JP4108722B2 - 光学素子および光学素子製造方法 - Google Patents
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Description
図1ないし図3に基づいて、本発明の実施の形態1に係る光学素子について説明する。
図4および図5に基づいて、本発明の実施の形態2に係る光学素子について説明する。
図6に基づいて、本発明の実施の形態3に係る転写金型について説明する。
一般的に金型の製造は非常に高精度、高精細の技術を要求されることから、実施の形態3に係る転写金型2も同様に高精度、高精細に製造することが要求される。また、転写金型2は微細突起部13を備えることからさらに高精度、高精細に製造することが必要となり、通常の技術では製造に困難を伴うという問題が生じる。本実施の形態に係る転写金型製造方法は、このような問題を解消して容易に転写金型2を製造する方法を提供する。
図8Aないし図8Fに基づいて、本発明の実施の形態5に係る光学素子製造方法について説明する。
2 転写金型
2s 転写面
11 基本樹脂部
11g ゲート痕
11i 中心領域
11s 外周領域
12 反射防止層
12a 低屈折率層
12b 高屈折率層
12c 低屈折率層
13 微細突起部
13c 円状突起部
13r 線状突起部
15 下地層
20U 上型
20L 下型
23U 上胴型
23L 下胴型
27 ゲート
21 基本転写部
22 突起転写溝
25 フォトレジスト
25a 感光レジスト部
25m レジストマスク
25w 開口部
30 蒸着チャンバー
40 高温チャンバー
Ect エッチング剤
Lax 光軸
Lex 露光光
MC マイクロクラック
RV 反射防止層成分蒸気
Claims (10)
- 樹脂成形により形成された基本樹脂部の表面に反射防止層が形成された合成樹脂製の光学素子であって、
前記反射防止層は、無機物で形成され、前記基本樹脂部の表面から突出し前記基本樹脂部の光軸に対して同心円状および放射線状に配置された微細突起部によって分割してあることを特徴とする光学素子。 - 前記微細突起部の長さ方向と交差する方向での前記微細突起部の断面の形状は、半円状、三角形状、台形状のいずれかであることを特徴とする請求項1に記載の光学素子。
- 前記断面の底辺幅は2μmより小さく、前記断面の高さは2μmより小さいことを特徴とする請求項2に記載の光学素子。
- 前記微細突起部は、前記光軸に対して軸対称に配置してあることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか一つに記載の光学素子。
- 前記微細突起部は、前記光軸から離れた基本樹脂部の外周領域に配置してあることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか一つに記載の光学素子。
- 前記反射防止層は、前記基本樹脂部の屈折率よりも低い屈折率の材料で構成された低屈折率層としてあることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか一つに記載の光学素子。
- 前記反射防止層は、前記基本樹脂部の屈折率よりも低い屈折率の材料で構成された低屈折率層および前記基本樹脂部の屈折率よりも高い屈折率の材料で構成された高屈折率層を積層した積層構造としてあることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか一つに記載の光学素子。
- 前記反射防止層と前記基本樹脂部の表面との間に、ケイ素酸化物を主成分とする下地層が形成してあることを特徴とする請求項1ないし請求項7のいずれか一つに記載の光学素子。
- 樹脂成形により形成される基本樹脂部の表面に突出させて形成された微細突起部で分離される反射防止層を備える光学素子を製造する光学素子製造方法であって、
前記基本樹脂部と前記基本樹脂部の光軸に対して同心円状および放射線状に配置された前記微細突起部とを樹脂成形する樹脂成形工程と、
前記基本樹脂部の表面に反射防止層を積層する反射防止層積層工程と
を備えることを特徴とする光学素子製造方法。 - 前記反射防止層の積層は、蒸着により行われることを特徴とする請求項9に記載の光学素子製造方法。
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