JP2005148375A - 反射防止膜及びそれを備えた反射防止材 - Google Patents

Abstract

【課題】 反射防止膜の表面における反射色を無彩色化することで、この反射防止膜の表面における反射色ムラを低減することができ、その結果、表示面の視認性を向上させることができ、しかも、容易に製造することができ、製造コストを低減することができる反射防止膜及びそれを備えた反射防止材を提供する。
【解決手段】 本発明の反射防止膜は、反射防止層を少なくとも備え、この反射防止層の反射率が１％以下となる波長帯域の幅は１００ｎｍ以上かつ２００ｎｍ以下であることを特徴とする。
【選択図】 図１

Description

本発明は、反射防止膜及びそれを備えた反射防止材に関し、更に詳しくは、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、エレクトロルミネッセントディスプレイ（ＥＬＤ）、ブラウン管（ＣＲＴ）、プロジェクション（ＰＪＴＶ）等の各種画像表示装置の表示面やウインドグラス等に好適に用いられ、特に、表示面における反射色を無彩色化することにより、表示面の視認性を向上させることが可能な反射防止膜、及びこの反射防止膜を基材上に備えた反射防止材に関するものである。

従来、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、エレクトロルミネッセントディスプレイ（ＥＬＤ）、ブラウン管（ＣＲＴ）、プロジェクション（ＰＪＴＶ）等の各種画像表示装置の画像表示部、あるいは建築物や自動車の窓材等に用いられるウインドグラス等においては、外部の光が反射したり、あるいは外部影像が反射したりすることにより、画像表示部の画像や内部を不明瞭にする等の問題点が知られている。
このような反射を防止する方法としては、例えば、画像表示部を構成するポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等のプラスチック板やガラス板の表面に、スパッタリング法や蒸着法により直接、反射防止機能を有する光学薄膜を形成する方法が挙げられる。

ところで、近年における各種画像表示装置の大型化、フラット化、低価格化に伴い、画像表示部に形成される光学薄膜に対しても大型化、製造コストの低減等が要望されている。そこで、大型化への対応が容易、製造が容易、製造コストの低減が可能等の理由から、画像表示装置の画像表示部に帯電防止・反射防止膜付き透明プラスチック基材を粘着した構造のものが提案されている。
このような帯電防止・反射防止膜付き透明プラスチック基材としては、次の様なものが知られている。
（１）透明プラスチック基材上に透明ハードコート層を設け、この透明ハードコート層上に、蒸着法やスパッタリング法等の薄膜技術により透明導電層及び透明反射防止層をそれぞれ１層以上積層した構造のもの。
（２）透明プラスチック基材上に透明ハードコート層を設け、この透明ハードコート層上に、塗工法により、透明導電層及び透明反射防止層を順次形成した構造のもの（例えば、特許文献１参照）。

また、膜の強度と、防汚効果性の持続性を向上させた反射防止膜付き透明プラスチック基材もいくつか提案されている。この場合、視感反射率が２．０％程度のものが主流となっている。
さらに、透明プラスチック基材にポリエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴＦ）を選択した反射防止膜付き透明フィルムも提案されている。
特開２００１−２１７０１号公報

しかしながら、従来の薄膜技術を用いた透帯電防止・反射防止膜付き透明プラスチック基材は、薄膜技術による成膜自体、コストが高く、量産性に劣るという問題点があった。
また、従来の塗工法を用いた透帯電防止・反射防止膜付き透明プラスチック基材は、薄膜技術を用いたものと比べてコスト、量産性の点で優れているものの、例えば、最低反射率が０．５％程度の反射防止性能の良好なものについては、その最外層を低屈折率化させるために、フッ素を含む低屈折率材料を多量に添加する必要があり、反射防止膜としての膜強度が低下するという問題点があった。
この反射防止膜では、反射防止性能を発現するために透明高屈折率層、透明低屈折率層の２層構造としているが、これら透明高屈折率層、透明低屈折率層の微細な膜厚のぶれに起因する反射防止層表面での「反射色ムラ」があり、外観の品位が低下する等の問題点もあった。

また、膜の強度と防汚効果性の持続性を向上させた反射防止膜付き透明プラスチック基材の場合、視感反射率が２．０％程度であるから、反射率を小さくすることが難しく、反射防止性能が十分であるとはいえない。
さらに、反射防止膜付き透明フィルムの場合、３波長形蛍光灯下にて表面観察を行うと、強い「表面ムラ」が生じ、外観の品位が低下する等の問題点があった。

本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、反射防止膜の表面における反射色を無彩色化することで、この反射防止膜の表面における反射色ムラを低減することができ、その結果、表示面の視認性を向上させることができ、しかも、容易に製造することができ、製造コストを低減することができる反射防止膜及びそれを備えた反射防止材を提供することを目的とする。

本発明者等は、鋭意検討を行った結果、複数層を積層した反射防止膜の表面における光の波長と反射率との関係を測定したところ、反射率が１％以下となる波長帯域の幅を１００ｎｍ以上かつ２００ｎｍ以下に限定すれば、

反射防止膜の表面における反射色ムラを低減することができることを見出し、本発明を完成するに至った。

すなわち、本発明の反射防止膜は、反射防止層を少なくとも備え、この反射防止層の反射率が１％以下となる波長帯域の幅は１００ｎｍ以上かつ２００ｎｍ以下であることを特徴とする。
この反射防止膜では、反射率が１％以下となる波長帯域の幅を１００ｎｍ以上かつ２００ｎｍ以下とすることにより、広い波長帯域に亘って反射率が抑えられる。

前記波長帯域の幅における波長の中央値は５３０ｎｍ以上かつ６３０ｎｍ以下の範囲内にあることが好ましい。
前記反射防止層は、複数層とすることが好ましい。
前記複数層のうち少なくとも１層に、４００ｎｍ以上かつ５００ｎｍ以下の波長帯域に光吸収の極大値がある第１の波長吸収剤、及び６６０ｎｍ以上かつ８００ｎｍ以下の波長帯域に光吸収の極大値がある第２の波長吸収剤のうち少なくとも１種を含有することが好ましい。
前記複数層のうち少なくとも１層に、４００ｎｍ以上かつ５００ｎｍ以下の波長帯域及び６６０ｎｍ以上かつ８００ｎｍ以下の波長帯域それぞれに光吸収の極大値がある波長吸収剤を含有することが好ましい。

