JP2002365664A - 反射型液晶表示装置 - Google Patents

反射型液晶表示装置

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JP2002365664A
JP2002365664A JP2001170027A JP2001170027A JP2002365664A JP 2002365664 A JP2002365664 A JP 2002365664A JP 2001170027 A JP2001170027 A JP 2001170027A JP 2001170027 A JP2001170027 A JP 2001170027A JP 2002365664 A JP2002365664 A JP 2002365664A
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Japan
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liquid crystal
crystal display
display device
electrode
array substrate
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Satoshi Asada
智 浅田
Yoshio Iwai
義夫 岩井
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Panasonic Holdings Corp
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 光照射により発生するフリッカーを抑制して
画像品質の良好な反射型液晶表示装置を製造することが
可能な反射型液晶表示装置を提供する。 【解決手段】 マトリクス状に配置された複数の信号配
線2および走査配線7と、これら両配線の各交差部に配
置されたTFT3と、TFT3を介して信号配線2およ
び走査配線7に接続された反射画素電極14とが設けら
れた薄膜トランジスタアレイ基板と、前記薄膜トランジ
スタアレイ基板に対向して配置された、対向透明電極2
3を有する対向基板とを具備する反射型液晶表示装置に
おいて、反射画素電極14上に対向透明電極23と同じ
材料にて透明画素電極15を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、携帯電話、PDA
(Personal Digital Assistance)、ノートパソコン
などの携帯端末機器などのディスプレイとして用いるこ
とのできる反射型液晶表示装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の反射型液晶表示装置の薄膜トラン
ジスタアレイ基板における一画素部分の構成を図3
(a)に示す。図3(b)は、前記従来の反射型液晶表
示装置を図3(a)に示すC−Cの一点鎖線で切断した
場合の断面構成を示す概略断面図である。
【0003】図3(a)に示すように、従来の反射型液
晶表示装置には、複数の走査配線2および信号配線7が
設けられており、走査配線2と信号配線7とは互いに直
交するように配置されている。また、走査配線2と信号
配線7との各交差部には、各画素のスイッチング素子で
ある薄膜トランジスタ(以下、TFT(Thin Film Tran
sistor)と記す)3が設けられている。また、走査配線
2上には付加容量電極9が形成されている。反射画素電
極14は、その周縁部分の一部が走査配線2および信号
配線7上に掛かるように形成されており、コンタクトホ
ール11,13を介してドレイン電極8および付加容量
電極9と電気的に接続している。
【0004】次に、図3(b)を参照しながら、前記従
来の反射型液晶表示装置の製造工程について説明する。
【0005】まず、ガラス基板1の上にアルミニウム
(Al)を積層させ、フォトリソグラフィ法によって走
査配線2をパターン形成する。
【0006】次に、走査配線2上に、窒化シリコン(S
iNx)からなる第1絶縁体層4を積層させる。この第
1絶縁体層4は、後に、TFT3のゲート絶縁膜として
機能する。
【0007】次に、第1絶縁体層4上に、TFT3のス
イッチ機能を司る、アモルファスシリコン(α−Si)
からなる半導体層5と、この半導体層5とソース電極7
(信号配線7と一体的に形成されているので、ここでは
同じ部材番号にて示す)およびドレイン電極8とをそれ
ぞれオーミックコンタクトさせるn+半導体層6とを、
連続して成膜する。そして、TFT3部分に、半導体層
5とn+半導体層6とからなるパターンを形成する。
【0008】その後、チタン(Ti)およびアルミニウ
ム(Al)の2層を連続成膜して、一括パターン形成に
より、信号配線7、ドレイン電極8、および付加容量電
極9を、図に示すように形成する。この時、ソース電極
7およびドレイン電極8をマスクとして、ソース電極7
とドレイン電極8の間に存在するn+半導体層5と半導
体層4の一部とをエッチングによって除去する。
【0009】次に、絶縁保護膜として機能する第2絶縁
