JP2005265600A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 平面状の基板を支持する支持部と、
   前記基板の表面に沿ってレーザ光を照射するレーザ光発振部と、
   前記レーザ光を受光する受光部と、
   前記基板を、前記レーザ光が前記基板の表面全般に渡って交差するように、前記レーザ光発振部に対して相対的に移動させる移動手段と、
   前記受光部が受光した前記レーザ光の光量および受光位置のうち少なくとも前記光量に基づいて、前記基板の平面精度が所定の許容範囲内にあるか否かを判断する基板平面精度判断手段とを備え、
   前記レーザ光の照射により、前記基板の表面全般に渡って前記基板の平面精度が許容範囲内にあるか否かを判断することを特徴とする基板精度検出装置。
2. 前記支持部が、前記基板の支持位置を前記基板の表面に垂直な方向に調整可能であることを特徴とする請求項１に記載の基板精度検出装置。
3. 前記レーザ光発振部が、前記基板の移動方向と垂直な方向に、前記レーザ光を照射することを特徴とする請求項１に記載の基板精度検出装置。
4. 前記レーザ光発振部が、前記レーザ光の一部が前記基板の側面に照射するように前記レーザ光を照射することを特徴とする請求項１に記載の基板精度検出装置。
5. 前記レーザ光発振部が、複数の前記レーザ光を照射し、前記レーザ光の光路が同一平面上にあることを特徴とする請求項１に記載の基板精度検出装置。
6. 前記基板平面精度判断手段が、前記基板の平面精度が前記許容範囲内にないと判断した場合に、ユーザに警告する警告手段をさらに有することを特徴とする請求項１乃至５に記載の基板精度検出装置。
7. 支持部が、平面状の基板を支持し、
   レーザ光発振部が、前記基板の表面に沿ってレーザ光を照射し、
   受光部が、前記レーザ光を受光し、
   移動手段が、前記基板を、前記レーザ光が前記基板の表面全般に渡って交差するように、前記レーザ光発振部に対して相対的に移動させ、
   基板平面精度判断手段が、前記受光部が受光した前記レーザ光の光量および受光位置のうち少なくとも前記光量に基づいて、前記基板の表面全般に渡って前記基板の平面精度が所定の許容範囲内にあるか否かを判断することを特徴とする基板平面精度の検出方法。
8. 平面状の基板の露光面にパターンを形成する露光装置であって、
   前記基板を支持する支持部と、
   前記基板の露光面に沿ってレーザ光を照射するレーザ光発振部と、
   前記レーザ光を受光する受光部と、
   前記基板を、前記レーザ光が前記露光面の表面全般に渡って交差するように、前記レーザ光発振部に対して相対的に移動させる移動手段と、
   前記受光部が受光した前記レーザ光の光量および受光位置のうち少なくとも前記光量に基づいて、前記基板の平面精度が所定の許容範囲内にあるか否かを判断する基板平面精度判断手段とを備え、
   前記レーザ光の照射により、前記基板の表面全般に渡って前記基板の平面精度が許容範囲内にあるか否かを判断することを特徴とする露光装置。