JP2005214736A - 圧力検出装置用パッケージ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 圧力検出装置用パッケージは、一方の主面に半導体素子3の搭載部1bを有する絶縁基体1と、複数の配線導体5と、絶縁基体1の他方の主面との間に第一密閉空間を形成するように可撓な状態で絶縁基体1に接合された第一絶縁板2と、絶縁基体1の一方の主面との間に第二密閉空間を形成するように可撓な状態で絶縁基体1に接合された第二絶縁板2’と、第一密閉空間の絶縁基体1の他方の主面に被着された静電容量形成用の第一電極7と、第二密閉空間の絶縁基体1の他方の主面に被着された静電容量形成用の第二電極7’と、第一絶縁板2および第二絶縁板2’の内側主面にそれぞれ第一電極7および第二電極7’と対向するように被着された静電容量形成用の第三電極9および第四電極9’とを具備している。
【選択図】 図1
Description
2・・・・・第一絶縁板
2’・・・・第二絶縁板
3・・・・・半導体素子
5・・・・・配線導体
7・・・・・第一電極
7’・・・・第二電極
9・・・・・第三電極
9’・・・・第四電極
Claims (1)
- 一方の主面に半導体素子が搭載される搭載部を有する絶縁基体と、該絶縁基体の表面および内部に配設され、前記半導体素子の各電極が電気的に接続される複数の配線導体と、前記絶縁基体の他方の主面との間に第一密閉空間を形成するように可撓な状態で前記絶縁基体に接合された第一絶縁板と、前記絶縁基体の一方の主面との間に第二密閉空間を形成するように可撓な状態で前記絶縁基体に接合された第二絶縁板と、前記第一密閉空間の前記絶縁基体の前記他方の主面に被着され、前記配線導体の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第一電極と、前記第二密閉空間の前記絶縁基体の前記他方の主面に被着され、前記配線導体の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第二電極と、前記第一絶縁板および前記第二絶縁板の内側主面にそれぞれ前記第一電極および前記第二電極と対向するように被着され、前記配線導体の他の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第三電極および第四電極とを具備していることを特徴とする圧力検出装置用パッケージ。
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2004
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