JP6944951B2 - 放射線検出装置及びコンピュータプログラム - Google Patents
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Description
<実施形態1>
図1は、実施形態1に係るX線検出装置の構成を示すブロック図である。X線検出装置は、蛍光X線分析装置であり、放射線検出装置に対応する。X線検出装置は、試料6が載置される試料台16と、X線を放射するX線源11と、X線源11が放射するX線を収束して試料6へ照射するX線光学素子12と、X線を検出する検出部13とを備えている。試料台16は試料保持部に対応する。試料保持部は、載置以外の方法で試料を保持する形態であってもよい。X線源11は、例えばX線管である。X線光学素子12は、例えば、入射されたX線を内部で反射させながら導光するX線導管を用いたモノキャピラリレンズ、又は複数のX線導管を用いたポリキャピラリレンズである。X線光学素子12は、X線源11が放射したX線を入射され、X線を収束する。X線光学素子12が収束したX線は、試料台16に載置された試料6へ照射される。X線源11及びX線光学素子12は、照射部に対応する。試料6のX線を照射された部分では、蛍光X線が発生する。検出部13は、試料6から発生した蛍光X線を検出し、検出した蛍光X線のエネルギーに比例した信号を出力する。図1では、試料6に照射されるX線及び蛍光X線を実線矢印で示す。
図7は、実施形態2に係るX線検出装置の構成を示すブロック図である。X線検出装置は、複数のX線光学素子12を備えている。X線光学素子12は収束部に対応する。複数のX線光学素子12は、X線を収束する径が互いに異なっている。また、X線検出装置は、X線の照射に使用するX線光学素子12を切り替える切替ステージ17を備えている。切替ステージ17は、複数のX線光学素子12が設けられており、夫々のX線光学素子12の位置を変更することが可能なステージである。また、切替ステージ17には、ミラー14が設けられている。
図8は、実施形態3に係るX線検出装置の構成を示すブロック図である。試料台16には、水平方向、即ちX線の照射方向に交差する方向に、試料台16を駆動させる水平駆動部47が連結されている。水平駆動部47は、例えばステッピングモータを用いて構成されている。水平駆動部47の動作により、試料台16に載置された試料6は、X線の照射方向に交差する方向に移動する。水平駆動部47は、制御部5に接続されている。制御部5は、水平駆動部47の動作を制御することにより、試料台16に載置された試料6を移動させ、試料6上でX線が照射される被照射部分の位置を変更することができる。X線検出装置のその他の部分の構成は、実施形態1と同様である。なお、X線検出装置は、実施形態2と同様に複数のX線光学素子12を備える形態であってもよい。
12 X線光学素子
13 検出部
14 ミラー
15 光学顕微鏡
16 試料台
2 真空箱
21 窓部
3 試料箱
41 調整部
44 表示部
45 垂直駆動部
47 水平駆動部
5 制御部
541 コンピュータプログラム
6 試料
Claims (8)
- 試料保持部と、該試料保持部が保持する試料へ放射線を照射する照射部と、前記試料から発生した放射線を検出する検出部とを備える放射線検出装置において、
所定の基点から前記試料保持部が保持した試料の放射線を照射されるべき被照射部分までの距離を算出する距離算出部と、
算出された距離に基づいて、前記試料上での前記被照射部分の大きさを特定する大きさ特定部と、
特定された前記被照射部分の大きさを表示する表示部と
を備えることを特徴とする放射線検出装置。 - 前記試料を観察するための光学顕微鏡を更に備え、
前記表示部は、前記光学顕微鏡による前記試料の観察像と、前記試料上での前記被照射部分の範囲を示す画像とを重ねて表示すること
を特徴とする請求項1に記載の放射線検出装置。 - 前記被照射部分に焦点を合わせるべく前記光学顕微鏡の焦点位置を調整する調整部を更に備え、
前記距離算出部は、調整された焦点位置の基準からの距離に応じて、前記所定の基点から前記被照射部分までの距離を算出すること
を特徴とする請求項2に記載の放射線検出装置。 - 前記所定の基点から前記被照射部分までの距離を変更する距離変更部を更に備え、
前記表示部は、前記距離算出部が算出した距離と、前記被照射部分の大きさが最小になるような、前記所定の基点から前記被照射部分までの最適距離とを表示すること
を特徴とする請求項1乃至3のいずれか一つに記載の放射線検出装置。 - 前記距離算出部が算出した距離が予め定められた下限値以下である場合に、警告を出力する警告部を更に備えること
を特徴とする請求項1乃至4のいずれか一つに記載の放射線検出装置。 - 前記照射部は、試料へ照射すべき放射線を収束し、放射線を収束する径が互いに異なる複数の収束部を有し、
前記大きさ特定部は、前記複数の収束部から選択された一つの収束部に応じて、前記被照射部分の大きさを特定すること
を特徴とする請求項1乃至5のいずれか一つに記載の放射線検出装置。 - 前記被照射部分の前記試料上での位置を順次変更する被照射位置変更部と、
前記試料上の各部分に放射線の検出結果及び前記被照射部分の大きさを関連付けた放射線分布を生成する生成部と
を更に備えることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一つに記載の放射線検出装置。 - 試料へ放射線を照射する照射部と、前記試料から発生した放射線を検出する検出部と、前記試料を観察するための光学顕微鏡と、表示部とを備える放射線検出装置を、コンピュータに制御させるコンピュータプログラムにおいて、
コンピュータに、
試料の放射線を照射されるべき被照射部分に焦点を合わせた前記光学顕微鏡の焦点位置の基準からの距離に応じて、前記放射線検出装置内の所定の基点から前記被照射部分までの距離を算出するステップと、
算出された距離に基づいて、前記試料上での前記被照射部分の大きさを特定するステップと、
特定された前記被照射部分の大きさを前記表示部に表示させるステップと
を含む処理を実行させることを特徴とするコンピュータプログラム。
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