JP2005152884A - 液滴供給設備、これを用いた表示装置の製造方法。 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 液滴供給設備のベース本体は基板が搭載されるステージと向き合う。滴下装置はベース本体に取り付けられ、複数のノズルを含んみ、液滴を基板に滴下する。蒸気供給装置は滴下装置に隣接して配置され、基板に滴下された液滴に揮発性溶媒蒸気を供給する。これによって、液滴供給設備から滴下された液滴の乾燥速度を均一にし、表示装置の映像の表示品質を向上させる。
【選択図】 図1
Description
情報処理装置で処理された出力データは電気信号形態としてコード化されている。従って、使用者が出力データを認識し、情報処理装置によりデータ入力または処理された出力データを確認するために、表示装置を必要とする。
このような表示装置は発光素子に映像を表示する発光型表示装置及び反射、散乱、干渉現象によって映像を表示する受光型表示装置を含む。
発光型表示装置としては、プラズマ表示パネル(PDP)、発光ダイオード(LED)及び有機電界発光表示装置(OLED)などがある。
受光型表示装置は電気化学表示装置(ECD)及び電気泳動表示装置(EPID)などがある。
有機電界発光表示装置は発光部に高い電圧を印加し、高電圧中で電子を加速して発光中心に衝突させることによって発光中心を励起することで発光させることができる。
また、有機電界発光表示装置はアノード電極とカソード電極との間に有機発光層を設けることができる。有機発光層にはアノード電極及びカソード電極からそれぞれ電子と正孔が供給され、有機発光層においては電子と正孔との結合による励起子が生成される。この励起子が励起状態から基底状態に遷移するときに光が発生する。
このような有機電界発光表示装置の有機発光層は、マスクに形成された開口に有機発光物質を供給することにより行われるスクリーン印刷方法、または揮発性溶媒を含む有機発光物質を指定された位置にノズルを用いて噴射して滴下する噴射式印刷方法が広く使用されている。
アノード電極の個数が非常に多い場合、有機発光物質を同時に滴下しにくい。従って、基板を幾つかのグループに分け、各グループ別に有機発光物質を印刷する。
グループ別に有機発光物質を印刷する場合、各グループのエッジ部分に配置されたアノード電極に塗布された有機発光物質の乾燥速度及び各グループの中央部に配置されたアノード電極に塗布された有機発光物質の乾燥速度が互いに異なるという問題点を有する。
これによって、各グループのエッジに配置されたアノード電極に形成された有機発光層及び各グループの中央部に配置されたアノード電極に形成された有機発光層の厚さが互いに異なり、これによって各アノード電極から発生された光の輝度は互いに異なるようになり、映像の表示品質が大幅に低下されている。
また、本発明の第2目的は前記液滴供給設備によって表示装置を製造する方法を提供することにある。
前記本発明の第1目的を達成するために、本発明の他の液滴供給設備は、ベース本体、滴下装置、蒸気供給装置及びベース本体移送装置を含む。前記ベース本体は、基板が搭載されるステージと向き合う。前記滴下装置は前記ベース本体に配置され、複数のノズルを含み、第1方向に往復運動して溶質及び揮発性溶媒を含むコーティング物質を有する液滴を前記基板に滴下する。前記蒸気供給装置は前記ベース本体上に前記滴下装置に隣接して配置され、第2方向にシフトされて前記揮発性溶媒の輝度速度を均一に調節するために前記基板に滴下された液滴に揮発性溶媒蒸気を供給する。ベース本体移送装置は前記ベース本体を前記第2方向に移送する。
前記本発明の第2目的を達成するための本発明の表示装置の製造方法によれば、まず駆動信号が印加される第1電極が基板に形成され。続いて、前記基板に前記第1電極の周辺を取り囲んで前記第1電極の上部にキャビティを形成する隔離壁が形成される。続いて、前記キャビティに揮発性溶媒及び有機発光物質を含む液滴が滴下される。以後、前記液滴に前記揮発性溶媒蒸気が供給される。続いて、前記液滴が乾燥され前記第1電極上に有機発光層が形成される。最後に、前記有機発光層を有する基板上に第2電極が形成される。