前記複数層のうち少なくとも１層に、その層の厚みの１．１倍以上かつ１．６倍以下の平均粒径を有する球状微粒子を含有していることが好ましい。
前記球状微粒子は、４００ｎｍ以上かつ５００ｎｍ以下の波長帯域に光吸収の極大値がある第１の波長吸収剤、及び６６０ｎｍ以上かつ８００ｎｍ以下の波長帯域に光吸収の極大値がある第２の波長吸収剤のうち少なくとも１種を含有していることが好ましい。
前記球状微粒子は、４００ｎｍ以上かつ５００ｎｍ以下の波長帯域及び６６０ｎｍ以上かつ８００ｎｍ以下の波長帯域それぞれに光吸収の極大値がある波長吸収剤を含有したものであってもよい。

前記球状微粒子の面密度は、３個／μｍ^２以上かつ３０個／μｍ^２以下であることが好ましい。
前記複数層のうち最も屈折率の低い層の光学膜厚は１４０±３０ｎｍの範囲内であり、最も屈折率の高い層の光学膜厚は最も屈折率の低い層の光学膜厚の１．２倍以上かつ２．５倍以下であることが好ましい。

前記最も屈折率の低い層の屈折率は１．３７以上かつ１．５０以下であり、かつ、この層に含まれるバインダー成分は、シロキサン結合を主鎖とする化合物を含むことが好ましい。
前記最も屈折率の高い層の屈折率は１．６５以上かつ２．４０以下であり、かつ、この層に含まれるバインダー成分は、シロキサン結合を主鎖とする化合物を含むことが好ましい。

前記複数層のうち少なくとも１層に、オルガノシロキサンまたはフルオロ炭素化合物を含むことが好ましい。
前記オルガノシロキサンまたはフルオロ炭素化合物は、アルキル基、イソシアネート基、エポキシ基、アクリル基、アルキル珪素化合物の群から選択された１種または２種以上により変性されていてもよい。
前記オルガノシロキサンの主鎖の珪素数は、３以上かつ１５以下であることが好ましい。
前記フルオロ炭素化合物の炭素数は、３以上かつ１０以下であることが好ましい。

本発明の反射防止材は、本発明の反射防止膜を基材上に備えてなることを特徴とする。
この反射防止材では、本発明の反射防止膜を基材上に備えたことにより、可視光領域での反射率が抑えられ、特に、反射防止膜特有の青色〜紫色の波長帯域の反射色が低減され、無彩色化された反射防止材が得られる。

本発明の反射防止膜によれば、反射防止層の反射率が１％以下となる波長帯域の幅を１００ｎｍ以上かつ２００ｎｍ以下としたので、可視光領域での反射率を低減することができ、特に、青色〜紫色の波長帯域の反射色を低減することができる。したがって、反射色を無彩色化し、自然な反射色とすることができる。
また、構成が簡単であるから、低価格化を図ることができる。

本発明の反射防止材によれば、本発明の反射防止膜を基材上に備えたので、可視光領域での反射率を低減することができ、特に、反射防止膜特有の青色〜紫色の波長帯域の反射色を低減することができ、無彩色化された反射防止材を容易かつ低価格にて得ることができる。

本発明の反射防止膜及びそれを備えた反射防止材を実施するための最良の形態について説明する。
なお、この実施形態は、発明の趣旨をより良く理解させるために具体的に説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。

この反射防止膜は、反射防止層を少なくとも備えた膜であり、この反射防止層の反射率が１％以下となる波長帯域の幅は１００ｎｍ以上かつ２００ｎｍ以下である。そして、この波長帯域の幅における波長の中央値は、５３０ｎｍ以上かつ６３０ｎｍ以下の範囲内である。

この反射防止層における光の波長と反射率との関係は反射曲線と呼ばれ、光の波長に対して反射率が一対一対応の関係になっている。したがって、反射曲線上の反射率が１％以下となる領域は、この反射曲線の可視光領域における最も低い領域である底部領域に対応し、この底部領域の幅が１００ｎｍ以上かつ２００ｎｍ以下ということである。

この反射防止膜では、反射率が１％以下となる波長帯域の幅が１００ｎｍ以上かつ２００ｎｍ以下であるから、広い波長帯域に亘って反射率が１％以下に抑えられ、その結果、表面における反射防止機能が向上する。
また、この波長帯域の幅における波長の中央値を、５３０ｎｍ以上かつ６３０ｎｍ以下の範囲内とすることで、可視光領域での反射率が抑えられ、特に、反射防止膜特有の青色〜紫色の波長帯域の反射色が低減される。その結果、反射色が無彩色化され、自然な反射色となる。

これにより、色むらの発生等が抑えられ、視認性の優れた反射防止膜が得られる。また、視感反射率も低減することができる。特に、この反射防止膜は、各種ディスプレイの表示面等に用いることにより、優れた視認性、反射防止性を得ることができる。

この反射防止膜では、反射防止層を複数層とすることができる。この場合、この複数層のうち少なくとも１層に、反射光色を無彩色にする目的で、４００ｎｍ以上かつ５００ｎｍ以下の波長帯域に光吸収ピーク（光吸収の極大値）がある第１の波長吸収剤、及び６６０ｎｍ以上かつ８００ｎｍ以下の波長帯域に光吸収ピーク（光吸収の極大値）がある第２の波長吸収剤のうち少なくとも１種を含有することが好ましい。

この反射防止膜では、用いられる反射防止膜の特性により、第１の波長吸収剤、第２の波長吸収剤のいずれか一方を含有したものとしてもよいが、第１の波長吸収剤及び第２の波長吸収剤の双方を含有したものが好ましい。
また、４００ｎｍ以上かつ５００ｎｍ以下の波長帯域及び６６０ｎｍ以上かつ８００ｎｍ以下の波長帯域それぞれに光吸収ピーク（光吸収の極大値）がある（第３の）波長吸収剤を含有したものとしてもよい。

これら第１〜第３の波長吸収剤としては、上記の一方の波長帯域、あるいは双方の波長帯域に光吸収ピークのある波長吸収剤を適宜選択使用することができる。例えば、上記のいずれかの波長帯域に光吸収ピークがある波長吸収剤を単独で用いることができ、光吸収ピークが互いに異なる複数種の波長吸収剤を混合して用いることもできる。複数種の波長吸収剤を混合して用いる場合、４００ｎｍ以上かつ５００ｎｍ以下の波長帯域及び６６０ｎｍ以上かつ８００ｎｍ以下の波長帯域それぞれに光吸収ピークがある様に、各々の波長吸収剤を選択するのが望ましい。

