JP2005216699A - プラズマ表示装置及びその製造方法、並びにプラズマディスプレイパネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 前面基板と背面基板にそれぞれ形成したアライメントマーカーを用いて両基板を重ね合わせ接着する際に、アライメントの位置合わせ精度が低下するのを防止する。
【解決手段】 開示されるプラズマ表示装置の主要部を構成するＰＤＰ１０は、前面基板１上に形成するアライメントマーカー１７を、バス電極５Ｂ、６Ｂの形成時に同時に形成されてそれと同一材料から成る水平方向Ｈに向かう直線状の第１のマーカーパターン１７Ａと、遮光層９の形成時に同時に形成されてそれと同一材料から成るＨと直交する方向Ｌに向かう直線状の第２のマーカーパターン１７Ｂとが一部で重なるように構成される。
【選択図】図７

Description

この発明は、プラズマ表示装置及びその製造方法、並びにプラズマディスプレイパネル（Plasma Display Panel:以下、ＰＤＰとも称する）の製造方法に係り、詳しくは、ＰＤＰを構成する一対の基板の互いに対向する位置にそれぞれアライメントマーカーが形成されるプラズマ表示装置及びその製造方法、並びにプラズマディスプレイパネルの製造方法に関する。

一般に、ＰＤＰを主要部として構成されているプラズマ表示装置は、従来から広く用いられているＣＲＴ(Cathode Ray Tube:陰極線管)、あるいはＬＣＤ(Liquid Crystal Device:液晶表示装置)等の表示装置と比較して、ちらつきが少なく表示コントラスト比が大きいこと、薄型で大画面が可能であること、応答速度が速いこと等の多くの利点を有しているので、近年コンピュータのような情報処理機器の表示装置として利用されてる。

このプラズマ表示装置は、動作方式により、電極が誘電体層で被覆されて間接的に交流放電の状態で動作させるＡＣ型のものと、電極が放電空間に露出されて直流放電の状態で動作させるＤＣ型のものとに略大別されるが、特に前者は比較的簡単な構造で上述したような大画面化が容易に実現できるので広く用いられている。そのようなＡＣ型プラズマ表示装置の主要部を構成するＰＤＰは、ガラス等の透明材料から成る前面基板と背面基板とが対向するように配置されて、両基板間にプラズマを発生させる放電ガス空間が形成される基本的な構成を有している。

また、ＡＣ型プラズマ表示装置の中でも、ＰＤＰの放電セル（以下、単にセルとも称する）を形成する上述したような一対の基板の内の一方の基板である前面基板の内面に、水平方向（行方向）に沿って互いに平行に走査電極と維持電極（共通電極）とから成る対の行電極（表示電極）を配置すると共に、他方の基板である背面基板の内面に、上記行電極と交差（直交）するように垂直方向（列方向）に沿ってデータ電極（アドレス電極）から成る列電極を配置した３電極面放電型の構成のものは、前面基板における面放電時に発生する高エネルギのイオンによる影響を抑えることができるので、長寿命化が図れるため最も広く採用されている。

上述の３電極面放電型のＡＣ型プラズマ表示装置（以下、プラズマ表示装置とも称する）は、背面基板のデータ電極と前面基板の走査電極との間で表示（発光）すべきセルを選択する書き込み放電を行い、続いて前面基板の走査電極と維持電極との間で選択したセルの面放電による維持放電（表示放電）を行うように構成されている。また、そのようなＰＤＰにおいて、例えば背面基板の内面に赤色、緑色及び青色の各蛍光体層を配置するように構成して多色発光を可能にしたカラープラズマ表示装置が提供されている。

上述のようなＰＤＰを組み立てるには、前面基板と背面基板との対向する位置にそれぞれ予めアライメントマーカーを形成しておいて、アライメントマーカー同士を位置合わせすることにより、両基板を重ね合わせ接着することが行われる。例えば、特許文献１には、上述のようにアライメントマーカーを形成してＰＤＰを製造する方法が開示されている。同ＰＤＰの製造方法は、図９に示すように、前面基板１０１上に表示電極１０４のうち透明電極１０２ａ、１０３ａの形成時に同時に第１のアライメントマーカー１３１を形成し、一方背面基板１０８上に隔壁１１１及び隔壁１１４の形成時に同時に第２のアライメントマーカー１３２を形成した後、第１のアライメントマーカー１３１と第２のアライメントマーカー１３２を用いて相対的位置合わせを行って、両基板１０１、１０８を重ね合わせ接着している。なお、符号１０２は走査電極、１０３は維持電極、１０２ｂ、１０３ｂはバス電極（トレース電極）、１０５は遮光層（ブラックストライプ層）、１０７は保護層、１１０はデータ電極である。

