると、基板４２０に厚膜レジストを堆積させ、堆積した厚膜レジストに歯車の輪郭形状とあみだの窓形状を含む必要形状を露光し、現像して外形形成用レジスト４２８をパターニングする（工程４０７）。外形形成用レジスト４２８の厚さは、三番歯車３２６ｇの厚さより大きくなるように設定する。三番歯車３２６ｇの厚さが２００μｍである場合、外形形成用レジスト４２８の厚さは、２００μｍ〜５００μｍの範囲であるのが好ましい。

図２（ｃ）を参照すると、三番かな３２６ｆの下軸部３２６ｂを挿入した基板４２０に電鋳加工を行い、外形形成用レジスト４２８と三番かな３２６ｆとの間に電鋳金属部を形成する（工程４０８）。三番歯車３２６ｇを形成する場合、電鋳金属部は、ニッケル、又は銅であるのが好ましい。図２（ｄ）を参照すると、基板４２０から外形形成用レジスト４２８をリムーブし、電鋳部品として、歯車部３２６ｄが未加工の三番車３２６を取り外す（工程４０９）。電鋳部品として、歯車部３２６ｄが未加工の三番車３２６を形成したのち、二次加工として、プレス加工、或いは、歯切り加工などによって、三番歯車３２６ｇの歯車部３２６ｄを形成することができる。以上のように、本発明の実施形態を三番車について説明したけれども、本発明は三番車だけでなく、二番車、四番車、五番車、伝え車、日の裏車、修正車などにも応用することができる。

（５）がんぎ車の製造方法と構造
図１８〜図２０を参照すると、本発明の実施形態において、がんぎ車３３０は、がんぎかな３３０ｆと、がんぎ歯車３３０ｇとを含む。がんぎ歯車３３０ｇの厚さは、例えば、１００μｍ〜５００μｍであり、好ましくは１００μｍ〜２００μｍである。がんぎかな３３０ｆは、上軸部３３０ａと、下軸部３３０ｂと、かな部３３０ｃとを含む。がんぎ歯車３３０ｇは、中心支持部３３０ｈと、あみだ部３３０ｊと、歯車部（すなわち、アンクルのつめ石と接触して作動する部分）３３０ｄとを含む。図示する実施形態では、あみだ部３３０ｊは４本である。あみだ部３３０ｊの数は３本であってもよいし、４本以上であってもよい。或いは、あみだ部３２６ｊを設けなくてもよい。がんぎかな３３０ｆは、炭素鋼などの金属で形成される。がんぎ歯車３３０ｇはニッケルなどの金属で形成される。

図２（ａ）を参照すると、軸部品１２６として、がんぎかな３３０ｆを準備する。がんぎかな３３０ｆにテフロン（登録商標）などの合成樹脂をコーティングするのがよい。或いは、がんぎかな３３０ｆの電鋳金属を析出させない部分にレジストを付着させ、電鋳加工が終わったのち、レジストを剥離してもよい。変形例として、がんぎかな３３０ｆは、ポリアセタールなどのエンジニアリングプラスチックで形成してもよい。この場合、がんぎかな３３０ｆにテフロン（登録商標）などの合成樹脂をコーティングする必要はないし、がんぎかな３３０ｆにレジストを付着させる必要もない。

図２（ｂ）を参照すると、基板１２０に厚膜レジストを堆積させ、堆積した厚膜レジストにがんぎ車の輪郭形状とあみだの窓形状を含む必要形状を露光し、現像して外形形成用レジスト１２８をパターニングする（工程１０７）。外形形成用レジスト１２８の厚さは、がんぎ歯車３３０ｇの厚さより大きくなるように設定する。がんぎ歯車３３０ｇの厚さが１００μｍ〜５００μｍ、好ましくは１００μｍ〜２００μｍである場合、外形形成用レジスト１２８の厚さは、がんぎ歯車３３０ｇの厚さと同一か、同一から５００μｍ程度の範囲とするのが好ましい。

図２（ｃ）を参照すると、がんぎかな３３０ｆの下軸部３３０ｂを挿入した基板４２０に電鋳加工を行い、外形形成用レジスト４２８とがんぎかな３３０ｆとの間に電鋳金属部を形成する（工程４０８）。がんぎ歯車３３０ｇを形成する場合、電鋳金属部は、ニッケル、又は銅であるのが好ましい。図２（ｄ）を参照すると、基板４２０から外形形成用レジスト４２８をリムーブし、電鋳部品として、歯車部３３０ｄが未加工のがんぎ車３３０を取り外す（工程４０９）。電鋳部品として、歯車部３３０ｄが未加工のがんぎ車３３０を形成したのち、二次加工として、プレス加工、或いは、歯切り加工などによって、がんぎ歯車３３０ｇの歯車部３３０ｄを形成することができる。さらに、図示するように、がんぎ歯車３３０ｇの最外周部に斜面部３３０ｋを設けることが必要である場合、二次加工として、プレス加工、或いは、フライス加工などによって、斜面部３３０ｋを形成することができる。

（６）アンクルの製造方法と構造
図２１〜図２３を参照すると、本発明の実施形態において、アンクル３４２は、アンクル体３４２ｄと、アンクル真３４２ｆと、剣先３４２ｇと、２つのつめ石、すなわち、入りつめ石３４２ｊおよび出つめ石３４２ｋとを備える。アンクル体３４２ｄの厚さは、例えば、１００μｍ〜５００μｍであり、好ましくは１００μｍ〜２００μｍである。アンクル真３４２ｆは、上軸部３４２ａと、下軸部３４２ｂとを含む。アンクル体３４２ｄは、ニッケルなどの金属で形成される。アンクル真３４２ｆは炭素鋼などの金属で形成される。アンクル真３４２ｆは、炭素鋼などの金属で形成される。アンクル体３４２ｄはニッケルなどの金属で形成される。

図２（ａ）を参照すると、軸部品１２６として、アンクル真３４２ｆを準備する。アンクル真３４２ｆにテフロン（登録商標）などの合成樹脂をコーティングするのがよい。或いは、アンクル真３４２ｆの電鋳金属を析出させない部分にレジストを付着させ、電鋳加工が終わったのち、レジストを剥離してもよい。変形例として、アンクル真３４２ｆは、ポリアセタールなどのエンジニアリングプラスチックで形成してもよい。この場合、アンクル真３４２ｆにテフロン（登録商標）などの合成樹脂をコーティングする必要はないし、アンクル真３４２ｆにレジストを付着させる必要もない。

図２（ｂ）を参照すると、基板４２０に厚膜レジストを堆積させ、堆積した厚膜レジストに必要形状を露光し、現像して外形形成用レジスト４２８をパターニングする（工程４０７）。外形形成用レジスト４２８の厚さは、アンクル体３４２ｄの厚さより大きくなるように設定する。アンクル体３４２ｄの厚さが１００μｍ〜５００μｍ、好ましくは１００μｍ〜２００μｍである場合、外形形成用レジスト４２８の厚さは、アンクル体３４２ｄの厚さと同一か、同一から５００μｍ程度の範囲とするのが好ましい。

