JP2005131453A - オゾンによる容器，配管類の洗浄方法及び装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 食品製造装置等の容器，配管類の合理的なオゾン洗浄法を提供する。
【解決手段】 被洗浄物である容器類（１，Ｌ２，Ｌ３）を水洗浄する水洗浄工程と、該水洗浄工程に引き続き、前記容器類中にオゾンガスを注入して前記水洗浄工程で前記容器類の壁面に付着した静止状態の水膜にオゾンガスを溶解させてオゾン水膜を形成し、該オゾン水膜によって前記容器類の洗浄を行う第１オゾン洗浄工程と、前記オゾンガス中に霧化水を供給して該霧化水中にオゾンガスを溶解して霧化オゾン水を形成し、該霧化オゾン水を前記オゾン水膜に溶解させて前記容器類の洗浄を行う第２オゾン洗浄工程と、オゾンガス中に霧化水を供給して霧化オゾン水を形成した霧化オゾン水とオゾンガスとの混合流体を前記容器類中に供給し、該混合流体によって前記オゾン水膜にオゾンを供給して容器類の洗浄を行う第３オゾン洗浄工程とを組み合わせて行う容器，配管類の洗浄方法。
【選択図】図１

Description

本発明は、オゾンを用いて容器と該容器に接続されている配管類の洗浄方法とその装置に関するもので、特に、オゾンガスを用いて容器及び配管類の脱臭と殺菌を行う方法と装置に関するものである。

オゾンは、その強力な酸化能を有しているので、その酸化能を利用して、殺菌剤，脱臭剤，脱色剤等の用途が種々提案されている。例えば、野菜の殺菌洗浄剤，種子の殺菌剤，土壌の殺菌剤，手洗い用の殺菌洗浄剤，食品や医薬品の製造機器の洗浄殺菌剤等々が具体的に提案され、既に一部では実用に供されている。

この内の食品や医薬品等のバッチ運転される容器や該容器に接続されている配管類の運転後の洗浄（殺菌及び脱臭）をオゾンを用いて行う方法としては、オゾンガスを散気管を備えた溶解装置に供給して水にオゾンを溶解させてオゾン水を生成し、このオゾン水を散布又は注水して容器類を洗浄する方法（例えば特許文献１参照）や、容器内に挿入した噴霧ノズルからオゾン水を噴霧して容器内を洗浄する方法（例えば特許文献２参照）が提案されている。

又、洗浄する部分は、機器の表面である事から、機器表面にオゾン可溶性溶剤（例えば水やカルボン酸）の液膜を形成し、この液膜と接する様にオゾンガスを流通させてオゾンを溶解させ、このオゾン溶解液によって機器表面を洗浄する方法も提案されている（例えば特許文献３参照）。
特開平９−１０７８１号公報（特許請求の範囲及び図１参照） 特開平５−２４５１８９号公報（特許請求の範囲及び図１参照） 特開２００３−４５８４２号公報（特許請求の範囲の請求項１，６及び図１参照）

ところで、特許文献１，２に記載の方法に共通する事項は、オンガスを水に溶解してオゾン水を生成し、このオゾン水を洗浄水として使用している点であり、この方法で生成するオゾン水濃度は高々数ｐｐｍであり、通常は０．５ｐｐｍ以下である。この程度の低濃度オゾン水での洗浄では、大量のオゾン水が必要であり、そのため洗浄に長時間を要する問題がある。このため、オゾン水による容器や配管類の洗浄の実用化を阻害していた。

又、特許文献３に記載の方法は、機器表面にオゾン可溶性溶媒（例えば水、以下「水」で代表する）を流す事によって水膜を形成し、この水膜にオゾンガスを溶解させてオゾン水を生成し、これによって機器表面の洗浄を行うものであるが、溶解し難いオゾンガスを比表面積の小さな水膜に溶解させるのは非効率的である事はいうまでもない。加えて、水膜事態が流水状態にあるので、オゾンガスが十分に溶解する間もなく流下してしまう問題もある。従って、この方法のみによるオゾン洗浄も、長時間と大量のオゾンガスが必要であり実現性に乏しい方法であると言える。

