JP2005217082A - 半導体実装体 - Google Patents
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Abstract
【課題】 pHセンサやガスセンサ等の過酷な環境における長時間の使用によっても、半導体チップ上の突起電極や配線が腐食されることがなく、配線基板上の半導体チップ直下にない部分の配線が腐食されることがない半導体実装体を提供する。
【解決手段】 複数の突起電極4を有する半導体チップ3と、前記突起電極4に対応する複数の電極パッド5を有する配線基板11を対向させ、加熱加圧により前記突起電極4と前記電極パッド5を電気的機械的に接続した半導体実装体15において、前記配線基板11の基材が液晶ポリマからなり、前記半導体チップ3の前記突起電極4を有する一主面と前記配線基板11が接着用液晶ポリマシート10によって接着されており、前記半導体チップ3の他面と前記配線基板11が被覆用液晶ポリマシート1により覆われている。
【選択図】 図1
【解決手段】 複数の突起電極4を有する半導体チップ3と、前記突起電極4に対応する複数の電極パッド5を有する配線基板11を対向させ、加熱加圧により前記突起電極4と前記電極パッド5を電気的機械的に接続した半導体実装体15において、前記配線基板11の基材が液晶ポリマからなり、前記半導体チップ3の前記突起電極4を有する一主面と前記配線基板11が接着用液晶ポリマシート10によって接着されており、前記半導体チップ3の他面と前記配線基板11が被覆用液晶ポリマシート1により覆われている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体チップを配線基板にフェイスダウン実装した半導体実装体に関し、特に、耐薬品性、ガスバリア性を改善した半導体実装体に関するものである。
電子機器の小型化薄型化の要求から、個々の半導体チップをパッケージングせずに半導体チップを配線基板にフェイスダウン実装する、いわゆるフリップチップ実装により配線基板上の実装効率を上げる方法が多用されている。
半導体チップをフェイスダウン実装した半導体実装体の例を、図6を用いて説明する。先ず、図6(a)に示すように、加熱装置8を有するステージ9上にポリイミドやガラスエポキシ等の液晶ポリマ以外の材質からなる配線基板2を載せ、配線基板2上の電極パッド5と半導体チップ3の対応する突起電極4を重ね合わせ、加熱加圧によって接続する。次に、図6(b)に示すように、配線基板2と半導体チップ3の間にアンダーフィル樹脂16を流し込み、加熱硬化によって配線基板2と半導体チップ3を接着する。アンダーフィル樹脂16は、図6(a)で説明した突起電極4の接続前に配線基板2又は半導体チップ3に塗布しておき、突起電極4の接続と同時に加熱硬化される場合もある。配線基板2の電極パッド5と半導体チップ3の突起電極4は電気的機械的に接合しており、配線基板2と半導体チップ3はアンダーフィル樹脂16によって接着されている。
しかし、前述の半導体実装体及びその製造方法は、配線基板と半導体チップを接着しているアンダーフィル樹脂が比較的高い誘電率と誘電損失を有するため、特にGHz帯での高周波特性が悪化するというという問題があった。
これに対し図7に示すように、前記と同様の方法で配線基板2の電極パッドと半導体チップ3の突起電極4を電気的機械的に接合したのち、半導体チップ3の裏面と配線基板2上を柔軟性のあるシート6で覆い接着剤7で固定する方法(特許文献1参照)が開示されている。これにより、アンダーフィル樹脂による高周波特性の悪化は回避できるが、耐薬品性やガスバリア性が悪化するという新たな問題を生じていた。
一方、高周波特性と耐薬品性、ガスバリア性を両立させる方法として、図8に示すように、接着用液晶ポリマシート10と液晶ポリマ配線基板11を用いる方法(特許文献2参照)が提案されている。この方法は、図9(a)〜(b)に示すように、液晶ポリマ配線基板11の半導体チップ3と対向する位置に接着用液晶ポリマシート10を載せ、液晶ポリマ配線基板11の電極パッド5上に半導体チップ3の突起電極4を重ね合わせ、加熱加圧によって前記突起電極4と前記電極パッド5の電気的機械的接続と、半導体チップ3と液晶ポリマ配線基板11の接着を同時に行うものである。これにより、半導体チップ3上の配線形成面(突起電極4が形成されている面)と液晶ポリマ配線基板11上の電極パッド5は、低誘電率、低誘電損失で耐薬品性、ガスバリア性に優れた液晶ポリマで覆われた構造となるため、高周波特性の悪化や水分、薬品、ガスにより半導体チップ上の配線や配線基板上の電極パッドが腐食される恐れがない半導体実装体が実現できる。