液滴供給設備
実施例1
図1は本発明の第1実施例による液滴供給設備の側面図である。
図1に示すように、液滴供給設備100はステージ110、ベース本体120、滴下装置130、蒸気供給装置140及びベース本体移送装置150を含む。
ステージ110は基板10を搭載する。本実施例において基板10は有機発光層を含む有機電界発光素子を含む。
ベース本体120はステージ110の上部に配置され、ベース本体120には滴下装置130及び蒸気供給装置140が固定される。
図1乃至図3に示すように、滴下装置130はベース本体120に固定される。滴下装置130は溶質及び揮発性溶媒を含むコーティング物質を基板10に滴下するためのノズル132を有し、第1方向(図2に示した矢印Aの方向)に往復運動し、前記第1方向と違う第2方向(図2に示した矢印Bの方向)にシフトされる。滴下装置130は複数のノズル132を含むことができる。第2方向は第1方向に垂直することができる。前記溶質は正孔注入物質、電子注入物質、有機発光物質、カラーフィルター用物質などを含むことができる。このとき、滴下装置130から基板10に滴下される溶質は有機発光物質を含む。
コーティング物質供給モジュール133はステージ110に固定された基板10に供給されるコーティング物質をノズル132に供給する。コーティング物質供給モジュール133はコーティング物質を貯蔵する貯蔵タンク133a、貯蔵タンク133aからコーティング物質をノズル132に伝送する配管133c及びコーティング物質の流量を制御するための流量制御器(MFC)133bをさらに含む。貯蔵タンク133aに貯蔵されたコーティング物質は、溶質及び溶質を溶解させる揮発性溶媒からなる。貯蔵タンク133aは、流量制御器133bを用いてコーティング物質を断続的に配管133cを通じてノズル132に供給する。
ノズルプレート134にはノズル132が結合される。ノズル132は配管133cに連結されてコーティング物質の供給を受ける。ノズル132は、有機発光物質を非常に小さいサイズの液滴130aにしてステージ110に搭載された基板10に滴下する。
ノズル132はハウジング135に固定され、ハウジング135はハウジング移送モジュール136に固定される。
ハウジング移送モジュール136はベース本体120に設置されて、滴下装置130のハウジング135を第1方向(矢印Aの方向)に往復運動させる。ハウジング移送モジュール136は、第1方向に向かって延びている第1移送ロード136a、及びハウジング135を第1移送ロード136aに沿って移送させる第1移送モジュール136bを含む。
または、第1移送ロード136aをベース本体120に固定し、第1移送ロード136aとハウジング135とをスライド可能に結合することができる。従って、油圧シリンダを利用して第1移送モジュール136bがハウジング135を第1方向に往復運動させ、その結果、ハウジング135は第1移送ロード136a上を第1方向に往復運動することができる。
滴下装置130はノズル132を基板10に対して実質的に平行な状態を保持して回転させる回転ユニット137をさらに含むことができる。回転ユニット137の回転軸は基板10の面に垂直である。回転ユニット137はノズル312を回転させることにより第1方向または第2方向に関しノズル132の間の間隔を調節してノズル132から滴下される液滴の間の間隔を調節し、基板10に滴下された液滴130aの間の間隔をノズル132の間の間隔(ノズルプレート134の長手方向に関するノズル間の間隔)より狭く形成することができる。