あるいは、前面基板１０１に対しては図１０（ａ）に示すように遮光層１０５の形成時に同時に円形状の第１のアライメントマーカー１３１Ａを形成し、一方背面基板１０８に対しては、図１０（ｂ）に示すように隔壁１１１、１１４の形成時に同時にリング状の第２のアライメントマーカー１３２Ａを形成することも行われる。この場合は、図１１に示すように、第１のアライメントマーカー１３１Ａと第２のアライメントマーカー１３２Ａを用いて相対的位置合わせを行って、両基板１０１、１０８を重ね合わせ接着する。上述したような第１及び第２のアライメントマーカーの相対的位置合わせは、カメラにより一視野内で画像認識することにより行われる。
特開２００３−２８８８４２号公報

ところで、従来のプラズマ表示装置では、ＰＤＰを組み立てるために前面基板及び背面基板にそれぞれ形成するアライメントマーカーが、ともに各基板に順次に形成する複数の構成層のうち一つの構成層だけで形成されているので、両基板を重ね合わせ接着する際にアライメントの位置合わせ精度が低下する、という問題がある。
すなわち、従来では例えば上述した特許文献１に記載されているように、前面基板１０１の第１のアライメントマーカー１３１は透明電極１０２ａ、１０３ａから成る一つの構成層で形成されており、一方、前面基板１０８の第２のアライメントマーカー１３２は隔壁１１１及び隔壁１１４（両隔壁は同時に形成される）から成る一つの構成層で形成されている。

このように各基板１０１、１０８のそれぞれのアライメントマーカー１３１、１３２が一つの構成層により形成されていると、ＰＤＰの組立て時に、前面基板１０１の表示電極１０４と背面基板１０８の隔壁１１１、１１４の組立て精度は、透明電極１０２ａ、１０３ａに対する表示電極１０４の形成位置ずれがアライメントずれに加算されるようになるので、両基板１０１、１０８を重ね合わせ接着する際にアライメントの位置合わせ精度が低下することになる。

この発明は、上述の事情に鑑みてなされたもので、前面基板と背面基板にそれぞれ形成したアライメントマーカーを用いて両基板を重ね合わせ接着する際に、アライメントの位置合わせ精度が低下するのを防止することができるようにしたプラズマ表示装置及びその製造方法、並びにプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供することを目的としている。

上記課題を解決するために、請求項１記載の発明は、一対の前面基板と背面基板とを両基板間に放電空間が形成されるように対向配置し、上記放電空間で放電が発生するように上記前面基板に表示電極を配置する一方、上記背面基板に上記表示電極と交差する方向にデータ電極を配置して成るプラズマ表示装置に係り、上記前面基板と上記背面基板の互いに対向する位置にアライメントマーカーを形成し、かつ上記前面基板又は上記背面基板の上記アライメントマーカーは異なる複数の層により構成されていることを特徴としている。

また、請求項２記載の発明は、請求項１記載のプラズマ表示装置に係り、上記前面基板の上記アライメントマーカーは、上記表示電極の形成時に同時に形成された上記表示電極と同一材料から成る第１のマーカーパターンと、上記表示電極と別な位置に形成される遮光層の形成時に同時に形成された上記遮光層と同一材料から成る第２のマーカーパターンとの異なる複数の層により構成されていることを特徴としている。

また、請求項３記載の発明は、請求項２記載のプラズマ表示装置に係り、上記第１のマーカーパターンは、上記表示電極を構成するバス電極の形成時に同時に形成された上記バス電極と同一材料から成ることを特徴としている。

また、請求項４記載の発明は、請求項１記載のプラズマ表示装置に係り、上記背面基板の上記アライメントマーカーは、上記データ電極の形成時に同時に形成された上記データ電極と同一材料から成る第１のマーカーパターンと、上記データ電極と別な位置に形成される隔壁の形成時に同時に形成された上記隔壁と同一材料から成る第２のマーカーパターンとの異なる複数の層により構成されていることを特徴としている。

