JP5622256B2 - 機械部品、機械部品の製造方法および時計 - Google Patents
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Description
本発明に係る機械部品は、電鋳により形成され、軸部を中心に回動し隣接する別部品と摺動可能に構成された機械部品において、前記別部品と当接する摺動面に山部が形成され、該山部が前記別部品に当接可能に構成されており、前記山部は、前記摺動面における前記軸部の周方向に沿って形成されているとともに、前記摺動面における前記軸部の軸方向に沿って複数形成されていることを特徴としている。
また、機械部品の山部の周りに潤滑油を塗布することにより、潤滑油を摺動面に確実に供給することができる。また、山部を複数形成すると、隣接する山部の間に潤滑油を保持することができるため、潤滑油の保持量を増加させることが可能となる。さらに、山部を周方向または軸方向に沿って複数形成すると、機械部品の摺動面(外周面)の表面積が増加するため、潤滑油の保持量をさらに増加させることができる。したがって、摺動面に確実に潤滑油を供給することができるとともに、潤滑油を長期間供給することができるため、メンテナンスの頻度を少なくすることができる。
さらに、機械部品は電鋳により形成されるため、十分な強度を有するとともに、製品の精度を均一化することができる。したがって、歩留まりを向上することができる。
このように構成することで、機械部品と別部品とを摺動させる際に、曲面形状の山部と別部材とが点接触しながら摺動させることができる。したがって、機械部品と別部品との接触面積を確実に小さくすることができるため、摩擦力を低減することができる。
このように構成することで、例えば、機械部品の軸方向の中央部が凸状になるように大きさの異なる山部を軸方向に沿って複数形成することにより、機械部品と別部材とが傾いて接触しても確実に接触させることができるとともに、潤滑油を確実に供給することができる。また、機械部品と別部材とが傾いて接触してもいずれかの角が当たって削れるのを防止することができる。また、例えば、機械部品の軸方向の中央部が凹状になるように大きさの異なる山部を軸方向に沿って複数形成することにより、潤滑油の保持量を多く確保することができる。
このように構成することで、隣り合う山部の間に潤滑油をより多く保持することができるため、長期間に亘って潤滑油を供給することができる。したがって、メンテナンス頻度を少なくすることができる。
このように構成することで、摺動面となる歯車の外周面に潤滑油を多く保持することができるため、摺動面の摩耗を抑制することができるとともに、滑らかに歯車を回動させることが可能となる。つまり、歯車をメンテナンスを行うことなく長期間に亘って精度良く回動させることが可能となる。
このように構成することで、摺動面となる歯車の歯先部に潤滑油を多く保持することができるため、歯先部の摩耗を抑制することができるとともに、滑らかに歯車を回動させることが可能となる。つまり、歯車を精度良く回動させることが可能となる。
このように構成することで、電鋳物形成工程の前に電極として基板上に金属層を形成する場合に、金属層を基板上に連続的に形成することが可能となる。つまり、電鋳物形成工程において、金属層の一箇所に電源を接続するだけで全ての電鋳物の形成領域に電源が供給され、電鋳物を形成することができる。
このように構成することで、機械部品の貫通孔にも山部を形成することができる。このようにして製造された機械部品に軸部材を嵌合すると、機械部品と軸部材とが点接触することとなり、頂部が変形して軸部材を保持するため応力が緩和される。すなわち、その応力は、機械部品の山部の部分で吸収されるため、機械部品全体には反りや割れなどの発生を抑制することができる。さらに、機械部品の貫通孔の形状は周方向に一様であるため、機械部品に軸部材を嵌合する際に、位置合わせの必要がなくなり、生産効率を向上することができる。
このように構成することで、基板の下層に形成された金属層を電極として利用することができるため、電極(金属層)を形成する工程を省略することができる。したがって、生産効率を向上することができる。
このように一般的に流通しているSOI基板を用いることにより、製造コストを低く抑えることが可能となる。また、埋め込み酸化膜層の表面に金属層を形成することにより、金属層の一箇所に電源を接続するだけで全ての電鋳物の形成領域に電源が供給され、電鋳物を形成することができる。
また、前記組立部品が、番車、がんぎ車、角穴車および香箱歯車の少なくともいずれか一つであることを特徴としている。
このように構成することで、摺動面に形成された山部により、各機械部品と該機械部品の回転時に噛み合う別部品(例えば、番車とかな)とが点接触することとなり、耐摩耗性が向上する。また、機械部品の摺動面(外周面)の表面積が増加するため、潤滑油の保持量を増加させることができる。また、摺動面に山部を複数形成することにより、隣接する山部の間に潤滑油を保持することが可能となり、潤滑油の流出を防ぐことができる。
さらに、潤滑油が番車やがんぎ車など歯車における隣接する山部の間に保持されるため、摺動面に確実に潤滑油が供給される。したがって、歯車が噛み合う際のエネルギー損失が少なくなり、てんぷの振角が大きくなるため、正確に時を刻む高精度な時計を提供することができる。そして、潤滑油の保持量を増加させることができるため、時計のメンテナンス頻度を少なくすることができる。
