JP2005191495A - 照明光学系、露光装置、デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 光源からの光で被照明面を照明し、前記被照明面と実質的に共役な位置に配置された開口幅が可変な開口可変機構を有する照明光学系において、該開口可変機構が、遮光板と、該遮光板の複数箇所に対して所定の方向に沿った力を加える複数の駆動機構とを有しており、該複数の駆動機構のうちの少なくとも1つの駆動機構が1つの回動案内機構と2軸方向に関する平面案内機構とを有していることを特徴としている。
【選択図】 図3
Description
Pr=Qw×Lw÷Vw・・・(式1)
と表現されるので、
Vw=Qw×Lw÷Pr・・・(式2)
と書き換えられ、レジストの感度Prを2,000J/m2、ウエハ25面上に露光される単位当たりの露光量(以下ウエハ面照度と呼ぶ)Qwを30,000W/m2、スキャン方向の開口幅Lwを10mmとすると、ウエハ25のスキャン速度Vwは0.15m/secとなる。しかし、ここで光源1の出力が低下してウエハ面照度Qwが20,000W/m2まで低下すると、スキャン速度Vwは0.10m/secに低下する。このことは露光に要する時間が長くなることを意味し、生産性の低下を招く結果となる。
OplusEの1993年2月号の96〜99頁
該開口可変機構が、前記照明光学系の光軸に対して傾けた配置された遮光板と、該遮光板の複数箇所に対して、前記照明光学系の光軸に対して実質的に垂直な所定の方向の力を加える複数の駆動機構とを有しており、前記複数の駆動機構は、1つの回動案内機構と、前記所定の方向に対して実質的に垂直な第1方向に関する第1案内機構と、前記所定方向及び前記第1方向に対して実質的に垂直な第2方向に関する第2案内機構とを有していることを特徴としている。また、前記照明光学系が、前記被照明面上に形成する照明領域が略円弧状であることが望ましい。
2 楕円集光ミラー
9 オプティカルインテグレータ
14 オプティカルインテグレータ
22 投影レンズ
23 マスク(原版)
25 ウェハ(感光基板)
32 可動ブラインド
33 調整ブラインド(露光領域整形手段を調整する)
34 固定ブラインド
51 駆動点
60 開口エリア
66 遮光板
81 円形の有効部
82 矩形の露光領域
83 最大開口エリア
84 開口エリア
91 電源
92 露光量制御系
94 主制御系
95 ステージ制御系
96 露光範囲制御系
Claims (15)
- 光源からの光で被照明面を照明し、前記被照明面と実質的に共役な位置に配置された開口幅が可変な開口可変機構を有する照明光学系において、
該開口可変機構が、遮光板と、該遮光板の複数箇所に対して所定の方向に沿った力を加える複数の駆動機構とを有しており、
該複数の駆動機構のうちの少なくとも1つの駆動機構が1つの回動案内機構と2軸方向に関する平面案内機構とを有していることを特徴とする照明光学系。 - 前記複数の駆動機構のうちの少なくとも1つの駆動機構が有する2軸方向に関する平面案内機構が、前記所定の方向に対して実質的に垂直な2軸方向に関する平面案内機構であることを特徴とする請求項1記載の照明光学系。
- 前記複数の駆動機構のうちの1つを除くすべての駆動機構が、前記所定方向に対して略垂直で、互いに垂直な2軸方向に関する平面案内機構と、前記照明光学系の光軸に対して実質的に垂直な平面内における回転方向に関する回動案内機構とを有していることを特徴とする請求項1又は2記載の照明光学系。
- 前記2軸方向に関する平面案内機構は、互いに垂直な方向に案内する2つの案内機構を有することを特徴とする請求項1乃至3いずれかに記載の照明光学系。
- 前記遮光板が、前記照明光学系の光軸に対して傾いていることを特徴とする請求項1乃至4いずれかに記載の照明光学系。
- 光源からの光で被照明面を照明し、前記被照明面と実質的に共役な位置に配置された開口幅が可変な開口可変機構を有する照明光学系において、
該開口可変機構が、
前記照明光学系の光軸に対して傾けた配置された遮光板と、
該遮光板の複数箇所に対して、前記照明光学系の光軸に対して実質的に垂直な所定の方向の力を加える複数の駆動機構とを有しており、
前記複数の駆動機構は、1つの回動案内機構と、前記所定の方向に対して実質的に垂直な第1方向に関する第1案内機構と、前記所定方向及び前記第1方向に対して実質的に垂直な第2方向に関する第2案内機構とを有していることを特徴とする照明光学系。 - 前記照明光学系が、前記被照明面上に形成する照明領域が略円弧状であることを特徴とする請求項1乃至6いずれかに記載の照明光学系。
- 光源からの光で前記被照明面の位置に配置されたレチクルを照明する、請求項1乃至7いずれかに記載の照明光学系と、前記レチクルからの光を被露光体に導く投影光学系とを有することを特徴とする露光装置。
- 前記露光装置が、前記レチクルを載置したレチクルステージと、前記被露光体を載置した走査型露光装置であることを特徴とする請求項8記載の露光装置。
- 前記開口可変機構の開口を調整することにより、前記被露光体上における光量ムラを補正することを特徴とする請求項8又は9記載の露光装置。
- レチクルと被露光体とを同期して第1の方向へ走査して、前記レチクル上のパターンを前記被露光体上に露光する露光装置において、照明光学系内の前記レチクルと共役な位置の近傍に、前記第1の方向に関する露光領域の開口幅を、前記第1の方向と直交する第2の方向に関して局所的に変更する露光領域整形手段を具備し、前記露光領域整形手段によって、前記露光領域を任意の形状に整形して、前記被露光体上に照射される露光光量の部分的なムラを無くすための調整機能を有しており、前記露光領域整形手段の前記第1の方向に関する最大開口幅は、投影レンズの前記第1の方向に関する最大画角に相当して、前記開口形状が、前記第1の方向と前記第2の方向がなす平面内で略平行あるいは円弧状であることを特徴とする露光装置。
- 前記露光領域整形手段の可変スリットが、可撓性のある薄肉金属板で形成されており、該薄肉金属板のエッジ中央において前記第2の方向を回転軸として回転傾斜した位置に配置されていることを特徴とする請求項11に記載の露光装置。
- 前記可変スリットを押し引きする機構の動作方向を前記第1方向とし、該可変スリットの変形方向が該可変スリットを形成している前記薄肉金属板の厚さ方向に平行になることを特徴とする請求項12に記載の露光装置。
- 前記可変スリットを押し引きする機構の動作方向を該可変スリットの変形方向へ変換するために、前記薄肉金属板の複数箇所で取り付けられた部材に、前記第2の方向と該可変スリットの変形方向に直交する方向を回転軸とする回動案内機構を設け、さらに中央の押し引き機構には該回動案内機構だけを設け、その他の押し引き機構には該回動機構に加えて前記第2の方向と光軸方向へスライドする平面案内機構を設けていることを特徴とする請求項13に記載の露光装置。
- 請求項1乃至14いずれかに記載の露光装置を用いて前記被露光体を露光する工程と、前記露光された被露光体を現像する工程とを有することを特徴とするデバイスの製造方法。
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