また、請求項５記載の発明は、請求項２、３又は４記載のプラズマ表示装置に係り、上記前面基板の上記アライメントマーカーの上記第１及び第２のマーカーパターン、あるいは上記背面基板の上記アライメントマーカーの上記第１及び第２のマーカーパターンは一部が重なるように構成されていることを特徴としている。

また、請求項６記載の発明は、プラズマディスプレイの製造方法に係り、請求項１乃至５のいずれか一に記載の上記前面基板あるいは上記背面基板を用いて、一視野内で上記前面基板の上記アライメントマーカーと上記背面基板の上記アライメントマーカーとを位置合わせすることにより、上記両基板を重ね合わせ接着することを製造することを特徴としている。

また、請求項７記載の発明は、プラズマ表示装置の製造方法に係り、請求項６記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法によりプラズマディスプレイパネルを製造する第１の工程と、上記プラズマディスプレイパネルを駆動する回路とともに上記プラズマディスプレイパネルを一つのモジュールとして製造する第２の工程と、画像信号のフォマット変換を行い、上記モジュールに送信するインタフェースを上記モジュールに電気的に接続する第３の工程とを備えることを特徴としている。

この発明のプラズマ表示装置及びその製造方法、並びにプラズマディスプレイパネルの製造方法によれば、前面基板と背面基板の互いに対向する位置に形成されるアライメントマーカーの少なくとも一方は異なる複数の層により構成されているので、前面基板と背面基板にそれぞれ形成したアライメントマーカーを用いて両基板を重ね合わせ接着する際に、アライメントの位置合わせ精度が低下するのを防止することができる。

一対の前面基板と背面基板とを両基板間に放電空間が形成されるように対向配置し、放電空間で放電が発生するように前面基板に表示電極を配置する一方、背面基板に表示電極と交差する方向にデータ電極を配置して成る構成において、前面基板と背面基板の互いに対向する位置にアライメントマーカーを形成し、かつ前面基板又は背面基板のアライメントマーカーは異なる複数の層により構成されている。

図１は、この発明の実施例１であるプラズマ表示装置の主要部を構成するＰＤＰの概略構成を示す斜視図、図２は同ＰＤＰを示す断面図、図３は同ＰＤＰの製造方法において、前面基板に形成する第１のアライメントマーカーを示す平面図、図４は同ＰＤＰの製造方法において、背面基板に形成するアライメントマーカーを示す平面図、図５は同ＰＤＰの製造方法を工程順に示す工程図、図６は同ＰＤＰの製造方法において、前面基板及び背面基板に形成する各アライメントマーカーを示す平面図、図７は同ＰＤＰの製造方法において前面基板の第１及び第２のアライメントマーカーと背面基板のアライメントマーカーとを重ねた状態を示す平面図である。
この例のプラズマ表示装置の主要部を構成するＰＤＰ１０は、図１及び図２に示すように、前面基板１と、背面基板２とが対向するように配置されて、両基板１、２間に放電ガス空間３が形成される基本的な構成を有している。

ここで、前面基板１は、例えばソーダライムガラス等の透明材料から成る第１の絶縁基板４と、第１の絶縁基板４の内面に行方向（水平方向）Ｈに沿って互い平行に配置され放電ギャップを介して対向するように形成されて一対の行電極（表示電極）を構成する、それぞれＩＴＯ(Indium Tin Oxide)、酸化錫（ＳｎＯ₂）等から成る透明電極５Ａ、６Ａ及びこれら透明電極５Ａ、６Ａの一部にそれぞれ抵抗を小さくするために形成されたＡｌ（アルミニウム）、Ａｇ（銀）あるいはＣｒ（クロム）／Ｃｕ（銅）／Ｃｒ多層薄膜等の金属材料から成るバス電極（トレース電極）５Ｂ、６Ｂから構成された走査電極５及び維持電極（共通電極）６と、走査電極５と維持電極６とから構成される行電極を被覆する低融点鉛ガラス（ＰｂＯ）等から成る透明誘電体層７と、透明誘電体層７上に形成された赤色カラーフィルタ層８Ｒ、緑色カラーフィルタ層８Ｇ及び青色カラーフィルタ層８Ｂ（図１ではスペースの都合上図示せず）と、各カラーフィルタ層８Ｒ、８Ｇ、８Ｂの間隙に走査電極５及び維持電極６と直交するように形成された黒色顔料を添加した低融点ガラス等から成る遮光層（ブラックストライプ層）９と、各カラーフィルタ層８Ｒ、８Ｇ、８Ｂ及び遮光層９を放電から保護するＭｇＯ（酸化マグネシウム）等から成る保護層１１とを備えている。

