JP2005285207A - 書き込み容易な磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
新たな記録ヘッドや記録方式を必要とすることなく、現行の記録ヘッドで書き込みができる、書き込み容易な、外部磁場による擾乱に極めて安定な高保磁力を有するFePt磁性薄膜を備えた磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】
表面温度が650℃〜850℃である基板上に、スパッタ法によりL10構造を有する
FePt磁性薄膜を成膜し、前記FePt磁性薄膜に4KOe〜10KOeの磁場を印加して40KOe以上の保磁力を有するFePt磁性薄膜を備えた磁気記録媒体を得る。
【選択図】 図9
Description
FePt磁性薄膜を成膜し、前記FePt磁性薄膜に4KOe〜10KOeの磁場を印加して40KOe以上の保磁力を有するFePt磁性薄膜を備えた磁気記録媒体を得ることを特徴とする書き込み容易な磁気記録媒体の製造方法を提供する。
。
体とすることができる。
するFePt磁性薄膜とすることができ、FePt微粒子は島状となって形成される。
なる。このため、このFePt磁性薄膜を磁気記録層とした磁気記録媒体は、書き込みが容易で、外部磁場による擾乱に極めて安定な、高保磁力を有するFePt磁性薄膜を備えた磁気記録媒体を得ることになる。
MgO(001)単結晶基板上に、高純度(99.99%)のFeとPtの共ターゲットを用いて、マルチDCスパッタ装置において、FePt磁性薄膜を成膜し、磁気記録媒体を得た。基板温度は780℃とし、FePt磁性薄膜の膜厚を25nmとした。真空圧は〜6.0×10-7Paに排気し、0.1PaのArガスを導入した。
なわちメサ形状を示していることがわかる。
ラストが観察される。また、双晶や結晶粒界などの構造欠陥はみられず、粒子の表面は原子オーダーで平坦であることがわかる。
実施例1と同様にして、780℃のMgO(001)単結晶基板上に膜厚10nm〜40nmのFePt磁性薄膜を成膜し、磁気記録媒体を得た。
Claims (5)
- 表面温度が650℃〜850℃である基板上に、スパッタ法によりL10構造を有する
FePt磁性薄膜を成膜し、前記FePt磁性薄膜に4KOe〜10KOeの磁場を印加して40KOe以上の保磁力を有するFePt磁性薄膜を備えた磁気記録媒体を得ることを特徴とする書き込み容易な磁気記録媒体の製造方法。 - 基板上に成膜されるFePt磁性薄膜の膜厚が、25nm〜40nmであることを特徴とする請求項1に記載の書き込み容易な磁気記録媒体の製造方法。
- FePt磁性薄膜におけるFePt相の合金組成がFe1-xPtx(0.4<x<0.6)であることを特徴とする請求項1または2に記載の書き込み容易な磁気記録媒体の製造方法。
- FePt磁性薄膜を成膜する基板が、MgO(001)、NaCl(001)、GaAs(001)、およびSi(001)のうちのいずれから選択されることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の書き込み容易な磁気記録媒体の製造方法。
- FePt磁性薄膜を成膜する基板がガラス製であり、FePt磁性薄膜の下地層としてMgO、ZnO、Cr、Ptのうちのいずれから選択されることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の書き込み容易な磁気記録媒体の製造方法。
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