特開2001−53092号公報(第3〜5頁、第1図)
特願2004−9948号公報(段落〔0009〕〜〔0022〕、第1図)
しかしながら、前述の接着用液晶ポリマシート10と液晶ポリマ配線基板11を用いる方法には、次のような残された問題があった。すなわち、通常の使用環境では充分な耐薬品性、ガスバリア性を有するものの、pHセンサやガスセンサ等のように薬液やガス雰囲気中で使用を続ける場合においては、長時間の使用によって半導体チップ周辺に位置する突起電極や配線の腐食や、接着用液晶ポリマシート10によって被覆されていない配線基板上の半導体チップ直下にない部分の配線腐食といった問題が発生する恐れがあった。
本発明の課題は、pHセンサやガスセンサ等の過酷な環境における長時間の使用によっても、半導体チップ上の突起電極や配線が腐食されることがなく、配線基板上の半導体チップ直下にない部分の配線が腐食されることがない半導体実装体を提供することである。
本発明の請求項1記載の半導体実装体は、複数の突起電極を有する半導体チップと、前記突起電極に対応する複数の電極パッドを有する配線基板を対向させ、加熱加圧により前記突起電極と前記電極パッドを電気的機械的に接続した半導体実装体において、前記配線基板の基材が液晶ポリマからなり、前記半導体チップの前記突起電極を有する一主面と前記配線基板が接着用液晶ポリマシートによって接着されており、前記半導体チップの他面と前記配線基板が被覆用液晶ポリマシートにより覆われている。
本発明の請求項2記載の半導体実装体は、複数の突起電極を有する半導体チップと、前記突起電極に対応する複数の電極パッドを有する配線基板を対向させ、加熱加圧により前記突起電極と前記電極パッドを電気的機械的に接続した半導体実装体において、前記配線基板の基材が液晶ポリマからなり、前記半導体チップの前記突起電極を有する一主面と前記配線基板が接着用液晶ポリマシートによって接着されており、前記半導体チップの他面と前記配線基板が被覆用液晶ポリマシートにより覆われており、さらに、前記半導体チップの前記突起電極を有する一主面にセンサ部が形成されており、前記配線基板と前記接着用液晶ポリマシートの前記センサ部に対応する位置それぞれに開口部が形成されており、前記開口部内に前記センサ部が露出している。
本発明の半導体実装体によれば、半導体チップの裏面と配線基板を被覆用液晶ポリマで覆うことにより、半導体チップ周辺に位置する突起電極や配線と、配線基板上の半導体チップ直下にない部分の配線とが、低誘電率、低誘電損失で耐薬品性、ガスバリア性に優れた液晶ポリマで覆われた構造となる。このため、pHセンサやガスセンサ等の過酷な環境における長時間の使用によっても、高周波特性に優れ、水分、薬品、ガスによる半導体チップ周辺に位置する突起電極や配線と、配線基板上の半導体チップ直下にない部分の配線が腐食される恐れがない半導体実装体を提供できるという優れた産業上の効果を奏し得る。
以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照し、従来例と同一物には同一の符号を用いて説明する。
本発明の第1の実施形態である半導体実装体15は、図1に示すように、液晶ポリマ配線基板11の電極パッド5と半導体チップ3の突起電極4が電気的機械的に接合しており、前記半導体チップ3の前記突起電極4を有する一主面と液晶ポリマ配線基板11が接着用液晶ポリマシート10によって接着されており、前記半導体チップ3の他面と前記液晶ポリマ配線基板11が被覆用液晶ポリマシート1により覆われている。前記配線基板の基材が液晶ポリマからなり、半導体チップ3と液晶ポリマ配線基板11が接着用液晶ポリマシート10によって接着されており、半導体チップ3の裏面と液晶ポリマ配線基板11が被覆用液晶ポリマシート1により覆われていることが、本発明の半導体実装体の特徴である。
図1に示した本発明の第1の実施形態である半導体実装体15の製造方法は、図2(a)に示すように、液晶ポリマ配線基板11の半導体チップ3と対向する位置に接着用液晶ポリマシート10を載せ、液晶ポリマ配線基板11の電極パッド5上に半導体チップ3の突起電極4を重ね合わせ、加熱加圧によって前記突起電極4と前記電極パッド5の電気的機械的接続と、半導体チップ3と液晶ポリマ配線基板11の接着を同時に行う。そののち、図2(b)に示すように、半導体チップ3と液晶ポリマ配線基板11を覆う位置に被覆用液晶ポリマシート1を位置決めし、加熱加圧によって半導体チップ3の裏面と液晶ポリマ配線基板11を被覆する。