一方、背面基板２は、ソーダライムガラス等の透明材料から成る第２の絶縁基板１２と、第２の絶縁基板１２の内面に行方向Ｈと直交する列方向（垂直方向）Ｖに沿って形成されてＡｌ、Ａｇ等から成るデータ電極（アドレス電極）１３と、データ電極１３を被覆する鉛含有フリットガラス等から成る白色誘電体層１４と、Ｈｅ（ヘリウム）、Ｎｅ（ネオン）、Ｘｅ（キセノン）等の放電用ガスが単独であるいは混合して充填されて上記放電ガス空間３を確保するとともに、個々の放電セルを区切るために列方向Ｖに沿って形成された鉛含有フリットガラス等から成る隔壁１５と、隔壁１５の底面及び壁面を覆う位置に形成され放電用ガスの放電により発生する紫外線を可視光に変換する赤色蛍光体層１６Ｒ、緑色蛍光体層１６Ｇ及び青色蛍光体層１６Ｂに塗り分けられた蛍光体層１６とを備えている。上記走査電極５、維持電極６及びデータ電極１３により前述の３電極を構成し、カラープラズマ表示装置のＰＤＰでは、各蛍光体層１６Ｒ、１６Ｇ、１６Ｂを含む３つの放電セルにより画面の一画素が構成され、このような一画素はモノクロプラズマ表示装置のＰＤＰの三画素に相当している。そして、複数の画素が行方向Ｈ及び列方向Ｖに沿ってマトリックス状に配置されることにより、ＰＤＰ１０が構成される。

ここで、この例のプラズマ表示装置の主要部を構成しているＰＤＰ１０では、前面基板１の第１の絶縁基板４上の例えば四隅部には、図３に示すように、バス電極５Ｂ、６Ｂの形成時に同時に形成されてそれと同一材料から成る水平方向Ｈに向かう直線状の第１のマーカーパターン１７Ａと、遮光層９の形成時に同時に形成されてそれと同一材料から成るＨと直交する方向Ｌに向かう直線状の第２のマーカーパターン１７Ｂとが一部で重なるように構成された、十字状のアライメントマーカー１７が形成されている。すなわち、前面基板１上には第１のマーカーパターン１７Ａと第２のマーカーパターン１７Ｂとから成る異なる複数の層により構成されたアライメントマーカー１７が形成されている。

一方、背面基板２の第２の絶縁基板１２上の上記アライメントマーカー１７の形成位置に対応した四隅部には、図４に示すように、隔壁１５の形成時に同時に形成されてそれと同一材料から成り、かつアライメントマーカー１７より大きい面積の十字状のマーカーパターンから成る十字状のアライメントマーカー１８がが形成されている。すなわち、背面基板２上には単一の層により構成されたアライメントマーカー１８が形成されている。
そして、アライメントマーカー１７を有する前面基板１とアライメントマーカー１８を有する背面基板２とを、後述するようにして重ね合わせ接着することにより、ＰＤＰ１０を製造する。

次に、図５を参照して、同ＰＤＰ１０の製造方法を工程順に説明する。
まず、工程ａにおいて第１の絶縁基板４としての前面ガラス基板を用意し、次に工程ｂにおいて基板４の内面にスパッタ法等によりＩＴＯ等を成膜した後フォトリソグラフィ法により所望の形状にパターニングして各透明電極５Ａ、６Ａを形成し、次に工程ｃにおいて各透明電極５Ａ、６Ａ上にスパッタ法等によりＡｌ等を成膜した後フォトリソグラフィ法により所望の形状にパターニングして、各バス電極５Ｂ、６Ｂを形成して走査電極５及び維持電極６を完成させる。このバス電極５Ｂ、６Ｂの形成時に同時に基板４上の四隅部（説明では、一隅部のみを示している）に、図６（ａ）に示すように、バス電極５Ｂ、６Ｂと同一材料から成る水平方向Ｈに向かう直線状の第１のマーカーパターン１７Ａを形成する。

