JP2005197415A - 半導体装置およびリーク制御回路 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 回路ブロック2の駆動電源または接地間にスイッチ手段3を設け、スタンバイ状態でスイッチ手段3をオフ状態として不要なリーク電流を遮断するようになした半導体装置において、スイッチ手段3を回路ブロック2と同一チップ上に存在する導電性電極からなる可動部8の機械的な動作による接触、非接触の切り換えによって行うようにした半導体装置またはリーク制御回路を得る。
【選択図】 図1
Description
等の酸化膜5を形成し、この酸化膜5上にポリシリコン(PSi)等の静電電極6を略正方形状にパターニングする。つぎに、CVD等でSiO2等の熱酸化膜11(図3A参照)を形成した後にPSiを熱酸化膜上に形成し、マスクを介して左右の固定用電極7L、7Rを略多角形状にパターンエッチングする。
6…静電電極、7L、7R…左右電極、8(8A)(8B)…可動部(下側可動部)(上側可動部)、9…絶縁膜
Claims (6)
- 低閾値電圧トランジスタで構成した回路ブロックの駆動電源または接地間にスイッチ手段を設け、スタンバイ状態で該スイッチ手段をオフ状態として不要なリーク電流を遮断するように成した半導体装置において、
上記スイッチ手段を上記回路ブロックと同一チップ上に存在する導電性電極の可動部からなる機械的な動作による接触、非接触の切り換えによって行うように成したことを特徴とする半導体装置。 - 上記スイッチ手段がマイクロエレクトロ・メカニカル・システム・スイッチの片持ち梁型スイッチまたは両持ち梁型スイッチであることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 上記1つのスイッチ手段で上記駆動電源がスイッチングされる上記回路ブロックの規模を100トランジスタ以上と成したことを特徴とする請求項1または請求項2記載の半導体装置。
- 低閾値電圧トランジスタで構成した回路ブロックの駆動電源または接地間にスイッチ手段を設け、スタンバイ状態で該スイッチ手段をオフ状態として不要なリーク電流を遮断するように成したリーク制御回路において、
上記スイッチ手段を上記回路ブロックと同一チップ上に存在する導電性電極の可動部からなる機械的な動作による接触、非接触の切り替えによって行うように成したことを特徴とするリーク制御回路。 - 上記スイッチ手段がマイクロエレクトロ・メカニカル・システム・スイッチの片持ち梁型スイッチまたは両持ち梁型スイッチであることを特徴とする請求項4記載のリーク制御回路。
- 上記1つのスイッチ手段で上記駆動電源がスイッチングされる上記回路ブロックの規模を100トランジスタ以上と成したことを特徴とする請求項4または請求項5記載のリーク制御回路。
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2004
- 2004-01-06 JP JP2004001322A patent/JP2005197415A/ja active Pending
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