図２（ｃ）を参照すると、アンクル真３４２ｆの下軸部３４２ｂを挿入した基板４２０に電鋳加工を行い、外形形成用レジスト４２８とアンクル真３４２ｆとの間に電鋳金属部を形成する（工程４０８）。アンクル体３４２ｄを形成する場合、電鋳金属部は、ニッケル、又は銅であるのが好ましい。図２（ｄ）を参照すると、基板４２０から外形形成用レジスト４２８をリムーブし、電鋳部品として、剣先およびつめ石がないアンクル体３４２ｄを取り外す（工程４０９）。電鋳部品として、剣先およびつめ石がないアンクル体３４２ｄを形成したのち、二次加工として、アンクル体３４２ｄに、入りつめ石３４２ｊおよび出つめ石３４２ｋを接着することができる。さらに、二次加工として、アンクル体３４２ｄに、剣先３４２ｇを取付けることができる。剣先３４２ｇは、剣先軸部３４２ｈをアンクル体３４２ｄに嵌めこむことによって固定することもできるし、剣先軸部３４２ｈをアンクル体３４２ｄに接着することによって固定することもできる。さらに、図示するように、アンクル体３４２ｄの剣先３４２ｇに隣接する部分に斜面部３４２ｋを設けることが必要である場合、二次加工として、プレス加工、或いは、フライス加工などによって、斜面部３４２ｋを形成することができる。

（７）つめ石付きアンクルの製造方法
以下に、図２４および図２５を参照して、本発明の電鋳部品の製造方法の実施形態において、つめ石付きアンクルの製造方法を説明する。図２４（ａ）を参照すると、電鋳部品の製造のために用いる基板５２０を準備する（工程５０１）。基板５２０を構成する材料は、シリコン、ガラス、プラスチックなどである。エッチングの加工精度を考えると、シリコンが適している。基板５２０の大きさは、例えば、２インチ（約５０ｍｍ）〜８インチ（約２００ｍｍ）の範囲の半導体製造に用いられる標準寸法であるのが好ましい。基板５２０の厚さは、基板５２０の大きさによって異なるが、例えば４インチシリコン基板の場合、３００μｍ〜６２５μｍの厚さのものが用いられる。

図２４（ｂ）を参照すると、基板５２０の表面にＳｉＯ₂ 膜５２２をコートし、ＳｉＯ₂膜５２２の上にアモルファスシリコン膜５２４をコートする（工程５０２）。ＳｉＯ₂ 膜５２２の厚さは０．１μｍ〜１００μｍの範囲であるのが好ましい。アモルファスシリコン膜５２４の厚さは、ＳｉＯ₂ 膜５２２をエッチングする際の選択比を考慮すると、ＳｉＯ₂ 膜５２２の厚さの１／４程度であるのが好ましい。図２４（ｃ）を参照すると、フォトレジストをアモルファスシリコン膜５２４の上にコートし、コートしたフォトレジストに必要形状を露光し、現像してマスク５２６をパターニングする（工程５０３）。マスク５２６の厚さは、アモルファスシリコン膜５２４とマスク５２６のエッチング時の選択比とエッチング深さによって決定される。例えば、アモルファスシリコン膜５２４とマスク５２６の選択比が１０対１のとき、アモルファスシリコン膜５２４の膜厚５μｍとした場合の必要なマスク５２６の厚さは０．５μm以上である。好ましくは１μｍ〜１０μｍの範囲とする。

図２４（ｄ）を参照すると、基板５２０のアモルファスシリコン膜５２４をエッチングし、アモルファスシリコン膜５２４にエッチング凹部５２４ｈを形成する（工程５０４）。図２４（ｅ）を参照すると、リフトオフ法などによって、基板５２０の表面からマスク５２６をリムーブする（工程５０５）。図２４（ｆ）を参照すると、基板５２０のＳｉＯ₂ 膜５２２をＲＩＥによりエッチングし、ＳｉＯ₂ 膜５２２にエッチング凹部５２２ｈを形成する（工程５０６）。図２４（ｇ）を参照すると、基板５２０の表面をＤＲＩＥ（Deep RIE）又はＲＩＥによりエッチングし、基板５２０にエッチング凹部５２０ｈを形成する（工程５０７）。アモルファスシリコン膜５２４は事前にエッチングしなくても、基板５２０をエッチングするときに除去される。

図２５（ａ）を参照すると、基板５２０のＳｉＯ₂ 膜５２２をＨＦ又はＢＨＦによりエッチングする（工程５０８）。図２５（ｂ）を参照すると、基板５２０の表面上と、基板５２０のエッチング凹部５２０ｈの側壁上及び底面上に金属の導電膜５３０を形成し、電鋳加工のための表面導体化を行う（工程５０９）。キャビティ５３０ｈが基板５２０のエッチング凹部５２０ｈに対応する部分に形成される。基板５２０の上に形成する金属薄膜は、例えば、金、銀、銅、ニッケルなどで構成することができる。金属の導電膜５３０の付着は、スパッタリング、蒸着、無電解めっきなどの方法により行うことができる。金属の導電膜５３０の膜厚は、１０ｎｍ〜数μｍの範囲であるのが好ましい。

図２５（ｃ）を参照すると、つめ石５５０をキャビティ５３０ｈに配置する（工程５１０）。図面を簡略化するために、図２５（ｃ）には１つのつめ石５５０のみを図示するけれども、工程５１０において、２つのつめ石、すなわち、入りつめ石および出つめ石をキャビティ５３０ｈに配置する。つめ石５５０（入りつめ石、出つめ石）を構成する材料は、人工ルビー、セラミック（アルミナ、ジルコニア）などを用いることができる。本発明の方法では、つめ石５５０を配置すべきキャビティ５３０ｈの位置が予め定められているので、つめ石５５０を配置する工程を自動化するのが可能である。さらに、本発明の方法では、例えば、外径が４インチ（約１００ｍｍ）〜８インチ（約２００ｍｍ）であるような大きなウェハにつめ石５５０を配置するので、つめ石５５０を配置すべき部品の機械的強度が大きく、このつめ石５５０を配置すべき部品が破損するおそれはほとんどない。

図２５（ｄ）を参照すると、基板５２０に厚膜レジストを堆積させ、堆積した厚膜レジストに必要形状を露光し、現像して外形形成用レジスト５３２をパターニングする（工程５１１）。外形形成用レジスト５３２の厚さは、電鋳加工すべき部品の本体の厚さより大きくなるように設定する。外形形成用レジスト５３２の厚さは、製造するアンクル体の上面より厚くなるように形成されるのがよい。外形形成用レジスト５３２の厚さは、電鋳加工すべき部品の本体（例えば、アンクル体）の厚さによって異なるけれども、数十μｍ〜数ｍｍの範囲であるのが好ましい。本発明の方法では、前記工程５１０を行った後に前記工程５１１を行ってもよいし、或いは、これらの工程を行う順番を逆にして、前記工程５１１を行った後に前記工程５１０を行ってもよい。図２５（ｅ）を参照すると、つめ石５５０を配置した基板５２０に電鋳加工を行い、外形形成用レジスト５３２の内側に、つめ石５５０を保持する電鋳金属部５４０を形成する（工程５１２）。電鋳加工は、図３を参照して前述したした方法によって行うことができる。アンクルのような機械部品を形成する場合、電鋳金属部５４０は、ニッケル、又は銅であるのが好ましい。この工程５１２では、つめ石５５０は、電鋳金属部５４０と一体となる。電鋳金属部５４０の寸法形状は、製造すべきアンクル体の寸法形状に対応するように定められている。

