JP2005173411A5 - - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 4
- BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] Chemical compound N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003415786A JP2005173411A (ja) | 2003-12-12 | 2003-12-12 | 光偏向器 |
| US11/003,455 US7220009B2 (en) | 2003-12-12 | 2004-12-06 | Optical deflector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003415786A JP2005173411A (ja) | 2003-12-12 | 2003-12-12 | 光偏向器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2005173411A JP2005173411A (ja) | 2005-06-30 |
| JP2005173411A5 true JP2005173411A5 (enExample) | 2007-01-25 |
Family
ID=34650592
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003415786A Pending JP2005173411A (ja) | 2003-12-12 | 2003-12-12 | 光偏向器 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7220009B2 (enExample) |
| JP (1) | JP2005173411A (enExample) |
Families Citing this family (35)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4027359B2 (ja) * | 2003-12-25 | 2007-12-26 | キヤノン株式会社 | マイクロ揺動体、光偏向器、画像形成装置 |
| JP4573664B2 (ja) * | 2005-02-16 | 2010-11-04 | 富士通株式会社 | マイクロ揺動素子およびその製造方法 |
| JP4574396B2 (ja) * | 2005-03-02 | 2010-11-04 | キヤノン株式会社 | 光偏向器 |
| US7312915B2 (en) * | 2005-05-23 | 2007-12-25 | Texas Instruments Incorporated | Microelectromechanical devices with low inertia movable elements |
| JP4484778B2 (ja) * | 2005-07-08 | 2010-06-16 | 富士フイルム株式会社 | 微小薄膜可動素子および微小薄膜可動素子アレイ並びに微小薄膜可動素子の駆動方法 |
| US7817318B2 (en) * | 2005-12-09 | 2010-10-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Oscillating system and optical deflector |
| KR100718143B1 (ko) * | 2005-12-15 | 2007-05-14 | 삼성전자주식회사 | 2축 구동 스캐너 |
| CA2641184C (en) * | 2006-01-12 | 2012-09-04 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Mirror element and method for manufacturing mirror element |
| JP5188024B2 (ja) * | 2006-02-09 | 2013-04-24 | キヤノン株式会社 | 揺動体装置、電位測定装置、及び光偏向装置 |
| JP5151065B2 (ja) * | 2006-05-19 | 2013-02-27 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 光スキャナ及び走査型プロジェクタ |
| JP2007316443A (ja) * | 2006-05-26 | 2007-12-06 | Canon Inc | 光偏向器、及びそれを用いた光学機器 |
| US7593934B2 (en) * | 2006-07-28 | 2009-09-22 | Microsoft Corporation | Learning a document ranking using a loss function with a rank pair or a query parameter |
| WO2008068735A2 (en) * | 2006-12-03 | 2008-06-12 | Maradin Technologies Ltd. | A gimbaled scanning micro-mirror actuation scheme and architecture |
| JP4983281B2 (ja) * | 2007-02-06 | 2012-07-25 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置 |
| JP2008191537A (ja) * | 2007-02-07 | 2008-08-21 | Canon Inc | 振動素子、及び振動素子を備える光偏向器 |
| JP2009042737A (ja) * | 2007-07-13 | 2009-02-26 | Canon Inc | 揺動体装置、及びそれを用いた光偏向器 |
| JP2009025617A (ja) * | 2007-07-20 | 2009-02-05 | Canon Inc | 揺動体装置、光偏向器およびそれを用いた光学機器 |
| JP2009122383A (ja) * | 2007-11-14 | 2009-06-04 | Canon Inc | 揺動体装置の製造方法、該製造方法により製造された揺動体装置によって構成される光偏向器及び光学機器 |
| JP2009128463A (ja) | 2007-11-21 | 2009-06-11 | Canon Inc | 揺動体装置の製造方法、該製造方法により製造された揺動体装置によって構成される光偏向器及び光学機器 |
| JP2009163198A (ja) * | 2007-12-10 | 2009-07-23 | Canon Inc | 揺動体装置の製造方法、光偏向器、画像形成装置 |
| JP2009258645A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-11-05 | Victor Co Of Japan Ltd | 2次元光偏向器及びこれを用いた画像表示装置 |
| WO2009147654A1 (en) * | 2008-06-02 | 2009-12-10 | Maradin Technologies Ltd. | Gimbaled scanning micro-mirror apparatus |
| JP5237705B2 (ja) * | 2008-06-24 | 2013-07-17 | パナソニック株式会社 | 発電デバイス |
| DE102009000599B4 (de) * | 2009-02-04 | 2021-03-18 | Robert Bosch Gmbh | Elektrostatischer Antrieb, Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen Bauteils mit einem elektrostatischen Antrieb und Herstellungsverfahren für einen elektrostatischen Antrieb |