これらの波長吸収剤としては、以下に限定されるものではないが、モノアゾレーキ系、モノアゾ系、ジスアゾ系、縮合アゾ系、金属錯塩アゾ系等のアゾ顔料、フタロシアニン系、酸性染料レーキ系、塩基性染料レーキ系、アンスラキノン系、チオインヂゴ系、ベリノン系、ベリレン系、キナグリドン系、ジオキサジン系、イソインドリノン系、キノフタロン系、イソインドリン系、ニトロソ系、アリザリンレーキ系金属錯塩アゾメチン系、アルカリブルー系、昼光蛍光顔料類等より１種類を選択することにより、単独の波長吸収剤として使用することができる。
また、上記の波長吸収剤より２種類以上を選択することにより、複合の波長吸収剤として使用することもできる。

波長吸収剤の具体例としては、以下に限定されるものではないが、モノアゾピグメント、キナクリドン、アイアンオキサイドイエロー、ジスアゾピグメント、フタロシアニングリーン、フタロシアニンブルー、シアニンブルー、フラバンスロンイエロー、ジアンスラキノリルレッド、インダンスロンブルー、チオインディゴボルドー、ペリノンオレンジ、ぺロレンスカーレッド、ペリレンレッド１７８、ペリレンマルーン、ジオキサジンバイオレット、イソインドリノンエロー、キノフタロンエロー、イソインドリンエロー、ニッケルニトロソエロー、マダーレーキ、銅アゾメチンエロー、アニリンブラック、アルカリブルー、弁柄、酸化クロム、黒鉄、チタンエロー、コバルトブルー、セルリアンブルー、コバルトグリーン、ビリジアン、カドミウムエロー、カドミウムレッド、朱、リトポン、黄鉛、モリブデートオレンジ、クロム酸亜鉛、群青、マンガンバイオレット、コバルトバイオレット、エメラルドグリーン、紺青、カーボンブラック、各種金属粉等の有機および無機顔料が好適に用いられる。

また、アゾ染料、フタリシアニン染料、カルボニウム染料、キノンイミン染料、メチン染料、キノリン染料、ニトロ染料、ニトロソ染料、ベンゾキノン染料、ナフトキノン染料、ナフタルイミド染料、ベリノン染料などの染料も好適に用いられる。

また、この複数層のうち少なくとも１層に、その層の厚みの１．１倍以上かつ１．６倍以下の平均粒径を有する球状微粒子を含有することが好ましい。
この球状微粒子は、４００ｎｍ以上かつ５００ｎｍ以下の波長帯域に光吸収ピークがある第１の波長吸収剤、及び６６０ｎｍ以上かつ８００ｎｍ以下の波長帯域に光吸収ピークがある第２の波長吸収剤のうち少なくとも１種を含有することが好ましい。
この球状微粒子は、４００ｎｍ以上かつ５００ｎｍ以下の波長帯域及び６６０ｎｍ以上かつ８００ｎｍ以下の波長帯域それぞれに光吸収ピークがある（第３の）波長吸収剤を含有したものであってもよい。

上記の球状微粒子の面密度は、好ましくは、３個／μｍ^２以上かつ３０個／μｍ^２以下である。
また、これら複数層のうち最も屈折率の低い層の光学膜厚は１４０±３０ｎｍの範囲内であり、最も屈折率の高い層の光学膜厚は最も屈折率の低い層の光学膜厚の１．２倍以上かつ２．５倍以下である。

この反射防止膜では、従来の複数層を積層した反射防止膜において問題とされた、低反射領域の幅が狭い、反射光に色が付くために反射色が発生する、視認性に劣るという点を改善することができる。
すなわち、この反射防止膜は、第１の波長吸収剤、第２の波長吸収剤のいずれか一方、または第１の波長吸収剤及び第２の波長吸収剤の双方、あるいは、第１の波長吸収剤と第２の波長吸収剤を兼ね備えた第３の波長吸収剤を含有したものであるから、低反射領域の幅が広がり、反射色が無彩色となり、反射防止膜特有の青色〜紫色の反射色を低減することができ、自然な反射光となる。

したがって、「反射色むら」の発生等も抑えられ、視認性の優れた反射防止膜が得られる。また、視感反射率も低減することができる。
特に、この反射防止膜では、反射曲線上の反射率が１％以下となる波長帯域の幅における波長の中央値を５３０ｎｍ以上かつ６３０ｎｍ以下の範囲内としたので、各種ディスプレイの表示面に用いれば、優れた視認性、反射防止性を得ることができる。

この反射防止膜を基材上に形成することにより、本実施形態の反射防止材が得られる。
上記の基材としては、その材質等、特に限定されることなく、例えば、ガラス基材、プラスチック（合成樹脂）基材等が使用できるが、プラスチック基材が好ましい。特に、可視光に対して透明な透明プラスチック基材が好ましい。
プラスチック基材としては、特に限定されるものではないが、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）基材、トリアセチルセルロース基材、ポリカーボネート（ＰＣ）基材、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）基材、ポリアクレリート（ＰＡ）基材、ノルボンネン系基材、非晶質ポリオレフィン系基材等の透明プラスチック基材から適宜選択することができる。また、その厚みも特段限定されるものではなく、フィルムであれば通常５０〜２５０μｍ、シートであれば１０ｍｍ程度あるいはそれ以下の厚みのものが好適である。

本実施形態の反射防止膜は、複数層を積層してなる反射防止層を備えたものであるが、この反射防止層の上面、または下面、あるいは上面及び下面の双方に、帯電防止層、電磁波遮蔽層等の他の機能を有する薄膜を形成した構成としてもよい。
次に、本発明の反射防止材の好ましい形態の一つとして、透明フィルム（プラスチック基材）上に形成された透明ハードコート層上に、透明高屈折率層と透明低屈折率層とを積層した２層の反射防止層からなる反射防止膜を形成した帯電防止・反射防止膜付き透明フィルムを例にとり説明する。

「基材」
上述した基材を用いることができるが、好ましいのはフィルム状あるいはシート状のプラスチック基材であり、特に、可視光に対して透明な透明プラスチック基材が好ましい。
「透明ハードコート層」
透明ハードコート層は、基材の表面（一主面）に形成されるもので、アクリル系、アクリルウレタン系、エポキシ系、ポリエステル系、シリコーン系等をベースとするハードコート樹脂、チオール基またはピロール基を含有する導電性高分子型ハードコート樹脂、これらのハードコート樹脂中に導電性微粒子を分散させた帯電防止性ハードコート樹脂等より適宜選択使用することができる。
このハードコート層の密着性、強度等を向上させるために、有機あるいは無機の微粒子を添加してもよい。無機の微粒子としては、酸化物微粒子が好ましい。