本発明は、係る現状に鑑みてなされたものであって、オゾンガスを効率的に水に溶解させて容器や配管を効果的に洗浄する方法と装置を提供する事を目的とするものである。

本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたものであって、オゾンガスを水中に吹き込んだり液膜に接触させて溶解させるのではなく、水を霧化して比表面積の大きなミスト状の霧化水となし、この霧化水をオゾンガス中に注入してオゾンガスを溶解させ、オゾンの溶解度を上げて高濃度の霧化オゾン水を形成し、この霧化オゾン水で容器や配管類（以下「容器類」と略記する）の洗浄を行う点に最大の特徴とするものである。

具体的には、被洗浄物である前記容器類を水洗浄する水洗浄工程と、
前記容器類中にオゾンガスを注入し、前記水洗浄工程で前記容器類の壁面に付着した水膜に前記オゾンガスを溶解させてオゾン水膜を形成し、該オゾン水膜によって前記容器類の洗浄を行う第１オゾン洗浄工程と、
該容器類中のオゾンガス中に霧化水を供給し、該霧化水中に前記オゾンガスを溶解して霧化オゾン水を形成し、この霧化オゾン水によって前記オゾン水膜にオゾンの供給を行いつつ前記容器類の洗浄を行う第２オゾン洗浄工程と、
オゾンガス中に霧化水を供給して該霧化水にオゾンガスを溶解させて霧化オゾン水を形成し、得られた霧化オゾン水−オゾンガス混合流体を前記容器類中に供給し、該混合流体によって前記オゾン水膜にオゾンの供給を行いつつ前記容器類の洗浄を行う第３オゾン洗浄工程と、
の４つの洗浄工程の組み合わせにあり、第１の方法は、前記水洗浄工程に引き続き、第１オゾン洗浄工程と第２オゾン洗浄工程とを行うものであり、第２の方法は、前記水洗浄工程に引き続き、第１オゾン洗浄工程と第３オゾン洗浄工程とを行うものであり、第３の方法は、前記水洗浄工程に引き続き、第１オゾン洗浄工程と第２オゾン洗浄工程と第３オゾン洗浄工程とを行うものである。

具体的な手段としては、前記第２オゾン洗浄工程におけるオゾンガスの注入と霧化水の供給とを交互に複数回行うのが好ましい方法であり、更に、前記第２オゾン洗浄工程におけるオゾンガスの注入と霧化水の供給とを、ブロアーにより圧入する事により、その供給量の安定化を図るのも好ましい態様である。

更に、前記第１オゾン洗浄工程〜前記第３オゾン洗浄工程では、前記容器類の出口側より吸引ブロアーにより吸引しつつ行う事により、オゾンガスや霧化オゾン水の流通を促進させるのも好ましい態様である。

又、前記霧化水を、過酸化水素水，アルカリ水及び酸性水から選択された１以上を原料水となし、これを、単独で或いは切り換えつつ噴霧して形成した霧化水を用いれば、通常の上水を原料としたものに比して、オゾン水中のオゾンの分解速度を早めたり、遅らせたりして、オゾン処理速度を調整する事が可能となる。

又、オゾンによる容器類の洗浄装置にあっては、被洗浄物である前記容器類に洗浄水を供給する洗浄水供給装置と、オゾンガス発生器と、霧化水発生器と、前記容器類の出口側に設けられたオゾン分解装置と、を有してなるものであり、前記オゾンガス発生器で生成するオゾンガスと前記霧化水発生器で生成する霧化水とを、夫々独立して前記容器類に供給する様にしたものと、これらを混合して供給する様にしたものとがある。

又、好ましい態様としては、前記オゾン分解装置の出口側に吸引ブロアーを設けたものや、前記霧化水を前記容器類の入口側に強制供給するブロアーを設けたものや、前記混合流体を前記容器類の入口側に強制供給するブロアーを設けたものがある。

