JP2005276953A - バイポーラ型SiC半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 少なくとも、nまたはp型導電型を有する炭化珪素(SiC)第1層(1)と、この第1層(1)上に第1層(1)とは導電型が異なる第2層(2)を有する。順方向電流通電時において第1層(1)から第2層(1)、又は第2層(2)から第1層(1)へ注入される少数キャリアを、順方向電流通電状態から逆方向電流阻止状態へスイッチングする際に、リカバリー電流、又はテール電流を減少させる事を目的として、キャリアライフタイム制御を行うために、第1層(1)、又は第2層(2)中にイオン注入法により不純物を照射し、第1層(1)又は第2層(2)中に欠陥を誘起させ、その欠陥をキャリア再結合中心として機能させる。
【選択図】 図3
Description
p型層に正電位、n型層に負電位が印加された場合、PN接合に順電圧が印加されたことになるので電流が流れる。この際、p型層からn型層へは正孔が、n型層からp型層へは電子が注入される。これらのキャリアはそれぞれ注入された領域において、本来の伝導型とは逆の伝導型を有することから少数キャリアと呼ばれている。例えば、p型層からn型層へ注入される少数キャリア濃度が高くなると、電荷中性の法則によりn型層のキャリア濃度は本来のキャリア濃度よりも高くなり、少数キャリア濃度と同じ濃度になる。従って、少数キャリアが注入されている領域では電気抵抗が極端に減少する。このような現象を伝導度変調効果(Conductivity modulation)と呼ぶ。
He+, C+,O+, F+, Ne+, Si+,Cl+, Ar+, Ge+, Br+, Kr+の内、いずれか一種類、又は複数種類を組み合わせて用いても良い。
2・・・SiC第2層
3・・・PN接合界面
4・・・イオン注入深さ分布中心の許容範囲
5・・・SiC基板
6・・・アノード電極
7・・・カソード電極
8・・・直流電源
9・・・コンデンサ
10・・・PiNダイオード
11・・・負荷インダクタンス
12・・・スイッチング素子(Si-MOSFET)
13・・・スイッチング素子がオン状態での電流経路
14・・・スイッチング素子がオフ状態での電流経路
15・・・SiC基板
16・・・SiC第1層
17・・・SiC第2層
18・・・SiC第3層
19・・・ゲート酸化膜
20・・・ゲート電極
21・・・カソード、又はアノード電極
22・・・アノード、又はカソード電極
23・・・少数キャリア注入が起こるPN接合界面
Claims (9)
- 少なくとも、nまたはp型導電型を有する炭化珪素(SiC)の第1層と、上記第1層上に上記第1層とは導電型が異なる第2層を有する、バイポーラ型SiC半導体装置において、
上記第1層と第2層の接合面及びその近辺に不純物イオンを注入し、上記第1層又は上記第2層中に欠陥を誘起させ、その欠陥をキャリア再結合中心として機能させ、
順方向電流通電時において上記第1層から上記第2層、又は上記第2層から上記第1層へ注入される少数キャリアを、順方向電流通電状態から逆方向電流阻止状態へスイッチングする際に、リカバリー電流、又はテール電流を減少させて、キャリアライフタイム制御を行うことを特徴とするバイポーラ型SiC半導体装置。 - 少なくとも、nまたはp型導電型を有する炭化珪素(SiC)の第1層と、上記第1層上に上記第1層とは導電型が異なる第2層を有する、バイポーラ型SiC半導体装置の製造方法において、上記第1層と第2層の接合面及びその近辺に不純物イオンを注入し、上記第1層又は上記第2層中に欠陥を誘起させ、その欠陥をキャリア再結合中心として機能させ、
順方向電流通電時において上記第1層から上記第2層、又は上記第2層から上記第1層へ注入される少数キャリアを、順方向電流通電状態から逆方向電流阻止状態へスイッチングする際に、リカバリー電流、又はテール電流を減少させて、キャリアライフタイム制御を行うことを特徴とするバイポーラ型SiC半導体装置の製造方法。 - 前記不純物イオンとしてH+, He+, C+,O+, F+,Ne+, Si+, Cl+, Ar+, Ge+,Br+, Kr+の内、いずれか一種類、又は複数種類を組み合わせて用いる請求項2に記載のバイポーラ型SiC半導体装置の製造方法。
- 前記第1層、及び第2層がそれぞれエピタキシャル膜で形成されている請求項2に記載のバイポーラ型SiC半導体装置の製造方法。
- 前記第1層、又は第2層がイオン注入により形成されている請求項2に記載のバイポーラ型SiC半導体装置の製造方法。
- 前記不純物イオンを注入した後に1000℃から1800℃の温度範囲で不活性ガス雰囲気、又は窒素ガス、又はそれらの混合ガス雰囲気中で1分以上の加熱処理を行う請求項2に記載のバイポーラ型SiC半導体装置の製造方法。
- 前記第1層、又は前記第2層形成のためにイオン注入した層と、キャリアライフタイム制御を行うためにイオン注入した領域を同時に、1000℃から1800℃の温度範囲で不活性ガス雰囲気、又は窒素ガス、又はそれらの混合ガス雰囲気中で1分以上の加熱処理を行う請求項2又は5に記載のバイポーラ型SiC半導体装置の製造方法。
- 上記第1層又は上記第2層中に発生した欠陥の深さ分布中心を、上記第1層と上記第2層の界面、若しくは上記界面から上記第1層、又は上記第2層側に1μmの範囲内に収めた請求項2に記載のバイポーラ型SiC半導体装置の製造方法。
- イオン注入される不純物のドーズ量が1.0x1012/cm2〜1.0x1015/cm2の範囲内である請求項2に記載のバイポーラ型SiC半導体装置の製造方法。
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