この透明ハードコート層を塗工法で形成する場合、ハードコート樹脂と、溶剤と、必要に応じて添加剤や微粒子等とを混合した塗料が用いられる。
溶剤としては、アルコール系、グリコール系、酢酸エステル系、ケトン系等から適宜選択使用することができ、これらは、単一種で用いてもよく、２種類以上混合して使用しても良い。

塗工法としては、各種の塗工法が可能であり、例えば、バーコート法、グラビアコート法、スリットコート法、ロールコート法、ディップコート法等から適宜選択することができる。
塗膜の厚みは、０．５μｍ以上かつ２０μｍ以下が好ましく、０．５μｍ以上かつ２μｍ以下がさらに好ましい。
膜厚が０．５μｍ未満では、充分な膜硬度の発現を図ることができず、一方、２０μｍを超えると、乾燥に長時間を有するのみでなく、膜内の収縮応力が大きくなり、さらに、塗料の使用量に比例して製造コストが上昇する等の点から好ましくない。

この塗膜を室温（２５℃）以上の温度にて乾燥することにより、塗膜中の溶剤を除去し、その後、所定の硬化方法を用いてハードコート樹脂を硬化させる。
ハードコート樹脂の硬化方法としては、加熱、放射線（紫外線、電子線を含む）照射、乾燥（風乾）の何れでも良く、使用目的に合わせて適宜選択することができる。

「透明高屈折率層」
透明高屈折率層は、透明ハードコート層上に積層されるもので、その屈折率は１．６５以上かつ２．４０以下であり、シリカ（ＳｉＯ_２）より屈折率の高い高屈折率酸化物微粒子と、バインダー成分により構成される。
バインダー成分としては、特に限定するものではないが、シロキサン結合を主鎖とする化合物からなることが好ましい。この化合物としては、シリコンアルコキシドおよび／またはその加水分解生成物、またはこれらに由来するシリカのマトリックスが好適である。
このバインダー成分中には、高屈折率酸化物微粒子が均一に分散され、固定化されている。特に、シリカのマトリックス中に高屈折率酸化物微粒子が固定化された構造が好ましい。

高屈折率酸化物微粒子としては、アンチモン含有酸化錫（ＡＴＯ：Antimony Tin Oxide）、錫含有酸化インジウム（ＩＴＯ：Indium Tin Oxide）、アルミニウム含有酸化亜鉛（Aluminium Zinc Oxide）、酸化セリウム（ＣｅＯ_２）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ_２）、酸化チタン（ＴｉＯ_２）、酸化タンタル（Ｔａ_２Ｏ_５、ＴａＯ_２、…）等が、透明性に優れた透明高屈折率層を形成することができ、好適に使用される。

この高屈折率酸化物微粒子の１次粒子の平均粒子径は、１ｎｍ以上かつ１００ｎｍ以下が好ましい。平均粒子径が１ｎｍ未満では、塗工法により膜を形成する場合、透明高屈折率層形成用塗料を作製する際に凝集が生じ易く、均一な分散が困難になり、さらに塗料の粘度が増大し、分散不良が生じ易くなり、所望の塗料が得られないからであり、また、平均粒子径が１００ｎｍを超えると、得られる高屈折率層のレイリー散乱による光の乱反射が著しくなり、その結果、膜が白く濁って見えるようになり、透明性が低下するからである。

この高屈折率酸化物微粒子の透明高屈折率層における含有量は５０重量％以上が好ましく、さらに好ましくは６０重量％以上かつ９５重量％以下である。
その理由は、含有量が５０重量％未満では、相対的にシリコンアルコキシドおよび／またはその加水分解生成物またはこれらに由来するシリカの含有量が増加し、屈折率の低下が生じ、その結果、所望の屈折率を有する高屈折率層が得られず、その上、反射率が増大するからであり、また、含有量が９５重量％を超えると、シリコンアルコキシドおよび／またはその加水分解生成物またはこれらに由来するシリカのマトリックスが相対的に少なくなるために、このマトリックス中に高屈折率酸化物微粒子を固定化することができなくなるからであり、その上、この透明高屈折率層上に後述する透明低屈折率層を形成する際に、透明低屈折率層に傷が入り易くなり、外観不良を生じさせる虞があるからである。

この透明高屈折率層は、反射光色を無彩色化するために、４００ｎｍ以上かつ５００ｎｍ以下の波長帯域に光吸収ピークがある第１の波長吸収剤、６６０ｎｍ以上かつ８００ｎｍ以下の波長帯域に光吸収ピークがある第２の波長吸収剤のいずれか１種を単独で含有したものであってもよく、これら第１及び第２の波長吸収剤の双方を含有したものであってもよい。あるいは、４００ｎｍ以上かつ５００ｎｍ以下の波長帯域及び６６０ｎｍ以上かつ８００ｎｍ以下の波長帯域それぞれに光吸収ピークがある（第３の）波長吸収剤を含有したものであってもよい。
これらの波長吸収剤を用いることで、反射防止膜の反射率を広範囲の波長帯域で低減させることが可能となり、低反射領域の幅が広がる。これにより、反射防止膜特有の青色〜紫色の反射色が低減され、反射色が無彩色化され、自然な反射光となる。

また、この透明高屈折率層に、その層厚の１．１〜１．６倍の平均粒子径を有する透明な球状フィラー（球状微粒子）を、１μｍ^２中に３〜３０個（面密度：３〜３０個／μｍ^２）添加することで、膜表面に微細な凹凸を形成することができ、したがって、塗工時の微細な膜厚ぶれに起因する反射防止膜の反射色ムラを低減することができる。
ここで、球状フィラーの平均粒子径を透明高屈折率層の層厚の１．１〜１．６倍としたのは、平均粒子径が層厚の１．１倍未満では、球状フィラーが膜中に完全に取り込まれてしまい、膜表面に凹凸を形成することができなくなるからであり、また、層厚の１．６倍を越えると、レイリー散乱による光の乱反射が著しくなり、白く濁って見えるようになり、膜の透明性が低下するからである。