本発明によると、先ず、容器類を水洗浄した後、該容器類の表面が水で濡れている状態で、即ち、表面に略静止状態の水膜が形成されている状態でオゾンガスを注入する様にしているので、該水膜にオゾンガスが溶解して略静止状態のオゾン水膜が形成され、このオゾン水膜によって第１オゾン洗浄工程が実施されので、水洗浄工程における残留付着水をオゾン溶解用水として有効に活用される事になる。

又、この第１オゾン洗浄工程に引き続き、このオゾンガス中に水を霧化したミスト状の霧化水を注入する事により、この比表面積の大きな霧化水中にオゾンガスが溶解して高濃度オゾン水のミスト（霧化オゾン水）が形成され、この霧化オゾン水が、前記容器類の表面に付着している水膜に衝突して水膜に吸収されて前記水膜のオゾン水濃度を高め、オゾンガスの水膜への溶解による水膜のオゾン濃度上昇に相まって、高濃度のオゾン水膜が容器類の表面に形成されて第２オゾン洗浄工程が行われるので、ガスオゾンの有効な活用が可能となる。

又、前記第２オゾン洗浄工程では、オゾンガスの注入と霧化水の注入とを交互に繰り返し行う事により、前記水膜のオゾン濃度を略一定の高い値に維持しつつ洗浄を行う事が可能となる。

又、予めオゾンガス中に霧化水を吹き込んでオゾンガスを溶解させた霧化オゾン水を含んだオゾンガス、即ち、霧化オゾン水−オゾンガスの混合流体を前記容器類に供給する事により、一定濃度のオゾンを容器類内に供給する事が可能となり、容器類の洗浄を安定化する事が可能となる。

更に、オゾン洗浄により、容器類に残留している匂い成分も分解除去され、更に殺菌も完全なものとなり、食品や医薬品の容器類の洗浄が容易となる。

又、霧化水の原料水として、過酸化水素水やアルカリ水或いは酸性水を用いれば、霧化オゾン水中のオゾンの分解速度を早めたり、遅らせたりして、オゾンの酸化能の持続期間を調節する事が可能となるので、被処理体の大きさや形状に合わせて、処理速度を調整する事が可能となる。

更に、オゾン水は、自然分解して水に戻るので、従来の洗浄剤として使用されていた次亜塩素酸ナトリウムの使用が不要となるのみならず、排水処理も不要となる等の利点も、現場サイドとしては無視し得ない大きな利点である。

以下に、本発明について、図面を用いて詳細に説明する。図１は、本発明の第１実施例を示すフロー図であり、被洗浄物である容器１の入口側には、ノズル２を通して被洗浄物である配管Ｌ２が接続され、出口側には配管Ｌ３が接続されている。この容器１及び配管類Ｌ２，Ｌ３には、これらを洗浄するための洗浄水を供給するＣＩＰユニット３が設けられている。従来は、このＣＩＰユニット３から配管Ｌ１，バルブＶ１を経て配管Ｌ２，容器１，配管Ｌ３内に、洗浄液としての次亜塩素酸ナトリウム水溶液や上水或いは純水を供給して、前記容器１と配管Ｌ２，Ｌ３の洗浄を行っていた。即ち、既存の設備として、洗浄水を供給する設備が備えられている。

本発明では、前記ＣＩＰユニット３の他、オゾンガス発生器５がバルブＶ４，配管Ｌ７を介して前記配管Ｌ１に接続され、又、加湿器又は噴霧器からなる霧化水発生器６がバルブＶ５，配管Ｌ８を介して前記配管Ｌ１に接続されている。