蒸気供給装置140はベース本体120に設置される。蒸気供給装置140は第1供給モジュール142及び第2供給モジュール144を含む。図2では第1及び第2供給モジュール142、144の両方が使用されているが、これとは異なり、第1供給モジュール142及び第2供給モジュール144のうちいずれか一つのみを使用してもよい。
第1供給モジュール142は第1支持部材142aによってベース本体120に設けられる。第1供給モジュール142は直方六面体のボックス形状を有し、第1供給モジュール142の長辺は第1方向と平行になるように配置される。第1供給モジュール142は第1本体142b、第1噴射溝142c及び第1溶媒蒸気供給部142dを含む。第1供給モジュール142は複数の第1噴射溝142cを含むことができる。
第2供給モジュール144は第2支持部材144aによってベース本体120に設けられる。第2供給モジュール144は直方体のボックス形状を有し、第2供給モジュール144の長辺は第1方向と平行に配置される。本実施例において、第2供給モジュール144は第2本体144b、第2噴射溝144c、第2溶媒蒸気供給ユニット144dを含む。第2供給モジュール144は複数の第2噴射モジュール144cを含むことができる。
望ましくは、第1及び第2供給モジュール142、144の第1及び第2噴射本体142c、144cからそれぞれ噴射された揮発性溶媒蒸気の直径は約5μm以下である。揮発性溶媒蒸気の直径が5μm以上である場合、揮発性溶媒蒸気が基板10に直接ドロップしてしまい、基板10が汚染されるか、コーティング物質の厚さが互いに異なって形成されてしまう可能性がある。
蒸気供給装置140から噴射された揮発性溶媒蒸気によって、基板10に滴下された液滴130aは液滴130aの配置に関係なく一定の速度で乾燥され、液滴130aが乾燥された後基板10には一定の厚さを有するコーティング薄膜が形成される。
一方、蒸気供給装置140は間隔調節装置146をさらに含むことができる。滴下装置130のノズル132が回転ユニット137によって回転すると、ノズル132と蒸気供給装置140との間の間隔Dが変わる。間隔調節装置146はノズル132と蒸気供給装置140との間に形成される間隔Dを調節する。
図4は本発明の第2実施例による液滴供給設備のブロック図である。
図4に示すように、液滴供給設備100はベース本体151、滴下装置160及びチャンバー170を含む。
ベース本体151は、基板10が搭載されるステージ110と向き合うように配置される。ベース本体150は、第2方向に延びた移送ロード152によって第2方向に沿って往復運動する。
滴下装置160は、ステージ110に搭載された基板10にコーティング物質からなる液滴160aを供給する。滴下装置160は基板10に複数の液滴160aを供給することもできる。滴下装置160はベース本体151に固定される。
滴下装置160は溶質及び揮発性溶媒を含むコーティング物質を含む液滴160aを基板10に滴下するためのノズルを有し、第1方向に往復運動し、第1方向と直交する第2方向(図4の矢印Bの方向)にシフトされる。滴下装置160は複数のノズル162を含むことができる。前記溶質は正孔注入物質、電子注入物質、有機発光物質などを含むことができる。このとき、滴下装置160から基板10に滴下されるコーティング物質の溶質は有機発光物質である。
コーティング物質供給装置163は、ステージ110に固定された基板10に、コーティング物質をノズル162を通じて供給する。コーティング物質供給装置163は、コーティング物質を貯蔵するコーティング物質貯蔵タンク163a及びコーティング物質貯蔵タンク163aからコーティング物質をノズル162に送る配管163c及びコーティング物質の流量を制御するための流量制御器(mass flow controller:MFC)163bをさらに含む。コーティング物質貯蔵タンク163aに貯蔵されたコーティング物質は溶質及び溶質を溶解させる揮発性溶媒からなる。貯蔵タンク163aは、流量制御器163bを利用して、配管163cを通じて前記有機発光物質を断続的にノズル162に供給する。