図２５（ｆ）を参照すると、基板５２０から外形形成用レジスト５３２をリムーブし、つめ石付き電鋳部品５４２を取り外す（工程５１３）。つめ石付き電鋳部品５４２は、電鋳金属部５４０と、つめ石５５０とを含む。前述したように、つめ石５５０は、２つのつめ石、すなわち、入りつめ石３４２ｊおよび出つめ石３４２ｋとからなる。本発明の電鋳部品の製造方法を用いると、電鋳加工により作製した電鋳金属部５４０に、後工程において、つめ石５５０を固定する必要がない。或いは、必要に応じて、電鋳金属部５４０とつめ石５５０に接着剤を付けて、つめ石５５０の保持強度を高めることもできる。したがって、本発明により、金属部品と、他の非導電性の部品（つめ石など）を一体電鋳成形することができる。すなわち、本発明の電鋳部品の製造方法を用いることにより、金属部品と非導電性の部品が一体電鋳成形されるので、後付け工程を用意することなしに、複数部品からなる機械部品を形成することができる。さらに、電鋳の加工条件を調整することにより、電鋳部品に生じる内部応力を調整することができ、非導電性の部品の取付け圧力をコントロールし、電鋳部品を破損させることなく強固に非導電性の部品を電鋳金属部に固定することができる。

図２１〜図２３を参照して前述したように、アンクル３４２は、アンクル体３４２ｄと、アンクル真３４２ｆと、剣先３４２ｇと、２つのつめ石、すなわち、入りつめ石３４２ｊおよび出つめ石３４２ｋとを備える。アンクル体３４２ｄの厚さは、例えば、１００μｍ〜５００μｍであり、好ましくは１００μｍ〜２００μｍである。アンクル真３４２ｆは、上軸部３４２ａと、下軸部３４２ｂとを含む。アンクル体３４２ｄは、ニッケルなどの金属で形成される。アンクル真３４２ｆは炭素鋼などの金属で形成される。アンクル真３４２ｆは、炭素鋼などの金属で形成される。入りつめ石３４２ｊおよび出つめ石３４２ｋとを備えたアンクル体３４２ｄは、図２４および図２５を参照して前述したつめ石付き電鋳部品５４２として形成することができる。図２１〜図２３を参照すると、つめ石付き電鋳部品５４２として、剣先およびアンクル真３４２ｆがないアンクル体３４２ｄを形成したのち、二次加工として、アンクル体３４２ｄに、アンクル真３４２ｆを固定することができる。さらに、二次加工として、アンクル体３４２ｄに、剣先３４２ｇを取付けることができる。剣先３４２ｇは、剣先軸部３４２ｈをアンクル体３４２ｄに嵌めこむことによって固定することもできるし、剣先軸部３４２ｈをアンクル体３４２ｄに接着することによって固定することもできる。さらに、図示するように、アンクル体３４２ｄの剣先３４２ｇに隣接する部分に斜面部３４２ｋを設けることが必要である場合、二次加工として、プレス加工、或いは、フライス加工などによって、斜面部３４２ｋを形成することができる。この方法によって、つめ石のような微小な部品を備えたアンクルを、簡単な工程からなる電鋳加工によって製造することができる。

（８）中空軸部品を備えた電鋳部品の製造方法
図２６および図２７を参照して、本発明の電鋳部品の製造方法の実施形態において、中空軸部品を備えた電鋳部品の製造方法について説明する。以下の説明は、本発明の中空軸部品を備えた電鋳部品の製造方法の実施形態が本発明の中実軸部品を備えた電鋳部品の製造方法の実施形態と異なる点を主に述べる。したがって、以下に記載がない個所は、前述した本発明の中実軸部品を備えた電鋳部品の製造方法の実施形態についての説明をここに準用する。図２６（ａ）を参照すると、電鋳部品の製造のために用いる基板６２０を準備する（工程６０１）。図２６（ｂ）を参照すると、基板６２０の表面において、フォトレジストをコートし、コートしたフォトレジストに中空軸の穴部に対応する形状を露光し、現像して中央マスク６２２をパターニングする（工程６０２）。中央マスク６２２は、フォトレジスト、ＳｉＯ₂ などの他の酸化膜、アルムニウム、クロムなどの金属膜で形成することができる。図２６（ｃ）を参照すると、中央マスク６２２を有する基板６２０をＤＲＩＥ（Deep RIE）によりエッチングし、基板６２０に凹部６２０ｂを形成する（工程６０３）。この工程６０３において、基板６２０の中央マスク６２２に対応する箇所に凸部６２０ｈが形成される。図２６（ｄ）を参照すると、基板６２０の凸部６２０ｈの表面から中央マスク６２２をリムーブする（工程６０４）。図２６（ｅ）を参照すると、基板６２０の凹部６２０ｂの表面に、金、銀、銅、ニッケルなどの金属の導電膜６２４を付着させて、基板６２０の表面の導体化を行う（工程６０５）。

また、工程６０３を行ったあと、中央マスク６２２をリムーブせず、工程６０５を実施して基板６２０の凹部６２０ｂ、および、中央マスク６２２を含む全体表面に金属の導電膜６２４を付着させて、基板６２０の表面の導体化を行い、さらに、工程６０４を実施して中央マスク６２２をリムーブする順に工程を行うこともできる。この場合、工程６０４において中央マスク６２２をリムーブする際、中央マスク６２２上の導電膜６２４がリフトオフされるため、容易に図２６（ｅ）に示した凹部６２０ｂ上にのみ、導電膜６２４が配置された構造を作製することができる。図２７（ａ）を参照すると、筒部品６２６を準備する。筒部品６２６の構造は中空軸である。筒部品６２６を構成する材料は、黄銅、炭素鋼、ステンレス鋼、アルミニウムなどの金属材料を用いることができる。筒部品６２６をアルミニウムで構成する場合、筒部品６２６にアルマイト処理を行うのがよい。筒部品６２６を炭素鋼、ステンレス鋼などの金属で構成する場合、筒部品６２６に酸化膜を付加するのがよい。付加する酸化膜として、筒部品６２６を構成する金属の陽極酸化膜、ＳｉＯ₂ などがあげられる。或いは、筒部品６２６を金属で構成する場合、筒部品６２６にテフロン（登録商標）などの合成樹脂をコーティングしてもよい。コーティングする材料は、前記テフロン（登録商標）のほか、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリカーボネート、ポリイミドなどの非導電性樹脂があげられる。或いは、筒部品６２６を金属で構成する場合、筒部品６２６の電鋳金属を析出させない部分にレジストを付着させ、電鋳加工が終わったのち、レジストを剥離してもよい。

