JP2005116686A - 双極型静電チャック - Google Patents
双極型静電チャック Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005116686A JP2005116686A JP2003347114A JP2003347114A JP2005116686A JP 2005116686 A JP2005116686 A JP 2005116686A JP 2003347114 A JP2003347114 A JP 2003347114A JP 2003347114 A JP2003347114 A JP 2003347114A JP 2005116686 A JP2005116686 A JP 2005116686A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodes
- electrostatic chuck
- dielectric ceramic
- force
- ceramic body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【課題】 吸着力の均一性に優れた双極型静電チャックを提供する。
【解決手段】 双極型静電チャック10は、誘電セラミックス体11と、所定の電圧が印加されることにより、誘電セラミックス体11の表面に被吸着物を吸着させるための静電力を、誘電セラミックス体11に発生させる1対の電極12a・12bと、を備える。電極12a・12bの主たる電極間距離Lを誘電セラミックス体11の表面と電極12a・12bとの間の距離tの1倍以上3倍以下とした。
【選択図】 図1
Description
所定の電圧が印加されることにより、前記誘電セラミックス体の表面に被吸着物を吸着させるための静電力を、前記誘電セラミックス体に発生させる1対の電極と、
を備えた双極型静電チャックであって、
前記一対の電極の主たる電極間距離が、前記誘電セラミックス体の表面と前記一対の電極との間の距離の1倍以上3倍以下であることを特徴とする双極型静電チャック、が提供される。
3重量%の酸化イットリウムを含む窒化アルミニウム粉末を一軸プレスし、円板状の成形体を作製した。この成形体の上に図2に示した櫛状の電極パターンを有する電極板(後述する所定形状に加工した厚さ0.05mmのモリブデン板)を配置し、この電極板の上にさらに3重量%の酸化イットリウムを含む窒化アルミニウム粉末をかぶせ、ホットプレス焼結(ホットプレス条件:焼成温度1900℃、焼成時間3時間、プレス圧10MPa、窒素ガス雰囲気)を行った。焼結体の外径は250mmφとした。また、得られた焼結体(つまり、誘電セラミックス体)を、静電力誘起層の厚さが2mmで、かつ、総厚が6mmとなるように、平面研削加工した。そして、側面から1mmφの穴加工をして各電極を露出させ、そこに給電ピンを挿入して、外部電源から電極板に電圧を印加できるようにした。
11;誘電セラミックス体
12a・12b;電極
15;ピン
16a・16b;電極
21a・21b;電極
22a・22b;電極
Claims (2)
- 誘電セラミックス体と、
所定の電圧が印加されることにより、前記誘電セラミックス体の表面に被吸着物を吸着させるための静電力を、前記誘電セラミックス体に発生させる1対の電極と、
を備えた双極型静電チャックであって、
前記一対の電極の主たる電極間距離が、前記誘電セラミックス体の表面と前記一対の電極との間の距離の1倍以上3倍以下であることを特徴とする双極型静電チャック。 - 双極型静電チャックの使用温度において、前記誘電セラミックス体の体積抵抗率は1×109Ω・cm以上1×1013Ω・cm以下であることを特徴とする請求項1に記載の双極型静電チャック。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003347114A JP2005116686A (ja) | 2003-10-06 | 2003-10-06 | 双極型静電チャック |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003347114A JP2005116686A (ja) | 2003-10-06 | 2003-10-06 | 双極型静電チャック |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005116686A true JP2005116686A (ja) | 2005-04-28 |
Family
ID=34539811
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003347114A Pending JP2005116686A (ja) | 2003-10-06 | 2003-10-06 | 双極型静電チャック |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005116686A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010081680A (ja) * | 2008-09-24 | 2010-04-08 | Dainippon Printing Co Ltd | 静電アクチュエータ |
KR101316553B1 (ko) * | 2007-02-16 | 2013-10-15 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 십자 모양의 전극 패턴을 가지는 바이폴라 정전척 및 이를이용한 기판 처리 방법 |
JP2014057013A (ja) * | 2012-09-14 | 2014-03-27 | Covalent Materials Corp | 静電チャック |
-
2003
- 2003-10-06 JP JP2003347114A patent/JP2005116686A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101316553B1 (ko) * | 2007-02-16 | 2013-10-15 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 십자 모양의 전극 패턴을 가지는 바이폴라 정전척 및 이를이용한 기판 처리 방법 |
JP2010081680A (ja) * | 2008-09-24 | 2010-04-08 | Dainippon Printing Co Ltd | 静電アクチュエータ |
JP2014057013A (ja) * | 2012-09-14 | 2014-03-27 | Covalent Materials Corp | 静電チャック |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6215643B1 (en) | Electrostatic chuck and production method therefor | |
KR101800337B1 (ko) | 정전 척 장치 | |
US7586734B2 (en) | Electrostatic chuck | |
JP2001244320A (ja) | セラミック基板およびその製造方法 | |
JP2021141141A (ja) | 静電チャック | |
JP2007317772A (ja) | 静電チャック装置 | |
JP2007207840A (ja) | サセプタ装置 | |
JP2007201068A (ja) | 静電チャック | |
JPH09270454A (ja) | ウエハ保持装置 | |
JP2006013256A (ja) | 静電チャック | |
JP3287996B2 (ja) | 静電チャック装置 | |
JPH10242256A (ja) | 静電チャック | |
JP2005116686A (ja) | 双極型静電チャック | |
JP3426845B2 (ja) | 静電チャック | |
EP3041039B1 (en) | Sample-retainer | |
JP4439102B2 (ja) | 静電チャック | |
JP4849887B2 (ja) | 静電チャック | |
CN111446197B (zh) | 静电吸盘和包括其的静电吸盘装置 | |
JP4241571B2 (ja) | 双極型静電チャックの製造方法 | |
JP2003188247A (ja) | 静電チャック及びその製造方法 | |
JP2001319967A (ja) | セラミック基板の製造方法 | |
JP2004031594A (ja) | 静電チャックおよびその製造方法 | |
JP3667077B2 (ja) | 静電チャック | |
JP3652862B2 (ja) | 静電チャック及びプラズマ発生装置 | |
JP2005166451A (ja) | 通電発熱ヒータ及び該ヒータを搭載した半導体製造装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051227 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080730 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080819 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081020 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081202 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090130 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090519 |