体層10を成膜する。このとき、ドレイン電極8および
付加容量電極9上の第2絶縁体層10に、後にコンタク
トホール11,13となる開口部を形成しておく。
【0010】次に、感光性樹脂を塗布して平坦化膜12
を形成する。その後、第2絶縁体層10に形成した前記
開口部上の平坦化膜12をフォトリソグラフィ法によっ
て除去し、コンタクトホール11,13を形成する。
【0011】最後に、反射率の高いアルミニウム、銀等
からなる反射画素電極14を形成する。反射画素電極1
4は、コンタクトホール11を介してドレイン電極8と
接続され、コンタクトホール13を介して付加容量電極
9と接続される。
【0012】以上のような方法により、薄膜トランジス
タアレイ基板が完成する。
【0013】次に、完成した薄膜トランジスタアレイ基
板と対向基板とを貼り合わせる。対向基板は、ガラス基
板21上にカラーフィルタ22およびITO(InOx
−SnOx)からなる対向透明電極23が具備された構
成である。前記薄膜トランジスタアレイ基板および対向
基板に配向膜(図示せず)を塗布してラビング処理を行
った後、4μmのギャップを形成して貼り合わせる。そ
の後、両基板間に誘電率異方性が正の液晶を注入し、さ
らに対向基板の外側の面(光の入射面)に偏光位相差板
を配置して、反射型液晶表示装置を作製する。
【0014】その後、検査工程において、走査配線2、
信号配線7、対向透明電極23に駆動電位を供給して画
面を表示させ、対向透明電極23の平均電位もしくは反
射画素電極14の平均電位を、画像がちらつく現象(フ
リッカー)が最小になるように調整する。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】一般に、電極などの金
属と配向膜などの有機膜とが接触すると、接触界面で電
子の授受が起こり、界面分極が発生する。この界面分極
の大きさは、同じ有機膜の場合、接している金属の仕事
関数に依存する。さらに、この界面分極には、光照射を
行うと分極量が経時的に変化していくという現象がみら
れる。前記従来の反射型液晶表示装置は、薄膜トランジ
スタアレイ基板側にアルミニウム、銀などの反射画素電
極14、対向基板側にITOなどの対向透明電極23が
配置されている非対称電極構成である。従って、液晶セ
ル内部に、アルミニウムあるいは銀と配向膜とが接触す
る系と、ITOと配向膜とが接触する系との、2種類の
系が存在することになる。アルミニウムとITOとは仕
事関数が異なるため、アルミニウム側界面とITO側界
面とで配向膜の分極量が異なり、セル内部にDC成分が
重畳する(暗状態)。また、光照射を行うことにより界
面分極量が変化するが、アルミニウム側界面とITO側
界面とで分極変化量が異なるため、セル内部のDC成分
量も変化していく。
【0016】セル内部にDC成分が重畳した場合の液晶
表示装置の駆動波形を図4(a)に示す。交流駆動のた
め、対向透明電極23の電位(対向電極電位)と反射画
素電極14の電位(画素電極電位)との間に印加される
液晶印加電圧(Vlc)には正側(Vlc+)と負側
(Vlc−)とがあるが、セル内部にDC成分が重畳し
た場合、Vlc+、Vlc−の大きさが異なってしま
い、画像がちらつく現象(フリッカー)が発生する。セ
ル内部のDC成分が一定ならば、対向電極電位もしくは
画素電極電位を調整することにより、図4(b)に示す
ようにVlc+、Vlc−の大きさを等しくすることも
可能である、しかしながら、上述したように、光照射を
行うとDC成分量が変化してVlc+、Vlc−の大き
さが異なってしまいフリッカーが発生するので、その都
度電位を調整しなければならないという不具合が発生す
る。
【0017】本発明はこれらの問題を解決するために、
光照射により発生するフリッカーを抑制して画像品質の
良好な反射型液晶表示装置を提供することを目的とす
る。
【0018】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の反射型液晶表示装置は、マトリクス状に
配置された複数の信号配線および走査配線、前記両配線
の各交差部に配置されて前記両配線に接続されたスイッ
チング素子、および前記スイッチング素子を介して前記
両配線に接続された反射画素電極を有するアレイ基板
と、前記アレイ基板に対向して配置された、対向透明電
極を有する対向基板とを備えた反射型液晶表示装置にお
いて、前記反射画素電極上に、前記対向透明電極と同じ
材料からなる透明画素電極を設けたことを特徴とする。
【0019】この構成によれば、薄膜トランジスタアレ
イ基板側と対向基板側とで配向膜に接触する金属が同じ
になる。すなわち、薄膜トランジスタアレイ基板側の金
属と配向膜との界面、および対向基板側の金属と配向膜
との界面での分極量が等しくなり、セル内部にDC成分
が重畳せず、さらに、光照射を行った場合に界面分極は
変化するものの分極変化量に差がないため、DC成分量
の変化も生じない。これにより、光照射により発生する
フリッカーを抑制して画像品質を向上させることができ
る。
【0020】また、前記反射画素電極に光を透過させる
透過部を設けることも可能である。これにより、光照射