本発明の第2の実施形態である半導体実装体17は、図3に示すように、液晶ポリマ配線基板11の電極パッド5と半導体チップ3の突起電極4が電気的機械的に接合しており、前記半導体チップ3の前記突起電極4を有する一主面と液晶ポリマ配線基板11が接着用液晶ポリマシート10によって接着されており、前記半導体チップ3の他面と前記液晶ポリマ配線基板11が被覆用液晶ポリマシート1により覆われており、さらに、前記半導体チップ3の前記突起電極4を有する一主面にセンサ部12が形成されており、前記液晶ポリマ配線基板11と前記接着用液晶ポリマシート10の前記センサ部12に対応する位置それぞれに開口部13、14が形成されており、前記開口部13、14内に前記センサ部12が露出している。前記配線基板の基材が液晶ポリマからなり、半導体チップ3と液晶ポリマ配線基板11が接着用液晶ポリマシート10によって接着されており、半導体チップ3の裏面と液晶ポリマ配線基板11が被覆用液晶ポリマシート1により覆われている点は、第1の実施形態と同じであるが、さらに、前記半導体チップ3の前記突起電極4を有する一主面にセンサ部12が形成されており、前記液晶ポリマ配線基板11と前記接着用液晶ポリマシート10の前記センサ部12に対応する位置それぞれに基板開口部13、接着用液晶ポリマシート開口部14が形成されており、基板開口部13と接着用液晶ポリマシート開口部14内に前記センサ部12が露出していることが、第1の実施形態との相違点である。
図3に示した本発明の第2の実施形態である半導体実装体17の製造方法は、図4(a)に示すように、基板開口部13を有する液晶ポリマ配線基板11の半導体チップ3と対向する位置に、前記基板開口部13と同じ位置に接着用液晶ポリマシート開口部14を有する接着用液晶ポリマシート10を載せ、液晶ポリマ配線基板11の電極パッド5上に半導体チップ3の突起電極4を重ね合わせ、加熱加圧によって前記突起電極4と前記電極パッド5の電気的機械的接続と、半導体チップ3と液晶ポリマ配線基板11の接着を同時に行う。そののち、図4(b)に示すように、半導体チップ3と液晶ポリマ配線基板11を覆う位置に被覆用液晶ポリマシート1を位置決めし、加熱加圧によって半導体チップ3の裏面と液晶ポリマ配線基板11を被覆する。
また、図5(a)に示すように、あらかじめ半導体チップ3の突起電極4を有する面に、半導体チップ3のセンサ部12に対応する位置に接着用ポリマシート開口部14を設けた接着用ポリマシート10を加熱加圧により接着しておき、次に、基板開口部13を有する液晶ポリマ配線基板11の電極パッド5上に半導体チップ3の突起電極4を重ね合わせ、加熱加圧によって前記突起電極4と前記電極パッド5の電気的機械的接続と、半導体チップ3と液晶ポリマ配線基板11の接着を同時に行う。そののち、図5(b)に示すように、半導体チップ3と液晶ポリマ配線基板11を覆う位置に被覆用液晶ポリマシート1を位置決めし、加熱加圧によって半導体チップ3の裏面と液晶ポリマ配線基板11を被覆する。これにより、半導体チップ3と接着用液晶ポリマシート10の加熱加圧条件を、半導体チップ3を液晶ポリマ配線基板11に搭載する際の加熱加圧条件と異なる値に設定することができるため、半導体チップ周辺部の耐薬品性、ガスバリア性の改善が容易となる。
上記2つの実施形態において、半導体チップの裏面と配線基板を被覆用液晶ポリマシートで覆うことにより、半導体チップ周辺に位置する突起電極や配線と、配線基板上の半導体チップ直下にない部分の配線とが、低誘電率、低誘電損失で耐薬品性、ガスバリア性に優れた液晶ポリマで覆われた構造となる。このため、pHセンサやガスセンサ等の過酷な環境における長時間の使用によっても、高周波特性に優れ、水分、薬品、ガスによる半導体チップ周辺に位置する突起電極や配線と、配線基板上の半導体チップ直下にない部分の配線が腐食される恐れがなくなる。代表的な値として、液晶ポリマは、酸素透過率が0.3(cc・20μm/m2・day・atm、20℃、65%RH時)、水蒸気透過率が0.13(g・20μm/m2・day、40℃、90%RH時)であり、ポリイミドの酸素透過率490、水蒸気透過率105に対し桁違いに小さな値を有している。また、液晶ポリマ配線基板上の配線は、その両面を低誘電率(代表的な値2.9、1GHz時)で低誘電損失(代表的な値0.0025、1GHz時)である液晶ポリマからなる被覆用液晶ポリマシートと液晶ポリマ配線基板で覆われた構造となるため、優れた高周波特性が得られる。
接着用液晶ポリマシートは、少なくとも半導体チップの一主面を全て覆う大きさであれば良いが、液晶ポリマ配線基板上の配線全てを覆う大きさ、形状であっても良い。
