JP2005197572A - 半導体チップの製造方法並びに液晶表示装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体チップの製造方法において、
主面にスクライブラインによって区画された複数の領域を有し、前記複数の領域の各々に集積回路及び複数の突起状電極が形成された半導体ウエハを準備する工程と、
前記半導体ウエハの主面と反対側の裏面に、この裏面を覆うようにして保護テープを貼り付ける工程と、
前記半導体ウエハの裏面に前記保護テープを貼り付けた状態で、前記スクライブラインに沿って前記半導体ウエハ及び前記保護テープをダイシングして個片化する工程とを有する。
【選択図】 図13
Description
(1)半導体チップの製造方法において、
主面にスクライブラインによって区画された複数の領域を有し、前記複数の領域の各々に集積回路及び複数の突起状電極が形成された半導体ウエハを準備する工程と、
前記半導体ウエハの主面と反対側の裏面に、この裏面を覆うようにして保護テープを貼り付ける工程と、
前記半導体ウエハの裏面に前記保護テープを貼り付けた状態で、前記スクライブラインに沿って前記半導体ウエハ及び前記保護テープをダイシングして個片化する工程とを有する。
前記保護テープを貼り付ける工程の前に、前記半導体ウエハの裏面側に前記半導体ウエハの厚さを薄くする加工を施す工程を有する。
前記スクライブラインには、検査用電極パッドが形成されており、
前記半導体ウエハ及び前記保護テープの個片化工程は、前記検査用電極パッドよりも広いダイシングブレードを使用して前記半導体ウエハの主面側をダイシングする工程と、その後、前記検査用電極パッドよりも狭い幅のダイシングブレードを使用して前記半導体ウエハ及び前記保護テープをダイシングする工程とを含む。
主面にスクライブラインによって区画された複数の領域を有し、前記複数の領域の各々に集積回路及び複数の突起状電極が形成された半導体ウエハを準備する工程と、
前記半導体ウエハの主面と反対側の裏面に、この裏面を覆うようにして保護テープを貼り付ける工程と、
前記半導体ウエハの裏面に前記保護テープを貼り付けた状態で、前記スクライブラインに沿って前記半導体ウエハ及び前記保護テープをダイシングして、各々が前記集積回路及び前記複数の突起状電極を有する複数の半導体チップを形成する工程と、
前記複数の半導体チップ形成工程の後、液晶表示パネルに前記半導体チップを実装する工程とを有する。
前記保護テープを貼り付ける工程の前に、前記半導体ウエハの裏面側に前記半導体ウエハの厚さを薄くする加工を施す工程を有する。
(6)前記手段(4)に記載の液晶表示装置の製造方法において、
前記スクライブラインには、検査用電極パッドが形成されており、
前記半導体ウエハ及び前記保護テープの個片化工程は、前記検査用電極パッドよりも広いダイシングブレードを使用して前記半導体ウエハの主面側をダイシングする工程と、その後、前記検査用電極パッドよりも狭い幅のダイシングブレードを使用して前記検査用電極パッドよりも広いダイシングブレードによりダイシングされた箇所からさらに前記半導体ウエハ及び前記保護テープをダイシングする工程とを含む。
本実施形態1では、COG方式を採用する液晶表示装置に本発明を適用した例について説明する。
図1は、液晶表示装置の概略構成を示す図((a)は模式的平面図,(b)は(a)のa−a線に沿う模式的断面図)、
図2は、図1の液晶表示装置に組み込まれた半導体チップの概略構成を示す図((a)は模式的平面図,(b)は(a)のb−b線に沿う模式的断面図,(c)は模式的底面図)、
図3は、図2(a)の一部を拡大した模式的平面図、
図4は、液晶表示装置の製造において、半導体チップの製造工程を示す図((a)は半導体ウエハの模式的平面図,(b)は半導体ウエハの模式的断面図)、
図5は、液晶表示装置の製造において、図4に続く半導体チップの製造工程を示す図((a)は半導体ウエハの模式的平面図,(b)は半導体ウエハの模式的断面図)、
図6(a)は図5の一部を拡大した模式的平面図,図6(b)は(a)のc−cに沿う模式的断面図、
図7は、図6(a)の一部を拡大した模式的平面図、
図8は、図7のd−d線に沿う模式的断面図、
図9は、液晶表示装置の製造において、図5に続く半導体チップの製造工程を示す図((a)は半導体ウエハの模式的断面図,(b)は(a)の一部を拡大した模式的断面図)、
図10は、液晶表示装置の製造において、図9に続く半導体チップの製造工程を示す図((a)はダイシングテープに半導体ウエハを搭載した状態を示す模式的断面図,(b)は(a)の一部を拡大した模式的断面図)、
図11は、液晶表示装置の製造において、図10に続く半導体チップの製造工程を示す図((a)は半導体ウエハの一部を示す模式的平面図,(b)は(a)のe−e線に沿う模式的断面図)、