次に、本発明による容器類の洗浄方法について説明する。先ず、バルブＶ１を開けてＣＩＰユニット３から洗浄水を配管Ｌ１に供給し、配管Ｌ２，容器１，配管Ｌ３，バルブＶ３を経て配管Ｌ６から系外に該洗浄水を排出する水洗浄工程を実施する。この水洗浄工程は、前記容器類の内部に洗浄水を充満させ、これを排出操作を複数回繰り返したり、流水状態で、特に容器１内に配置されている攪拌機を作動させて、洗浄水を攪拌しつつ内部の水洗浄を行う事は、従来の通りである。この水洗浄工程によって、殆どの水溶性の残留物は除去される事になるが、僅かに残留する物質が、次工程の薬品や食品にコンタミや匂いを付着させる事になるので、この微量の残留物を完全に除去すると共に容器類の殺菌を行う必要がある。

通常は、この水洗浄工程が終了すると、洗浄水の排水を行い、過熱蒸気や乾燥空気を供給して容器類の乾燥を行うが、本発明では、この乾燥を行わずに、次のオゾン洗浄工程に移行する。即ち、本発明では、前記水洗浄工程が終了すると、内部を乾燥する事なく直ちにバルブＶ１，Ｖ３を閉じてオゾン洗浄工程を開始する。このオゾン洗浄工程には３つの運転方法がある。先ず、第１の運転方法（第１オゾン洗浄工程）について説明する。この方法では、バルブＶ４を開けて、オゾンガス発生器５から配管Ｌ７を介して配管Ｌ１にオゾンガスを注入し、該配管Ｌ１，Ｌ２を通して容器１及び配管Ｌ３にオゾンガスを流通させる。すると、前記容器１及び配管Ｌ２，Ｌ３の壁面に付着している水膜にオゾンガスが接触して溶解し、該壁面の水膜をオゾン水膜となす。このオゾン水膜は、前述の特許文献３に記載の流水状態の水膜とは異なり、殆ど静止状態の水膜であるので、該水膜に溶解したオゾンの濃度は相対的に高くなる。第１オゾン洗浄工程は、このオゾン水膜によって前記残留物質のオゾン分解を行う工程である。尚、前記配管Ｌ３を通過したオゾンガスは、バルブＶ２，配管Ｌ４を経て活性炭等のオゾン分解剤を充填したオゾン分解装置４に供給されてオゾンは分解され、配管Ｌ５から大気中に放出される事になる。

尚、前記オゾンガス発生器５は、空気又は酸素富化空気を流通させつつ無声放電によってオゾンガスを生成させる放電式オゾンガス発生器が好ましく、この場合には、３〜５％程度のオゾンガスが得られるが、前記水膜に接したオゾンガスの溶解により生成するオゾン水濃度は、０．１ｐｐｍ未満であり、十分なオゾン洗浄効果を得る事ができない。

そこで、本発明では、前記水膜のオゾン濃度を高めてオゾン洗浄を行うオゾン洗浄工程を引き続いて実施する。即ち、第２の運転方法，第３の運転方法である。先ず、第２の運転方法（第２オゾン洗浄工程）では、バルブＶ５，配管Ｌ８を介して前記配管Ｌ１に接続されている加湿器又は水噴霧器等からなる霧化水発生器６で生成した霧化水を配管Ｌ１に注入し、該配管Ｌ１及びこれに連続する配管Ｌ２内で、前記配管Ｌ７から供給され続けているオゾンガスと前記霧化水を混合させ、前記霧化水に周囲のオゾンガスを溶解させて霧化オゾン水を形成する。この霧化オゾン水は、前記オゾン水膜に衝突すると該オゾン水膜に合体され、この結果オゾン水膜のオゾン濃度は高くなる。即ち、前記霧化オゾン水によってオゾン水膜にオゾンを供給しつつ容器類のオゾン洗浄を行うことになる。

