JP2005181263A - X線透視装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 機構的に高精度化が容易で、斜め透視をしても透視倍率が殆ど変化せず、更に斜め透視機能を持たない装置に対しても比較的簡単な改造のもとに斜め透視機能を持たせることができ、しかも斜め透視に起因して透視倍率に制約が生じることのないX線透視装置を提供する。
【解決手段】 X線受像部2を、X線発生装置1からのX線光軸Aに直交する方向に移動させる受像部移動機構(リニアガイド6,ねじ7a,ナット7b等)を設け、加えてそのX線受像部2の移動に連動させて、当該X線受像部2が常にX線焦点を向くように回動させる機構4a、およびX線受像部2をX線光軸Aの回りに旋回させる機構8,8aを設けた構成とすることにより、斜め透視に際して、X線焦点と透視対象物W間の距離と、X線焦点とX線受像部2との距離が互いに比例して変化し、透視拡大率の変化を防止するとともに、X線発生装置1と対象物保持部3は斜め透視に際して相対的に傾斜させないため、斜め透視に起因してこれら両者の接近可能な距離の変化がなく、透視拡大率を制約すくことがない。
【選択図】 図1
【解決手段】 X線受像部2を、X線発生装置1からのX線光軸Aに直交する方向に移動させる受像部移動機構(リニアガイド6,ねじ7a,ナット7b等)を設け、加えてそのX線受像部2の移動に連動させて、当該X線受像部2が常にX線焦点を向くように回動させる機構4a、およびX線受像部2をX線光軸Aの回りに旋回させる機構8,8aを設けた構成とすることにより、斜め透視に際して、X線焦点と透視対象物W間の距離と、X線焦点とX線受像部2との距離が互いに比例して変化し、透視拡大率の変化を防止するとともに、X線発生装置1と対象物保持部3は斜め透視に際して相対的に傾斜させないため、斜め透視に起因してこれら両者の接近可能な距離の変化がなく、透視拡大率を制約すくことがない。
【選択図】 図1
Description
本発明は、X線を用いて回路基板などの対象物の透視像を得て、非破壊のもとにその対象物の欠陥の有無などを調べるためのX線透視装置に関する。
回路基板などの工業製品の透視検査を行うX線透視装置においては、一般に、X線発生装置と、イメージインテンシファイアとCCD等を組み合わせてなるX線受像部とを対向配置し、これらの間に透視対象物を保持するxyテーブルなどの対象物保持部を配置した構成をとる。
このようなX線透視装置において、対象物保持部により保持されている透視対象物の透視角度を任意に変更できるようにした装置が知られている。このような斜め透視機能を備えたX線透視装置の構成例として、図2に示すように、X線発生装置21とX線受像部22の間に、透視対象物Wを保持するための対象物保持部23を備えたX線透視装置において、X線受像部22をX線発生装置21のX線焦点を中心として傾動させる、いわゆるカメラ傾動機構を備えた装置が知られている(例えば特許文献1参照)。
また、斜め透視機能を備えたX線透視装置の他の構成例として、図3に示すように、X線受像部22の直上に対象物保持部23を配置するとともに、その対象物保持部23の上にX線発生装置21を設け、このX線発生装置21を水平方向に伸びる腕部材211にスライド自在に支持するとともに、腕部材211とX線発生装置21との間には、当該X線発生装置21の姿勢を変化させる首振り機構212を介在させた装置が知られている(例えば特許文献2参照)。
特開2001−249086号公報
実開昭62−115149号公報
ところで、斜め透視機能を備えた従来のX線透視装置のうち、カメラ傾動機構を備えたものでは、X線受像部22の傾動中心をX線発生装置21のX線焦点に正しく合わせないと透視位置にずれが生じるが、この傾動機構は、X線受像部22をガイドレールで円弧状に移動させるか、あるいはX線受像部22をアームに固定し、そのアームを、X線焦点を通る線と同軸に設けた傾動中心軸の回りに回動させる構造がとられ、このような構造においては、その機構上、精度を出すことが困難であるという問題がある。
また、このような傾動機構を備えたX線透視装置においては、透視方向を任意に選択できるようにするためには、対象物保持部23を回転させる必要があり、視野を変更するためのxy方向への駆動機構と回転機構とを併せ持ったテーブルを採用し、しかも、そのテーブルは回転するが故に円形としなければならない。ここで、この種のX線透視装置により透視検査に供される物品は回路基板等の矩形の物品が多く、従って、検査可能な物品のサイズ、つまりテーブルからはみ出さないサイズは円形テーブルに内接する矩形寸法となり、検査可能なサイズが小さくなるという問題もある。
更に、傾動機構により斜め透視を行う装置では、X線受像部22を傾動させると、このX線受像部22とX線焦点とのなす距離は不変であるが、X線焦点と透視対象物Wのビューポイント間の距離が変化するため、透視倍率が変化してしまい、この倍率変化を抑制するためには、X線受像部22の傾動に連動させて対象物保持部23を上下動させるための制御が必要となる。