により発生するフリッカーを抑制して画像品質が向上し
た半透過型の液晶表示装置を提供することができる。
【0021】また、本発明の携帯端末機器は、前記反射
型液晶表示装置を備えたことを特徴としている。この構
成によれば、画像品位の良好な表示部を備えた携帯端末
機器を提供することが可能となる。
【0022】
【発明の実施の形態】(実施の形態1)以下、本発明の
実施の形態1について、図1を参照しながら説明する。
【0023】図1(a)は、反射型液晶表示装置の薄膜
トランジスタアレイ基板における一画素部分の構成を示
している。図1(b)は、前記従来の反射型液晶表示装
置を図1(a)に示すA−Aの一点鎖線で切断した場合
の断面構成を示す概略断面図である。
【0024】図1(a)に示すように、従来の反射型液
晶表示装置には、複数の走査配線2および信号配線7が
設けられており、走査配線2と信号配線7とは互いに直
交するように配置されている。また、走査配線2と信号
配線7との各交差部には、各画素のスイッチング素子で
ある薄膜トランジスタ(以下、TFT(Thin Film Tran
sistor)と記す)3が設けられている。また、走査配線
2上には付加容量電極9が形成されている。反射画素電
極14は、その周縁部分の一部が走査配線2および信号
配線7上に掛かるように形成されており、コンタクトホ
ール11,13を介してドレイン電極8および付加容量
電極9と電気的に接続している。さらに、反射電極14
上には透明画素電極15が積層されている。
【0025】次に、図1(b)を参照しながら、前記従
来の反射型液晶表示装置の製造工程について説明する。
【0026】まず、ガラス基板1の上にアルミニウム
(Al)を積層させ、フォトリソグラフィ法によって走
査配線2をパターン形成する。
【0027】次に、走査配線2上に、窒化シリコン(S
iNx)からなる第1絶縁体層4を積層させる。この第
1絶縁体層4は、後に、TFT3のゲート絶縁膜として
機能する。
【0028】次に、第1絶縁体層4上に、TFT3のス
イッチ機能を司る、アモルファスシリコン(α−Si)
からなる半導体層5と、この半導体層5とソース電極7
(信号配線7と一体的に形成されているので、ここでは
同じ部材番号にて示す)およびドレイン電極8とをそれ
ぞれオーミックコンタクトさせるn+半導体層6とを、
連続して成膜する。そして、TFT3部分に、半導体層
5とn+半導体層6とからなるパターンを形成する。
【0029】その後、チタン(Ti)およびアルミニウ
ム(Al)の2層を連続成膜して、一括パターン形成に
より、信号配線7、ドレイン電極8、および付加容量電
極9を、図に示すように形成する。この時、ソース電極
7およびドレイン電極8をマスクとして、ソース電極7
とドレイン電極8の間に存在するn+半導体層5と半導
体層4の一部とをエッチングによって除去する。
【0030】次に、絶縁保護膜として機能する第2絶縁
体層10を成膜する。このとき、ドレイン電極8および
付加容量電極9上の第2絶縁体層10に、後にコンタク
トホール11,13となる開口部を形成しておく。
【0031】次に、感光性樹脂を塗布して平坦化膜12
を形成する。その後、第2絶縁体層10に形成した前記
開口部上の平坦化膜12をフォトリソグラフィ法によっ
て除去し、コンタクトホール11,13を形成する。
【0032】最後に、反射率の高いアルミニウム、銀等
からなる反射画素電極14を形成する。反射画素電極1
4は、コンタクトホール11を介してドレイン電極8と
接続され、コンタクトホール13を介して付加容量電極
9と接続される。その後、透明画素電極15としてIT
O(InOx−SnOx)膜をパターン形成する。な
お、本実施の形態においては反射画素電極14がドレイ
ン電極8に接続されているが、透明画素電極15がドレ
イン電極8に接続される構成としてもよい。
【0033】以上のような方法により、薄膜トランジス
タアレイ基板が完成する。
【0034】次に、完成した薄膜トランジスタアレイ基
板と対向基板とを貼り合わせる。対向基板は、ガラス基
板21上にカラーフィルタ22およびITOからなる対
向透明電極23が具備され、さらに対向透明電極23上
に対向絶縁膜24として無機物の絶縁膜が積層された構
成である。前記薄膜トランジスタアレイ基板および対向
基板に配向膜(図示せず)を塗布してラビング処理を行
った後、4μmのギャップを形成して貼り合わせる。そ
の後、両基板間に誘電率異方性が正の液晶を注入し、さ
らに対向基板の外側の面(光の入射面)に偏光位相差板
を配置して、反射型液晶表示装置を作製する。
【0035】その後、前記反射型液晶表示装置の対向透
明電極23の電位を最適調整してフリッカーを最小(発
生しない状態)にする。
【0036】以上のような構成の本実施の形態にかかる
反射型液晶表示装置に対して光照射を行ったところ、フ
リッカーが発生せず、対向透明電極23の電位の再調整
が不要であった。これは、反射画素電極14上に対向透
明電極23と同じ材料(ITO)で透明画素電極15が
形成される構成とすることで、薄膜トランジスタアレイ
基板側と対向基板側とで配向膜に接触する金属を同じに
なるためである。すなわち、薄膜トランジスタアレイ基