この第２オゾン洗浄工程において、前記配管Ｌ１に注入された霧化水の粒子は、前述の通り、配管Ｌ１，配管Ｌ２をオゾンガスと共に流通する過程でオゾンガスを溶解して霧化オゾン水となるが、該霧化水の各水粒子は極めて小さな霧状（ミスト状）の粒子であるので、その比表面積は極めて大きく、従って、オゾンガスの溶解速度も高まる結果、生成した霧化オゾン水のオゾン濃度は高くなり、１０〜２０ｐｐｍの霧化オゾン水が得られる事になる。この高濃度霧化オゾン水は、前記容器１及び配管Ｌ２，Ｌ３の壁面に付着している略静止状態のオゾン水膜に接すると、該水膜中に取り込まれて一体化し、該オゾン水膜のオゾン水濃度を高める事になる。加えて、前記オゾンガスの水膜への直接溶解と相まって、前記水膜のオゾン水濃度は飛躍的に高くなる。この高濃度オゾン水膜によって、前記容器１や配管Ｌ２，Ｌ３に残留していた物質の酸化分解が促進されて洗浄が進行する事になる。配管Ｌ３内を通過したオゾンガスと霧化オゾン水は、オゾン分解装置４を経て放出される事は前述の場合と同様である。又、霧化オゾン水が前記オゾン水膜に取り込まれる結果、オゾン水膜の膜厚が厚くなって、液滴となって流下する現象も並行して生じるが、これは、上流から供給された水（霧化水）が、下流に排出される現象であるので、全く問題はない。

尚、前記霧化水の配管Ｌ１への注入は、該配管Ｌ１の霧化水供給配管Ｌ８の接続部分をノズル状に絞っておき、霧吹きの要領で前記配管Ｌ８から霧化水を吸引する様になしても良いが、配管Ｌ８に小型ブロアーを配置して強制注入する様になす事も好ましい態様である。

又、上述の第２オゾン洗浄工程の説明では、オゾンガスを配管Ｌ７から連続的に供給する場合についての説明であるが、これは、バルブＶ４，Ｖ５を切り替えて、オゾンガスと霧化水とを、比較的短時間で交互に配管Ｌ２に供給する様にしても同効である。この場合には、霧化水の注入は、配管Ｌ８に設けたブロアーから強制供給するのが好ましい。

次に、第３の運転方法（第３オゾン洗浄工程）では、バルブＶ４とバルブＶ５とを両方共に開けて、配管Ｌ１にオゾンガスと霧化水とを同時に供給し、該配管Ｌ１内でオゾンガスと霧化水とを混合させて該霧化水を霧化オゾン水となし、この霧化オゾン水とオゾンガスとの混合流体を前記配管Ｌ２，容器１，配管Ｌ３に供給して前記オゾン水膜にオゾンを連続的に供給しつつ前記容器類を洗浄する工程であり、前記第１オゾン洗浄工程と第２オゾン洗浄工程とを併合させた工程である。

本発明のオゾン洗浄方法は、前記水洗浄工程の後に、上記第１オゾン洗浄工程〜第３オゾン洗浄工程を組み合わせて実施する洗浄方法であり、具体的には、第１の方法は、第１オゾン洗浄工程の後に第２オゾン洗浄工程を行うオゾン洗浄方法であり、第２の方法は、第１オゾン洗浄工程の後に第３オゾン洗浄工程を行うオゾン洗浄方法であり、第３の方法は、第１オゾン洗浄工程の後に第２オゾン洗浄工程及び第３オゾン洗浄工程を行うオゾン洗浄方法である。

次に、図２は、本発明の他の実施例を示すフロー図であり、上述の図１に示した実施例と相違する部分についてのみ説明し、他は同一符号を付して重複説明を省略する。図２において、オゾンガス発生器５のオゾンガス配管Ｌ７と霧化水発生器６の霧化水配管Ｌ８とは、合流して配管Ｌ９となり、この配管Ｌ９が前記配管Ｌ１に接続されている。