ハウジング165には、コーティング物質供給装置163のノズが固定される。
ハウジング移送モジュール166はベース本体150に設置され、滴下装置160のハウジング165を第1方向に往復運動させる。ハウジング移送モジュール166は第1方向に向かって延びた第1移送ロード166a及びハウジング165を第1移送ロード166aに沿って移送させる第1移送モジュール166bを含む。
または、ベース本体150に取り付けられた第1移送ロード166aに対してシリンダを用いてハウジング165がスライド可能となるように、第1移送ロード166aとハウジング165とを結合るすることができる。従って、ハウジング165は第1移送ロード166aに沿って第1方向に往復運動される。
チャンバー170はチャンバー本体172及び蒸気供給装置174を含む。
チャンバー本体172はベース本体150及び滴下装置160を収納する収納空間170aを提供する。
蒸気供給装置174は、貯蔵容器174b、気化器174c及び噴射部174dを含む。
これに加えて、貯蔵容器174bは、圧力計174fをさらに含むことができる。圧力計174fは、チャンバー本体172の内部に配置された揮発性溶媒蒸気の圧力を測定して、チャンバー本体172の内部に配置された揮発性溶媒蒸気の圧力を調節する。
実施例3
図5は本発明の第3実施例による基板に形成された周辺回路部を示す平面図であり、図6、図8及び図10は本発明の第3実施例による周辺回路部の製造方法を示す平面図である。図7は図6のII−II´ラインにおける断面図であり、図9は図8のIII−III´ラインにおける断面図であり、図11は図10のIV−IV´ラインにおける断面図である。
図5乃至図7において、基板10には全面積に亘ってゲート金属薄膜(図示せず)が形成される。ゲート金属薄膜は化学気相蒸着またはスパッタリング法によって蒸着され得る。ゲート金属薄膜の表面には、フォトレジストを塗布してフォトレジスト薄膜(図示せず)が形成される。フォトレジスト薄膜は第1パターンマスクを介して露光される。第1パターンマスクによって、ゲート金属薄膜の表面にはフォトレジストパターンが形成される。
ゲート金属薄膜はフォトレジストパターンをマスクとしてエッチングされ、フォトレジストパターンは除去される。従って、ゲート金属薄膜から基板10にはゲート電極部GE、ゲート電極部GEに連結されたゲートバスラインGBL、ストレージキャパシタの第1キャパシタ電極部Cst1、及び第1キャパシタ電極部Cst1と電気的に連結される第2ゲート電極G2が同時に形成される。
絶縁層11の上面には第1半導体層12が形成される。前記第1半導体層12は化学気相蒸着法によって形成することができる。第1半導体層12はアモルファスシリコン薄膜を含む。
続いて、第1半導体層12の上面には第2半導体層13が形成される。前記第2半導体層13は化学気相蒸着法によって形成することができる。第2半導体層13の上面にはソース/ドレーン金属薄膜14が形成される。前記ソース/ドレーン金属薄膜14は化学気相蒸着法またはスパッタリング法によって形成することができる。
ソース/ドレーン金属薄膜のパターニングによって、基板10には第1ソース電極S1、第1ソース電極S1に電気的に連結されたデータバスラインDBL、第1ドレーン電極D1、第2ソース電極S2、第2ソース電極S2に電気的に連結された電力供給ラインPSL及び第2ドレーン電極D2が同時に形成される。
続いて、第1ソース電極S1、第1ソース電極S1に電気的に連結されたデータバスラインDBL、第1ドレーン電極D1、第2ソース電極S2、第2ソース電極S2に電気的に連結された電力供給ラインPSL及び第2ドレーン電極D2をマスクとして、第2半導体層13及び第1半導体層12がパターニングされる。
