JP2005196126A - 反射透過型液晶表示装置用アレイ基板及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る反射透過型液晶表示装置用アレイ基板は、配向膜と当接する電極は全て共通電極となる構造を有し、その製造方法は、製造方法は、基板を用意するステップ;薄膜トランジスタの光遮断膜、反射膜エンボシング用光遮断膜及びゲートパッド用光遮断膜形成するステップ;ソース及びドレイン金属層、前記反射膜エンボシング光遮断膜の上部に波形の反射板及びデータパッド用ソース金属層を形成するステップ;前記薄膜トランジスタのオーミックコンタクト層を形成するステップ;非晶質シリコン層を形成するステップ;絶縁膜を形成するステップ;ゲート金属層を形成するステップ;基板の全面に保護膜を形成するステップ;共通電極を形成するステップを含むことを特徴とする。
【選択図】図9
Description
基板1上に薄膜トランジスタVIIのソース金属層3a及びドレイン金属層4aを、データパッド部のソース金属層3bを共に形成する。
基板1上に非晶質シリコンを蒸着してシリコン層(図示せず)を形成し、シリコン層をエッチングして薄膜トランジスタのソース金属層3aとドレイン金属層4aとの間に第1のn+非晶質シリコン層2aを、データパッド部のソース金属層3bと所定距離離隔されてゲートパッド部IXに第2のn+非晶質シリコン層2bを各々形成する。第1のn+非晶質シリコン層2aの上部及び第2のn+非晶質シリコン層2bの上部に絶縁物質を堆積して薄膜トランジスタの絶縁膜6a及びゲートパッド部の絶縁膜6bを形成する。薄膜トランジスタVIIの絶縁膜6aの上部及びゲートパッド部の絶縁膜6bの上部に金属を蒸着して、薄膜トランジスタのゲート金属層7a及びゲートパッド部IXのゲート金属層7bを形成する。薄膜トランジスタのゲート金属層7a及びゲートパッド部IXのゲート金属層7bが形成された基板1上に絶縁膜8を形成する。
従来のアレイ基板でも本発明でのようにトップゲート方式を採用しているが、画素電極が膜面上に位置しており既存の残像発生の構造を有している。また、光遮断膜のパターンを有していないので光を遮断することができない。
図5ないし図9は、反射透過型液晶表示装置用アレイ基板の製造工程を示す断面図である。
先ず、図5に示すように、基板502を用意し、基板502上に光遮断物質503を蒸着する。図6に示すように、光遮断物質をパターン化して基板502上に薄膜トランジスタ602の光遮断膜504、反射膜エンボシング用光遮断膜506及びゲートパッド604用光遮断膜508を同時に形成する。ここで、光遮断膜を形成する光遮断物質は不透明で光を遮断することができる物質でなければならなく、その材料としては有機ブラックマトリックス物質等が適用可能である。
図9に示すように、本発明に係る反射透過型液晶表示装置用アレイ基板は基板502、薄膜トランジスタ602、波形の反射板514、ゲートパッド604、データパッド用ソース金属層516、保護膜536及び共通電極540を含む。
504 光遮断膜
506 光遮断膜
508 ゲートパッド用光遮断膜
510 ソース金属層
512 ドレイン金属層
514 反射板
516 データパッド用ソース金属層
518 オーミックコンタクト層
522 非晶質シリコン層
524 非晶質シリコン層
526 絶縁膜
532 ゲート金属層
534 ゲートパッド用ゲート金属層
536 保護膜
540 共通電極用ITO膜
602 薄膜トランジスタ
604 ゲートパッド
Claims (5)
- 基板;
前記基板上に蒸着される光遮断膜、前記光遮断膜の上面に形成されるソース及びドレイン金属層、前記ソース及びドレイン金属層の上面に各々蒸着されるオーミックコンタクト層、前記オーミックコンタクト層上に形成された非晶質シリコン層、前記非晶質シリコン層の全面に形成された絶縁膜、前記絶縁膜と非晶質シリコン層の上面に形成されたゲート金属層を有する薄膜トランジスタ;