この装置においても、前述の実施例１と同様に、水洗浄工程を実施した後に、３種類のオゾン洗浄運転を行う事ができる。即ち、第１の運転方法は、バルブＶ４を開けて配管Ｌ７からオゾンガスのみを配管Ｌ９に供給して第１オゾン洗浄工程を行う運転方法であり、第２の運転方法は、バルブＶ４とバルブＶ５とを交互に開けて、オゾンガスと霧化水とを交互に配管Ｌ９に供給し、配管Ｌ２，容器１内でオゾンガスと霧化水を混合させて霧化水を霧化オゾン水となして第２オゾン洗浄工程を行う運転方法であり、第３の運転方法は、配管Ｌ９内にオゾンガスを供給しつつバルブＶ５を開けて配管Ｌ９内に霧化水を供給し、該配管Ｌ９内で霧化オゾン水とオゾンガスとの混合流体を形成して第３オゾン洗浄工程を行う運転方法である。上記第１〜第３の運転方法の組み合わせによって、前述の図１において説明したと同様のオゾン洗浄方法を実施する事になる。

尚、前記配管Ｌ９に、吸引ブロアーＢ４を配置してオゾンガス或いは霧化水を強制的に配管Ｌ１に供給するのは、図１の場合と同様に好ましい実施態様である。

上記オゾン洗浄工程が終了すると、常法に従って容器類の乾燥工程を行い、該容器類の洗浄・殺菌作業を終了する。

尚、前記第２オゾン洗浄工程や第３オゾン洗浄工程における霧化水を形成する原料水としては、水道水等の上水が一般的であるが、この上水中に過酸化水素を添加した低濃度の過酸化水素水を用いると、前記霧化水にはオゾンと共に過酸化水素も含有される事になるので、オゾンによる酸化能と過酸化水素の酸化能と相まって、酸化能の向上を図る事が可能となる。

更に、前記霧化水を形成する原料水として、上水中に水酸化ナトリウムや水酸化カリウムの如きアルカリ成分を添加した低濃度のアルカリ水を用いると、生成した霧化水もアルカリ水となるので、これにオゾンが溶解した霧化オゾン水中のオゾンは、アルカリの存在によって分解が促進され、オゾンによる洗浄速度を高める効果が期待される。又、前記原料水として、上水中にクエン酸や酢酸の如き有機酸或いは塩酸を添加した低濃度の酸性水を用いると、生成した霧化水も酸性水となるので、これにオゾンが溶解した霧化オゾン水中のオゾンは安定化されて分解速度が抑制させる結果、オゾンによる洗浄期間を比較的長時間持続させる事が可能となる。

又、原料水として、上水，過酸化水素水，アルカリ水，酸性水を、適宜切り替え供給しつつ霧化水を形成すれば、オゾンによる洗浄持続期間を調整したり、時間当たりの酸化能を調整する事も可能となる。

以上の様に、本発明によると、水洗浄工程で容器類の壁面に残留する略静止状態の水膜を利用してオゾン水膜を形成させ、このオゾン水膜によって容器類の壁面をオゾン洗浄すると共に、霧化水をオゾンガスと混合させて高濃度の霧化オゾン水（オゾン水ミスト）を形成し、この霧化オゾン水を前記オゾン水膜に吸収させて、即ち、前記オゾン水膜に霧化オゾン水を通してオゾンの供給を行いつつ容器類のオゾン洗浄するものであるので、効率のよいオゾン洗浄が可能となる。

以上に説明した通り、本発明によると、オゾンガスを水中に曝気してオゾン水を形成するのではなく、微細な水粒子である霧化水にオゾンガスを吸収させて霧化オゾン水（オゾン水ミスト）を形成して容器類の洗浄を行う様にしているので、液体状の食品加工或いは処理装置、医薬品の反応装置や各種処理装置における残留物の分解除去や殺菌や脱臭のためのオゾン洗浄手段として、幅広く利用可能である。

本発明に係るオゾン洗浄装置の第１実施例を示すフロー図である。 本発明に係るオゾン洗浄装置の第２実施例を示すフロー図である。

符号の説明

１ 容器
２ ノズル
３ ＣＩＰユニット（洗浄水供給装置）
４ オゾン分解装置
５ オゾンガス発生器
６ 霧化水発生器
Ｌ１〜Ｌ９ 配管
Ｖ１〜Ｌ５ バルブ
Ｂ１〜Ｂ４ ブロアー