第2半導体層13は、第1ソース電極S1、第1ソース電極S1に電気的に連結されたデータバスラインDBL、第1ドレーン電極D1、第2ソース電極S2、第2ソース電極S2に電気的に連結された電力供給ラインPSL及び第2ドレーン電極D2の形状と同一の形状となるようにパターニングされる。
第1半導体層12は、第1ソース電極S1が形成されたデータバスライン、第1ドレーン電極D1、第2ソース電極S2が形成された電力供給ラインPSL及び第2ドレーン電極D2がマスク役割をすることで、これらの形状と同一の形状となるようにパターニングされる。これにより、第1のn+アモルファスシリコンパターン及び第2のn+アモルファスシリコンパターンの底面には第1アモルファスシリコンパターンASP1が形成され、第3のn+アモルファスシリコンパターンnASP3及び第4のn+アモルファスシリコンパターンの底面には第2アモルファスシリコンパターンASP2が形成される。
図10及び図11に示すように、基板10には全面積に亘って層間絶縁膜15が形成される。前記層間絶縁膜15は化学気相蒸着法によって形成することができる。層間絶縁膜15の上面にはフォトレジスト薄膜(図示せず)が形成される。前記フォトレジスト薄膜(図示せず)はスピンコーティングまたはスリットコーティング法によって形成することができる。第4パターンマスクによってフォトレジスト薄膜がパターニングされて、基板10にフォトレジストパターンが形成される。
フォトレジストパターンをマスクとして層間絶縁膜15はエッチングされる。層間絶縁膜15には、第1ドレーン電極D1を露出させる第1コンタクトホール、第2ゲート電極G2の一部を露出させる第2コンタクトホール、及び第2ドレーン電極D2の一部を露出させる第3コンタクトホールが形成される。
フォトレジスト薄膜は第5パターンマスクを通過した光によって露光されてフォトレジスト薄膜はパターニングされる。従って、透明薄膜の上面にはフォトレジストパターンが形成される。続いて、前記フォトレジストパターン(図示せず)をマスクとして用いて前記導電性透明薄膜の一部をエッチングして層間絶縁膜15上に第1電極17及び連結電極16が形成される。層間絶縁膜15上に複数個の第1電極17を形成することもできる。第1電極17は第3コンタクトホールCT3を介して第2ドレーン電極D2に連結され、連結電極16は第1コンタクトホールCT1を介して第1ドレーン電極D1に連結され、及び第2コンタクトホールCT2を介して第2ゲート電極G2に電気的に連結される。
図12は本発明の第3実施例による隔離壁を示す断面図であり、図13は第3実施例による隔離壁を示す平面図である。
このとき、キャビティ18aは第1電極17と同様にマトリックス状に配置される。このとき、キャビティ18aは前記図1乃至図3で説明した液滴供給設備100のノズル132の個数によってグループ化することができる。ダミー領域(Dummy Area)DAは前記キャビティ18aを含む前記グループを取り囲む。キャビティ18aは第1グループ、第2グループ、第3グループに分けられ、第1グループ、第2グループ、第3グループの周辺には工程が進行されないダミー領域DAが形成される。
液滴供給設備100は前記実施例1及び実施例2に説明された液滴供給設備と同一であるのでその重複する説明は省略することにし、同一の構成部分に対しては同一の名称及び同一の参照符号を付与する。
図14及び図15に示すように、液滴供給設備100の滴下装置130のノズル132は、基板10のダミー領域DAの第1ダミー領域DAL1上に揮発性溶媒を含む有機発光物質を供給して、第1ダミー領域DAL1にダミー液滴130bを形成する。滴下装置130は複数のノズル132を含むことができ、液滴供給設備100は複数のダミー液滴130bを形成することもできる。ダミー液滴130bは以後、第1グループに属するキャビティ18aに滴下される液滴に含まれた揮発性溶媒の蒸気圧を均一にする。