更にまた、斜め透視機能を持たない既設のX線透視装置等に対して、斜め透視機能を持たせるように改造することが困難であるという問題もある。
一方、X線発生装置21を水平方向に移動させる装置では、低倍率の透視に際しては問題はないものの、高い倍率で斜め透視をする場合、X線発生装置21と対象物保持部23とを接近させる必要があるが、この場合、図4に模式的に示すように、X線発生装置21が対象物保持部23上の透視対象物Wに干渉してしまい、透視倍率に制約が生じるという問題があり、特に、回路基板上の素子のリードの半田による接合状況等を検査する場合のように高い透視拡大率が要求される場合には大きな問題となる。
本発明はこのような実情に鑑みてなされたもので、機構的に精度を出しやすく、かつ、斜め透視をしても透視倍率が殆ど変化せず、斜め透視機能を持たない装置に対しても比較的簡単な改造のもとに斜め透視機能を持たせることができ、しかも斜め透視に起因して透視倍率に制約が生じることのないX線透視装置を提供することをその課題としている。
上記の課題を解決するため、本発明のX線透視装置は、X線発生装置と、そのX線発生装置に対向配置されたX線受像部と、これらのX線発生装置とX線受像部との間に配置され、透視対象物を保持する対象物保持部を有するX線透視装置において、対象物保持部に保持された透視対象物を斜め方向から透視すべく、上記X線受像部を、X線発生装置からのX線光軸に直交する方向に移動させる受像部移動機構を備えていることによって特徴づけられる(請求項1)。
ここで、本発明においては、上記X線受像部の受像部移動機構による移動に連動させて、当該X線受像部が常に上記X線発生装置のX線焦点を向くように自動的に回動させる受像部回動機構を備えた構成(請求項2)とすることが、X線透視像の画質を低下させない上で好ましく、更に、上記X線受像部を、上記X線光軸を中心として旋回させる受像部旋回機構を備えた構成(請求項3)を採用することが、透視方向を変化させるために透視対象物を回転させる必要がなくなり、対象物保持部に回転機構を設ける必要がなくなって望ましい。
本発明は、X線受像部をX線発生装置のX線光軸に対して直交する方向に移動させることによって所期の目的を達成しようとするものであり、加えてX線受像部をその移動と併せて回動させ、また、X線光軸の回りに旋回させることによって、前記した従来の問題点を一挙に解決しようとするものである。
すなわち、X線発生装置によるX線照射角度内において、X線受像部をX線光軸に対して直交する方向に移動させると、X線受像部に入射するX線は透視対象物を斜めに透過したものとなり、斜め透視が可能となる。また、X線受像部とX線焦点間の距離と、X線焦点と透視対象物のビューポイント間の距離が比例して変化するため、斜め透視による透視倍率の変化は殆ど生じない。そして、このような機構は、X線受像部をX線焦点の回りに傾動させる機構に比して、機構的に精度を出しやすい。しかも、高い透視倍率を得るためにはX線発生装置と透視対象物との距離を接近させるが、X線受像部はこれら両者に対して遠い距離に位置させるために、請求項2に係る発明のように透視画像の画質の低下を防止すべくX線受像部を首振り運動させても透視対象物と干渉することがなく、斜め透視に起因する透視倍率の制約が生じることがない。
本発明によれば、比較的簡単で精度の出しやすい機構のもとに、透視倍率を殆ど変化させることなく斜め透視をすることができ、斜め透視機能を持たないX線透視装置に対して比較的簡単な改造のもとに斜め透視機能を付加することができる。しかも、斜め透視に起因して透視倍率の上限に制約が生じることがなく、高い透視倍率のもとに斜め透視を実現することができる。
また、請求項2に係る発明のように、X線受像部の平行移動に連動させて自動的にX線焦点を向くように回動させることにより、斜め透視時におけるX線受像部の受像効率の低下を防止し、透視画像の画質の低下を防止することができる。
更に、請求項3に係る発明のように、X線受像部をX線光軸を中心として旋回させる機構を追加すれば、透視方向の変更に際して透視対象物を回転させる必要がなくなり、対象物保持部に回転テーブルを設ける必要がなくなるため、より透視可能な対象物のサイズをより大きくすることができる。
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
図1は本発明の実施の形態の構成図で、機械的構成を表す模式図と電気的構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
図1は本発明の実施の形態の構成図で、機械的構成を表す模式図と電気的構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