Claims (14)

1. オゾンによる容器，配管類の洗浄方法であって
   被洗浄物である前記容器（１）及び該容器に接続された配管（Ｌ２，Ｌ３）類を水洗浄する水洗浄工程と、
   前記水洗浄工程に引き続き、前記容器（１）及び配管（Ｌ２，Ｌ３）類中にオゾンガスを注入し、前記水洗浄工程で前記容器（１）及び配管（Ｌ２，Ｌ３）類の壁面に付着した水膜に前記オゾンガスを溶解させてオゾン水膜を形成し、該オゾン水膜によって前記容器（１）及び配管（Ｌ２，Ｌ３）類の洗浄を行う第１オゾン洗浄工程と、
   前記オゾンガス中に霧化水を供給して該霧化水中に前記オゾンガスを溶解し、これによって霧化オゾン水を形成し、該霧化オゾン水によって前記オゾン水膜にオゾンを供給しつつ前記容器（１）及び配管（Ｌ２，Ｌ３）類の洗浄を行う第２オゾン洗浄工程と、
   を有する事を特徴とするオゾンによる容器，配管類の洗浄方法
2. オゾンによる容器，配管類の洗浄方法であって
   被洗浄物である前記容器（１）及び該容器に接続された配管（Ｌ２，Ｌ３）類を水洗浄する水洗浄工程と、
   前記水洗浄工程に引き続き、前記容器（１）及び配管（Ｌ２，Ｌ３）類中にオゾンガスを注入し、前記水洗浄工程で前記容器（１）及び配管（Ｌ２，Ｌ３）類の壁面に付着した水膜に前記オゾンガスを溶解させてオゾン水膜を形成し、該オゾン水膜によって前記容器（１）及び配管（Ｌ２，Ｌ３）類の洗浄を行う第１オゾン洗浄工程と、
   オゾンガス中に霧化水を供給して該霧化水中に前記オゾンガスを溶解し、これによって霧化オゾン水を形成し、この霧化オゾン水とオゾンガスとの混合流体を、前記容器（１）及び配管（Ｌ２，Ｌ３）類中に供給し、該混合流体によって前記オゾン水膜にオゾンを供給しつつ前記容器（１）及び配管（Ｌ２，Ｌ３）類の洗浄を行う第３オゾン洗浄工程と、 を有する事を特徴とするオゾンによる容器，配管類の洗浄方法
3. オゾンによる容器，配管類の洗浄方法であって、
   被洗浄物である前記容器（１）及び該容器に接続された配管（Ｌ２，Ｌ３）類を水洗浄する水洗浄工程と、
   前記水洗浄工程に引き続き、前記容器（１）及び配管（Ｌ２，Ｌ３）類中にオゾンガスを注入し、前記水洗浄工程で前記容器（１）及び配管（Ｌ２，Ｌ３）類の壁面に付着した水膜に前記オゾンガスを溶解させてオゾン水膜を形成し、該オゾン水膜によって前記容器（１）及び配管（Ｌ２，Ｌ３）類の洗浄を行う第１オゾン洗浄工程と、
   前記オゾンガス中に霧化水を供給して該霧化水中に前記オゾンガスを溶解し、これによって霧化オゾン水を形成し、該霧化オゾン水によって前記オゾン水膜にオゾンを供給しつつ前記容器（１）及び配管（Ｌ２，Ｌ３）類の洗浄を行う第２オゾン洗浄工程と、
   オゾンガス中に霧化水を供給して該霧化水中に前記オゾンガスを溶解し、これによって霧化オゾン水を形成し、この霧化オゾン水とオゾンガスとの混合流体を、前記容器（１）及び配管（Ｌ２，Ｌ３）類中に供給し、該混合流体によって前記オゾン水膜にオゾンを供給しつつ前記容器（１）及び配管（Ｌ２，Ｌ３）類の洗浄を行う第３オゾン洗浄工程と、 を有する事を特徴とするオゾンによる容器，配管類の洗浄方法
4. 前記第２オゾン洗浄工程におけるオゾンガスの注入と霧化水の供給とを、交互に複数回行う請求項１又は３に記載のオゾンによる容器，配管類の洗浄方法
