JP2005191364A - 半導体レーザー - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 能動導波路の一部に、互いのN(Nは2以上の整数)分岐側の端部が導波路部を介して接続された、1×2−MMI導波路112および2×1−MMI導波路115を有する。導波路部は、導波路幅方向に並べて配置された2つの1×1−MMI導波路114a、114bを有する。1×1−MMI導波路114a、114b、1×2−MMI導波路112および2×1−MMI導波路115のそれぞれの導波路長は500μm以下である。
【選択図】図1
Description
(1)電流注入に伴う、半導体レーザー自身の発熱による熱飽和現象
(2)高光出力化に伴う、空間的ホールバーニング現象(自身の発光する高密度の光出力が、自身の活性層(発光層)の利得を下げる現象)
(3)自身の発光する高密度の光出力が、自身の発光端面を破壊し、光出力が低下する現象(COD現象)
のずれかの現象によって光出力飽和が生じるために、高光出力化が非常に困難なものとなっていた。
電流注入に伴って光導波路の屈折率が変化する。この屈折率変化によって多モード干渉現象が影響を受け、光の結像位置が本来の結像位置であるMMI導波路端からずれてしまう場合がある。この結果、MMI導波路内で発振したレーザー光の一部が、シングルモード導波路に導波せずに放射されてしまうこととなり、ある電流値以上では、電流を流しても光出力が増加しない飽和現象が生じる。
ヒートシンクは、半導体レーザーから発熱した熱を放熱するものであり、一般に、その線膨張係数は半導体レーザーと異なる。通常、半導体レーザーは、半田を介してヒートシンク上に固着される。この半田による固着では、室温から200〜300度程度(用いる半田材料の融点以上)に加熱して半田を溶かし、再び室温に戻す、といった過程を経る。この固着過程において、半導体レーザーおよびヒートシンクは共に、それぞれの固有の材料の熱膨張・収縮が生じ、固着後にはヒートシンクと半導体レーザー間に物理的歪が内在することになる。この物理的歪は、材料の屈折率を変化させるため、この場合も、上記(1)で説明したような屈折率変化による光出力の飽和現象が生じる場合がある。
図1(a)は、本発明の第1の実施形態であるアクティブMMI型半導体レーザーの能動導波路部分を上面から見た模式図である。図1(a)を参照すると、能動導波路の一部に、並列に配置された2つの1×1−MMI導波路114a、114bを有する。1×1−MMI導波路114a、114bの一端は、それぞれシングルモード曲線導波路113a、113bを介して1×2−MMI導波路112の一端(「2」側)に接続されている。1×1−MMI導波路114a、114bの他端は、それぞれシングルモード曲線導波路113c、113dを介して2×1−MMI導波路115の一端(「2」側)に接続されている。1×2−MMI導波路112の他端(「1」側)には、シングルモード導波路111が接続され、2×1−MMI導波路115の他端(「1」側)には、シングルモード導波路116が接続されている。これらシングルモード導波路111、116、シングルモード曲線導波路113a〜113d、1×1−MMI導波路114a、114b、1×2−MMI導波路112および2×1−MMI導波路115から能動導波路が構成されている。
図4は、本発明の第2の実施形態であるアクティブMMI型半導体レーザーの概略構成を説明するための図で、(a)は能動導波路部分を上面からみた場合の模式図、(b)は(a)に示す能動導波路の一部を幅方向に切断した場合の断面構造図である。
上述した第2の実施形態のアクティブMMI型半導体レーザーにおいて、図4(a)に示した能動導波路を導波方向に繰り返して配置することで、素子長を長くすることができる。ここでは、そのような構造を有するアクティブMMI型半導体レーザーについて説明する。
前述の第1の実施形態において説明したように、図1(a)に示した能動導波路の並列構造の部分(1×1−MMI導波路114a、114b)を導波方向に繰り返して配置することで、素子長を長くすることができる。そのような構造を有するアクティブMMI型半導体レーザーについて説明する。