滴下装置130が第1ダミー領域DAL1にダミー液滴130bを形成する間、第1グループには蒸気供給装置140の第2供給モジュール144が揮発性溶媒蒸気を供給する。
液滴供給設備100が基板10の第1ダミー領域DAL1にダミー液滴130bを形成し終えると、液滴供給設備100のベース本体120は第1グループに向かって第2方向に移動される。従って、蒸気供給装置140の第1供給モジュール142は第1ダミー領域DAL1上に配置され、滴下装置130は第1グループ上に配置され、第2供給モジュール144は第2グループ上に配置される。このとき、滴下装置130は第1ダミー領域DAL1に隣接する第3ダミー領域DAL3にダミー液滴130bを形成しながら第1グループに向かって移動される。
蒸気供給装置140が第1グループに隣接する前記第1ダミー領域DAL1及び前記第2グループ内に揮発性溶媒蒸気を持続的に供給することによって、第1電極17上には均一の厚さを有する薄膜が形成される。このとき、第1グループに滴下された液滴130aは正孔注入物質を含む。
前記揮発性溶媒蒸気が第1グループ及び第3グループ内に供給されて第2グループに滴下された全ての液滴130aの蒸発速度が均一になる。従って、第2グループ内に形成されたキャビティ18a内部に配置された第1電極17上には、均一の厚さを有する薄膜が形成される。このとき、第2グループに滴下される液滴130aは正孔注入物質を含む。
このような過程を繰り返して、液滴供給設備100は基板10に形成されたすべてのキャビティ18aに有機発光物質を含む液滴130aを供給する。
その後、図20に示すように、液滴130aは乾燥され、第1電極17の上面には正孔注入層19aが形成される。
このように各第1電極17に正孔注入層が形成された後、液滴供給設備100は、発光物質を含む液滴を正孔注入層の上面に供給して、第1電極17の上面に有機発光層19bを形成する。
そして、基板10には全面積に亘って第2電極20が形成される。第2電極20はアルミニウムまたはアルミニウム合金からなる。
なお、、上述した図14乃至図20に示した工程の全てを、密閉されたチャンバー内で行ってもよい。
図21は本発明の第4実施例によるカラーフィルターの製造方法を示す断面図であり、図22は本発明の第4実施例によるカラーフィルター基板を示す断面図である。液滴供給設備100は前記実施例及び実施例2に説明された液滴供給設備と同一であるので、その重複する説明は省略し、同一の部分に対しては同一の名称及び同一の参照符号を付与する。
図21及び図22に示すように、前記液滴供給設備100は揮発性溶媒を供給しながらブラックマトリックス1002が形成された基板1000上に赤色顔料及び揮発性溶媒を含む液滴を供給して赤色カラーフィルター1004aを形成する。続いて、前記赤色カラーフィルター1004aが形成された基板1000上に緑色顔料及び前記揮発性溶媒を含む液滴を供給して緑色カラーフィルター1004bを形成する。続いて、前記赤色及び緑色カラーフィルター1004a、1004bが形成された基板1000上に青色顔料及び前記揮発性溶媒を含む液滴を供給して青色カラーフィルター1004cを形成する。このとき、液滴が赤色、緑色または青色染料を含むことができる。その後、前記赤色、緑色及び青色カラーフィルター1004a、1004b、1004cが形成された基板1000上にオーバーコーティング層1005及び共通電極1006が形成される。
以上、詳細に説明したように、表示装置から光を発生させるために画素に滴下される液滴の乾燥速度を精密に調節して薄膜の厚さを均一にして映像の表示品質を向上させることができる。
以上、本発明を実施例によって詳細に説明したが、本発明はこれに限定されず、本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者であれば、本発明の思想と精神を離れることなく、本発明を修正または変更できる。
18 隔離壁
