JP2005274261A - 相対運動検出装置およびこれを含む軸受装置 - Google Patents

Abstract

【課題】検出精度が高く、しかも信頼性の高い相対運動検出装置を提供すること。
【解決手段】相対運動検出装置は、内輪に固定される環状のパルサー９Ａ，９Ｂを備える。各パルサー９Ａ，９Ｂはトラックとしてのパルス生成部１２Ａ，１２Ｂをそれぞれ含む。各パルス生成部１２Ａ，１２Ｂは、周期的に繰り返す被検出手段として、交互に配置された凸部１２１および凹部１２２を含む。パルス生成部１２Ａ，１２Ｂ間で凸部１２１の配置ピッチＰ１，Ｐ２が相異なる。配置ピッチＰ１は一定であり、配置ピッチＰ２は第１の方向Ｃ１に関して漸増する。パルサー９Ａ，９Ｂの少なくともパルス生成部１２Ａ，１２Ｂは導電材を含むゴム又は樹脂により形成される。パルサー９Ａ，９Ｂと相対応する検出部が相対運動すると、互いに位相に異なるパルス出力が得られる。両パルス出力の比較に基づいて絶対角を検出することも可能である。
【選択図】図３

Description

本発明は、相対運動検出装置およびこれを含む軸受装置に関する。

従来、自動車用の回転数検出装置として、Ｎ極、Ｓ極が交互に配置された多極着磁型のパルサーリングが用いられている（例えば特許文献１）。
また、パルサーリングとして、筒状をなす磁性体製の板に、矩形状の打ち抜き孔を円周上、等間隔で形成したものがある（例えば特許文献２）。
また、パルサーリングを取り付けた外輪部材と、回転速度検出用の検出部を取り付けた内輪部材とを備える軸受ユニットが提供されている（例えば特許文献３）。

一方、磁気記録媒体において磁気信号数の相異なる一対のトラックにそれぞれ磁気センサを対向させ、磁気センサの出力の位相差に基づいて絶対位置を検出する検出装置が提供されている（例えば特許文献４）。
また、磁性体製の回転板に、磁気的に読み取り可能なコードパターンと光学的に読み取り可能なコードパターンを重複的に設け、分解能を高めるようにした回転角検出センサが提供されている（例えば特許文献５。）
特開２００１−２４９１４１号公報 特開２０００−２７１２号公報 実開平５−９４７２２号公報 特開平６−５８７６６号公報 特開２００１−１５１１２７号公報

しかしながら、上記のパルサーリングは金属製やフェライトゴム複合体製等であるため、加工が困難であり、また、他の部材との衝突で欠け易く、欠けた場合には検知性能が悪くなり、信頼性が低下する。
また、着磁材としてフェライトを用いる（すなわちフェライトゴム複合体を用いる）とすると、十分なパルス出力を得るためには、着磁材の含有率を８０〜９８質量％にする必要があるが、そうした場合、母材自体の強度その他の特性が損なわれるおそれがある。

また、従来の金属製のパルサーリングの場合、精度良く加工したり着磁したりすることが困難であり、例えばリングの円周方向の１極当たりの幅は最低でも２ｍｍ程度であり、磁性極数の増大も困難である。また、極幅を小さくした場合、加工累積誤差が大きい。したがって、検出精度が良くない。
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、検出精度を高くすることができ、信頼性の高い相対運動検出装置および軸受装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、本発明は、相対運動する第１および第２の部材の相対運動に関わる情報を検出するための相対運動検出装置において、所定方向に延びる複数のトラックを含むパルサーと、パルサーの各トラックにそれぞれ対応する複数の検出部と、上記所定方向に沿ってトラック毎に相異なるピッチで各トラックにそれぞれ設けられる被検出手段とを備え、少なくとも１つのトラックは導電材を含む材料で形成されると共に、該トラックの被検出手段は上記所定方向に沿って並ぶ凹部又は凸部を含むことを特徴とする相対運動検出装置を提供する。

導電材であれば、第１および第２の部材の相対運動時に、上記被検出手段としての凹部又は凸部と対応する検出部との相対移動に伴う両者の距離の変化を例えば磁束変化に基づいて容易に検出することができ、その結果、比較的低い添加量でも十分に高いパルス出力を得ることができる。出力が高いので、パルサーと検出部との距離を離すこともでき、レイアウトの自由度を高くすることができる。また、トラック毎に被検出手段の配置ピッチが異なるので、各検出部において互いに位相の異なるパルスを検出することができ、運動方向や絶対位置を検出することも可能となる。