| JP5335654B2 (ja) | 2009-12-04 | 2013-11-06 | キヤノン株式会社 | モード変換素子 |
| JP5652336B2 (ja) * | 2011-06-06 | 2015-01-14 | 株式会社Jvcケンウッド | 光走査装置 |
| JP2011242799A (ja) * | 2011-07-28 | 2011-12-01 | Seiko Epson Corp | 画像表示装置 |
| JP2013102060A (ja) | 2011-11-09 | 2013-05-23 | Canon Inc | 荷電粒子光学系、及びそれを用いた描画装置 |
| CN102963857B (zh) * | 2012-10-17 | 2015-04-15 | 东南大学 | 一种电磁驱动调变齿间隙的微机电梳齿机构 |
| GB201312817D0 (en) * | 2012-11-29 | 2013-08-28 | Dann Engineering Ltd | Scanning apparatus |
| JP6840069B2 (ja) * | 2017-12-14 | 2021-03-10 | 三菱電機株式会社 | 微小電子機械デバイスの検査方法 |
| CN108347239B (zh) * | 2018-05-04 | 2024-01-26 | 上海交通大学 | 一种电磁驱动双稳态光开关 |
| KR102581631B1 (ko) * | 2018-06-26 | 2023-09-22 | 미쓰미덴기가부시기가이샤 | 회전 왕복 구동 액추에이터 |
| EP3628964B1 (de) * | 2018-09-28 | 2024-02-14 | Hexagon Technology Center GmbH | Opto-elektro-mechanisches strahlmanipulationssystem |
| JP6925476B1 (ja) * | 2020-05-08 | 2021-08-25 | 三菱電機株式会社 | 光走査装置及び光走査装置の調整方法 |
Family Cites Families (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4421381A (en) | 1980-04-04 | 1983-12-20 | Yokogawa Hokushin Electric Corp. | Mechanical vibrating element |
| US4317611A (en) | 1980-05-19 | 1982-03-02 | International Business Machines Corporation | Optical ray deflection apparatus |
| JPS6057052A (ja) | 1983-09-05 | 1985-04-02 | Mitsubishi Electric Corp | 遠心式無段変速装置 |
| JPS6057051A (ja) | 1983-09-05 | 1985-04-02 | Mitsubishi Electric Corp | 遠心式無段変速装置 |
| JPS6082711A (ja) | 1983-10-13 | 1985-05-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 赤外線バ−ナ |
| JPS60107017A (ja) | 1983-11-16 | 1985-06-12 | Hitachi Ltd | 光偏向素子 |
| US6334573B1 (en) * | 1990-05-29 | 2002-01-01 | Symbol Technologies, Inc. | Integrated scanner on a common substrate having an omnidirectional mirror |
| JPH04343318A (ja) | 1991-05-20 | 1992-11-30 | Fuji Electric Co Ltd | ねじり振動子 |
| US5819822A (en) * | 1996-03-29 | 1998-10-13 | Caterpillar Inc. | Fluid filler tool for a spin-on fluid filter |
| JPH10293134A (ja) | 1997-02-19 | 1998-11-04 | Canon Inc | 光検出または照射用のプローブ、及び該プローブを備えた近視野光学顕微鏡・記録再生装置・露光装置、並びに該プローブの製造方法 |
| JPH11166935A (ja) | 1997-09-25 | 1999-06-22 | Canon Inc | 光検出または照射用の光プローブと該プローブを備えた近視野光学顕微鏡、及該光プローブの製造方法とその製造に用いる基板 |
| US6477132B1 (en) | 1998-08-19 | 2002-11-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Probe and information recording/reproduction apparatus using the same |
| JP3554233B2 (ja) | 1998-10-28 | 2004-08-18 | キヤノン株式会社 | 光プローブの製造方法 |
| US6327087B1 (en) | 1998-12-09 | 2001-12-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical-thin-film material, process for its production, and optical device making use of the optical-thin-film material |
| US6436265B1 (en) | 1999-03-29 | 2002-08-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Microstructure array, and apparatus and method for forming the microstructure array, and a mold for fabricating a microstructure array |
| JP3513448B2 (ja) | 1999-11-11 | 2004-03-31 | キヤノン株式会社 | 光プローブ |
| US6330102B1 (en) | 2000-03-24 | 2001-12-11 | Onix Microsystems | Apparatus and method for 2-dimensional steered-beam NxM optical switch using single-axis mirror arrays and relay optics |
| JP2003015064A (ja) * | 2001-07-04 | 2003-01-15 | Fujitsu Ltd | マイクロミラー素子 |
| JP3970066B2 (ja) * | 2002-03-18 | 2007-09-05 | オリンパス株式会社 | 光偏向器及び電磁型アクチュエータ |
| JP3862623B2 (ja) | 2002-07-05 | 2006-12-27 | キヤノン株式会社 | 光偏向器及びその製造方法 |
| JP2005173436A (ja) | 2003-12-15 | 2005-06-30 | Canon Inc | 光偏向器 |
-
2003
- 2003-12-12 JP JP2003415786A patent/JP2005173411A/ja active Pending
-
2004
- 2004-12-06 US US11/003,455 patent/US7220009B2/en not_active Expired - Fee Related
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