筒部品６２６は上筒部６２６ａと、下筒部６２６ｂと、上筒部６２６ａと下筒部６２６ｂとの間に位置するフランジ部６２６ｆと、中心穴６２６ｈとを含む。筒部品６２６の下筒部６２６ｂの中心穴６２６ｈの部分を基板６２０の凸部６２０ｈに配置する（工程６０６）。この状態で、筒部品６２６のフランジ部６２６ｆの下面は、導電膜６２４から離れて配置されるのがよい。凸部６２０ｈの外径は、筒部品６２６の下筒部６２６ｂの中心穴６２６ｈに嵌め合うことができるように決められている。本発明の方法により、筒部品６２６をばらばらになっている本体部品に挿入するよりも作業を容易に行うことができる。また、本発明の方法では、筒部品６２６の中心穴６２６ｈを配置すべき基板６２０の凸部６２０ｈの位置が予め定められているので、筒部品６２６を配置する工程を自動化するのが可能になる。さらに、本発明の方法では、例えば、外径が４インチ（約１００ｍｍ）〜８インチ（約２００ｍｍ）であるような大きなウェハに筒部品６２６を挿入するので、筒部品６２６を挿入すべき部品の機械的強度が大きく、この部品が破損するおそれはほとんどない。

図２７（ｂ）を参照すると、基板６２０に厚膜レジストを堆積させ、堆積した厚膜レジストに必要形状を露光し、現像して外形形成用レジスト６２８をパターニングする（工程６０７）。外形形成用レジスト６２８の厚さは、電鋳加工すべき部品の本体の厚さより大きくなるように設定する。外形形成用レジスト６２８の厚さは、筒部品６２６のフランジ部６２６ｆの上面より厚くなるように形成されるのがよい。外形形成用レジスト６２８の厚さは、電鋳加工すべき部品の本体の厚さによって異なるけれども、１００μｍ〜数ｍｍの範囲であるのが好ましい。本発明の方法では、前記工程６０６を行った後に前記工程６０７を行ってもよいし、或いは、これらの工程を行う順番を逆にして、前記工程６０７を行った後に前記工程６０６を行ってもよい。図２７（ｃ）を参照すると、筒部品６２６を配置した基板６２０に電鋳加工を行い、外形形成用レジスト６２８と筒部品６２６との間に電鋳金属部６３０を形成する（工程６０８）。機械部品を形成する場合、電鋳金属部６３０は、ニッケル、又は銅であるのが好ましい。筒部品６２６のフランジ部６２６ｆは、電鋳金属部６３０の中に配置されるのがよい。フランジ部６２６ｆを電鋳金属部６３０の中に配置することにより、筒部品６２６と電鋳金属部６３０との間の接触面積を増やすことができ、筒部品６２６が電鋳金属部６３０から抜けるのを阻止するだけでなく、筒部品６２６が電鋳金属部６３０に対して回転するのを効果的に阻止することができる。すなわち、フランジ部６２６ｆは、筒部品６２６と一体に形成される電鋳金属部６３０の中に位置するように構成された、筒部品６２６の抜け、及び／又は、筒部品６２６の回転を阻止するための輪郭形状を構成している。図２７（ｄ）を参照すると、基板６２０から外形形成用レジスト６２８をリムーブし、電鋳部品６３２を取り外す（工程６０９）。電鋳部品６３２は、筒部品６２６と、筒部品６２６に一体化された電鋳金属部６３０とを含む。筒部品６２６のフランジ部６２６ｆが電鋳金属部６３０の中に配置されるので、筒部品６２６が電鋳金属部６３０から分離するおそれがない。以上説明したように、本発明の電鋳部品の製造方法を適用した機械式時計は、本発明の電鋳部品の製造方法によって製造された電鋳部品のうちの少なくとも１つ含むのが好ましい。

（９）アナログ電子時計の構造
以下に説明する本発明の電鋳部品の製造方法を適用した実施の形態は、輪列を有する時計、すなわち、アナログ電子時計に関するものである。しかしながら、本発明の電鋳部品の製造方法は、アナログ電子時計に限定されるものでなく、計測器、印刷機、映像機器、録音機器、記録機器などの輪列を構成する部材等に広く適用することができる。図２８〜図３１を参照すると、アナログ電子時計のムーブメント（機械体）１００は、ムーブメントの基板を構成する地板１０２を有する。巻真１１０が、地板１０２の巻真案内穴に回転可能に組み込まれる。文字板１０４（図２９に仮想線で示す）がムーブメント１００に取付けられる。ムーブメント１００は、巻真１１０の軸線方向の位置を決めるための切換ばね１６６を備える。ムーブメント１００の「表側」には、電池１２０、回路ブロック１１６、時モータ２１０、時表示輪列２２０、分モータ２４０、分表示輪列２５０、秒モータ２７０、秒表示輪列２８０などが配置される。地板１０２、輪列受１１２、二番受１１４は支持部材を構成する。時モータ２１０の回転により時表示輪列２２０が回転して、時針２３０により現在の時刻のうちの「時」を表示するように構成される。分モータ２４０の回転により分表示輪列２５０が回転して、分針２６０により現在の時刻のうちの「分」を表示するように構成される。秒モータ２７０の回転により秒表示輪列２８０が回転して、秒針２９０により現在の時刻のうちの「秒」を表示するように構成される。ＩＣ１１８と水晶振動子１２２とが、回路ブロック１１６に取り付けられる。回路ブロック１１６は、絶縁板１６０を介してスイッチばね１６２により、地板１０２および輪列受１１２に対して固定される。切換ばね１６６は、スイッチばね１６２に一体形成される。電池１２０はアナログ電子時計の動力源を構成する。アナログ電子時計の動力源として、充電可能な二次電池を用いることもできるし、充電可能なコンデンサを用いることもできる。水晶振動子１２２は、アナログ電子時計の源振を構成し、例えば、３２，７６８ヘルツで発振する。

図２９および図３０を参照すると、秒モータ２７０は、秒コイルブロック２７２と、秒ステータ２７４と、秒ロータ２７６とを含む。秒コイルブロック２７２が秒モータ駆動信号を入力すると、秒ステータ２７４が磁化して、秒ロータ２７６を回転させる。秒ロータ２７６は、例えば、１秒ごとに１８０度回転するように構成される。秒ロータ２７６は、上軸部２７６ａと、下軸部２７６ｂと、かな部２７６ｃと、ロータ磁石２７６ｄとを含む。上軸部２７６ａと、下軸部２７６ｂと、かな部２７６ｃは、炭素鋼などの金属で形成される。秒ロータ２７６の回転に基づいて、秒伝え車２８２の回転を介して秒車２８４が回転するように構成される。秒伝え車２８２は、上軸部２８２ａと、下軸部２８２ｂと、かな部２８２ｃと、歯車部２８２ｄとを含む。かな部２７６ｃは歯車部２８２ｄと噛み合うように構成される。上軸部２８２ａと、下軸部２８２ｂと、かな部２８２ｃは、炭素鋼などの金属で形成される。歯車部２８２ｄは黄銅などの金属で形成される。