また、トラックの母材としての例えばゴムや樹脂等の材料に少量の導電材を添加しておいて、型によりトラックを容易に成形することができ、製造が容易となる。少量の導電材の添加はゴム材料等の成形性を殆ど劣化させないため、ゴム材料等の成形限界までの成形が可能となり、１極の幅を２ｍｍ以下、例えば数１０μｍオーダー程度まで小さくすることも可能である。その結果、パルサーのパルス信号数を大幅に増大できるので、相対運動検出の精度が大幅に向上する。またゴムや樹脂を用いる場合には、欠け等の破損も起こし難いので、信頼性が高い。また、従来のフェライトゴム複合体はこれを混練するときに、フェライトが硬いため、混練設備を損耗し易い。金属製リングでは極数を増やすべく極数を小さくする場合、着磁ヘッドの損耗が激しくなったり、着磁幅の誤差が大きくなる。これに対して、本発明のように、例えばゴム等に導電材を添加する場合、このような問題がない。

導電材としては、導電性フィラーを例示することができる。また、銅、銅合金、銀、ニッケル等の金属の微粒子や、半田等の低融点合金の微粒子や、酸化亜鉛、酸化錫および酸化インジウム等の金属酸化物の微粒子や、ポリピロール、ポリチオフェンおよびポリアニリン等の導電性ポリマーの微粒子や、金属を被覆したポリマーの微粒子や、貴金属を被覆した銅や銀の微粒子や、金属繊維や、炭素繊維の他、カーボンナノチューブを例示することができる。

すなわち、本発明において、上記導電材はカーボンナノチューブを含む場合がある。カーボンナノチューブであれば、例えば１質量％以上の添加量で高いパルス出力を得ることができる。
また、本発明において、上記複数のトラックは第１および第２のトラックを含み、第１のトラックの被検出手段の配置ピッチは一定であり、第２のトラックの被検出手段の配置ピッチは上記所定方向に関して増加又は減少する場合がある。この場合、第２のトラックを用いて、運動方向を検出することが可能となる。また、第１および第２のトラックに関する検出結果の比較に基づいて絶対位置を検出することが可能となる。

また、本発明において、上記パルサーは、第１および第２の部材の何れか一方に固定され他方との間を密封するシール部材と一体に形成される場合がある。この場合、パルサーとシール部材を兼用することができ、構造を簡素化することができる。
また、本発明は、上記の相対運動検出装置と、上記第１の部材としての内輪と、上記第２の部材としての外輪とを備える軸受装置を提供する。この場合、上記の相対運動検出装置を軸受に組み込んで、例えば回転方向を検出したり、絶対位置を検出したりすることが可能となる。

本発明の好ましい実施の形態を添付図面を参照しつつ説明する。
図１は本発明の一実施の形態の相対運動検出装置が適用された軸受装置の概略断面図である。図１を参照して、本軸受装置１は、軸受２と、相対運動検出装置３とを備える。軸受２は、第１の部材（固定輪）としての例えば外輪４と、第２の部材（回転輪）としての例えば内輪５と、外輪４と内輪５との間に配置された複数の転動体６とを備える。図示していないが、例えば、外輪４は自動車の車体側部材としてのハウジングに取り付けられ、内輪５は車輪側部材としての回転軸に取り付けられる。

図１の要部拡大図である図２を参照して、相対運動検出装置３は、一対のパルス発生装置７Ａ，７Ｂと、各パルス発生装置７Ａ，７Ｂにそれぞれ対応する一対の信号処理部８Ａ，８Ｂとを備える。一方のパルス発生装置７Ａは、内輪５に固定されるパルサー９Ａと、パルサー９Ａと軸受２の軸方向Ｐに対向するように配置された検出部１０Ａとを含み、パルサー９Ａと検出部１０Ａの相対運動（相対回転運動）に応じてパルスを発生させる。同様に、他方のパルス発生装置７Ｂは、内輪５に固定されるパルサー９Ｂと、パルサー９Ｂと軸受２の軸方向Ｐに対向するように配置された検出部１０Ｂとを含み、パルサー９Ｂと検出部１０Ｂの相対運動（相対回転運動）に応じてパルスを発生させる。

