JP2005283814A - 反射防止処理を施した光学素子及びその金型並びに金型の製造方法 - Google Patents
反射防止処理を施した光学素子及びその金型並びに金型の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005283814A JP2005283814A JP2004095592A JP2004095592A JP2005283814A JP 2005283814 A JP2005283814 A JP 2005283814A JP 2004095592 A JP2004095592 A JP 2004095592A JP 2004095592 A JP2004095592 A JP 2004095592A JP 2005283814 A JP2005283814 A JP 2005283814A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mold
- pattern
- antireflection
- substrate
- metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract description 48
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 48
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 30
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 52
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 9
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 29
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 29
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 claims description 6
- 230000001788 irregular Effects 0.000 claims 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 abstract description 7
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 5
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 4
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 4
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004420 Iupilon Substances 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 229920006351 engineering plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000010137 moulding (plastic) Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004095592A JP2005283814A (ja) | 2004-03-29 | 2004-03-29 | 反射防止処理を施した光学素子及びその金型並びに金型の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004095592A JP2005283814A (ja) | 2004-03-29 | 2004-03-29 | 反射防止処理を施した光学素子及びその金型並びに金型の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2005283814A true JP2005283814A (ja) | 2005-10-13 |
| JP2005283814A5 JP2005283814A5 (enExample) | 2006-01-05 |
Family
ID=35182281
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004095592A Withdrawn JP2005283814A (ja) | 2004-03-29 | 2004-03-29 | 反射防止処理を施した光学素子及びその金型並びに金型の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2005283814A (enExample) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007142186A1 (ja) * | 2006-06-06 | 2007-12-13 | Panasonic Corporation | 光学部材 |
| JPWO2012114714A1 (ja) * | 2011-02-22 | 2014-07-07 | パナソニック株式会社 | 光学部材 |
| WO2014148118A1 (ja) * | 2013-03-19 | 2014-09-25 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 曲面回折格子及びその製造方法、並びに光学装置 |
| JP2016207717A (ja) * | 2015-04-16 | 2016-12-08 | 大日本印刷株式会社 | インプリント用マスターモールド及びその製造方法、インプリント用フィルムモールド及びその製造方法、並びにワイヤーグリッド偏光子の製造方法 |
-
2004
- 2004-03-29 JP JP2004095592A patent/JP2005283814A/ja not_active Withdrawn
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007142186A1 (ja) * | 2006-06-06 | 2007-12-13 | Panasonic Corporation | 光学部材 |
| JP5014339B2 (ja) * | 2006-06-06 | 2012-08-29 | パナソニック株式会社 | 光学部材 |
| JPWO2012114714A1 (ja) * | 2011-02-22 | 2014-07-07 | パナソニック株式会社 | 光学部材 |
| US9268067B2 (en) | 2011-02-22 | 2016-02-23 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Optical component having antireflection structure |
| WO2014148118A1 (ja) * | 2013-03-19 | 2014-09-25 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 曲面回折格子及びその製造方法、並びに光学装置 |
| JP2014182301A (ja) * | 2013-03-19 | 2014-09-29 | Hitachi High-Technologies Corp | 曲面回折格子及びその製造方法、並びに光学装置 |
| CN105074512B (zh) * | 2013-03-19 | 2017-07-28 | 株式会社日立高新技术 | 曲面衍射光栅、其制造方法以及光学装置 |
| US9945993B2 (en) | 2013-03-19 | 2018-04-17 | Hitachi High-Technologies Corporation | Curved grating, method for manufacturing the same, and optical device |
| JP2016207717A (ja) * | 2015-04-16 | 2016-12-08 | 大日本印刷株式会社 | インプリント用マスターモールド及びその製造方法、インプリント用フィルムモールド及びその製造方法、並びにワイヤーグリッド偏光子の製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5024047B2 (ja) | 微小構造体の製造方法 | |
| JP4404898B2 (ja) | 微細凹凸構造を有する曲面金型の製造方法及びこの金型を用いた光学素子の製造方法 | |
| JP2000231011A (ja) | 光学素子およびその製造に用いるスタンパ | |
| KR19990088157A (ko) | 금속제스탬퍼의형성방법,이방법으로형성된금속제스탬퍼,이스탬퍼를사용한광디스크기판의제조방법및이제조방법으로제조된광디스크 | |
| JP3577903B2 (ja) | 樹脂板製造用鋳型の製造方法および樹脂板の製造方法 | |
| JP5824051B2 (ja) | セグメント化光学構造体の製造方法 | |
| US7108819B2 (en) | Process for fabricating high aspect ratio embossing tool and microstructures | |
| US8002999B2 (en) | Method for making stamper for press molding optical articles | |
| JP2005283814A (ja) | 反射防止処理を施した光学素子及びその金型並びに金型の製造方法 | |
| CN112394428B (zh) | 一种微透镜结构及其制作方法、显示器件 | |
| CN101344600B (zh) | 镀膜镜片的制作方法 | |
| JP4820871B2 (ja) | 反射防止構造体及びその製造方法 | |
| JP4714627B2 (ja) | 表面に微細な凹凸構造を有する構造体の製造方法 | |
| JPH10235748A (ja) | 導光体の製造方法 | |
| JPH1130711A (ja) | 回折光学素子及びその製造方法及び光学機器 | |
| WO2023041709A1 (en) | Embedded, slanted optical grating structures | |
| JP2006235195A (ja) | 反射防止構造体を有する部材の製造方法 | |
| JP2000241608A (ja) | 樹脂接合型光学素子とその製造方法 | |
| JP2001194508A (ja) | 光学基板及びその製造方法 | |
| JP4814938B2 (ja) | 反射防止構造体及びその製造方法 | |
| JP4108722B2 (ja) | 光学素子および光学素子製造方法 | |
| JP2004099394A (ja) | マイクロレンズアレイ用金型の製作方法 | |
| TWI398670B (zh) | 鏡片陣列製造方法 | |
| JP2004125874A (ja) | スタンパ及びその製造方法及びスタンパを用いた成型方法 | |
| JP4594745B2 (ja) | 反射防止構造体を有する部材の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051114 |
|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20060425 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061115 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20080708 |