秒車２８４は１分間に１回転するように構成される。秒車２８４は、上軸部２８４ａと、そろばん玉部２８４ｂと、歯車部２８４ｄとを含む。かな部２８２ｃは歯車部２８４ｄと噛み合うように構成される。上軸部２８４ａと、そろばん玉部２８４ｂは、炭素鋼などの金属で形成される。歯車部２８４ｄは黄銅などの金属で形成される。秒針２９０が秒車２８４に取付けられる。秒車２８４を、アナログ電子時計の中心に配置してもよいし、アナログ電子時計の中心とは異なる位置に配置してもよい。秒針２９０は秒表示部材を構成する。秒表示部材として、秒針を用いてもよいし、円盤を用いてもよいし、花又は幾何学的形状を含む他の形状の表示部材を用いてもよい。秒表示輪列２２０は秒伝え車２８２と秒車２８４とを含む。秒ロータ２７６、秒伝え車２８２は、地板１０２と輪列受１１２に対して、回転可能に支持される。秒車２８４は、二番受１１４に設けられた中心パイプ１２６と輪列受１１２に対して、回転可能に支持される。すなわち、秒ロータ２７６の上軸部２７６ａと、秒伝え車２８２の上軸部２８２ａと、秒車２８４の上軸部２８４ａは、輪列受１１２に対して、回転可能に支持される。中心パイプ１２６は、炭素鋼などの金属で形成される。また、秒ロータ２７６の下軸部２７６ｂと、秒伝え車２８２の下軸部２８２ｂは、地板１０２に対して、回転可能に支持される。

図２９から図３１を参照すると、秒ロータ２７６の上軸部２７６ａを回転可能に支持する輪列受１１２の軸受部と、秒伝え車２８２の上軸部２８２ａを回転可能に支持する輪列受１１２の軸受部と、秒車２８４の上軸部２８４ａを回転可能に支持する輪列受１１２の軸受部には、潤滑油が注油される。秒ロータ２７６の下軸部２７６ｂを回転可能に支持する地板１０２の軸受部と、秒伝え車２８２の下軸部２８２ｂを回転可能に支持する地板１０２の軸受部には、潤滑油が注油される。この潤滑油は、精密機械用油であるのが好ましく、いわゆる時計油であるのが特に好ましい。このような時計油の一例として、メービス社より入手可能な「メービスＡ（商標）」が挙げられる。輪列受１１２のそれぞれの軸受部、地板１０２のそれぞれの軸受部には、潤滑油の保持性能を高めるために、円錐状、円筒状、又は、円錐台状の油溜め部を設けるのが好ましい。油溜め部を設けると、潤滑油の表面張力により油が拡散するのを効果的に阻止することができる。日車１７０が地板１０２に対して回転可能に支持される。日車押え１７２が日車１７０を地板１０２に対して支持する。日車１７０の歯先部と地板１０２との接触部には、潤滑油を注油するのが好ましい。この潤滑油は、精密機械用油であるのが好ましく、いわゆる時計油であるのが特に好ましい。

電池マイナス端子１７０が地板１０２に取り付けられる。電池マイナス端子１７０は、回路ブロック１１６のマイナスパターンを介して電池１２０の陰極とＩＣ１１８のマイナス入力部Ｖｓｓとを導通させる。電池押え１７２がスイッチばね１６２に取り付けられる。電池押え１７２およびスイッチばね１６２は、回路ブロック１１６のプラスパターンを介して電池１２０の陽極とＩＣ１１８のプラス入力部Ｖｄｄとを導通させる。分モータ２４０は、分コイルブロック２４２と、分ステータ２４４と、分ロータ２４６とを含む。分コイルブロック２４２が分モータ駆動信号を入力すると、分ステータ２４４が磁化して、分ロータ２４６を回転させる。分ロータ２４６は、例えば、２０秒ごとに１８０度回転するように構成される。分ロータ２４６は、上軸部２４６ａと、下軸部２４６ｂと、かな部２４６ｃと、ロータ磁石２４６ｄとを含む。上軸部２４６ａと、下軸部２４６ｂと、かな部２４６ｃは、炭素鋼などの金属で形成される。

分ロータ２４６の回転に基づいて一番分伝え車２５２が回転し、一番分伝え車２５２の回転に基づいて二番分伝え車２５４を介して分車２５６が回転するように構成される。一番分伝え車２５２は、上軸部２５２ａと、下軸部２５２ｂと、かな部２５２ｃと、歯車部２５２ｄとを含む。かな部２４６ｃは歯車部２５２ｄと噛み合うように構成される。上軸部２５２ａと、下軸部２５２ｂと、かな部２５２ｃは、炭素鋼などの金属で形成される。歯車部２５２ｄは黄銅などの金属で形成される。二番分伝え車２５４は、上軸部２５４ａと、下軸部２５４ｂと、かな部２５４ｃと、歯車部２５４ｄとを含む。かな部２５２ｃは歯車部２５４ｄと噛み合うように構成される。上軸部２５４ａと、下軸部２５４ｂと、かな部２５４ｃは、炭素鋼などの金属で形成される。歯車部２５４ｄは黄銅などの金属で形成される。分車２５６は、筒状部２５６ａと、歯車部２５６ｄとを含む。かな部２５４ｃは歯車部２５６ｄと噛み合うように構成される。筒状部２５６ａは、炭素鋼などの金属で形成される。歯車部２５６ｄは黄銅などの金属で形成される。

分車２５６は１時間に１回転するように構成される。分針２６０が分車２５６に取付けられる。分車２５６の回転中心は秒車２８４の回転中心と同じである。分針２６０は分表示部材を構成する。分表示部材として、分針を用いてもよいし、円盤を用いてもよいし、花又は幾何学的形状を含む他の形状の表示部材を用いてもよい。分表示輪列２５０は一番分伝え車２５２と、二番分伝え車２５４と、分車２５６とを含む。分ロータ２４６、一番分伝え車２５２、二番分伝え車２５４は、地板１０２と輪列受１１２に対して、回転可能に支持される。分車２５６は、二番受１１４に設けられた中心パイプ１２６の外周部に接触して、回転可能に支持される。すなわち、分ロータ２４６の上軸部２４６ａと、一番分伝え車２５２の上軸部２５２ａと、二番分伝え車２５４の上軸部２５４ａは、輪列受１１２に対して、回転可能に支持される。また、分ロータ２４６の下軸部２４６ｂと、一番分伝え車２５２の下軸部２５２ｂと、二番分伝え車２５４の下軸部２５４ｂは、地板１０２に対して、回転可能に支持される。分ロータ２４６の上軸部２４６ａを回転可能に支持する輪列受１１２の軸受部と、一番分伝え車２５２の上軸部２５２ａを回転可能に支持する輪列受１１２の軸受部と、二番分伝え車２５４の上軸部２５４ａを回転可能に支持する輪列受１１２の軸受部には、潤滑油が注油される。分ロータ２４６の下軸部２４６ｂの軸受部と、一番分伝え車２５２の下軸部２５２ｂを回転可能に支持する地板１０２の軸受部と、二番分伝え車２５４の下軸部２５４ｂを回転可能に支持する地板１０２の軸受部には、潤滑油が注油される。この潤滑油は、精密機械用油であるのが好ましく、いわゆる時計油であるのが特に好ましい。輪列受１１２のそれぞれの軸受部、地板１０２のそれぞれの軸受部には、潤滑油の保持性能を高めるために、円錐状、円筒状、又は、円錐台状の油溜め部を設けるのが好ましい。