次に工程ｄにおいて走査電極５及び維持電極６を覆うようにスクリーン印刷法等によりＰｂＯ等の透明誘電体層７を形成し、次にカラープラズマ表示装置のＰＤＰの場合は、各カラーフィルタ層８Ｒ、８Ｇ、８Ｂを形成する。次に工程ｅにおいて遮光層（ブラックストライプ層）９を形成する。この遮光層９の形成時に同時に、図６（ｂ）に示すように、遮光層９と同一材料から成るＨと直交する方向Ｌに向かう直線状の第２のマーカーパターン１７Ｂを第１のマーカーパターン１７Ａと一部で重なるように形成して、十字状のアライメントマーカー１７を形成する。次に工程ｆにおいて蒸着法等によりＭｇＯ膜から成る保護層１１を形成して前面基板１を完成させる。

一方、工程ｇにおいて第２の絶縁基板１２としての背面ガラス基板を用意し、次に工程ｈにおいて基板１２の内面にスパッタ法等によりＡｌ等を成膜した後フォトリソグラフィ法により所望の形状にパターニングしてデータ電極１３を形成し、次に工程ｉにおいてデータ電極１３を覆うようにスクリーン印刷法等により白色誘電体層１４を形成する。次に工程ｊにおいて白色誘電体層１４上にスクリーン印刷法等により隔壁１５を形成する。この隔壁１５の形成時に同時に基板１２上の四隅部に、図６（ｃ）に示すように、隔壁１５と同一材料から成り、かつアライメントマーカー１７より大きい面積の十字状のマーカーパターンから成る十字状のアライメントマーカー１８を形成する。

次に工程ｋにおいて白色誘電体層１４及び隔壁１５を覆うように蛍光体層１６を形成し、次に工程ｌにおいてスクリーン印刷法等によりシールフリット（図１及び図２には図示していない）を形成して背面基板２を完成させる。

次に工程ｍにおいて、アライメントマーカー１７とアライメントマーカー１８とを用いて、図７に示すように、カメラを用いて一視野内で画像認識しながらアライメントマーカー１８内にアライメントマーカー１７が収まるように位置合わせを行って、前面基板１と背面基板２とを１００μｍ程度のギャップを隔てて対向した状態で重ね合わせ接着する。次に工程ｎにおいて、両基板１、２の周辺部をシールフリット（封着材）により機密封止する。次に工程ｏにおいて、両基板１、２間の空間を排気して放電用ガスの封入を行う。背面基板２を構成している第２の絶縁基板１２には適当な個所に通気孔が形成されており、この基板１２の外側表面には、図１及び図２では省略しているが、通気孔に位置合わせした状態で、通気管が密封状態の下で取り付けられている。背面基板２に取り付けられている端部とは反対側の通気管の端部は、当初の状態においては開口されており、この端部を介して通気管が排気・ガス充填装置に接続される。

まず、排気・ガス充填装置によって、放電ガス空間が真空に排気された後、放電ガス空間に放電用ガスが充填される。放電用ガスの充填が終了した後、通気管は過熱によりチップオンされ、開口端部が閉塞される。このようにして、放電ガス空間には放電ガスが充填され、ＰＤＰ１０が完成する。

上述したように前面基板１と背面基板２とを重ね合わせ接着するために、各アライメントマーカー１７、１８を用いて位置合わせを行うには、次に示すような３つの要素を用いて、ＰＤＰ１０の中央部のずれ量が最小となるようにアライメントを行う。
（１）前面基板１のアライメントマーカー１７と背面基板２のアライメントマーカー１８の水平方向Ｈのピッチの差
（２）前面基板１のアライメントマーカー１７と背面基板２のアライメントマーカー１８のＨと直交する方向Ｌのピッチの差
（３）（１）、（２）と各基板１、２の四隅部の四マーカーの対角線の交点より得られる重心位置