各パルス発生装置７Ａ，７Ｂにそれぞれ対応して信号処理部８Ａ，８Ｂが設けられており、各信号処理部８Ａ，８Ｂは、対応するパルス発生装置７Ａ，７Ｂの検出部１０Ａ，１０Ｂからの信号を処理して対応するパルサー９Ａ，９Ｂと検出部１０Ａ，１０Ｂの相対運動に関わる情報として、例えば回転速度に関わる情報を得る。この場合、相対運動検出装置３は回転方向を検出可能な速度センサ装置として機能する。

各パルサー９Ａ，９Ｂは、内輪５の端部外周に嵌合固定された断面Ｌ字形の支持部材１１にそれぞれ固定されている。各パルサー９Ａ，９Ｂは、内輪５と同心に配置された円形の環状板からなり、パルサー９Ａはパルサー９Ｂよりも例えば大径であり、パルサー９Ｂの外周側に配置されている。各パルサー９Ａ，９Ｂはそれぞれ第１および第２の面９１，９２を有し、各パルサー９Ａ，９Ｂの第１の面９１は支持部材１１に沿って固定されている。また、各パルサー９Ａ，９Ｂの第２の面９２にそれぞれ対応するトラックとしてのパルス生成部１２Ａ，１２Ｂが設けられている。

再び図１を参照して、外輪４の端部外周には、各検出部１０Ａ，１０Ｂおよび各信号処理部８Ａ，８Ｂを支持するための支持部材１３が固定されている。支持部材１３は、短円筒状の外周壁１４および内周壁１５、並びにこれらの対向端部同士を連結するフランジ１６よりなり、全体として環状をなし、その中空部分の断面は略コの字形形状をなす。上記の中空部分内で各検出部１０Ａ，１０Ｂおよび各信号処理部８Ａ，８Ｂが樹脂１７によりモールドされている。外周壁１４の自由端部は、内周壁１５よりも長く延び外輪４の外周に密に嵌め止められている。

図３、図３のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図である図４、および図３のＶ−Ｖ線に沿う断面図である図５を参照して、環状をなす各パルス生成部１２Ａ，１２Ｂは、周期的に繰り返す起伏部（被検出手段）として、周方向Ｃに沿って交互に配置された凸部１２１および凹部１２２をそれぞれ含む。外側のトラックとしてのパルス生成部１２Ａの凸部１２１は周方向Ｃに関して一定の配置ピッチＰ１で配置されている。

一方、内側のトラックとしてのパルス生成部１２Ｂの凸部１２１は周方向Ｃに関して不等ピッチで配置されている。具体的には、内側のパルス生成部１２Ｂの凸部１２１は、第１の方向Ｃ１に関して凸部１２１の配置ピッチＰ２が次第に大きくなる一方、第２の方向Ｃ２に関して凸部１２１の配置ピッチＰ２が次第に小さくなる。図３において、ラインＬはパルス生成部１２Ｂの凸部１２１の配置ピッチの変化に関する不連続ラインである。

なお、各パルス生成部１２Ａ，１２Ｂの凸部１２１自体は、周方向Ｃに関して一定の幅を持つように設定されている。
少なくとも一方のパルサー９Ａ，９Ｂの少なくともパルス生成部１２Ａ，１２Ｂは導電材を含む材料で形成されている。すなわち、図４および図５のように、パルサー９Ａ，９Ｂ全体が導電材を含む材料で形成されていても良いし、図６に示すように、パルス生成部１２Ａのみが導電材を含む材料で形成され、パルサー本体３０の一の面に固着されていても良い。パルス生成部１２Ｂに関しても同様である。パルス生成部１２Ａ，１２Ｂ乃至パルサー９Ａ，９Ｂは、母材としてのゴム又は樹脂に導電材を添加して得られる。

導電材としては、導電性フィラーを例示することができる。また、銅、銅合金、銀、ニッケル等の金属の微粒子や、半田等の低融点合金の微粒子や、酸化亜鉛、酸化錫および酸化インジウム等の金属酸化物の微粒子や、ポリピロール、ポリチオフェンおよびポリアニリン等の導電性ポリマーの微粒子や、金属を被覆したポリマーの微粒子や、貴金属を被覆した銅や銀の微粒子や、金属繊維や、炭素繊維の他、カーボンナノチューブを例示することができる。