時モータ２１０は、時コイルブロック２１２と、時ステータ２１４と、時ロータ２１６とを含む。時コイルブロック２１２が時モータ駆動信号を入力すると、時ステータ２１４が磁化して、時ロータ２１６を回転させる。時ロータ２１６は、例えば、２０分ごとに１８０度回転するように構成される。時ロータ２１６は、上軸部２１６ａと、下軸部２１６ｂと、かな部２１６ｃと、ロータ磁石２１６ｄとを含む。上軸部２１６ａと、下軸部２１６ｂと、かな部２１６ｃは、炭素鋼などの金属で形成される。時ロータ２１６の回転に基づいて、一番時伝え車２２２が回転する。一番時伝え車２２２の回転に基づいて、二番時伝え車２２４の回転を介して時車すなわち筒車２２６が回転するように構成される。一番時伝え車２２２は、上軸部２２２ａと、下軸部２２２ｂと、かな部２２２ｃと、歯車部２２２ｄとを含む。かな部２１６ｃは歯車部２２２ｄと噛み合うように構成される。上軸部２２２ａと、下軸部２２２ｂと、かな部２２２ｃは、炭素鋼などの金属で形成される。歯車部２２２ｄは黄銅などの金属で形成される。二番時伝え車２２４は、上軸部２２４ａと、下軸部２２４ｂと、かな部２２４ｃと、歯車部２２４ｄとを含む。かな部２２２ｃは歯車部２２４ｄと噛み合うように構成される。上軸部２２４ａと、下軸部２２４ｂと、かな部２２４ｃは、炭素鋼などの金属で形成される。歯車部２２４ｄは黄銅などの金属で形成される。時車すなわち筒車２２６は、筒状部２２６ａと、歯車部２２６ｄとを含む。かな部２２４ｃは歯車部２２６ｄと噛み合うように構成される。筒車２２６は黄銅などの金属で形成される。

筒車２２６は１２時間に１回転するように構成される。時針２３０が筒車２２６に取付けられる。筒車２２６の回転中心は分車２５６の回転中心と同じである。したがって、筒車２２６の回転中心と、分車２５６の回転中心と、秒車２８４の回転中心とは同じである。時針２３０は時表示部材を構成する。時表示部材として、時針を用いてもよいし、円盤を用いてもよいし、花又は幾何学的形状を含む他の形状の表示部材を用いてもよい。時表示輪列２２０は一番時伝え車２２２と、二番時伝え車２２４と、時車すなわち筒車２２６とを含む。時ロータ２１６、一番時伝え車２２２、二番時伝え車２２４は、地板１０２と輪列受１１２に対して、回転可能に支持される。時車すなわち筒車２２６は、分車２５６の外周部に接触して、回転可能に支持される。すなわち、時ロータ２１６の上軸部２１６ａと、一番時伝え車２２２の上軸部２２２ａと、二番時伝え車２２４の上軸部２２４ａは、輪列受１１２に対して、回転可能に支持される。また、時ロータ２１６の下軸部２１６ｂと、一番時伝え車２２２の下軸部２２２ｂと、二番時伝え車２２４の下軸部２２４ｂは、地板１０２に対して、回転可能に支持される。

時ロータ２１６の上軸部２１６ａを回転可能に支持する輪列受１１２の軸受部と、一番時伝え車２２２の上軸部２２２ａを回転可能に支持する輪列受１１２の軸受部と、二番時伝え車２２４の上軸部２２４ａを回転可能に支持する輪列受１１２の軸受部には、潤滑油が注油される。時ロータ２１６の下軸部２１６ｂの軸受部と、一番時伝え車２２２の下軸部２２２ｂを回転可能に支持する地板１０２の軸受部と、二番時伝え車２２４の下軸部２２４ｂを回転可能に支持する地板１０２の軸受部には、潤滑油が注油される。この潤滑油は、精密機械用油であるのが好ましく、いわゆる時計油であるのが特に好ましい。輪列受１１２のそれぞれの軸受部、地板１０２のそれぞれの軸受部には、潤滑油の保持性能を高めるために、円錐状、円筒状、又は、円錐台状の油溜め部を設けるのが好ましい。時車すなわち筒車２２６が回転することにより、日回し車（図示せず）が回転するように構成される。日回し車は、時車すなわち筒車２２６の回転により１日に１回転するように設けられる。日回し車に設けられた日回しつめ（図示せず）が、日車１７０を、１日に１歯づつ送るように構成される。

（１０）筒車の構造
以下に説明する本発明の電鋳部品の製造方法を適用した実施の形態は、時計の時車すなわち筒車に関するものである。ここで、筒車は、筒部品付き電鋳部品を構成する。しかしながら、本発明の電鋳部品の製造方法は、機械式時計の部品に適用することもできるし、また、電子時計用の部品に適用することもできるし、他の機器に適用される筒部品付き電鋳部品に適用することもできる。すなわち、本発明の電鋳部品の製造方法は、時計の時車（すなわち筒車）だけでなく、時計の伝え車、修正車、表示車などの時計用輪列部品（歯車部を有する筒部品付き電鋳部品付き歯車部品）に広く適用することができる。さらに、本発明の電鋳部品の製造方法は、計測器、印刷機、映像機器、録音機器、記録機器などの輪列部品（歯車部を有する筒部品付き電鋳部品）等にも広く適用することができる。

図３２および図３３を参照すると、時車すなわち筒車２２６は筒部２２６ｃと、歯車プレート部２２６ｈとを含む。筒部２２６ｃは、上筒部２２６ａと、下筒部２２６ｂと、上筒部２２６ａと下筒部２２６ｂとの間に位置するフランジ部２２６ｆと、中心穴２２６ｈとを含む。歯車部２２６ｇを形成する前の歯車プレート部２２６ｈは、図２６および図２７について前述した本発明の電鋳部品の製造方法により形成することができる。筒部２２６ｃは、図２６および図２７における筒部品６２６に対応する。歯車部２２６ｈは、図２７における電鋳金属部６３０に対応する。筒部２２６ｃのフランジ部２２６ｆは、電鋳金属部である歯車プレート部２２６ｈの中に配置されるのがよい。フランジ部２２６ｆを歯車プレート部２２６ｈの中に配置することにより、筒部２２６ｃと歯車プレート部２２６ｈとの間の接触面積を増やすことができ、筒部２２６ｃが歯車プレート部２２６ｈから抜けるのを阻止するだけでなく、筒部２２６ｃが歯車プレート部２２６ｈに対して回転するのを効果的に阻止することができる。すなわち、フランジ部２２６ｆは、筒部２２６ｃと一体に形成される歯車プレート部２２６ｈの中に位置するように構成された、筒部２２６ｃの抜け、及び／又は、筒部２２６ｃの回転を阻止するための輪郭形状を構成している。電鋳部品として、歯車部２２６ｇが未加工の歯車プレート部２２６ｈを形成したのち、二次加工として、プレス加工、或いは、歯切り加工などによって、歯車部２２６ｇを形成することができる。以上説明したように、本発明の電鋳部品の製造方法を適用したアナログ電子時計は、本発明の電鋳部品の製造方法によって製造された電鋳部品のうちの少なくとも１つ含むのが好ましい。