また、球状フィラーの添加量を３〜３０個／μｍ^２としたのは、３個／μｍ^２未満では、球状フィラーを膜表面に凹凸を形成するのに充分な程度までに分布させることができず、したがって、膜表面の凹凸が疎になってしまい、膜表面の凹凸による効果が得られないからであり、３０個／μｍ^２を越えると、過剰な球状フィラーによる光散乱の増加により、膜の表面が白く濁って見えるようになってしまい、膜の透明性が低下するからである。
この球状フィラーとしては、透明かつ粒子径の揃っている微粒子であればよく、例えば、シリコーンビーズ、アクリルビーズ等の単分散球状微粒子が好適に用いられる。

この透明高屈折率層を塗工法で形成する場合、上記の高屈折率酸化物微粒子と、シリコンアルコキシドおよび／またはその加水分解生成物と、分散剤と、有機溶剤と、必要に応じて添加される上記の球状フィラーとを含む透明高屈折率層形成用塗料が用いられる。
この透明高屈折率層形成用塗料は、超音波分散機、ホモジナイザー、サンドミル等、通常の分散手段を用いて、上記の高屈折率酸化物微粒子、シリコンアルコキシドおよび／またはその加水分解生成物、必要に応じて添加される球状フィラーを、分散剤を用いて有機溶剤中に分散させることにより得られる。

シリコンアルコキシドとしては、例えば、テトラエトキシシラン（Ｓｉ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４）、テトラメトキシシラン（Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_４）等のテトラアルコキシシラン系化合物の他、アルキルトリアルコキシシラン系化合物等から適宜選択することができる。
また、有機溶剤としては、アルコール系、グリコール系、酢酸エステル系、ケトン系等から適宜選択することができ、これらは単一種でもよく、２種類以上の混合物として使用しても良い。

この透明高屈折率層形成用塗料を上記の透明ハードコート層上に塗布し、例えば、７０〜１３０℃にて１分以上乾燥することにより、透明高屈折率層が得られる。
塗工方法としては、例えば、バーコート法、グラビアコート法、スリットコート法、ロールコート法、ディップコート法等から適宜選択することができる。
乾燥温度については、使用する基材、例えば、透明プラスチック基材の熱変形が起こらない範囲で高温が好ましい。また、７０℃未満の低温にて乾燥させる場合、塗料の硬化速度が遅延し強度が発現し難くなるので、乾燥時間を延長することにより膜硬度を得ることが可能である。

この透明高屈折率層の光学膜厚は、この透明高屈折率層上に形成される透明低屈折率層の光学膜膜の１．２〜２．５倍に設定するのがよい。ここで、「光学膜厚」Ｔは、下記の式（１）で表すことができる。
Ｔ＝ｎ×ｄ …（１）
但し、ｎ：膜の屈折率
ｄ：実際の膜厚

ここで、光学膜膜の１．２〜２．５倍に設定した理由を説明する。
従来、高屈折率層及び低屈折率層を有する２層構造の反射防止膜では、低屈折率層の光学膜厚を、目標とする最低反射率における波長（ボトム波長）λの１／４に設定するのが一般的である。
この膜厚設計に従って反射防止膜を作製した場合、ボトム波長λにおける反射率は最も低くなるものの、それよりも長波長側および短波長側での反射率が増大するために、この部分における反射色が強くなり、きつい青紫から赤紫の反射色を呈するようになり、更には、目視での反射率の指標である視感度反射率の増大にも繋がる。

そこで、ボトム波長λよりも長波長側および短波長側の反射率の増大を抑えるべく検討を行ったところ、透明高屈折率層の光学膜厚を、透明低屈折率層の光学膜膜の１．２〜２．５倍と、これまで光学膜厚よりも厚めに設定することで解決できることを見出した。さらに、既に説明したとおり、４００ｎｍ以上かつ５００ｎｍ以下の波長帯域に光吸収ピークがある第１の波長吸収剤、及び６６０ｎｍ以上かつ８００ｎｍ以下の波長帯域に光吸収ピークがある第２の波長吸収剤を、単独もしくは混合して含有させることで、さらに反射光色の無彩色化が可能であることを見出した。
この透明高屈折率層の光学膜厚のより好ましい範囲は、透明低屈折率層の光学膜膜の１．４〜１．９倍である。

「透明低屈折率層」
透明低屈折率層は、透明高屈折率層上に積層されるもので、その屈折率は１．３７以上かつ１．５０以下であり、この層の主成分となるバインダー成分としては、特に限定するものではないが、シロキサン結合を主鎖とする化合物を含むことが好ましい。この透明低屈折率層は、例えば、シリコンアルコキシドおよび／またはその加水分解生成物またはシリカからなる層が好適に用いられ、必要により低屈折率微粒子等を含有してもよい。
この透明低屈折率層の屈折率は、透明高屈折率層の屈折率よりも０．１以上小さいことが好ましく、このような透明低屈折率層を設けることにより極めて優れた反射防止性を示すものとなる。

この透明低屈折率層を塗工法で形成する場合、シリコンアルコキシドおよび／またはその加水分解生成物、有機溶剤、必要に応じて添加される上記の低屈折率微粒子を含む透明低屈折率層形成用塗料が用いられる。
シリコンアルコキシドとしては、例えば、テトラエトキシシラン（Ｓｉ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４）、テトラメトキシシラン（Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_４）等のテトラアルコキシシラン系化合物の他、アルキルトリアルコキシシラン系化合物、フッ素含有アルキルトリアルキルアルコキシシラン系化合物等から適宜選択することができる。
また、有機溶剤としては、アルコール系、グリコール系、酢酸エステル系、ケトン系等から適宜選択することができ、これらは単一種でもよく、２種類以上の混合物として使用しても良い。

さらに、オルガノシロキサンまたはフルオロ炭素化合物を含有してもよい。
このオルガノシロキサンとしては、ジアルキルアルコキシシラン化合物が挙げられ、中でも、オルガノポリシロキサンが好適に用いられ、特にジメチルポリシロキサン（シリコーンオイル）が好適に用いられる。

このオルガノシロキサンの替わりに、アルキル基、イソシアネート基、エポキシ基、アクリル基、アルキル珪素化合物の群から選択された１種または２種以上により変性された変性オルガノシロキサンを用いてもよい。
アルキル珪素化合物は、少なくともアルキル基を１つ以上有する有機珪素化合物のことであり、シリコンアルコキシドの他、オルガノシランの一部をアルキル基で置換したオルガノアルコキシシラン等が好適に用いられる。
この変性オルガノシロキサンとしては、変性オルガノポリシロキサン、特にジメチルポリシロキサン（シリコーンオイル）を変性した変性ジメチルポリシロキサン（変性シリコーンオイル）が好適に用いられる。