カーボンナノチューブとしては、単層、多層等種々のものが用いられるが、直径１〜２ｎｍ、長さ１０μｍ以下の単層カーボンナノチューブを用いることが好ましい。
検出部１０Ａ，１０Ｂとしては、渦電流式センサ、静電容量式センサ等、種々の磁電変換素子を使用することができる。
車輪の回転に伴って、内輪５およびパルサー９Ａ，９Ｂが回転すると、凸部１２１および凹部１２２を交互に形成した各パルス生成部１２Ａ，１２Ｂと対応する検出部１０Ａ，１０Ｂとの間のエアギャップが周期的に変化する。これに伴って各検出部１０Ａ，１０Ｂを通過する磁束や静電容量等が周期的に変化するので、各検出部１０Ａ，１０Ｂの磁電変換素子が前記変化に対応するアナログ電気信号をパルス出力する。

各信号処理部８Ａ，８Ｂは、それぞれ対応する検出部１０Ａ，１０Ｂから得られるアナログパルス信号Ｓを二値化処理してディジタル信号Ｄに変換し、これを回転速度検出用信号として、車両のＥＣＵ（電子制御ユニット）１８に出力する。
内輪５および外輪４が等速で相対回転しているときの各信号出力部８Ａ，８Ｂからの出力パターンは、図７、図８Ａおよび図８Ｂに示すものとなる。すなわち、外周側のパルス生成部１２Ａに対応する信号出力部８Ａについては、図７に示すように、相対回転速度に応じた一定周期Ｔ１（すなわちパルス信号間の間隔Ｑ１が一定）の出力パターンである。信号出力部８Ａからの信号を入力したＥＣＵ１８では、一定時間内のパルス数に基づいて外輪４と内輪５の相対回転の速度を検出することができる。

また、内周側のパルス生成部１２Ｂに対応する信号出力部８Ｂについては、検出部１０Ｂがパルサー９Ｂに対して第１の方向Ｃ１に相対的に回転するときは、図８Ａに示すように周期Ｔ２が次第に増加する（すなわち、パルス信号間の間隔Ｑ２が漸増する）出力パターンである。一方、検出部１０Ｂがパルサー９Ｂに対して第２の方向Ｃ２に相対的に回転するときは、図８Ｂに示すように周期Ｔ２が次第に減少する（すなわち、パルス信号間の間隔Ｑ２が漸減する）出力パターンである。このように、信号出力部８Ｂが第１および第２の方向Ｃ１，Ｃ２によって相異なる出力パターンの信号を出力するので、この信号を入力したＥＣＵ１８では、外輪４と内輪５の相対時の回転方向が何れの方向Ｃ１，Ｃ２かを検出することができる。

本実施の形態によれば、各検出部１０Ａ，１０Ｂに対する凸部１２１および凹部１２２の移動に伴う両者の距離の変化を例えば磁束変化に基づき容易に検出することができる。パルサー９Ａ，９Ｂの導電材の添加量が比較的低い場合にも、十分に高いパルス出力を得ることができる。特に、高い導電性を有するカーボンナノチューブを用いる場合には、５〜１０質量％の添加量でも高いパルス出力を得ることができる。

また、従来の金属製やフェライトゴム複合体製のパルサーリングの場合、精度良く加工したり着磁したりすることが困難であり、また、欠け等の破損を起こし易く信頼性が低いという問題があったが、本実施の形態では、母材となるゴムや樹脂等の材料に少量のカーボンナノチューブを添加しておいて、少なくとも一方のパルス生成部１２Ａ，１２Ｂ、又は少なくとも一方のパルサー９Ａ，９Ｂの全体を型により形成することができ、製造が非常に容易である。カーボンナノチューブの添加量が少量でも良いので、ゴムや樹脂に悪影響を与えることがない。また、ゴムや樹脂であれば、欠け等の破損も起こし難く信頼性を高くすることができる。

また、上述したように、パルス生成部１２Ａの凸部１２１および凹部１２２によって、パルサー９Ａと検出部１０Ａとの相対運動としての回転速度を容易に検出することができる。しかも、パルス生成部１２Ｂの凸部１２１および凹部１２２によってパルサー９Ｂと検出部１０Ｂの相対運動としての回転方向を容易に検出することができる。パルス発生装置７Ａ，７Ｂおよび相対運動検出装置３としての出力が高いので、各検出部１０Ａ，１０Ｂと対応するパルサー９Ａ，９Ｂとの間の距離を離すことができ、レイアウトの自由度が高まる。