図12は、図11(b)の一部を拡大した模式的断面図、
図13は、液晶表示装置の製造において、図11に続く半導体チップの製造工程を示す図((a)は半導体ウエハの一部を示す模式的平面図,(b)は(a)のf−f線に沿う模式的断面図)、
図14は、図13(b)の一部を拡大した模式的断面図、
図15は、液晶表示装置の製造において、組み立てプロセスを示す図((a)乃至(d)は模式的断面図)である。
本実施形態2では、実施形態1の変形例について、図16を用いて説明する。図16は、本発明の実施形態2である液晶表示装置の製造において、半導体チップの製造工程を示す図((a)は半導体ウエハの主面にチップ形成領域を形成した状態を示す模式的断面図,(b)は半導体ウエハの厚さを薄くした状態を示す模式的断面図,(c)は半導体ウエハの裏面に保護テープを貼り付けた状態を示す模式的断面)である。
10…半導体チップ、11…突起状電極、12…保護テープ、
20…半導体ウエハ、21…チップ形成領域、22…スクライブ領域、23…多層薄膜体、24…配線層、25…ボンディング開口、26…検査用電極パッド、
30…ダイシングテープ、31…治具、35…第1のダイシングブレード、36…第2のダイシングブレード。
Claims (13)
- 主面と、前記主面と反対側の裏面と、前記主面にスクライブラインによって区画された複数の領域を有し、前記複数の領域の各々に集積回路及び第1の複数の突起状電極及び第2の複数の突起状電極が形成された半導体ウエハを準備する工程と、
前記半導体ウエハの裏面を覆うようにして保護テープを貼り付ける工程と、
前記半導体ウエハの裏面に前記保護テープを貼り付けた状態で、前記スクライブラインに沿って前記半導体ウエハ及び前記保護テープをダイシングして個片化する工程とを有することを特徴とする半導体チップの製造方法。 - 請求項1に記載の半導体チップの製造方法において、
前記半導体ウエハの各領域における前記第2の複数の突起状電極の数は、前記第1の複数の突起状電極の数よりも多く配置されていることを特徴とする半導体チップの製造方法。 - 請求項1に記載の半導体チップの製造方法において、
前記半導体ウエハの各領域は、縦、横の比が5倍以上の長方形になっていることを特徴とする半導体チップの製造方法。 - 請求項1に記載の半導体チップの製造方法において、
前記半導体ウエハの各々の領域に形成された集積回路は、液晶表示パネルを駆動制御する駆動回路であることを特徴とする半導体チップの製造方法。 - 請求項1に記載の半導体チップの製造方法において、
前記半導体ウエハ及び保護テープの個片化は、前記保護テープを介在してダイシングテープに前記半導体ウエハの裏面側を貼り付けた状態で行われ、
前記保護テープの硬さは、前記半導体ウエハよりも柔らかく、前記ダイシングテープよりも硬いことを特徴とする半導体チップの製造方法。 - 請求項1に記載の半導体チップの製造方法において、
前記半導体ウエハ及び保護テープの個片化は、前記保護テープを介在してダイシングテープに前記半導体ウエハの裏面側を貼り付けた状態で行われ、
保護テープの粘着力は、前記ダイシングテープの粘着力よりも高いことを特徴とする半導体チップの製造方法。 - 請求項1に記載の半導体チップの製造方法において、
前記保護テープを貼り付ける工程の前に、前記半導体ウエハの裏面側に前記半導体ウエハの厚さを薄くする加工を施す工程を有することを特徴とする半導体チップの製造方法。 - 請求項1に記載の半導体チップの製造方法において、
前記スクライブラインには、検査用電極パッドが形成されており、
前記半導体ウエハ及び前記保護テープの個片化工程は、第1のダイシングブレードを使用して前記半導体ウエハの主面側をダイシングする工程と、その後、第2のダイシングブレードを使用して前記第1のダイシングブレードによりダイシングされた箇所からさらに前記半導体ウエハ及び前記保護テープをダイシングする工程とを含むことを特徴とする半導体チップの製造方法。 - 請求項1に記載の半導体チップの製造方法において、
前記個片化する工程の前に、前記保護テープ上にレーザーマークする工程を含むことを特徴とする半導体チップの製造方法。 - 主面にスクライブラインによって区画された複数の領域を有し、前記複数の領域の各々に集積回路及び複数の突起状電極が形成された半導体ウエハを準備する工程と、
前記半導体ウエハの主面と反対側の裏面に、この裏面を覆うようにして保護テープを貼り付ける工程と、
前記半導体ウエハの裏面に前記保護テープを貼り付けた状態で、前記スクライブラインに沿って前記半導体ウエハ及び前記保護テープをダイシングして、各々が前記集積回路及び前記複数の突起状電極を有する複数の半導体チップを形成する工程と、
前記複数の半導体チップ形成工程の後、液晶表示パネルに前記半導体チップを実装する工程とを有することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 請求項10に記載の液晶表示装置の製造方法において、