前記基板上に蒸着される反射膜エンボシング光遮断膜、前記反射膜エンボシング光遮断膜の上面に形成された波形の反射板、前記反射板の全面に形成された絶縁膜を有する画素領域;
アクティブ領域の外郭に形成されるゲートパッド用光遮断膜、前記光遮断膜上に形成される非晶質シリコン層、前記非晶質シリコン層の全面に形成された絶縁膜、前記非晶質シリコン層と絶縁膜の上部に形成されたゲート金属層とを有するゲートパッド;
前記アクティブ領域の外郭に形成されたデータパッド用ソース金属層;
前記薄膜トランジスタのゲート金属層及び前記ゲートパッドのゲート金属層の上面の前記基板の全面に形成された保護膜;
前記薄膜トランジスタの光遮断膜、前記波形の1対の反射板、前記データパッド用ソース金属層及び前記ゲートパッド用光遮断膜が形成されていない前記保護膜上にコーティングされる共通電極;
を含むことを特徴とする反射透過型液晶表示装置用アレイ基板。 - (a)基板を用意するステップ;
(b)前記基板上に光遮断物質を蒸着して薄膜トランジスタの光遮断膜、反射膜エンボシング用光遮断膜及びゲートパッド用光遮断膜を所定間隔で同時に形成するステップ;
(c)前記薄膜トランジスタの光遮断膜の上面にソース及びドレイン金属層、前記反射膜エンボシング光遮断膜の上面に波形の反射板及びデータパッド用ソース金属層を同時に形成するステップ;
(d)前記薄膜トランジスタのソース及びドレイン金属層の上面に各々非晶質シリコンを蒸着してオーミックコンタクト層を形成するステップ;
(e)前記オーミックコンタクト層及び前記ゲートパッド用光遮断膜上に第1及び第2非晶質シリコン層を各々形成するステップ;
(f)前記非晶質シリコン層、前記波形の反射板及び前記ソース金属層が形成された基板の全面上に絶縁物質を蒸着して絶縁膜を形成するステップ;
(g)前記絶縁膜の上面に導電性金属を蒸着して前記第1及び第2非晶質シリコン層の上面にゲート金属層を形成するステップ;
(h)前記薄膜トランジスタのゲート金属層及び前記ゲートパッド部のゲート金属層が形成された前記基板の全面に保護膜を形成するステップ;
(i)前記薄膜トランジスタの光遮断膜、前記波形の反射板、前記データパッド用ソース金属層及び前記ゲートパッド用光遮断膜が形成されていない前記保護膜上に共通電極を形成するステップ;
を含むことを特徴とする反射透過型液晶表示装置用アレイ基板の製造方法。 - 前記(e)ステップは、
(e−1)前記第1及び第2オーミックコンタクト層、前記1対の反射板及び前記ゲートパッド用光遮断膜が形成された前記基板上に非晶質シリコンを蒸着してシリコン層を形成するステップ;
(e−2)前記シリコン層をエッチングして前記オーミックコンタクト層及び前記ゲートパッド用光遮断膜のみに第1及び第2のn+非晶質シリコン層を形成するステップ;
を含むことを特徴とする請求項2記載の反射透過型液晶表示装置用アレイ基板の製造方法。 - 前記(g)ステップは、
(g−1)前記絶縁膜の上部に導電性金属を蒸着して導電性金属層を形成するステップ;
(g−2)前記導電性金属層の上部にポジフォトレジストを塗布してフォトレジスト層を形成するステップ;
(g−3)前記フォトレジスト層が形成された前記導電性金属層を露光し、現像することにより、前記現像されて除去されたフォトレジスト層間に露出された前記導電性金属層を除去して前記第1及び第2ソース金属層間に前記薄膜トランジスタのゲート金属層及びゲートパッド用金属層を形成するステップ;
を含むことを特徴とする請求項2記載の反射透過型液晶表示装置用アレイ基板の製造方法。 - 前記反射板及び前記保護膜を同時にパターニングして前記データパッド用ソース金属層を露出するソースコンタクトホールを形成するステップを更に含むことを特徴とする請求項2記載の反射透過型液晶表示装置用アレイ基板の製造方法。
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