JP5034572B2 - 光源装置 - Google Patents
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Description
2 第1FP領域
2a 第1端面
2b 第2端面
2c 光導波軸
3 SOA領域
3a 第1端面
3b 第2端面
3c 光導波軸
3d 法線
4 第2FP領域
4a 第1端面
4b 第2端面
5 半導体基板
6 間隙
7 間隙(エッチング領域)
22 下部クラッド層
23 アンドープ下部光閉じ込め層
24 アンドープ活性層
25 アンドープ上部光閉じ込め層
26 上部クラッド層
27 コンタクト層
28 埋め込み層
29 キャリア捕獲層
30 埋め込みクラッド層
31 絶縁膜
32 上部電極
33 下部電極
34 絶縁溝
35 エッチング阻止膜
36 エッチング阻止膜
37 エッチング阻止膜
42 下部クラッド層
43 アンドープ下部光閉じ込め層
44 アンドープコア層
45 アンドープ上部光閉じ込め層
46 上部クラッド層
47 コンタクト層
48 埋め込み層
49 キャリア捕獲層
50 埋め込みクラッド層
51 絶縁膜
52 上部電極
53 下部電極
54 絶縁溝
61 光源装置
62 第1FP領域
62a 第1端面
62b 第2端面
63 SOA領域
63a 第1端面
63b 第2端面
64 第2FP領域
64a 第1端面
64b 第2端面
65 受光領域
66 出力光導波路コア層
67 上部電極
68 上部電極
69 上部電極
70 エッチング領域
71 絶縁溝
72 間隙(エッチング領域)
73 間隙(エッチング領域)
Claims (11)
- 第1光導波路、第2光導波路、及び第3光導波路を備え、
発振する波長は、前記第1光導波路及び前記第3光導波路により選択され、
前記第1光導波路の一方の端面と前記第2光導波路の一方の端面とが空隙を介して対向して配され、かつ前記第2光導波路の他方の端面と前記第3光導波路の一方の端面とが空隙を介して対向して配され、
対向する端面対を通じて光導波路間で光が伝搬するように前記第1光導波路、前記第2光導波路、及び前記第3光導波路は同一半導体基板上に配置されており、
前記第2光導波路は、光の増幅媒体及び前記増幅媒体の活性機構を有する半導体光増幅器として形成されており、
前記第1光導波路及び前記第3光導波路は、両端面が反射鏡となるファブリ・ペロ共振器として形成されており、
前記第1光導波路の前記一方の端面及び前記第3光導波路の前記一方の端面のうち少なくとも一方が、前記第2光導波路の対向する端面に対して斜めに配されてなることを特徴とする光源装置。 - 前記第1光導波路の両端面間で形成される光路長と前記第3光導波路の両端面間で形成される光路長とは異なっていることを特徴とする請求項1に記載の光源装置。
- 前記第2光導波路の両端面は、前記第2光導波路の光導波軸に対して垂直になっていないことを特徴とする請求項1又は2に記載の光源装置。
- 前記半導体基板と平行な投影面において、前記第1光導波路の光導波軸と前記第2光導波路の前記一方の端面の第1法線とのなす角は、前記第2光導波路の光導波軸と前記第1法線とのなす角、及び前記第2光導波路及び前記間隙の実効屈折率に応じて規定され、
前記半導体基板と平行な投影面において、前記第3光導波路の光導波軸と前記第2光導波路の前記他方の端面の第2法線とのなす角は、前記第2光導波路の光導波軸と前記第2法線とのなす角、及び前記第2光導波路及び前記間隙の実効屈折率に応じて規定されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の光源装置。 - 前記第2光導波路の両端面には低反射膜が形成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の光源装置。
- 前記第1光導波路及び前記第3光導波路のうち少なくとも1つは、光導波路の実効屈折率を変える屈折率可変機構を有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の光源装置。
- 前記第1光導波路及び前記第3光導波路のフリースペクトラルレンジは互いに異なっており、
前記第1光導波路のフリースペクトラルレンジと前記第3光導波路のフリースペクトラルレンジの最小公倍数は、前記第2光導波路の利得波長帯域幅より大きいことを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の光源装置。 - 前記第1光導波路及び前記第3光導波路のフリースペクトラルレンジは互いに異なっており、
前記第2光導波路を含む前記第1光導波路の前記一方の端面と前記第3光導波路の前記一方の端面間のフリースペクトラルレンジは、前記第1光導波路のフリースペクトラルレンジと前記第3光導波路のフリースペクトラルレンジの間にあることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の光源装置。 - 前記第2光導波路は、3以上の入出力路を有する多モード干渉型光導波路であり、
各入出力路には、前記第1光導波路、前記第3光導波路、及び出力光を導波するための出力光導波路が形成されていることを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載の光源装置。 - 光出力を監視する受光領域が前記第2光導波路の前記入出力路に形成されていることを特徴とする請求項9に記載の光源装置。
- 前記第1光導波路の前記一方の端面、前記第2光導波路の前記両端面及び前記第3光導波路の前記一方の端面は、エッチングにより形成されていることを特徴とする請求項1〜10のいずれか一項に記載の光源装置。
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