また、上記のフルオロ炭素化合物としては、フルオロアルキルアルコキシシラン化合物が挙げられ、中でも、ジメチルポリシロキサン（シリコーンオイル）の水素の一部をフッ素で置換したフッ素オイルが好適に用いられる。このフッ素オイルの替わりに、アルキル基、イソシアネート基、エポキシ基、アクリル基、アルキル珪素化合物の群から選択された１種または２種以上により変性された変性フッ素オイルを用いてもよい。

このオルガノシロキサンまたはフルオロ炭素化合物は、透明屈折率層形成用塗料中に０．０１〜５．０重量％含有することが好ましい。
オルガノシロキサンまたはフルオロ炭素化合物の含有量が０．０１重量％未満では、オルガノシロキサンまたはフルオロ炭素化合物が透明低屈折率層の表面に十分に分布せず、水に対する接触角が９０°未満となり、十分な撥水性が得られず、したがって、膜強度が向上せず、防汚性も得られないからであり、また、含有量が５．０重量％を超えると、オルガノシロキサンまたはフルオロ炭素化合物が透明低屈折率層の表面で過度に存在するために、水に対する接触角が９０°を超え十分な撥水性を得ることができるものの、シリコンアルコキシドおよび／またはその加水分解生成物の重合硬化反応を阻害し、膜強度を低下させるからである。

オルガノシロキサンまたはフルオロ炭素化合物は、反射防止層を構成する高屈折率層、低屈折率層のいずれの層に含有させてもよいが、低屈折率層あるいは最外層に含有させることが好ましく、さらには、上記の低屈折率層を最外層として、この最外層にオルガノシロキサンまたはフルオロ炭素化合物を含有させることが好ましい。

また、この透明低屈折率層の反射光色を無彩色にする目的で、４００ｎｍ以上かつ５００ｎｍ以下の波長帯域に光吸収ピークがある第１の波長吸収剤、及び６６０ｎｍ以上かつ８００ｎｍ以下の波長帯域に光吸収ピークがある第２の波長吸収剤のうち少なくとも１種、あるいは第１の波長吸収剤及び第２の波長吸収剤の双方を含有してもよい。
また、４００ｎｍ以上かつ５００ｎｍ以下の波長帯域及び６６０ｎｍ以上かつ８００ｎｍ以下の波長帯域それぞれに光吸収ピークがある（第３の）波長吸収剤を含有してもよい。
これらの波長吸収剤を用いることで、反射防止膜の反射スペクトルを広範囲の波長帯域で低減させることが可能となり、さらには視感度反射率を低減させることができる。

また、この透明低屈折率層に、その層厚の１．１〜１．６倍の平均粒子径を有する透明な球状フィラーを、１μｍ^２中に３〜３０個（面密度：３〜３０個／μｍ^２）添加することで、膜表面に微細な凹凸を形成することができ、したがって、塗工時の微細な膜厚ぶれに起因する反射防止膜の反射色ムラを低減することができる。
ただし、球状フィラーの平均粒子径が層厚の１．１倍未満では、球状フィラーが膜中に完全に取り込まれてしまい、膜表面に凹凸を形成することができなくなり、好ましくない。また、層厚の１．６倍を越えると、レイリー散乱による光の乱反射が著しくなり、白く濁って見えるようになり、膜の透明性が低下するので好ましくない。

また、球状フィラーの添加量も、３個／μｍ^２未満では、球状フィラーを膜表面に凹凸を形成するのに充分な程度までに分布させることができず、したがって、膜表面の凹凸が疎になってしまい、膜表面の凹凸による効果が得られないために好ましくない。また、３０個／μｍ^２を越えると、過剰な球状フィラーによる光散乱の増加により、膜の表面が白く濁って見えるようになってしまい、膜の透明性が低下するので好ましくない。
この球状フィラーとしては、透明かつ粒子径の揃っている微粒子であればよく、例えば、シリコーンビーズ、アクリルビーズ等の単分散球状微粒子が好適に用いられる。

この透明低屈折率層形成用塗料を上記の透明高屈折率層上に塗布し、例えば、７０〜１３０℃にて１分以上乾燥して、乾燥後の膜厚を、光学膜厚で１４０ｎｍになるように調整することで、ボトム波長が６００付近の帯電防止・反射防止膜付き透明プラスチック基材を作製することができる。
なお、ボトム波長についても、この値に限定されるものではない。
塗工方法としては、例えば、バーコート法、グラビアコート法、スリットコート法、ロールコート法、ディップコート法等から適宜選択することができる。
乾燥温度については、使用する基材、例えば、透明プラスチック基材の熱変形が起こらない範囲で高温が好ましい。また、７０℃未満の低温にて乾燥させる場合、塗料の硬化速度が遅延し強度が発現し難くなるので、乾燥時間を延長することにより膜硬度を得ることが可能である。

以上により、帯電防止・反射防止膜付き透明フィルムを得ることができる。
この帯電防止・反射防止膜付き透明フィルムは、３波長蛍光灯下で観察される外観ムラ、反射防止層の微細な膜厚ずれに起因する反射色ムラを低減することができる。
また、透明ハードコート層及び透明高屈折率層に酸化物微粉末を含むこととすれば、酸化物微粉末を含む層の表面エネルギーが増大し、各層への濡れ性が著しく向上し、この濡れ性改善効果が層間の密着力を高め、従来よりも高い膜硬度を発現することができる。

さらに、最外層である透明低屈折率層がオルガノシロキサンまたはフルオロ炭素化合物を含有しているので、オルガノシロキサンまたはフルオロ炭素化合物がシリカマトリックス中に取り込まれて簡単に滲み出すことがなくなり、したがって、水に対する接触角が９０°を超えることとなり、撥水性を発現することができる。この撥水効果は、膜の表面を綿布等で擦っても効果が維持されることから、従来よりも高い防汚性を得ることができる。

以下、実施例１〜３及び比較例１、２により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。
（実施例１）
「透明ハードコート層形成用塗料Ａ１の調整」
多官能アクリレート化合物（日本化薬社製：ＤＰＨＡ）３０ｇとトルエン７０ｇを混合溶解し、塗料Ａ１とした。

