JP2005147671A5 - - Google Patents
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003380632A JP2005147671A (ja) | 2003-11-11 | 2003-11-11 | 荷電粒子線調整方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003380632A JP2005147671A (ja) | 2003-11-11 | 2003-11-11 | 荷電粒子線調整方法および装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2005147671A JP2005147671A (ja) | 2005-06-09 |
| JP2005147671A5 true JP2005147671A5 (enExample) | 2007-01-25 |
Family
ID=34690252
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003380632A Pending JP2005147671A (ja) | 2003-11-11 | 2003-11-11 | 荷電粒子線調整方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2005147671A (enExample) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008041586A (ja) * | 2006-08-10 | 2008-02-21 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査荷電粒子線装置 |
| JP2008270025A (ja) * | 2007-04-23 | 2008-11-06 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子ビーム装置 |
| US7888640B2 (en) * | 2007-06-18 | 2011-02-15 | Hitachi High-Technologies Corporation | Scanning electron microscope and method of imaging an object by using the scanning electron microscope |
| JP2009064746A (ja) * | 2007-09-10 | 2009-03-26 | Topcon Corp | 荷電粒子ビーム装置の撮像方法、コンピュータプログラム、記録媒体 |
| JP5389124B2 (ja) * | 2011-08-31 | 2014-01-15 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査荷電粒子線装置 |
| JP6552383B2 (ja) | 2014-11-07 | 2019-07-31 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | 自動化されたtem試料調製 |
| US10211027B2 (en) * | 2016-08-03 | 2019-02-19 | Nuflare Technology, Inc. | Method for measuring resolution of charged particle beam and charged particle beam drawing apparatus |
| JP2018082120A (ja) | 2016-11-18 | 2018-05-24 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | マルチ荷電粒子ビーム描画装置 |
| CN112630288B (zh) * | 2020-11-17 | 2021-10-12 | 燕山大学 | 一种基于放电的二次电子发射系数测量装置及方法 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3560123B2 (ja) * | 1998-03-17 | 2004-09-02 | 横河電機株式会社 | 共焦点装置 |
| JP2000021937A (ja) * | 1998-07-06 | 2000-01-21 | Advantest Corp | Ebテスタ |
| JP3480325B2 (ja) * | 1998-07-17 | 2003-12-15 | 松下電器産業株式会社 | ワイヤ高さ検査装置およびワイヤ高さ検査方法 |
| JP4261743B2 (ja) * | 1999-07-09 | 2009-04-30 | 株式会社日立製作所 | 荷電粒子線装置 |
| JP2002039724A (ja) * | 2000-07-24 | 2002-02-06 | Yasunaga Corp | 孔内面検査装置 |
| JP4215454B2 (ja) * | 2001-07-12 | 2009-01-28 | 株式会社日立製作所 | 試料の凹凸判定方法、及び荷電粒子線装置 |
| JP2004108979A (ja) * | 2002-09-19 | 2004-04-08 | Jeol Ltd | 走査電子顕微鏡を用いた検査方法および装置 |
| JP2005005055A (ja) * | 2003-06-10 | 2005-01-06 | Hitachi High-Technologies Corp | 試料の高さ情報取得方法 |
-
2003
- 2003-11-11 JP JP2003380632A patent/JP2005147671A/ja active Pending
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