前記半導体チップは、多数の導電粒子が混入された樹脂を介在して実装されることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 請求項10に記載の液晶表示装置の製造方法において、
前記保護テープを貼り付ける工程の前に、前記半導体ウエハの裏面側に前記半導体ウエハの厚さを薄くする加工を施す工程を有することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 請求項10に記載の液晶表示装置の製造方法において、
前記スクライブラインには、検査用電極パッドが形成されており、
前記半導体ウエハ及び前記保護テープの個片化工程は、第1のダイシングブレードを使用して前記半導体ウエハの主面側をダイシングする工程と、その後、第2のダイシングブレードを使用して前記第1のダイシングブレードによりダイシングされた箇所からさらに前記半導体ウエハ及び前記保護テープをダイシングする工程とを含むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
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---|---|---|---|---|
JP2012146759A (ja) * | 2011-01-10 | 2012-08-02 | Toyota Motor Corp | 冷却器及びそれを用いた電力変換装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03204936A (ja) * | 1989-10-13 | 1991-09-06 | Fuji Electric Co Ltd | 多端子集積回路装置 |
JPH05326622A (ja) * | 1992-05-22 | 1993-12-10 | Toshiba Corp | 液晶表示駆動用集積回路装置 |
JPH10160806A (ja) * | 1996-12-03 | 1998-06-19 | Texas Instr Japan Ltd | 半導体デバイス、及びそのプローブテスト方法 |
JP2001250800A (ja) * | 2000-03-06 | 2001-09-14 | Seiko Epson Corp | 半導体装置の製造方法、電気光学装置及び電気光学装置の製造方法 |
JP2002280329A (ja) * | 2001-03-21 | 2002-09-27 | Lintec Corp | チップ用保護膜形成用シートおよび半導体チップの製造方法 |
JP2003332267A (ja) * | 2002-05-09 | 2003-11-21 | Lintec Corp | 半導体ウエハの加工方法 |
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2004
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03204936A (ja) * | 1989-10-13 | 1991-09-06 | Fuji Electric Co Ltd | 多端子集積回路装置 |
JPH05326622A (ja) * | 1992-05-22 | 1993-12-10 | Toshiba Corp | 液晶表示駆動用集積回路装置 |
JPH10160806A (ja) * | 1996-12-03 | 1998-06-19 | Texas Instr Japan Ltd | 半導体デバイス、及びそのプローブテスト方法 |
JP2001250800A (ja) * | 2000-03-06 | 2001-09-14 | Seiko Epson Corp | 半導体装置の製造方法、電気光学装置及び電気光学装置の製造方法 |
JP2002280329A (ja) * | 2001-03-21 | 2002-09-27 | Lintec Corp | チップ用保護膜形成用シートおよび半導体チップの製造方法 |
JP2003332267A (ja) * | 2002-05-09 | 2003-11-21 | Lintec Corp | 半導体ウエハの加工方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012146759A (ja) * | 2011-01-10 | 2012-08-02 | Toyota Motor Corp | 冷却器及びそれを用いた電力変換装置 |
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