このように、この例のプラズマ表示装置の主要部を構成するＰＤＰ１０によれば、前面基板１上に形成するアライメントマーカー１７を、バス電極５Ｂ、６Ｂの形成時に同時に形成されてそれと同一材料から成る水平方向Ｈに向かう直線状の第１のマーカーパターン１７Ａと、遮光層９の形成時に同時に形成されてそれと同一材料から成るＨと直交する方向Ｌに向かう直線状の第２のマーカーパターン１７Ｂとが一部で重なるように構成したので、バス電極５Ｂ、６Ｂと遮光層９との二つの構成層によりアライメントマーカー１７を形成できるため、二つの構成層の直交成分を同時にアライメントすることができる。
したがって、前面基板と背面基板にそれぞれ形成したアライメントマーカーを用いて両基板を重ね合わせ接着する際に、アライメントの位置合わせ精度が低下するのを防止することができる。

図８は、この発明の実施例２であるプラズマ表示装置の製造方法により製造されたプラズマ表示装置の構成を示すブロック図である。この例のプラズマ表示装置の製造方法は、実施例１により製造されたＰＤＰを用いて構成した点に特徴を有している。
この例のプラズマ表示装置６０は、図８に示すように、モジュール構造を有するものとして設計されており、具体的には、アナログインタフェース（以下、ＩＦ）２０とＰＤＰモジュール３０とにより構成されている。

アナログＩＦ２０は、図８に示すように、クロマ・デコータを備えるＹ／Ｃ分離回路２１と、Ａ／Ｄ変換回路２２と、ＰＬＬ回路を備える同期信号制御回路２３と、画像フォーマット変換回路２４と、逆γ（ガンマ）変換回路２５と、システム・コントロール回路２６と、ＰＬＥ制御回路２７とから構成されている。

概略的には、アナログＩＦ２０は、受信したアナログ映像信号をディジタル映像信号に変換した後、そのディジタル映像信号をＰＤＰモジュール３０に供給する。例えばテレビチューナーから発信されたアナログ映像信号はＹ／Ｃ分離回路２１においてＲＧＢの各色の輝度信号に分解された後、Ａ／Ｄ変換回路２２においてディジタル信号に変換される。その後、ＰＤＰモジュール３０の画素構成と映像信号の画素構成が異なる場合には、画像フォーマット変換回路２４において必要な画像フォーマットの変換が行われる。ＰＤＰの入力信号に対する表示輝度の特性は線形的に比例するが、通常の映像信号はＣＲＴの特性に合わせて、予め補正（γ変換）されている。このため、Ａ／Ｄ変換回路２２において映像信号のＡ／Ｄ変換を行った後、逆γ変換回路２５において、映像信号に対して逆γ変換を施し、線形特性に復元されたディジタル映像信号を生成する。このディジタル映像信号はＲＧＢ映像信号としてＰＤＰモジュール３０に出力される。

アナログ映像信号には、Ａ／Ｄ変換用のサンプリングクロック及びデータクロック信号が含まれていないため、同期信号制御回路２３に内蔵されているＰＬＬ回路が、アナログ映像信号と同時に供給される水平同期信号を基準として、サンプリングクロック及びデータクロック信号を生成し、ＰＤＰモジュール３０に出力する。アナログＩＦ２０のＰＬＥ制御回路２７は輝度制御を行う。具体的には、平均輝度レベルが所定値以下である場合には表示輝度を上昇させ、平均輝度レベルが所定値を越える場合には表示輝度を低下させる。

システム・コントロール回路２６は、各種制御信号をＰＤＰモジュール３０に対して出力する。ＰＤＰモジュール３０は、さらに、ディジタル信号処理・制御回路３１と、パネル部３２と、ＤＣ／ＤＣコンバータを内蔵するモジュール内電源回路３３と、から構成されている。ディジタル信号処理・制御回路３１は、入力ＩＦ信号処理回路３４と、フレームメモリ３５と、メモリ制御回路３６と、ドライバ制御回路３７とから構成されている。

例えば、入力ＩＦ信号処理回路３４に入力された映像信号の平均輝度レベルは入力ＩＦ信号処理回路３４内の入力信号平均輝度レベル演算回路（図示せず）により計算され、例えば、５ビットデータとして出力される。また、ＰＬＥ制御回路２７は、平均輝度レベルに応じてＰＬＥ制御データを設定し、入力ＩＦ信号処理回路３４内の輝度レベル制御回路（図示せず）に入力する。