5. 前記第２オゾン洗浄工程におけるオゾンガスの注入と霧化水の供給とを、ブロアー（Ｂ３）により圧入する請求項１，３又は４のいずれかに記載のオゾンによる容器，配管類の洗浄方法
6. 前記第１オゾン洗浄工程は、前記容器（１）及び配管（Ｌ２，Ｌ３）類の出口側より吸引ブロアー（Ｂ２）により吸引しつつ行うものである請求項１乃至５のいずれかに記載のオゾンによる容器，配管類の洗浄方法
7. 前記第２オゾン洗浄工程は、前記容器（１）及び配管（Ｌ２，Ｌ３）類の出口側より吸引ブロアー（Ｂ２）により吸引しつつ行うものである請求項１又は３に記載のオゾンによる容器，配管類の洗浄方法
8. 前記第３オゾン洗浄工程は、前記容器（１）及び配管（Ｌ２，Ｌ３）類の出口側より吸引ブロアー（Ｂ２）により吸引しつつ行うものである請求項２又は３に記載のオゾンによる容器，配管類の洗浄方法
9. 前記第２オゾン洗浄工程又は第３オゾン洗浄工程における霧化水が、過酸化水素水，アルカリ水溶液又は酸性水から選択された１種以上の水を、単独で或いは切り換えつつ噴霧して形成した霧化水である請求項１乃至７のいずれかに記載のオゾンによる容器，配管類の洗浄方法
10. オゾンによる容器，配管類の洗浄装置であって、
    被洗浄物である前記容器（１）及び該容器に接続された配管（Ｌ２，Ｌ３）類に洗浄水を供給する洗浄水供給装置（３）と、
    前記容器（１）及び配管（Ｌ２，Ｌ３）類の入口側よりオゾンガスを供給するオゾンガス発生器（５）と、
    前記容器（１）及び配管（Ｌ２，Ｌ３）類の入口側より霧化水を供給する霧化水発生器（６）と、
    前記容器（１）及び配管（Ｌ２，Ｌ３）類の出口側に設けられたオゾン分解装置（４）と、
    を有してなる事を特徴とするオゾンによる容器，配管類の洗浄装置
11. オゾンによる容器，配管類の洗浄装置であって、
    被洗浄物である前記容器（１）及び該容器に接続された配管（Ｌ２，Ｌ３）類に洗浄水を供給する洗浄水供給装置（３）と、
    オゾンガス発生器（５）と、
    霧化水を生成する霧化水発生器（６）と、
    前記オゾンガス発生器（５）で生成したオゾンガスと前記霧化水発生器（６）で生成した霧化水との混合流体を、前記容器（１）及び配管（Ｌ２，Ｌ３）の入口側より供給する混合流体供給配管（Ｌ９）と、
    前記容器（１）及び配管（Ｌ２，Ｌ３）類の出口側に設けられたオゾン分解装置（４）と、
    を有してなる事を特徴とするオゾンによる容器，配管類の洗浄装置
12. 前記オゾン分解装置（４）の出口側に吸引ブロアー（Ｂ２）が設けられている請求項９又は１０に記載のオゾンによる容器，配管類の洗浄装置
13. 前記霧化水を、前記容器（１）及び配管（Ｌ２，Ｌ３）の入口側に強制供給するブロアーを設けてなる請求項９乃至１１のいずれかに記載のオゾンによる容器，配管類の洗浄装置
14. 前記混合流体を、前記容器（１）及び配管（Ｌ２，Ｌ３）の入口側に強制供給するブロアー（Ｂ３）を設けてなる請求項１０に記載のオゾンによる容器，配管類の洗浄装置

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