X線発生装置1は、そのX線光軸Aが鉛直上方に向かうように配置されており、このX線発生装置1に対向するようにその上方には、X線受像部2が配置されており、これらのX線発生装置1とX線受像部2との間に透視対象物Wを保持するための対象物保持部3が配置されている。この対象物保持部3はX線の光軸方向である鉛直方向(z方向)と、水平面上で互いに直交するx,y方向に独立的に移動させることができる。なお、この対象物保持部3は、後述するパーソナルコンピュータ14に接続されている操作部15の操作により、x,yおよびz方向に対応して設けられているモータ(図示せず)によりこれら3軸方向に独立的に移動させることができる。
X線受像部2は支持部材4に支持されており、この支持部材4は、水平方向に伸びるアーム5にリニアガイド6を介して移動自在に支持されている。そして、アーム5には、また、リニアガイド6と平行にねじ7aが回動自在に支持されており、このねじ7aはモータ11の駆動により回転が与えられる。ねじ7aにはナット7bがねじ込まれており、このナット7bは支持部材4に固着されている。従って、モータ11を駆動してねじ7aに回転を与えることにより、その回転の向きに応じた向きに支持部材4がリニアガイド6に沿って移動することになる。
アーム5は装置フレーム等に固定された鉛直軸8の回りに回動自在に支持されており、このアーム5は、モータ12を駆動することにより伝達機構8aを介して鉛直軸8の回りに回転が与えられる。従って、X線受像部3は、アーム5の鉛直軸8の回りの回転(θ軸移動)と、アーム5に沿った平行移動(r軸移動)により、水平面上を極座標動することができる。
前記した支持部材4には、X線受像部2の受像面中心の近傍を通る水平軸(φ軸)を中心とする円弧状ガイド4aが設けられており、モータ13の駆動によりX線受像部2をこの円弧状ガイド4aに沿って回動させることができる。
r軸駆動用のモータ11はr軸ドライバ11aから供給される信号により駆動制御され、θ軸駆動用のモータ12はθ軸ドライバ12aから供給される信号によって駆動制御される。また、φ軸駆動用のモータ13はφ軸ドライバ13aから供給される信号によって駆動制御される。これらの各ドライバ11a,12aおよび13aは、パーソナルコンピュータ14の制御下に置かれている。
パーソナルコンピュータ14は、X線受像部2からの出力をキャプチャーボードなどの画像取り込み回路15を介して取り込み、透視対象物WのX線透視像を構築して表示器16に表示する。また、パーソナルコンピュータ14に接続されているマウスやキーボード、あるいはジョイスティックなどの操作部17をオペレータが操作することによって、r軸ドライバ11aおよびθ軸ドライバ12aを介してモータ11および12を駆動し、X線受像部2をアーム5上で随意に直線的に移動(r軸移動)させるとともに、鉛直軸8の回りにアーム5を旋回(θ軸移動)させることができる。
そして、X線受像部2をr軸移動させたとき、パーソナルコンピュータ14は、φ軸ドライバ13aを介してモータ13に信号を供給して、以下に示す演算により求められる角度φだけX線受像部2を回動させる。
すなわち、X線受像部2がX線発生装置1の鉛直上方に位置している状態(r=0の状態)におけるX線発生装置1のX線焦点とX線受像部2の受像面とのなす距離をLとすると、X線受像部2をr軸方向にrだけ移動させたとき、
φ=tan-1(r/L)
だけX線受像部3を自動的に傾動させる。これにより、X線受像部2は常にX線焦点を向くことになる。
φ=tan-1(r/L)
だけX線受像部3を自動的に傾動させる。これにより、X線受像部2は常にX線焦点を向くことになる。
以上の実施の形態によると、X線受像部2をL軸に沿って移動させることにより、このX線受像部2がφ軸回りに自動的に回動し、透視対象物Wを斜め方向から透視することができる。この斜め透視に際して、X線発生装置1のX線焦点と透視対象物W間の距離と、同じくX線焦点とX線受像部2の受像面間の距離が互いに比例して変化するため、透視拡大率が変化することがなく、また、X線受像部2が常にX線焦点を向くように自動的に回動するため、斜め透視に起因するX線の受像効率の低下を防止し、透視像の画質の低下を防ぐことができる。しかも、斜め透視に際してもX線発生装置1と対象物保持部3とは相対的に傾斜させないので、斜め透視に起因して透視拡大率に制約が生じることもない。そして、斜め透視の方向を変化させる場合には、θ軸回りにX線受像部2を旋回させればよいため、対象物保持部3に回転を与える必要がなくなり、透視対象物Wを回転させるが故に検査可能な対象物サイズが小さくなってしまうこともない。