ディジタル信号処理・制御回路３１は、入力ＩＦ信号処理回路３４において、これらの各種信号を処理した後、制御回路をパネル部３２に送信する。同時に、メモリ制御回路３６及びドライバ制御回路３７はメモリ制御回路及びドライバ制御信号をパネル部３２に送信する。

パネル部３２は、実施例１により製造されたＰＤＰ７０と、走査電極を駆動する走査ドライバ３８と、データ電極を駆動するデータドライバ３９と、ＰＤＰ７０及び走査ドライバ３８にパルス電圧を供給する高圧パルス回路４０と、高圧パルス回路４０からの余剰電力を回収する電力回収回路４１とから構成されている。

ＰＤＰ７０は、例えば１３６５個×７６８個に配列された画素を有するものとして構成されている。ＰＤＰ７０においては、走査ドライバ３８が走査電極を制御し、データドライバ３９がデータ電極を制御することにより、これらの画素のうちの所定の画素の点灯又は非点灯が制御され、所望の表示が行われる。
なお、ロジック用電源がディジタル信号処理・制御回路３１及びパネル部３２にロジック用電力を供給している。さらに、モジュール内電源回路３３は、表示用電源から直流電力を供給され、この直流電力の電圧を所定の電圧に変換した後、パネル部３２に供給している。

以下、この例のプラズマ表示装置６０の製造方法を概略的に説明する。
まず、実施例１により製造したＰＤＰ７０と、走査ドライバ３８と、データドライバ３９と、高圧パルス回路４０と、電力回収回路４１とを一基板上に配置し、パネル部３２を形成する。さらに、パネル部３２とは別個にディジタル信号処理・ディジタル回路３１を形成する。

このようにして形成されたパネル部３２及びディジタル信号処理・制御回路３１とモジュール内電源回路３３とを一つのモジュールとして組み立て、ＰＤＰモジュール３０を形成する。さらに、ＰＤＰモジュール３０とは別個にアナログＩＦ２０を形成する。
このように、ＰＤＰモジュール３０をアナログＩＦ２０とをそれぞれ別個に形成した後、双方を電気的に接続することにより、図８に示したプラズマ表示装置６０が完成する。

このように、プラズマ表示装置６０をモジュール化することにより、プラズマ表示装置を構成する他の構成部品とは別個に独立にプラズマ表示装置６０を製造することが可能となり、例えば、プラズマ表示装置６０が故障した場合には、ＰＤＰモジュール３０毎交換することにより、補修の簡素化及び短時間化を図ることができる。

このように、この例のプラズマ表示装置の製造方法によれば、プラズマ表示装置６０をモジュール化することにより、故障したような場合に、ＰＤＰモジュール３０毎交換することができ、補修の簡素化及び短時間化を図ることができる。

以上、この発明の実施例を図面により詳述してきたが、具体的な構成はこの実施例に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があってもこの発明に含まれる。例えば、実施例１では前面基板に形成するアライメントマーカーを、水平方向に向かう直線状の第１のマーカーパターンと、水平方向と直交する方向に向かう直線状の第２のマーカーパターンとの複数の層により構成する例で説明したが、背面基板に形成するアライメントマーカーについても同様に複数の層により構成することができる。例えば、背面基板のアライメントマーカーは、データ電極の形成時に同時に形成されてデータ電極と同一材料から成る第１のマーカーパターンと、隔壁の形成時に同時に形成されて隔壁と同一材料から成る第２のマーカーパターンとの複数の層により構成することができる。また、前面基板及び背面基板に形成する各アライメントマーカーの数は、四個の例で説明したが、これに限らず少なくとも各アライメントマーカーは二個以上形成されていればよい。