上記の実施の形態では、パルス発生装置７Ａ，７Ｂを適用した相対運動検出装置３として、速度センサ装置を実現したが、これに限らず、上記のディジタル信号Ｄを用いて変位や加速度を検出するようにしても良い。この場合にも、カーボンナノチューブを用いた高出力の変位センサや加速度センサを実現することができる。
また、一方のパルス生成部１２Ａに対応する信号出力部８Ａからのパルス信号間の間隔Ｑ１（図７参照）と、他方のパルス生成部１２Ｂに対応する信号出力部８Ｂからのパルス信号間の間隔Ｑ２（図８Ａ，図８Ｂ参照）との比（Ｑ２／Ｑ１）をＥＣＵ１８によって検出することにより、絶対角（絶対位置）や原点を検出することも可能となる。

また、上記の実施の形態では、各パルサー９Ａ，９Ｂと対応する検出部１０Ａ，１０Ｂを軸受２の軸方向に対向させたが、図９に示すように、軸受装置１Ａにおいて、支持部材１１Ａによって内輪５に固定されたパルサー９０Ａ，９０Ｂと、支持部材１３Ａによって外輪４に固定された検出部１００Ａ，１００Ｂとを軸受２Ａの径方向Ｒに対向するようにしても良い。この場合、図１０に示すように、環状のパルサー９０Ａ（９０Ｂ）の外周面にパルス生成部１２Ａ（１２Ｂ）が形成される。

上記各実施の形態においては、内輪５にパルサー９Ａ，９Ｂ；９０Ａ，９０Ｂを取り付け、外輪４に検出部１０Ａ，１０Ｂ；１００Ａ，１００Ｂを取り付けたが、外輪４にパルサー９Ａ，９Ｂ；９０Ａ，９０Ｂを取り付け、内輪５に検出部１０Ａ，１０Ｂ；１００Ａ，１００Ｂを取り付けるようにしても良い。
また、パルス発生装置７Ａ，７Ｂや相対運動検出装置３を回転型の軸受だけでなく、直線運動をするリニア軸受に組み込むことも可能である。この場合、パルサー９Ａ，９Ｂ；９０Ａ，９０Ｂは環状ではなく、直線状をなすことになる。

さらに、パルス発生装置７Ａ，７Ｂは、軸受装置に限らず、回転運動や直線運動をする一対の部材間の運動に基づいてパルス出力する装置として用いることが可能であり、同様に、相対運動検出装置３は、軸受装置に限らず、回転運動や直線運動をする一対の部材間の運動に関わる情報を得るセンサ装置として用いることが可能である。
また、図１１に示すように、軸受装置に適用されるオイルシール２０において、シールリップ２１，２２を有するゴム製のシール部材２３にパルス生成部１２Ａ，１２Ｂを形成してパルサー９０Ａ，９０Ｂに構成すると共に、スリンガ２４に検出部１００Ａ，１００Ｂを固定することで、パルス発生装置とオイルシールとを兼用することもできる。シール部材２３は芯金２５により補強されている。パルス生成部１２Ａ，１２Ｂはゴム製のシール部材２３に直接形成することが好ましいが、別体で設けたパルス生成部１２Ａ，１２Ｂをシール部材２３に貼り付けるようにしても良い。

さらに、図１２に示すように、スリンガ２４の径方向に延びる外側面２４ａに環状の凹部２６を形成し、該凹部２６にパルサー９Ａ，９Ｂを収容し、各パルサー９Ａ，９Ｂにそれぞれ対向する検出部１０Ａ，１０Ｂを軸受の軸方向に対向するように配置しても良い。この場合、従来形状のシール部材をそのまま用いることができる。

導電材としてのグラファイトを含むゴムで形成されたパルス生成部を有するパルサーと静電容量式変位センサを用いた検出部とからなるパルス発生装置としての試験例１を作成した。試験例１において、グラファイトの添加割合は２７質量％である。
また、導電材としてのカーボンブラックを含むゴムで形成されたパルス生成部を有するパルサーと静電容量式変位センサを用いた検出部とからなるパルス発生装置としての試験例２を作成した。試験例２において、カーボンブラックの添加割合は１６質量％である。