本発明の製造方法を用いることによって、中実軸、中空軸、「かな」、つめ石、などの微小な部品を備えた小型部品を、簡単な工程からなる電鋳加工によって製造することができる。特に、本発明により、機械式時計の部品、アナログ電子時計用の部品を電鋳加工によって製造することができる。また、本発明の製造方法を用いることによって、簡単な工程からなる電鋳加工によって製造した電鋳部品を少なくとも１つ含む機械式時計、アナログ電子時計を提供することができる。

図１は、本発明の電鋳部品の製造方法の実施形態において、中実軸部品を備えた電鋳部品の製造工程の一部を説明する原理図（その１）である。 図２は、本発明の電鋳部品の製造方法の実施形態において、中実軸部品を備えた電鋳部品の製造工程の一部を説明する原理図（その２）である。 図３は、電鋳加工の概略を説明する原理図である。 図４は、本発明の電鋳部品の実施形態において、電鋳部品の構造を示す上面図である。 図５は、本発明の電鋳部品の実施形態において、軸部品の構造を示す断面図である。 図６は、本発明の電鋳部品の他の実施形態において、電鋳部品の構造を示す断面図である。 図７は、本発明の電鋳部品の他の実施形態において、電鋳部品の構造を示す断面図である。 図８は、本発明の電鋳部品の他の実施形態において、電鋳部品の構造を示す断面図である。 図９は、本発明の電鋳部品の他の実施形態において、軸部品に設けられた回り止め部の構造を示す上面図である。 図１０は、本発明の電鋳部品の他の実施形態において、軸部品に設けられた回り止め部の他の構造を示す上面図である。 図１１は、本発明の電鋳部品の他の実施形態において、軸部品に設けられた回り止め部の更に他の構造を示す上面図である。 図１２は、本発明の実施形態において、ムーブメントの表側の概略形状を示す平面図である（図１２では、一部の部品を省略し、受部材は仮想線で示している）。 図１３は、本発明の実施形態において、香箱からアンクルの部分を示す概略部分断面図である。 図１４は、本発明の実施形態において、がんぎ車からてんぷの部分を示す概略部分断面図である。 図１５は、本発明の実施形態において、三番車を示す上面図である。 図１６は、本発明の実施形態において、三番車を示す側面図である。 図１７は、本発明の実施形態において、三番車を示す斜視図である。 図１８は、本発明の実施形態において、がんぎ車を示す上面図である。 図１９は、本発明の実施形態において、がんぎ車を示す側面図である。 図２０は、本発明の実施形態において、がんぎ車を示す斜視図である。 図２１は、本発明の実施形態において、アンクルを示す上面図である。 図２２は、本発明の実施形態において、アンクルを示す側面図である。 図２３は、本発明の実施形態において、アンクルを示す斜視図である。 図２４は、本発明の電鋳部品の製造方法の実施形態において、アンクルの製造工程の一部を説明する原理図（その１）である。 図２５は、本発明の電鋳部品の製造方法の実施形態において、アンクルの製造工程の一部を説明する原理図（その２）である。 図２６は、本発明の電鋳部品の製造方法の実施形態において、中空軸部品を備えた電鋳部品の製造工程の一部を説明する原理図（その１）である。 図２７は、本発明の電鋳部品の製造方法の実施形態において、中空軸部品を備えた製造工程の一部を説明する原理図（その２）である。 図２８は、本発明の電鋳部品の製造方法の実施形態において、電鋳部品を適用したムーブメントを表側から見た概略形状を示す平面図である（図２８では、一部の部品を省略している）。 図２９は、本発明の電鋳部品の製造方法の実施形態において、電鋳部品を適用したムーブメントのうちの秒モータから秒針の部分を示す概略部分断面図である。 図３０は、本発明の電鋳部品の製造方法の実施形態において、電鋳部品を適用したムーブメントのうちの分モータから分針の部分を示す概略部分断面図である。 図３１は、本発明の電鋳部品の製造方法の実施形態において、電鋳部品を適用したムーブメントのうちの時モータから時針の部分を示す概略部分断面図である。 図３２は、本発明の電鋳部品の製造方法の実施形態において、電鋳部品である時車を示す断面図である。 図３３は、本発明の電鋳部品の製造方法の実施形態において、電鋳部品である時車を示す部分断面斜視図である。

符号の説明

１００ ムーブメント（機械体）
１０２ 地板
１１２ 輪列受
１１４ 二番受
２１６ 時ロータ
２２６ 筒車
２４６ 分ロータ
２５６ 分車
２７６ 秒ロータ
２８４ 秒車
３００ ムーブメント（機械体）
３０２ 地板
３２０ 香箱車
３２４ 二番車
３２６ 三番車
３２８ 四番車
３３０ がんぎ車
３４２ アンクル
４２０ 基板
４２０ｈ エッチング穴
４２２ マスク
４２６ 軸部品
４２６ｂ 下軸部
４２８ 外形形成用レジスト
４３０ 電鋳金属部
５２０ 基板
５２０ｈ エッチング凹部
５２２ ＳｉＯ₂ 膜
５２４ アモルファスシリコン膜
５２６ マスク
５３０ 金属の導電膜
５３２ 外形形成用レジスト
５４０ 電鋳金属部
５４２ つめ石付き電鋳部品
５５０ つめ石
６２０ 基板
６２２ 中央マスク
６２４ 導電膜
６２６ 筒部品
６２８ 外形形成用レジスト
６３０ 電鋳金属部

Claims (19)