また、機械部品の山部の周りに潤滑油を塗布することにより、潤滑油を摺動面に確実に供給することができる。また、山部を複数形成すると、隣接する山部の間に潤滑油を保持することができるため、潤滑油の保持量を増加させることが可能となる。さらに、山部を周方向または軸方向に沿って複数形成すると、機械部品の摺動面(外周面)の表面積が増加するため、潤滑油の保持量をさらに増加させることができる。したがって、摺動面に確実に潤滑油を供給することができるとともに、潤滑油を長期間供給することができるため、メンテナンスの頻度を少なくすることができる。
さらに、機械部品は電鋳により形成されるため、十分な強度を有するとともに、製品の精度を均一化することができる。したがって、歩留まりを向上することができる。
次に、本発明に係る機械部品の第一実施形態を図1〜図37に基づいて説明する。なお、本実施形態では、機械部品として機械式時計に用いられる歯車(番車)の場合について説明する。
(機械式時計)
図1〜図3に示すように、機械式時計のムーブメント100は、ムーブメント100の基板を構成する地板102を有している。地板102の巻真案内穴102aには、巻真110が回転可能に組み込まれている。文字板104(図2参照)はムーブメント100に取り付けられる。一般に、地板102の両側のうち、文字板104が配される側をムーブメント100の裏側と称し、文字板104が配される側の反対側をムーブメント100の表側と称する。ムーブメント100の表側に組み込まれる輪列を表輪列と称し、ムーブメント100の裏側に組み込まれる輪列を裏輪列と称する。
次に、本実施形態の番車の構造について説明する。なお、番車の構造は略同一であるため、三番車126を用いて説明する。
図4〜図6に示すように、三番車126は、三番かな126fと、三番歯車126gとを備えている。三番歯車126gの厚さT0は、例えば、10μm以上10mm以下である。三番かな126fは、上軸部126aと、下軸部126bと、かな部126cとを備えている。三番歯車126gは、中心支持部126hと、あみだ部126j(本実施形態では、5本)と、歯車部126dとを備えている。三番かな126fは、炭素鋼などの金属で形成されている。三番歯車126gはニッケルなどの金属で形成されている。そして、三番車126は、三番歯車126gの中心に形成された貫通孔126kに三番かな126fを挿通して固定されている。
次に、本実施形態の番車(三番歯車126g)の製造方法について説明する。
図9〜図33は三番歯車126gの製造方法を説明する図である。
図9は、三番歯車126gを形成するための基板10である。基板10は、支持層10aと活性層10bの間にBOX層10cが挟まれたSOI(Silicon On Insulater)基板であり、支持層10aと活性層10bはSi、BOX層10cはSiO2で形成されている。支持層10aの厚さは、後の工程で破損あるいは変形が起こらないよう、100μm以上1mm以下とする。活性層10bの厚さは、製造する三番歯車126gの厚さT0以上とする。BOX層10cの厚さは、1μm以上1mm以下とする。なお、SOI基板の他に、支持層10aのSiと活性層10bのSiの間に金属材料を挟んだ基板(図34参照)や、支持層10aに金属材料を用い、その上に活性層10bのSiがある基板(図35参照)でも三番歯車126gを製造することが可能である。この製造方法については後述する。
図14は、図11の状態を示す部分拡大図である。図14では歯先126sに対応した位置のフォトレジスト11を2箇所表示している。
このように構成することで、三番歯車126gの歯先126sとかな部128cとを噛み合わせると、山部126mと四番車128のかな部128cとが点接触することとなり、山部126mとかな部128cとの接触面積を小さくすることができるため、摩擦力を低減することができ、耐摩耗性が向上する。また、歯先126sの表面積が増加するため、潤滑油の保持量を増加させることができる。また、歯先126sに山部126mを複数形成することにより、隣接する山部126mの間に潤滑油を保持することが可能となり、潤滑油の流出を防ぐことができる。
図34は、三番歯車126gを製造する際に用いる基板の断面図である。図34に示すように、基板50は、支持層50aのSiと活性層50bのSiの間に金属層50cが形成された基板である。金属層50cは、Cr、Au、Cu、Ti等で構成されている。支持層50aのSiの厚みは、上述の場合と同様、100μm以上1mm以下とする。活性層50bのSiの厚みは、製造する三番歯車126gの厚みT0以上とする。金属層50cの厚みは、1μm以上1mm以下とする。
さらに、潤滑油が番車124,126,128、がんぎ車130、角穴車116および香箱歯車120dの軸方向に隣接する山部の間に保持されるため、摺動面に確実に潤滑油が供給される。したがって、歯車が噛み合う際のエネルギー損失が少なくなり、てんぷ140の振角が大きくなるため、正確に時を刻む高精度な時計を提供することができる。そして、潤滑油の保持量を増加させることができるため、時計のメンテナンス頻度を少なくすることができる。