接着用及び被覆用液晶ポリマシートと液晶ポリマ配線基板に使用する液晶ポリマは、突起電極と電極パッドの電気的機械的接続をより確実にするため、高融点である全芳香族系液晶ポリマが好ましい。
また、接着用液晶ポリマシートでの接着時に液晶ポリマ配線基板の寸法安定性を確保するために、接着用液晶ポリマシートの融点は液晶ポリマ配線基板の融点より10〜40℃低い値が好ましく、例えば、株式会社クラレ製Vecstar(登録商標)FAタイプを接着用液晶ポリマシートに、同CTタイプ、CTXタイプを液晶ポリマ配線基板に用いることができる。同様の理由から、被覆用液晶ポリマシートの融点は接着用液晶ポリマシートの融点よりさらに10〜40℃低い値が好ましい。
また、突起電極は、金属細線を半導体チップにボンディングした後引きちぎって形成したスタッドバンプやめっきによるバンプ(ポスト)に加え、低加圧実装の半田バンプであっても適用可能である。
本発明によれば、半導体チップの裏面と配線基板を被覆用液晶ポリマで覆うことにより、半導体チップ周辺に位置する突起電極や配線と、配線基板上の半導体チップ直下にない部分の配線とが、低誘電率、低誘電損失で耐薬品性、ガスバリア性に優れた液晶ポリマで覆われた構造となる。このため、pHセンサやガスセンサ等の過酷な環境における長時間の使用によっても、高周波特性に優れ、水分、薬品、ガスによる半導体チップ周辺に位置する突起電極や配線と、配線基板上の半導体チップ直下にない部分の配線が腐食される恐れがない半導体実装体を提供できる。
尚、本発明の半導体実装体は、上記の実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得る。
1 被覆用液晶ポリマシート
2 配線基板
3 半導体チップ
4 突起電極
5 電極パッド
6 柔軟性のあるシート
7 接着剤
8 加熱装置
9 ステージ
10 接着用液晶ポリマシート
11 液晶ポリマ配線基板
12 センサ部
13 基板開口部
14 接着用液晶ポリマシート開口部
15 半導体実装体
16 アンダーフィル樹脂
17 半導体実装体
2 配線基板
3 半導体チップ
4 突起電極
5 電極パッド
6 柔軟性のあるシート
7 接着剤
8 加熱装置
9 ステージ
10 接着用液晶ポリマシート
11 液晶ポリマ配線基板
12 センサ部
13 基板開口部
14 接着用液晶ポリマシート開口部
15 半導体実装体
16 アンダーフィル樹脂
17 半導体実装体
Claims (2)
- 複数の突起電極を有する半導体チップと、前記突起電極に対応する複数の電極パッドを有する配線基板を対向させ、加熱加圧により前記突起電極と前記電極パッドを電気的機械的に接続した半導体実装体において、前記配線基板の基材が液晶ポリマからなり、前記半導体チップの前記突起電極を有する一主面と前記配線基板が接着用液晶ポリマシートによって接着されており、前記半導体チップの他面と前記配線基板が被覆用液晶ポリマシートにより覆われていることを特徴とする半導体実装体。
- 請求項1記載の半導体実装体において、前記半導体チップの前記突起電極を有する一主面にセンサ部が形成されており、前記配線基板と前記接着用液晶ポリマシートの前記センサ部に対応する位置それぞれに開口部が形成されており、前記開口部内に前記センサ部が露出していることを特徴とする半導体実装体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004020611A JP2005217082A (ja) | 2004-01-29 | 2004-01-29 | 半導体実装体 |
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JP2004020611A JP2005217082A (ja) | 2004-01-29 | 2004-01-29 | 半導体実装体 |
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Publication Number | Publication Date |
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2004
- 2004-01-29 JP JP2004020611A patent/JP2005217082A/ja active Pending
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