18a キャビティ
100 液滴供給設備
110 ステージ
120 ベース本体
130 滴下装置
132 ノズル
133 コーティング物質供給モジュール
133a 貯蔵タンク
133b 流量制御器
133c 配管
134 ノズルプレート
135 ハウジング
136 ハウジング移送モジュール
136b 第1移送モジュール
137 回転ユニット
140 蒸気供給装置
142 第1供給モジュール
142a 第1支持部材
142b 第1本体
142c 第1噴射溝
142e 第1貯蔵容器
142f 第1気化器
144 第2供給モジュール
144a 第2支持部材
144b 第2本体
144c 第2噴射溝
146 間隔調節装置
150 ベース本体移送装置
160 滴下装置
163 コーティング物質供給装置
163c 配管
164 ノズルプレート
165 ハウジング
166 ハウジング移送モジュール
166a 第1移送ロード
170 チャンバー
170a 収納空間
172 チャンバー本体
174 蒸気供給装置
1002 ブラックマトリックス
1004a 赤色カラーフィルター
1004b 緑色カラーフィルター
1004c 青色カラーフィルター
1005 オーバーコーティング層
1006 共通電極
Claims (26)
- 基板が搭載されるステージに対向するベース本体と、
前記ベース本体に配置され、複数のノズルを含み、液滴を前記基板に滴下する滴下装置と、
前記滴下装置に隣接して配置され、前記基板に滴下された液滴に揮発性溶媒蒸気を供給する蒸気供給装置と、
を含む液滴供給設備。 - 前記液滴は溶質及び揮発性溶媒を含むことを特徴とする請求項1記載の液滴供給設備。
- 前記溶質は、正孔注入物質と、電子注入物質と、有機発光物質またはカラーフィルター用物質と、を含むことを特徴とする請求項2記載の液滴供給設備。
- 前記滴下装置は第1方向に往復運動し第2方向にシフトされ、前記蒸気供給装置は前記滴下装置と共に前記第2方向にシフトされることを特徴とする請求項1記載の液滴供給設備。
- 前記液晶供給設備は前記ベース本体を前記第2方向に移送するベース本体移送装置をさらに含むことを特徴とする請求項4記載の液滴供給装置。
- 基板が搭載されるステージに対向するベース本体と、
前記ベース本体に配置され、複数のノズルを含み、第1方向に往復運動して溶質及び揮発性溶媒を含むコーティング物質を有する液滴を前記基板に滴下する滴下装置と、
前記ベース本体上に前記滴下装置に隣接して配置され、第2方向にシフトされ、前記揮発性溶媒の輝度速度を均一に調節するために前記基板に滴下された液滴に揮発性溶媒蒸気を供給する蒸気供給装置と、
前記ベース本体を前記第2方向に移送するベース本体移送装置と、
を含む液滴供給設備。 - 前記ノズルは一列に配列されることを特徴とする請求項6記載の液滴供給設備。
- 前記滴下装置は、前記ノズルを通じて前記コーティング物質を供給するコーティング物質供給モジュールと、前記ノズルに結合されたハウジングと、前記ハウジングを前記第1方向に往復運動させるハウジング移送モジュールと、をさらに含むことを特徴とする請求項6記載の液滴供給設備。
- 前記滴下装置は前記ノズルを回転させる回転ユニットをさらに含み、前記回転ユニットの回転軸は前記基板に対して垂直であることを特徴とする請求項6記載の液滴供給設備。
- 前記溶質は有機発光物質を含むことを特徴とする請求項6記載の液滴供給設備。
- 前記溶質は正孔注入物質または電子注入物質を含むことを特徴とする請求項6記載の液滴供給設備。
- 前記蒸気供給装置は、前記ノズルに隣接して配置された第1供給モジュール及び前記第1供給モジュールと対向する位置に配置された第2供給モジュールを含み、
前記ノズルは前記第1供給モジュールと前記第2供給モジュールとの間に配置されたことを特徴とする請求項6記載の液滴供給設備。 - 前記第1供給モジュールは、複数個の第1噴射溝を有する第1本体と、前記第1噴射溝を通じて前記第1本体に前記揮発性溶媒蒸気を供給する第1溶媒蒸気供給部とを含み、