1. 電鋳部品の製造方法において、
   （あ）マスク（４２２）を有する基板（４２０）にエッチング穴（４２０ｈ）を形成する工程と、
   （い）軸部品（４２６）の下軸部（４２６ｂ）の先端を含む下軸部の部分を基板（４２０）のエッチング穴（４２０ｈ）に挿入する工程と、
   （う）軸部品（４２６）の一部を挿入した基板（４２０）に電鋳加工を行い、軸部品（４２６）と一体に電鋳金属部（４３０）を形成する工程と、
   を含むことを特徴とする方法。
2. 請求項１に記載の方法において、前記（あ）に記載したエッチング穴（４２０ｈ）を形成する工程の後に、基板（４２０）の表面からマスク（４２２）をリムーブする工程と、基板（４２０）の表面と、エッチング穴（４２０ｈ）の底面に導電膜（４２４）を付着させて、基板（４２０）の表面の導体化を行う工程とを更に含むことを特徴とする方法。
3. 請求項１に記載の方法において、前記（あ）に記載したエッチング穴（４２０ｈ）を形成する工程の後に、基板（４２０）の表面からマスク４２２をリムーブする工程を実施せずに、マスク（４２２）の上に金属薄膜を形成し、電鋳加工のための表面導体化を行う工程とを更に含むことを特徴とする方法。
4. 請求項１に記載の方法において、前記軸部品（４２６）は、軸部品（４２６）と一体に形成される電鋳金属部（４３０）の中に位置するように構成された、軸部品（４２６）の抜け、及び／又は、軸部品（４２６）の回転を阻止するための輪郭形状（４２６ｆ）を有することを特徴とする方法。
5. 電鋳部品の製造方法において、
   （ａ）基板４２０を準備する工程と、
   （ｂ）基板４２０の表面にフォトレジストをコートし、コートしたフォトレジストに必要形状を露光し、現像してマスク（４２２）をパターニングする工程と、
   （ｃ）マスク（４２２）を有する基板（４２０）にエッチング穴（４２０ｈ）を形成する工程と、
   （ｄ）基板（４２０）の表面からマスク（４２２）をリムーブする工程と、
   （ｅ）基板（４２０）の表面と、エッチング穴（４２０ｈ）の底面に導電膜（４２４）を付着させて、基板（４２０）の表面の導体化を行う工程と、
   （ｆ）軸部品（４２６）を準備し、軸部品（４２６）の下軸部（４２６ｂ）の先端を含む下軸部の部分を基板（４２０）のエッチング穴（４２０ｈ）に挿入する工程と、
   （ｇ）基板（４２０）に厚膜レジストを堆積させ、堆積した厚膜レジストに必要形状を露光し、現像して外形形成用レジスト（４２８）をパターニングする工程と、
   （ｈ）軸部品（４２６）の一部を挿入した基板（４２０）に電鋳加工を行い、外形形成用レジスト（４２８）と軸部品（４２６）との間に電鋳金属部（４３０）を形成する工程と、
   を含むことを特徴とする方法。
6. 請求項５に記載の方法において、前記（ｄ）に記載したマスク（４２２）をリムーブする工程の代わりに、マスク（４２２）の上に金属薄膜を形成し、電鋳加工のための表面導体化を行う工程を含むことを特徴とする方法。
7. 請求項５に記載の方法において、前記軸部品（４２６）は、軸部品（４２６）と一体に形成される電鋳金属部（４３０）の中に位置するように構成された、軸部品（４２６）の抜け、及び／又は、軸部品（４２６）の回転を阻止するための輪郭形状（４２６ｆ）を有することを特徴とする方法。
8. 電鋳部品の製造方法において、
   （ａ）基板４２０を準備する工程と、
   （ｂ）基板４２０の表面にフォトレジストをコートし、コートしたフォトレジストに必要形状を露光し、現像してマスク（４２２）をパターニングする工程と、
   （ｃ）マスク（４２２）を有する基板（４２０）にエッチング穴（４２０ｈ）を形成する工程と、
   （ｄ）基板（４２０）の表面からマスク（４２２）をリムーブする工程と、
   （ｅ）基板（４２０）の表面と、エッチング穴（４２０ｈ）の底面に導電膜（４２４）を付着させて、基板（４２０）の表面の導体化を行う工程と、
   （ｆ）基板（４２０）に厚膜レジストを堆積させ、堆積した厚膜レジストに必要形状を露光し、現像して外形形成用レジスト（４２８）をパターニングする工程と、
   （ｇ）軸部品（４２６）を準備し、軸部品（４２６）の下軸部（４２６ｂ）の先端を含む下軸部の部分を基板（４２０）のエッチング穴（４２０ｈ）に挿入する工程と、
   （ｈ）軸部品（４２６）の一部を挿入した基板（４２０）に電鋳加工を行い、外形形成用レジスト（４２８）と軸部品（４２６）との間に電鋳金属部（４３０）を形成する工程と、
   を含むことを特徴とする方法。
9. 請求項１から８のいずれか１項に記載されている方法によって製造されることを特徴とする電鋳部品。
10. 時計用の輪列部品において、マスク（４２２）を有する基板（４２０）にエッチング穴（４２０ｈ）を形成し、「かな」（３２６ｆ）の下軸部（３２６ｂ）の先端を含む下軸部の部分を基板（４２０）のエッチング穴（４２０ｈ）に挿入し、「かな」（３２６ｆ）を挿入した基板（４２０）に電鋳加工を行い、「かな」（３２６）と一体に歯車（３２６ｇ）を形成することによって製造されることを特徴とする輪列部品。
11. 時計用のアンクルにおいて、マスク（４２２）を有する基板（４２０）にエッチング穴（４２０ｈ）を形成し、アンクル真（３４２ｆ）の下軸部（３４２ｂ）の先端を含む下軸部の部分を基板（４２０）のエッチング穴（４２０ｈ）に挿入し、アンクル真（３４２ｆ）を挿入した基板（４２０）に電鋳加工を行い、アンクル真（３４２ｆ）と一体にアンクル体（３４２ｄ）を形成し、さらに、剣先（３４２ｇ）およびつめ石（３４２ｊ、３４２ｋ）をアンクル体（３４２ｄ）に固定することによって製造されることを特徴とするアンクル。
12. 時計用のアンクルの製造方法において、
    （あ）マスク（５２２）を有する基板（５２０）にエッチング凹部（５２０ｈ）を形成する工程と、
    （い）基板（５２０）の表面と、エッチング凹部（５２０ｈ）の表面に導電膜（５３０）を付着させて、基板（５２０）の表面の導体化を行う工程と、
    （う）つめ石（５５０）を基板（５２０）のエッチング凹部（５２０ｈ）に配置する工程と、
    （え）つめ石（５５０）を配置した基板（５２０）に電鋳加工を行い、つめ石（５５０）と一体に電鋳金属部（５４０）を形成する工程と、
    を含むことを特徴とする方法。
13. 請求項１２に記載されている方法によって製造されることを特徴とする時計用アンクル。
14. 電鋳部品の製造方法において、
    （あ）基板（６２０）の凸部（６２０ｈ）を形成する工程と、
    （い）基板（６２０）の表面の導体化を行う工程と、
    （う）中空軸の構造をもつ筒部品（６２６）の中心穴（６２６ｈ）の部分を基板（６２０）の凸部（６２０ｈ）に配置する工程と、
    （え）基板（６２０）に外形形成用レジスト（６２８）をパターニングする工程と、
    （お）外形形成用レジスト（６２８）と筒部品（６２６）との間に電鋳金属部（６３０）を形成する工程と、
    を含むことを特徴とする方法。
15. 電鋳部品の製造方法において、
    （あ）基板（６２０）の凸部（６２０ｈ）を形成する工程と、
    （い）基板（６２０）の表面の導体化を行う工程と、
    （う）基板（６２０）に外形形成用レジスト（６２８）をパターニングする工程と、
    （え）中空軸の構造をもつ筒部品（６２６）の中心穴（６２６ｈ）の部分を基板（６２０）の凸部（６２０ｈ）に配置する工程と、
    （お）外形形成用レジスト（６２８）と筒部品（６２６）との間に電鋳金属部（６３０）を形成する工程と、
    を含むことを特徴とする方法。
16. 請求項１４又は１５に記載の方法において、筒部品（６２６）はフランジ部（６２６ｆ）を有し、該フランジ部（６２６ｆ）は、電鋳金属部（６３０）の中に配置されることを特徴とする方法。
17. 請求項１４から１６のいずれか１項に記載されている方法によって製造されることを特徴とする筒部品付き電鋳部品。
18. 請求項１から８のいずれか１項に記載されている方法によって製造された電鋳部品、請求項１２に記載されている方法によって製造された時計用アンクル、請求項１４から１６のいずれか１項に記載されている方法によって製造された電鋳部品のうちの少なくとも１つ含むことを特徴とする機械式時計。
19. 請求項１から８のいずれか１項に記載されている方法によって製造された電鋳部品、請求項１４から１６のいずれか１項に記載されている方法によって製造された電鋳部品のうちの少なくとも１つ含むことを特徴とするアナログ電子時計。

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