(1)互いの多分岐側の端部が導波路部を介して接続された一対の多モード干渉導波路を少なくとも1つ有する構造:
(2)上記(1)の構造において、導波路部が、能動導波路の幅方向または導波方向に複数の多モード干渉導波路を並べて配置する構造:
の2つであり、これら基本構造を適宜変更または組み合せることで目的のMMI導波路の幅および長さを有するMMI導波領域を構成する。
101 n-InP半導体基板
103 n-InPクラッド層
104 活性層
105 p-InPクラッド層
106 p-InPクラッド層
107 p-InGaAsコンタクト層
108 InGaAsP-SCH層
109 InGaAsP/InGaAsP-MQW層
111、116 シングルモード導波路
112 1×2−多モード干渉導波路
113a〜113d シングルモード曲線導波路
114 1×1−多モード干渉導波路
115 2×1−多モード干渉導波路
117a、117b 中間シングルモード導波路
131 p-InP電流ブロック層
132 n-InP電流ブロック層
135、136 電極
Claims (17)
- 能動導波路の一部が、互いの多分岐側の端部が導波路部を介して接続された一対の多モード干渉導波路よりなる半導体レーザー。
- 前記一対の多モード干渉導波路がそれぞれ1×N−多モード干渉導波路よりなる、請求項1に記載の半導体レーザー。
- 前記1×N−多モード干渉導波路の導波路長が500μm以下である、請求項2に記載の半導体レーザー。
- 前記導波路部は、前記能動導波路の幅方向に複数の多モード干渉導波路を並列に配置してなる少なくとも1つの並列構造を有する、請求項2に記載の半導体レーザー。
- 前記並列構造が、前記能動導波路の導波方向に複数配置されている、請求項4に記載の半導体レーザー。
- 前記複数の多モード干渉導波路が、それぞれ1×1−多モード干渉導波路よりなる、請求項4または5に記載の半導体レーザー。
- 前記1×1−多モード干渉導波路の導波路長が500μm以下である、請求項6に記載の半導体レーザー。
- 前記導波路部は、少なくとも1つのN×N−多モード干渉導波路を有する、請求項2に記載の半導体レーザー。
- 前記N×N−多モード干渉導波路が、前記能動導波路の導波方向に複数配置されている、請求項8に記載の半導体レーザー。
- 前記N×N−多モード干渉導波路の導波路長が500μm以下である、請求項8または9に記載の半導体レーザー。
- 前記一対の多モード干渉導波路の一方が1×N−多モード干渉導波路であり、他方が1×M(N<M)−多モード干渉導波路であり、該1×M−多モード干渉導波路が前記能動導波路のレーザー光が出射される側に端部に配置されている、請求項1に記載の半導体レーザー。
- 前記導波路部は、N×M−多モード干渉導波路を有する、請求項11に記載の半導体レーザー。
- 前記1×N−多モード干渉導波路、1×M−多モード干渉導波路およびN×M−多モード干渉導波路のそれぞれの導波路長が500μm以下である、請求項12に記載の半導体レーザー。
- 前記一対の多モード干渉導波路が、前記能動導波路の導波方向に複数配置されている、請求項1から13のいずれか1項に記載の半導体レーザー。
- 前記一対の多モード干渉導波路と接続される別の一対の多モード干渉導波路を有し、前記一対の多モード干渉導波路が1×N−多モード干渉導波路から構成され、前記別の一対の多モード干渉導波路が1xM−多モード干渉導波路から構成されていることを特徴とする、請求項1に記載の半導体レーザー。
- 前記1×N−多モード干渉導波路および1×M−多モード干渉導波路のそれぞれの導波路長が500μm以下である、請求項15に記載の半導体レーザー。
- 前記一対の多モード干渉導波路および別の一対の多モード干渉導波路が、前記能動導波路の導波方向に複数配置されている、請求項15または16に記載の半導体レーザー。
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