JP4840249B2 - X線検査装置 - Google Patents
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Description
また、上記の各機器はX線による被ばくを防止するために、鉛などのX線を遮蔽する素材の壁板で六面が囲われた直方体のX線防御箱9の内部に設置されている。
そこで本発明の第1の目的は、上記従来欠点に鑑み、サンプルの大型化に伴うX線防御箱の大型化を可能な限り避けることにある。
そこで本発明の第2の目的は、機械的に誤差を持って組み立てられた場合でも、サンプル内の所望の観察点を正確に位置決めすることができるX線検査装置を提供することにある。
また、上記X−Y移動ステージのX軸並びにY軸の移動方向が、水平面内において光軸に対して45°の角度で配置されているのが好ましいが、X−Y移動ステージのX軸の移動方向が、水平面内において光軸Bと同一方向であり、Y軸の移動方向がX軸と直交するように配置されている構成としてもよい。
上記発明において、回転テーブルを支持するテーブル支持台がX−Y移動ステージに保持され、該テーブル支持台に回転テーブルと共に引き出すことが可能なスライド台が設けられている構成とするのが好ましい。
これにより、回転テーブル上のサンプルを交換するためにテーブル支持台をX線防御箱の扉近傍まで移動させたときに、スライド台を引き出すことによってサンプルを更に手前まで引き出すことができ、交換作業を楽に行うことが可能となる。
図1〜図5は本発明にかかるX線検査装置の第一の実施例を示すものであって、C型アーム11の一方の腕12にX線発生器13が支持され、このX線発生器13に対向させた状態で他方の腕14にX線検出器15が支持されており、これらの間にサンプルAを配置するための回転テーブル16が設けられている。
更に、X線発生器13のX線焦点とX線検出器15の中心点を結んだ光軸Bが、前記X軸およびY軸に対して水平面内で45度の角度で交わるように配置されている。
(X軸方向の移動量)×cos45°+(Y軸方向の移動量)×sin45°
として算出できる。
同様に、光軸方向の移動量は、
(X軸方向の移動量)×sin45°+(Y軸方向の移動量)×cos45°
として算出でき、この移動量に伴って、透視像が拡大、縮小される。
(X軸方向の移動量)×sin(45°+α)+(Y軸方向の移動量)×cos(45°+α)として算出できる。
サンプルを透視しながらサンプルを光軸方向に移動させたときは、透視像は拡大、縮小の変化のみ生じるが、もし透視像の中心点が移動するようであれば上記の移動方向と光軸方向がずれていることになる。従ってαを変化させながらサンプルを光軸方向に移動させたときに、透視像の中心点が移動しなくなったときのαが誤差として算出される。
このαを上記の各計算式に反映させることにより、正確に各軸の移動量を算出することができ、算出された移動量に基づいてX−Y移動ステージ17の駆動を制御することによって所望の観察点を正確に位置決めすることができる。このようなαを算出する手段は、X−YステージやC型アームの駆動を制御するコンピュータ(図示外)にプログラムを組み込むことによって容易に達成することができる。
図6〜図9は本発明にかかるX線検査装置の第2の実施例を示す。先の実施例では、X−Y移動ステージのX軸並びにY軸の移動方向が、光軸Bに対して45°の角度で配置された例を示したが、本実施例ではX軸の移動方向が水平面内において光軸Bと同一方向であり、Y軸の移動方向が直交するように配置されている。また、テーブル支持台24は図8に示すように、スライド台24aと共に水平面内で枢軸24bを支点として回動できるように形成されている。その他の構成、すなわち、X線発生器13とX線検出器15を保持するC型アーム11やこれを駆動するための機構18,20の構成、並びに光軸Bを平面視においてX線防御箱25の対角線あるいはその近傍に沿った状態で配置した構成は先の実施例と同様である。
またこの実施例においても、組立上の誤差を先の実施例と同じ手法で補正することにより正確な移動量を算出できる。
またこの実施例では、図10に示すように、テーブル支持台24並びにスライド台24aの光軸B方向に沿った対角部分を、回転テーブル16から大きくはみ出ないように切欠されている。これにより、サンプル透視時においてC型アーム11を傾動させたときにテーブル支持台24やスライド台24aがX線発生器やX線検出器に衝突することを回避することができる。
B 光軸
11 C型アーム
13 X線発生器
15 X線検出器
16 回転テーブル
17 X−Y移動ステージ
24 テーブル支持台
24a スライド台
25 X線防御箱
Claims (5)
- X線発生器とX線検出器とを傾動可能なCアームで固定して対向させた状態で実質的に直方体のX線防御箱内部に配置され、前記X線発生器と前記X線検出器との間にサンプルを置くための回転テーブルがX−Y移動ステージに保持されているX線検査装置において、前記X線発生器のX線焦点と前記X線検出器の中心点を結んだ光軸が、平面視において前記X線防御箱の対角線あるいはその近傍に沿って配置されていることを特徴とするX線検査装置。
- 前記X−Y移動ステージのX軸並びにY軸の移動方向が、水平面内において前記光軸に対して45°の角度で配置されている請求項1に記載のX線検査装置。
- 前記X−Y移動ステージのX軸の移動方向が、水平面内において前記光軸と同一方向であり、Y軸の移動方向がX軸と直交するように配置されている請求項1に記載のX線検査装置。
- 前記回転テーブルを支持するテーブル支持台が前記X−Y移動ステージに保持され、該テーブル支持台に前記回転テーブルと共に引き出すことが可能なスライド台が設けられている請求項1〜請求項3の何れかに記載のX線検査装置。
- 前記光軸と、前記X−Y移動ステージの移動軸とがなす角度を、前記X−Y移動ステージを移動させたときの透視像の変化により検出し、この検出量をもとに所望の観察点や拡大率を得るための各軸の移動量を算出する手段を備え、
この算出された移動量に基づいて前記X−Y移動ステージの駆動を制御するように構成されている請求項1〜請求項4の何れかに記載のX線検査装置。
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