更に、以上の実施の形態において注目すべき点は、X線受像部2を直線的に移動させるとともに自己の受像面中心の回りに回動させること、およびアーム5を鉛直軸回りに旋回させることによって斜め透視を実現している点であり、これにより、図2に示したX線受像部をX線焦点の回りに傾動させる機構に比して高精度化が容易であるとともに、図1に二点鎖線で囲んだメカニズムMを入れ替えるだけで、斜め透視機能を有さない装置にも比較的簡単な改造により斜め透視機能を持たせることが可能となる。
なお、以上の実施の形態において、X線発生装置1をz方向に移動させることにより透視拡大率を変化させる機能を有している装置にあっては、その移動に連動してX線受像部2のφ軸回り回転角度を変化させる機能を追加することが望ましい。この場合、r=0の状態におけるX線発生装置1のX線焦点とX線受像部2の受像面間の当初の距離がLであり、X線受像部2をr軸方向にrだけ移動させ、これによりX線受像部2がφ軸回りにφだけ回動している状態から、X線発生装置1をz方向にΔLだけ移動させたとき、その移動に連動させてX線受像部2のφ軸回りの回転角度を、
φ′=tan-1{r/(L−ΔL)}
に変更することにより、X線発生装置1のz方向への移動によってもX線受像部2をX線焦点を向いた状態に維持することができる。
φ′=tan-1{r/(L−ΔL)}
に変更することにより、X線発生装置1のz方向への移動によってもX線受像部2をX線焦点を向いた状態に維持することができる。
1 X線発生装置
2 X線受像部
3 対象物保持部
4 支持部材
4a 円弧状ガイド
5 アーム
6 リニアガイド
7a ねじ
7b ナット
8 鉛直軸
11,12,13 モータ
14 パーソナルコンピュータ
15 画像取り込み回路
16 表示器
17 操作部
W 透視対象物
2 X線受像部
3 対象物保持部
4 支持部材
4a 円弧状ガイド
5 アーム
6 リニアガイド
7a ねじ
7b ナット
8 鉛直軸
11,12,13 モータ
14 パーソナルコンピュータ
15 画像取り込み回路
16 表示器
17 操作部
W 透視対象物
Claims (3)
- X線発生装置と、そのX線発生装置に対向配置されたX線受像部と、これらのX線発生装置とX線受像部との間に配置され、透視対象物を保持する対象物保持部を有するX線透視装置において、
対象物保持部に保持された透視対象物を斜め方向から透視すべく、上記X線受像部を、X線発生装置からのX線光軸に直交する方向に移動させる受像部移動機構を備えていることを特徴とするX線透視装置。 - 上記X線受像部の受像部移動機構による移動に連動させて、当該X線受像部が常に上記X線発生装置のX線焦点を向くように自動的に回動させる受像部回動機構を備えていることを特徴とする請求項1に記載のX線透視装置。
- 上記X線受像部を、上記X線光軸を中心として旋回させる受像部旋回機構を備えていることを特徴とする請求項1または2に記載のX線透視装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003426448A JP2005181263A (ja) | 2003-12-24 | 2003-12-24 | X線透視装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003426448A JP2005181263A (ja) | 2003-12-24 | 2003-12-24 | X線透視装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005181263A true JP2005181263A (ja) | 2005-07-07 |
Family
ID=34785982
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003426448A Pending JP2005181263A (ja) | 2003-12-24 | 2003-12-24 | X線透視装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005181263A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007316014A (ja) * | 2006-05-29 | 2007-12-06 | Toshiba It & Control Systems Corp | X線透視検査装置 |
-
2003
- 2003-12-24 JP JP2003426448A patent/JP2005181263A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007316014A (ja) * | 2006-05-29 | 2007-12-06 | Toshiba It & Control Systems Corp | X線透視検査装置 |
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