次に、本発明に係る機械部品の第二実施形態を図38〜図54に基づいて説明する。なお、本実施形態は、第一実施形態と歯車(三番歯車)の貫通孔の形状が異なるのみであり、その他の部分については第一実施形態と略同一であるため、同一箇所には同一符号を付して詳細な説明は省略する。また、本実施形態における三番歯車の符号を226gとし、三番かなの符号を226fとする。
次に、本実施形態の番車(三番歯車226g)の製造方法について説明する。なお、本実施形態では第一実施形態と異なる工程を中心に説明する。
まず、三番歯車226gを形成するための基板10は図9と略同一の基板を用いる。そして、基板10の活性層10b上にフォトレジスト11を塗布する。続いて、フォトレジスト11を露光・現像し、三番歯車226gの歯先226sにあたる部分および三番歯車126gの径方向外側に相当する領域のフォトレジスト11を硬化させる。続いて、未硬化のフォトレジスト11部分を除去し、図12に示すようなエッチングパターンが完成する。
図41では、歯先226sに対応した位置のフォトレジスト11を2箇所表示している。
Claims (13)
- 電鋳により形成され、軸部を中心に回動し隣接する別部品と摺動可能に構成された機械部品において、
前記別部品と当接する摺動面に山部が形成され、
該山部が前記別部品に当接可能に構成されており、
前記山部は、前記摺動面における前記軸部の周方向に沿って形成されているとともに、前記摺動面における前記軸部の軸方向に沿って複数形成されていることを特徴とする機械部品。 - 前記山部は、前記摺動面から前記別部品に向かって突出する凸状の曲面形状を有することを特徴とする請求項1に記載の機械部品。
- 複数の前記山部のうちの少なくとも一つの山部は、該一つの山部の頂部と前記軸部の中心との距離が他の山部の頂部と前記軸部の中心との距離と異なる大きさで形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の機械部品。
- 隣り合う前記山部同士の間に、油保持部が形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の機械部品。
- 前記機械部品が歯車であり、
前記山部が外周面の全周に亘って形成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の機械部品。 - 前記機械部品が歯車であり、
前記山部が前記別部品と当接する歯先部のみに形成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の機械部品。 - 複数層からなる基板を用いて、別部品と摺動可能な摺動面を有する機械部品を製造する方法であって、
前記基板の上層における前記機械部品の形成領域以外の領域に、前記摺動面に相当する位置を輪郭に含む第一マスク材を形成する工程と、
該第一マスク材を用いて前記上層を所定深さまで等方性エッチングするエッチング工程と、
前記等方性エッチングにより形成された凹部の底面および側面に保護膜を形成する保護膜形成工程と、
前記凹部の底面に形成された前記保護膜を除去する保護膜除去工程と、
前記エッチング工程、前記保護膜形成工程および前記保護膜除去工程を繰り返して、前記基板の下層を露出させる工程と、
該下層の表面に電鋳物を形成する電鋳物形成工程と、
前記摺動面に相当する位置に残存する前記上層を含めて前記基板を除去する工程と、を有していることを特徴とする機械部品の製造方法。 - 前記機械部品が歯車であり、前記摺動面は前記歯車の歯先部であり、
前記第一マスク材が、前記歯車の外周面における前記歯先部に相当する位置のみを輪郭に含むように形成され、
前記エッチング工程、前記保護膜形成工程および前記保護膜除去工程を繰り返して、前記基板の下層を露出させる工程と、
前記エッチング工程で除去された前記基板の前記上層に相当する領域に第二マスク材を塗布するとともに、前記歯車に相当する領域の前記第二マスク材を除去して前記電鋳物を形成するための電鋳型を形成する電鋳型形成工程と、有し、
前記電鋳物形成工程では、前記電鋳型を用いて前記電鋳物を形成することを特徴とする請求項7に記載の機械部品の製造方法。 - 前記機械部品が軸部材を嵌合可能な貫通孔を有し、
前記第一マスク材を形成する工程において、前記貫通孔の形成領域にも第一マスク材を形成することを特徴とする請求項7または8に記載の機械部品の製造方法。 - 前記基板は、前記下層に金属層を備え、
前記電鋳物形成工程では、前記金属層を電極として前記電鋳物を形成することを特徴とする請求項7〜9のいずれかに記載の機械部品の製造方法。 - 前記基板は、前記下層に埋め込み酸化膜層を備えたSOI基板であり、
前記電鋳物形成工程の前に、前記埋め込み酸化膜層の表面に金属層を形成する工程を有し、
前記電鋳物形成工程では、前記金属層を電極として前記電鋳物を形成することを特徴とする請求項7〜9のいずれかに記載の機械部品の製造方法。 - 請求項1〜6のいずれかに記載の機械部品が時計の組立部品に用いられていることを特徴とする時計。
- 前記組立部品が、番車、がんぎ車、角穴車および香箱歯車の少なくともいずれか一つであることを特徴とする請求項12に記載の時計。
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