「透明高屈折率層形成用塗料Ｂ１の調整」
テトラエトキシシラン４．１６ｇと、１規定の硝酸０．１４ｇと、純水１．８ｇと、エタノール４．０５ｇを混合し、溶液を作製した。
次いで、この溶液に、酸化チタン微粉末（日本アエロジル社製、Ｐ２５、平均一次粒子径：２１ｎｍ）１．８ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテル１０ｇ、ブルー顔料粉末（光吸収ピーク：６７０〜７２０ｎｍ、東洋インキ社製、CYANINE BLUE BNRS）０．１５ｇ、エタノール７７．９ｇを加え、超音波ホモジナイザーにより１０分間分散処理を施し、均一な塗料Ｂ１とした。

「透明低屈折率層形成用塗料Ｃ１の調整」
テトラエトキシシラン７．６ｇと、１規定の硝酸０．２３ｇと、純水９．０ｇと、黄色染料（光吸収ピーク：４８０ｎｍ、Bayer.A.G.leverkusen社製、ASTRAZON YELLOE）０．２４ｇと、メタノール７２．７８ｇと、プロピレングリコールモノメチルエーテル１０ｇと、シリコーンオイルをアルコールで変性した変性シリコーンオイル（東レダウコーニング社製、ＳＦ８４２７）０．１５ｇとを混合し、均一な塗料Ｃ１とした。

「反射防止材の作製」
厚み１００μｍのＰＥＴフィルム（三菱化学ポリエステルフィルム社製、T-600E）の一方の面に透明ハードコート層形成用塗料Ａ１を、バーコート法により乾燥後の膜厚が１．５μｍになるように塗布し、乾燥器を用いて８０℃にて１分間乾燥し、その後、３６５ｎｍの波長を主ピークとする高圧水銀灯の紫外線照射装置で紫外線を照射（２５０ｍＪ）させることにより、ＰＥＴフィルム上に透明ハードコート層を形成した。

次いで、この透明ハードコート層上に、バーコート法により透明高屈折率層形成用塗料Ｂ１を乾燥後の光学膜厚が低屈折率層の１．４〜１．６倍となるように塗布し、その後、乾燥器を用いて１００℃にて１分間乾燥させ、透明高屈折率層を形成した。さらに、この透明高屈折率層上に透明低屈折率層形成用塗料Ｃ１を乾燥後の光学膜厚が１４０ｎｍ±２０ｎｍの範囲内となるように塗布し、乾燥器を用いて１００℃にて１０分間、乾燥・硬化させることにより、実施例１の反射防止材を作製した。

（実施例２）
「透明低屈折率層形成用塗料Ｃ２の調整」
テトラエトキシシラン７．４３ｇと、１規定の硝酸０．２３ｇと、純水９．０ｇと、メタノール７３．１４ｇと、プロピレングリコールモノメチルエーテル１０ｇと、フッ素オイルをアルコールで変性した変性フッ素オイル（東レダウコーニング社製、ＴＳＬ８４２７）０．１５ｇとを混合し、均一化させた。その後、この溶液に酸化珪素微粒子（日本アエロジル社製、Aerosil TT600、平均一次粒子径：約６０ｎｍ（二次凝集タイプ））を０．０５ｇ添加し、超音波ホモジナイザーにより３分間、低屈折率層の層厚の１．４倍の平均２次粒子径となるように分散処理を施し、均一な塗料Ｃ２とした。
その後、この透明低屈折率層形成用塗料Ｃ２を用い、他は実施例１に準じて実施例２の反射防止材を作製した。

（実施例３）
「透明低屈折率層形成用塗料Ｃ３の調整」
テトラエトキシシラン７．６ｇと、１規定の硝酸０．２３ｇと、純水９．０ｇと、メタノール７２．７８ｇと、プロピレングリコールモノメチルエーテル１０ｇと、変性シリコーンオイル（東レダウコーニング社製、ＳＦ８４２７）０．１５ｇとを混合し、その後、この溶液に波長吸収剤（吸収ピーク：４８０ｎｍおよび６８０〜７２０ｎｍ、みどり化学社製、ＭＩＲ１０１）を０．２４ｇ添加し、溶解させて、均一な塗料Ｃ３とした。
その後、この透明低屈折率層形成用塗料Ｃ３を用い、他は実施例１に準じて実施例３の反射防止材を作製した。

（比較例１）
「透明高屈折率層形成用塗料Ｂ２の調整」
テトラエトキシシラン４．１６ｇと、１規定の硝酸０．１４ｇと、純水１．８ｇと、エタノール４．０５ｇを混合し、溶液を作製した。
次いで、この溶液に、酸化チタン微粉末（日本アエロジル社製、Ｐ２５、平均一次粒子径：２１ｎｍ）１．８ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテル１０ｇ、エタノール７８．０５ｇを加え、超音波ホモジナイザーにより１０分間分散処理を施し、均一な塗料Ｂ２とした。

「透明低屈折率層形成用塗料Ｃ４の調整」
テトラエトキシシラン７．６ｇと、１規定の硝酸０．２３ｇと、純水９．０ｇと、メタノール７３．０２ｇと、プロピレングリコールモノメチルエーテル１０ｇと、変性シリコーンオイル（東レダウコーニング社製、ＳＦ８４２７）０．１５ｇとを混合し、均一な塗料Ｃ４とした。
その後、この透明高屈折率層形成用塗料Ｂ２及び透明低屈折率層形成用塗料Ｃ４を用い、他は実施例１に準じて比較例１の反射防止材を作製した。

（膜の評価）
実施例１〜３及び比較例１各々の反射防止材の評価を行った。
表１には、実施例１〜３及び比較例１各々の反射防止材の特性の評価結果を、図１〜図４には、実施例１〜３及び比較例１各々の反射防止材の反射スペクトルを、それぞれ示してある。

評価項目は、全光線透過率、ヘイズ値、最低反射率、視感度反射率、膜強度（鉛筆硬度、スチールウール強度）、水に対する接触角、密着性、ＰＥＴ表面屈折率、易接着層屈折率、ハードコート屈折率、膜の外観むら、の１２項目とした。
評価方法は以下の通りである。
全光線透過率：日本工業規格「ＪＩＳ Ｋ ７１０５」に準じ、ヘイズメータ （日本電色社製）にて測定
ヘイズ値 ：同上
最低反射率 ：紫外・可視光分光光度計Ｖ−５７０（日本分光社製）を用い、
５°正反射率を測定
視感度反射率：紫外・可視光分光光度計Ｖ−５７０（日本分光社製）を用いて 測定した値に比視感度値を掛けて算出

