JP2005195625A - 反射防止膜及び反射防止膜を有する光学素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基材1の表面11に形成され、複数の層からなる反射防止膜2であって、基材2及び各層の屈折率は基材1から順に小さくなっており、各層とその隣の層及び基材1とそれに接触する層21との屈折率差が0.02〜0.5であり、各層の厚さが30〜200 nmである反射防止膜、及びかかる反射防止膜を有する光学素子。
【選択図】 図1
Description
図1は反射防止膜を有する光学素子を示す。この光学素子はレンズ1と、レンズ1の表面11に形成された反射防止膜2とからなる。図中の反射防止膜2は、実際より厚く描かれている。図1に示す例では反射防止膜2は四層構成であるが、本発明はこれに限定されず、二層、三層及び五層以上の薄層を有するものを含む。
D(θ)= D0・(cosθ)x ・・・(1)
(ただし、θは基板傾斜角度を示し、D0はレンズの中心における反射防止膜2の光学膜厚を示し、Xは0以上3以下の定数を示し、0°<θ<90°である。)により表すことができる。光学膜厚D(θ)はθの増加に伴って小さくなる。Xは反射防止膜2の成膜条件(成膜方法、成膜材料、成膜装置等)に依存する定数である。なお光線Lが平行光の場合、レンズ表面11への入射角度は基板傾斜角度θに等しい。
反射防止膜2の各層を形成する方法は特に限定されず、一般的な方法によって作製することができる。例えば蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の物理蒸着法、熱CVD、プラズマCVD、光CVD等の化学蒸着法、ゾル−ゲルコート液を使ったディッピング法、スピン法、スプレー法等が挙げられる。
蒸着法を例にとって、緻密層の製造方法を説明する。図5に示す蒸着装置30は、真空チャンバ31内にレンズホルダ32と、蒸発源33とを具備する。レンズホルダ32は回転するようになっている。レンズ1に反射防止膜2を成膜するには、まず表面11が蒸発源33側になるように、レンズ1をレンズホルダ32に設置し、蒸着材37を蒸発源33に載置する。真空ポンプ接続口35に接続された真空ポンプ(図示せず)により真空チャンバ31内を減圧にした後、蒸発源33により蒸着材37を加熱する。蒸着材37は加熱により蒸発し、レンズ1表面11に蒸着する。蒸着時間、加熱温度等を適宜設定することにより、所望の厚さを有する層を形成することができる。例えば酸化アルミニウムからなる第一層21をレンズ1の表面11に形成する場合、レンズ中心110における光学膜厚D0を100〜130 nmとするには、蒸着時間を4〜5分程度とすればよい。
入射媒質a側の表面層として多孔質層を形成する場合、多孔質層の製造方法は特に限定されず、一般的な方法を用いることができる。例えば(a) 緻密な表面層を形成した後でスパッタリング等により多孔質にする方法や、(b) 表面層の材料と可溶性材料との混合物からなる緻密な混合物層を形成した後で、可溶性材料を溶解させることにより多孔質にする方法が挙げられる。(a) 緻密な表面層をスパッタリングする方法については、特開平7-150356号等に詳細に記載されている。以下、(b) 混合物層を形成した後で可溶性材料を溶解させる方法を具体的に説明する。
(i) 反射防止膜の作製
図5に示す成膜装置を使用してLaK10ガラスからなるレンズ(波長405 nmにおける屈折率:1.72)の表面に反射防止膜を形成した。レンズ1の表面11が蒸発源33側になるように、レンズ1をレンズホルダ32に設置した。酸化アルミニウム(屈折率1.64)を蒸発源33に載置して加熱することにより、基板2の表面に酸化アルミニウムを蒸着し、光学膜厚110 nmの酸化アルミニウム層を形成した。次いで光学膜厚110 nmの酸化ケイ素(屈折率1.46)層、光学膜厚110 nmのフッ化マグネシウム(屈折率1.38)層をこの順に形成した。
得られた反射防止膜の分光反射率を、レンズ1の基板傾斜角度θが5°の位置で測定した。結果を図6に◆で示す。この反射防止膜の分光反射率(基板傾斜角度5°)は350〜750 nmの波長範囲で1%以下であった。
レンズ中心110における各層の光学膜厚をそれぞれ実施例1の(i)より24%及び48%だけ大きくした反射防止膜、並びに24%及び48%だけ小さくした反射防止膜を表面11上に作製した。反射防止膜に波長405 nmの光を照射し、基板傾斜角度θが5°、45°、55°及び65°の位置で反射率を測定した。結果を図7に示す。
(i) 単層反射防止膜の作製
レンズ1の表面11上に、光学膜厚110 nmのフッ化マグネシウム層のみを形成した以外、実施例1の(i)及び(ii) と同様にして単層反射防止膜を作製し、分光反射率を測定した。結果を図6に○で示す。
レンズ中心110における各層の光学膜厚をそれぞれ比較例1の(i)より24%及び48%だけ大きくした反射防止膜、並びに24%及び48%だけ小さくした反射防止膜を表面11上に作製した。この反射防止膜を有する光学素子を使用した以外実施例1の(iii)と同様にして、反射率を測定した。結果を図8に示す。
(i) 四層構成反射防止膜の作製
レンズ1側から酸化ジルコニウム層(屈折率2.0)と、フッ化マグネシウム層(屈折率1.38)とをこの順で交互に計四層形成し、各層の光学膜厚をレンズ側から順に23 nm、30 nm、260 nm及び120 nmとした以外実施例1の(i)及び(ii) と同様にして、四層構成の反射防止膜を作製し、分光反射率を測定した。結果を図6に△で示す。
比較例2の(i)で得られた光学素子を使用した以外実施例1の(iii)と同様にして、各光学膜厚を有する四層構成反射防止膜の作製し、反射率を測定した。結果を図9に示す。
LaK10ガラスからなるレンズ(波長405 nmにおける屈折率:1.72)の分光反射率を基板傾斜角度θが5°の位置で測定した。結果を図6に×で示す。またレンズに波長405 nmの光を照射し、基板傾斜角度θが0°、45°、55°及び65°の位置で反射率を測定した。結果を図10に示す。
11・・・表面
110・・・中心
12・・・周辺部
2・・・反射防止膜
21・・・第一層
22・・・第二層
23・・・第三層
24・・・第四層
Claims (5)
- 基材の表面に形成され、複数の層からなる反射防止膜であって、前記基材及び各層の屈折率は前記基材から順に小さくなっており、前記層とその隣の層及び前記基材とそれに接触する層との屈折率差が0.02〜0.5であり、各層の厚さが30〜200 nmであることを特徴とする反射防止膜。
- 請求項1に記載の反射防止膜において、入射媒質側の表面層が多孔質層であることを特徴とする反射防止膜。
- 請求項2に記載の反射防止膜において、前記多孔質層が二酸化ケイ素及び/又は酸化アルミニウムからなることを特徴とする反射防止膜。
- レンズと、前記レンズの表面に形成された反射防止膜とからなる光学素子において、前記反射防止膜は複数の層からなり、前記レンズ及び各層の屈折率は前記レンズから順に小さくなっており、前記層とその隣の層及び前記レンズとそれに接触する層との屈折率差が0.02〜0.5であり、各層の厚さが30〜200 nmであることを特徴とする光学素子。
- 請求項4に記載の光学素子において、入射媒質側の表面層が多孔質層であることを特徴とする光学素子。
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