この発明の実施例１であるプラズマ表示装置の主要部を構成するＰＤＰの概略構成を示す斜視図である。 同ＰＤＰを示す断面図である。 同ＰＤＰの製造方法において、前面基板に形成する第１のアライメントマーカーを示す平面図である。 同ＰＤＰの製造方法において、背面基板に形成するアライメントマーカーを示す平面図である。 同ＰＤＰの製造方法を工程順に示す工程図である。 同ＰＤＰの製造方法において、前面基板及び背面基板に形成する各アライメントマーカーを示す平面図である。 同ＰＤＰの製造方法において、前面基板の第１及び第２のアライメントマーカーと背面基板のアライメントマーカーとを重ねた状態を示す平面図である。 この発明の実施例２であるプラズマ表示装置の製造方法により製造されたプラズマ表示装置の構成を示すブロック図である。 従来のプラズマ表示装置の主要部を構成するＰＤＰを示す断面図である。 同ＰＤＰの製造方法において、背面基板及び背面基板に形成するアライメントマーカーを示す平面図である。 同ＰＤＰの製造方法において、前面基板のアライメントマーカーと背面基板のアライメントマーカーとを重ねた状態を示す平面図である。

符号の説明

１ 前面基板
２ 背面基板
３ 放電ガス空間
４ 第１の絶縁基板
５ 走査電極
５Ａ、６Ａ 透明電極
５Ｂ、６Ｂ バス電極（トレース電極）
６ 維持電極（共通電極）
７ 透明誘電体層
８Ｒ、８Ｇ、８Ｂ カラーフィルタ層
９ 遮光層（ブラックストライプ層）
１０、７０ ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）
１１ 保護層
１２ 第２の絶縁基板
１３ データ電極（アドレス電極）
１４ 白色誘電体層
１５ 隔壁
１６、１６Ｒ、１６Ｇ、１６Ｂ 蛍光体層
１７ 前面基板のアライメントマーカー
１７Ａ、１７Ｂ マーカーパターン
１８ 背面基板のアライメントマーカー
２０ アナログインタフェース（ＩＦ）
３０ プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）モジュール
３１ ディジタル信号処理・制御回路
３２ パネル部
６０ プラズマ表示装置

Claims (7)

1. 一対の前面基板と背面基板とを両基板間に放電空間が形成されるように対向配置し、前記放電空間で放電が発生するように前記前面基板に表示電極を配置する一方、前記背面基板に前記表示電極と交差する方向にデータ電極を配置して成るプラズマ表示装置であって、
   前記前面基板と前記背面基板の互いに対向する位置にアライメントマーカーを形成し、かつ前記前面基板又は前記背面基板の前記アライメントマーカーは異なる複数の層により構成されていることを特徴とするプラズマ表示装置。
2. 前記前面基板の前記アライメントマーカーは、前記表示電極の形成時に同時に形成された前記表示電極と同一材料から成る第１のマーカーパターンと、前記表示電極と別な位置に形成される遮光層の形成時に同時に形成された前記遮光層と同一材料から成る第２のマーカーパターンとの異なる複数の層により構成されていることを特徴とする請求項１記載のプラズマ表示装置。
3. 前記第１のマーカーパターンは、前記表示電極を構成するバス電極の形成時に同時に形成された前記バス電極と同一材料から成ることを特徴とする請求項２記載のプラズマ表示装置。
4. 前記背面基板の前記アライメントマーカーは、前記データ電極の形成時に同時に形成された前記データ電極と同一材料から成る第１のマーカーパターンと、前記データ電極と別な位置に形成される隔壁の形成時に同時に形成された前記隔壁と同一材料から成る第２のマーカーパターンとの異なる複数の層により構成されていることを特徴とする請求項１記載のプラズマ表示装置。
5. 前記前面基板の前記アライメントマーカーの前記第１及び第２のマーカーパターン、あるいは前記背面基板の前記アライメントマーカーの前記第１及び第２のマーカーパターンは一部が重なるように構成されていることを特徴とする請求項２、３又は４記載のプラズマ表示装置。
6. 請求項１乃至５のいずれか一に記載の前記前面基板あるいは前記背面基板を用いて、一視野内で前記前面基板の前記アライメントマーカーと前記背面基板の前記アライメントマーカーとを位置合わせすることにより、前記両基板を重ね合わせ接着することを製造することを特徴とするプラズマディスプレイの製造方法。
7. 請求項６記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法によりプラズマディスプレイパネルを製造する第１の工程と、
   前記プラズマディスプレイパネルを駆動する回路とともに前記プラズマディスプレイパネルを一つのモジュールとして製造する第２の工程と、
   画像信号のフォマット変換を行い、前記モジュールに送信するインタフェースを前記モジュールに電気的に接続する第３の工程と、
   を備えることを特徴とするプラズマ表示装置の製造方法。
   

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