板側の金属と配向膜との界面、および対向基板側の金属
と配向膜との界面での分極量が等しくなり、セル内部に
DC成分が重畳せず、さらに、光照射を行った場合に界
面分極は変化するものの、分極変化量に差がないため、
DC成分量の変化も生じないためである。
【0037】なお、本実施の形態においては透明画素電
極15を反射画素電極14上全面(100%)に形成し
たが、反射画素電極14に対する透明画素電極15の面
積比は、光照射によるセル内のDC成分変化が抑制され
る程度に設定されていればよい。
【0038】(実施の形態2)本発明の実施の形態2に
ついて、図2を参照しながら以下に説明する。なお、実
施の形態1で説明した構成と同一の構成については同じ
参照番号を付記し、その説明を省略する。
【0039】図2(a)は、反射型液晶表示装置の薄膜
トランジスタアレイ基板における一画素部分の構成を示
している。図2(b)は、前記従来の反射型液晶表示装
置を図2(a)に示すB−Bの一点鎖線で切断した場合
の断面構成を示す概略断面図である。
【0040】本実施の形態にかかる反射型液晶表示装置
は、実施の形態1の反射型液晶表示装置において、薄膜
トランジスタアレイ基板の反射画素電極14にバックラ
イト光を透過させるための開口部を設けて透過部16を
形成した構成となっている。また、透明画素電極16
は、反射画素電極14および透過部16を共に覆うよう
に設けられている。なお、薄膜トランジスタアレイ基板
と対向基板との貼り合わせ方法、および対向透明電極2
3の電位の調整については、実施の形態1の場合と同じ
である。
【0041】以上のような半透過型の液晶表示装置に対
して光照射を行ったところ、フリッカーが発生せず、対
向透明電極23の電位の再調整が不要であった。これ
は、透明画素電極15が、実施の形態1の場合と同様に
機能したためである。
【0042】また、本実施の形態1〜3で説明した反射
型液晶表示装置を携帯端末機器に対して用いることによ
り、画像品位の良好な表示部を備えた携帯端末機器を実
現することができる。
【0043】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明の反射型
液晶表示装置によれば、光照射によるフリッカーの発生
が抑制された画像品質の良好な反射型液晶表示装置を提
供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 (a)は実施の形態1の反射型液晶表示装置
を構成する薄膜トランジスタアレイ基板の一画素当りの
平面図であり、(b)は前記反射型液晶表示装置の一画
素当りの断面図である。
【図2】 (a)は実施の形態2の反射型液晶表示装置
を構成する薄膜トランジスタアレイ基板の一画素当りの
平面図であり、(b)は前記反射型液晶表示装置の一画
素当りの断面図である。
【図3】 (a)は従来の反射型液晶表示装置を構成す
る薄膜トランジスタアレイ基板の一画素当りの平面図で
あり、(b)は前記反射型液晶表示装置の一画素当りの
断面図である。
【図4】 (a)および(b)は液晶表示装置に印加さ
れる駆動電圧の波形図である。
【符号の説明】
1 ガラス基板 2 信号配線 3 TFT 4 第1絶縁体層 5 半導体層 6 n+半導体層 7 信号配線(ソース電極) 8 ドレイン電極 9 付加容量電極 10 第2絶縁体層 11 コンタクトホール 12 平坦化膜 13 コンタクトホール 14 反射画素電極 15 透明画素電極 16 透過部 21 ガラス基板 22 カラーフィルタ 23 対向透明電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2H091 FA02Y FA14Y FB08 FC10 GA03 GA07 GA13 LA03 LA16 2H092 HA04 HA05 JA24 JA46 JB07 JB56 JB58 KB22 KB24 KB25 MA13 NA01 NA25

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 マトリクス状に配置された複数の信号配
    線および走査配線、前記両配線の各交差部に配置されて
    前記両配線に接続されたスイッチング素子、および前記
    スイッチング素子を介して前記両配線に接続された反射
    画素電極を有するアレイ基板と、前記アレイ基板に対向
    して配置された、対向透明電極を有する対向基板とを備
    えた反射型液晶表示装置において、 前記反射画素電極上に、前記対向透明電極と同じ材料か
    らなる透明画素電極を設けたことを特徴とする反射型液
    晶表示装置。
  2. 【請求項2】 前記反射画素電極に光を透過させる透過
    部が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の
    反射型液晶表示装置。
  3. 【請求項3】 請求項1または2に記載の反射型液晶表
    示装置を備えたことを特徴とする携帯端末機器。
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