実施例１，２について、パルサーと検出部の距離（エアギャップ）を種々に設定し、パルサーと検出部を相対運動させて、出力電圧の変化を求めたところ、図１３に示す結果を得た。これにより、少量の導電材、すなわち試験例１においては２７質量％のグラファイト、試験例２については１６質量％のカーボンブラックを添加するだけで、非常に高い出力が得られることが実証された。

本発明の一実施の形態の相対運動検出装置が適用された軸受装置の要部の概略断面図である。 図１の要部の拡大した拡大断面図である。 パルサーの平面図である。 図３のIV−IV線に沿う断面図である。 図３のＶ−Ｖ線に沿う断面図である。 パルサーの変更例の断面図である。 一方の信号出力部８Ａから出力されるパルス信号のパターンである。 検出部１０Ｂが対応するパルス生成部１２Ｂに対して第１の方向Ｃ１に相対移動するときに、他方の信号出力部８Ｂから出力されるパルス信号のパターンである。 検出部１０Ｂが対応するパルス生成部１２Ｂに対して第２の方向Ｃ２に相対移動するときに、他方の信号出力部８Ｂから出力されるパルス信号のパターンである。 本発明のさらに別の実施の形態の相対運動検出装置が適用された軸受装置の要部の概略断面図である。 図９の実施の形態のパルサーの断面図である。 本発明のさらに別の実施の形態において、相対運動検出装置を兼用するオイルシールの概略断面図である。 本発明のさらに別の実施の形態において、相対運動検出装置を兼用するオイルシールの概略断面図である。 本発明の試験例１，２において距離と出力電圧の関係を示すグラフ図である。

符号の説明

１，１Ａ 軸受装置
２，２Ａ 軸受
３ 相対運動検出装置
４ 外輪（第１の部材）
５ 内輪（第２の部材）
６ 転動体
７Ａ，７Ｂ パルス発生装置
８Ａ，８Ｂ 信号処理部
９Ａ，９Ｂ，９０Ａ，９０Ｂ パルサー
９１ 第１の面
９２ 第２の面
１０Ａ，１０Ｂ，１００Ａ，１００Ｂ 検出部
１１，１１Ａ 支持部材
１２Ａ，１２Ｂ パルス生成部（トラック）
１２１ 凸部（起伏部。被検出手段）
１２２ 凹部（起伏部。被検出手段）
１３，１３Ａ 支持部材
１８ ＥＣＵ
２０ オイルシール
２３ シール部材
２４ スリンガ
Ｃ 周方向（所定方向）
Ｃ１ 第１の方向（所定方向）
Ｃ２ 第２の方向（所定方向）
Ｄ ディジタル信号（回転速度検出用信号）
Ｐ１，Ｐ２ ピッチ
Ｑ１，Ｑ２ パルス信号間の間隔
Ｒ 径方向
Ｓ アナログパルス信号

Claims (5)

1. 相対運動する第１および第２の部材の相対運動に関わる情報を検出するための相対運動検出装置において、
   所定方向に延びる複数のトラックを含むパルサーと、
   パルサーの各トラックにそれぞれ対応する複数の検出部と、
   上記所定方向に沿ってトラック毎に相異なるピッチで各トラックにそれぞれ設けられる被検出手段とを備え、
   上記複数のトラックの少なくとも１つは導電材を含む材料で形成され、導電材を含む材料で形成されたトラックの被検出手段は上記所定方向に沿って並ぶ凹部又は凸部を含むことを特徴とする相対運動検出装置。
2. 請求項１において、上記導電材はカーボンナノチューブを含む相対運動検出装置。
3. 請求項１又は２において、上記複数のトラックは第１および第２のトラックを含み、第１のトラックの被検出手段の配置ピッチは一定であり、第２のトラックの被検出手段の配置ピッチは上記所定方向に関して増加又は減少する相対運動検出装置。
4. 請求項１，２又は３において、上記パルサーは、第１および第２の部材の何れか一方に固定され他方との間を密封するシール部材と一体に形成される相対運動検出装置。
5. 請求項１乃至４の何れか１つに係る相対運動検出装置と、上記第１の部材としての外輪と、上記第２の部材としての内輪とを備える軸受装置。

Images