鉛筆硬度 ：日本工業規格「ＪＩＳ Ｋ ５４００」に準じ、１ｋｇ荷重下で 傷がつかない鉛筆硬度
スチールウール強度：＃００００スチールウールに２５０ｇ／ｃｍ^２の荷重を
負荷しながら１０回往復させたあとに発生した傷の本数を計数
水に対する接触角：動的接触角測定装置（協和界面化学社製）にて測定
密着性 ：日本工業規格「ＪＩＳ Ｋ ５４００」に準じ、膜表面の１ｃｍ 角の各辺を１ｍｍ間隔で切り込みをいれ、その表面を粘着テー プで３回剥離試験をした後の残存する升目の数を計数
膜の外観むら：目視にて評価

以上の評価結果によれば、実施例１〜３の反射防止材では、反射曲線の可視光領域の底部領域を５３０〜６５０ｎｍとし、低屈折率層の光学薄膜を１４０ｎｍ±３０ｎｍでかつ高屈折率層の光学薄膜を低屈折率層の光学薄膜の１．４〜１．６倍で構成し、波長吸収剤の添加を併用することにより、ボトム波長より長波長側、低波長側の反射率の上昇をさらに和らげ無彩色化できることが分かった。また、光学薄膜に凹凸を形成すると更に効果的であることが分かった。

本発明の反射防止膜及び反射防止材は、表面における反射色を無彩色化することで、この反射防止膜の表面における反射色ムラを低減することができ、その結果、表示面の視認性を向上させることができ、しかも、容易に製造することができ、製造コストを低減することができることから、ＰＤＰ、ＬＣＤ、ＥＬＤ、ＣＲＴ、ＰＪＴＶ等の各種画像表示装置の画像表示部に適用した場合に、画面全体に亘って極めて優れた表示性能を有することができる。
この反射防止膜及び反射防止材は、上記の各種画像表示装置のみならず、表面における反射色ムラを低減することが要望されている各種製品においても、その効果は大である。

本発明の実施例１の反射防止材の反射スペクトルを示す図である。 本発明の実施例２の反射防止材の反射スペクトルを示す図である。 本発明の実施例３の反射防止材の反射スペクトルを示す図である。 比較例１の反射防止材の反射スペクトルを示す図である。

Claims (17)

1. 反射防止層を少なくとも備え、
   この反射防止層の反射率が１％以下となる波長帯域の幅は１００ｎｍ以上かつ２００ｎｍ以下であることを特徴とする反射防止膜。
2. 前記波長帯域の幅における波長の中央値は５３０ｎｍ以上かつ６３０ｎｍ以下の範囲内にあることを特徴とする請求項１記載の反射防止膜。
3. 前記反射防止層は、複数層からなることを特徴とする請求項１または２記載の反射防止膜。
4. 前記複数層のうち少なくとも１層に、４００ｎｍ以上かつ５００ｎｍ以下の波長帯域に光吸収の極大値がある第１の波長吸収剤、及び６６０ｎｍ以上かつ８００ｎｍ以下の波長帯域に光吸収の極大値がある第２の波長吸収剤のうち少なくとも１種を含有してなることを特徴とする請求項３記載の反射防止膜。
5. 前記複数層のうち少なくとも１層に、４００ｎｍ以上かつ５００ｎｍ以下の波長帯域及び６６０ｎｍ以上かつ８００ｎｍ以下の波長帯域それぞれに光吸収の極大値がある波長吸収剤を含有してなることを特徴とする請求項３または４記載の反射防止膜。
6. 前記複数層のうち少なくとも１層に、その層の厚みの１．１倍以上かつ１．６倍以下の平均粒径を有する球状微粒子を含有してなることを特徴とする請求項３、４または５記載の反射防止膜。
7. 前記球状微粒子は、４００ｎｍ以上かつ５００ｎｍ以下の波長帯域に光吸収の極大値がある第１の波長吸収剤、及び６６０ｎｍ以上かつ８００ｎｍ以下の波長帯域に光吸収の極大値がある第２の波長吸収剤のうち少なくとも１種を含有してなることを特徴とする請求項６記載の反射防止膜。
8. 前記球状微粒子は、４００ｎｍ以上かつ５００ｎｍ以下の波長帯域及び６６０ｎｍ以上かつ８００ｎｍ以下の波長帯域それぞれに光吸収の極大値がある波長吸収剤を含有してなることを特徴とする請求項６記載の反射防止膜。
9. 前記球状微粒子の面密度は、３個／μｍ^２以上かつ３０個／μｍ^２以下であることを特徴とする請求項６、７または８記載の反射防止膜。
10. 前記複数層のうち最も屈折率の低い層の光学膜厚は１４０±３０ｎｍの範囲内であり、最も屈折率の高い層の光学膜厚は最も屈折率の低い層の光学膜厚の１．２倍以上かつ２．５倍以下であることを特徴とする請求項３ないし９のいずれか１項記載の反射防止膜。
11. 前記最も屈折率の低い層の屈折率は１．３７以上かつ１．５０以下であり、かつ、この層に含まれるバインダー成分は、シロキサン結合を主鎖とする化合物を含むことを特徴とする請求項１０記載の反射防止膜。
12. 前記最も屈折率の高い層の屈折率は１．６５以上かつ２．４０以下であり、かつ、この層に含まれるバインダー成分は、シロキサン結合を主鎖とする化合物を含むことを特徴とする請求項１０記載の反射防止膜。
13. 前記複数層のうち少なくとも１層に、オルガノシロキサンまたはフルオロ炭素化合物を含むことを特徴とする請求項３ないし１２のいずれか１項記載の反射防止膜。
14. 前記オルガノシロキサンまたはフルオロ炭素化合物は、アルキル基、イソシアネート基、エポキシ基、アクリル基、アルキル珪素化合物の群から選択された１種または２種以上により変性されていることを特徴とする請求項１３記載の反射防止膜。
15. 前記オルガノシロキサンの主鎖の珪素数は３以上かつ１５以下であることを特徴とする請求項１３または１４記載の反射防止膜。
16. 前記フルオロ炭素化合物の炭素数は３以上かつ１０以下であることを特徴とする請求項１３または１４記載の反射防止膜。
17. 請求項１ないし１６のいずれか１項記載の反射防止膜を基材上に備えてなることを特徴とする反射防止材。

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