前記第2供給モジュールは、複数個の第2噴射溝を有する第2本体と、前記第2噴射溝を通じて前記第2本体に前記揮発性溶媒蒸気を供給する第2溶媒蒸気供給部とを含むことを特徴とする請求項12記載の液滴供給設備。 - 前記第1溶媒蒸気供給部は前記揮発性溶媒を貯蔵する第1貯蔵容器と、前記第1貯蔵容器から供給された前記揮発性溶媒を気化させる第1気化器とを含み、前記第2溶媒蒸気供給部は前記揮発性溶媒を貯蔵する第2貯蔵容器と、前記第2貯蔵容器から供給された前記揮発性溶媒を気化させる第2気化器とを含むことを特徴とする請求項13記載の液滴供給設備。
- 前記第1及び第2噴射溝から噴射された前記揮発性溶媒蒸気の直径は5μm以下であることを特徴とする請求項13記載の液滴供給設備。
- 前記蒸気供給装置は前記滴下装置の前記ノズルと成す間隔を調節するための間隔調節ユニットをさらに含むことを特徴とする請求項6記載の液滴供給設備。
- 前記ベース本体移送装置は、前記ベース本体を1mm/秒〜10mm/秒の速度で移動させることを特徴とする請求項6記載の液滴供給設備。
- 基板が搭載されるステージに対向するベース本体、
前記ベース本体に配置され、複数のノズルを含み、第1方向に往復運動して溶質及び揮発性溶媒を含むコーティング物質を有する液滴を前記基板に滴下する滴下装置、及び
前記ベース本体及び前記滴下装置を収納する収納空間を有するチャンバー本体と、前記収納空間に揮発性溶媒蒸気を供給部する供給モジュールとを有するチャンバー、
を含むことを特徴とする液滴供給設備。 - 前記ノズルは一列に配列されることを特徴とする請求項18記載の液滴供給設備。
- 前記蒸気供給装置は、
前記揮発性溶媒を貯蔵する貯蔵容器と、
前記貯蔵容器から前記揮発性溶媒を前記揮発性溶媒蒸気に変更させて前記収納空間に供給する気化器と、
前記揮発性溶媒蒸気を前記収納空間に噴射する噴射部と、
を含むことを特徴とする請求項18記載の液滴供給設備。 - 前記収納空間内の前記揮発性溶媒蒸気の蒸気圧力は、前記基板に滴下された液滴に含まれた前記揮発性溶媒の蒸気圧と同一であることを特徴とする請求項18記載の液滴供給設備。
- 前記収納空間内の前記揮発性溶媒蒸気の蒸気圧力は前記基板に滴下された液滴に含まれた前記揮発性溶媒の蒸気圧より低いことを特徴とする請求項18記載の液滴供給設備。
- 基板が搭載されるステージに対向するベース本体と、
前記ベース本体に配置され、複数のノズルを含み、液滴を前記基板に滴下する滴下装置と、
前記滴下装置に隣接して配置され、前記基板の上部表面に揮発性溶媒蒸気を供給する蒸気供給装置と、
を含むことを特徴とする液滴供給設備。 - 駆動信号が印加される第1電極を基板に形成する段階と、
前記基板に、前記第1電極の各々の周辺を取り囲んで前記第1電極の上部にキャビティを形成する隔離壁を形成する段階と、
前記キャビティに揮発性溶媒及び有機発光物質を含む液滴を滴下する段階と、
前記液滴上に前記揮発性溶媒蒸気を供給する段階と、
前記液滴を乾燥させて前記第1電極上に有機発光層を形成する段階と、
前記有機発光層を有する基板上に第2電極を形成する段階と、
を含むことを特徴とする表示装置の製造方法。 - 前記揮発性溶媒蒸気を供給する段階は密閉された空間で行われることを特徴とする請求項24記載の表示装置の製造方法。
- 前記有機発光層を形成する段階は、
前記第1電極の表面に正孔注入物質を含む第1液滴を滴下する段階と、
前記第1液滴を乾燥させて正孔注入層を形成する段階と、
前記正孔注入層上に有機発光物質を含む第2液滴を滴下する段階と、
前記第2液滴を乾燥させて前記正孔注入層の上に有機発光層を形成する段階と、
を含むことを特徴とする請求項24記載の表示装置の製造方法。
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