JP2005113206A - 薬液処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 被液処理材4の搬送高さを、薬液スプレー部10と洗浄液スプレー部14との間の部分において他の部分よりも高くする。
【効果】 薬液スプレー部10にて噴射された被液処理材4上の薬液12が、洗浄液スプレー部14のあるところに達する前に自重により薬液スプレー部側10に戻される。依って、洗浄液スプレー部のあるところに達し得ず、薬液切りができる。
【選択図】 図1
Description
そして、そのバンプの形成は、例えば、上記ベースとなる配線回路基板形成用部材を用意し、その表面にエッチングマスクとなるフォトレジスト膜を形成し、該フォトレジスト膜を露光し、現像し、その後、そのフォトレジスト膜をエッチングマスクとしてその配線基板形成用部材の表面部を選択的にエッチングすることにより行われる。
dは薬液噴出ノズルで、例えばエッチング液eを噴出し、このエッチング液eによりスプレーによるエッチングが行われる。この薬液噴出ノズルdは上記置きローラーcが設けられた部分の上手側に設けられている。
このような薬液処理装置によれば、上述したように、搬送ローラーa上に被エッチング材bを介して置かれ、自重により該被エッチング材bを押圧することにより、その押圧力により被エッチング材b上の薬液(エッチング液)eの下手側への進行を阻むことができる。
dは薬液噴出ノズルで、例えばエッチング液eを噴出し、このエッチング液eによりスプレーによるエッチングが行われる。
このような、薬液処理装置によれば、上記液切り用エアーノズルhから噴出されるエアーiにより被エッチング材b上の薬液(エッチング液)eの下手側への進行を阻むことができる。
従って、置きローラ或いはエアーノズル等を用いることなく実質的に薬液切りができ、被液処理材の表面が薬液切りによって侵される虞がなく、また、液切り用のノズルのメンテナンスが必要となるという虞もない。
また、洗浄液スプレー部にて噴出される洗浄液の典型例は洗浄水(純水)であるが、必ずしもそれに限定されず、洗浄処理のできる液ならばどのような液体でも用い得る。例えば特殊なリンス液等を洗浄に用いる実施の形態もあり得る。
図1(A)〜(C)は本発明薬液処理装置の第1の実施例を示すもので、(A)は側面図、(B)は平面図、(C)は(A)のCの矢印で指した部分を拡大して示す拡大断面図である。本実施例は、バンプ形成用の金属層の一方の主面にエッチングバリア層を形成し、該エッチングバリア層の主表面に導体回路形成用の金属層を形成した三層構造の配線回路基板形成用部材の上記バンプ形成用金属膜のバンプを形成する選択的エッチングに用いられる薬液処理装置に本発明を適用したものである。
図1において、2、2、・・・2a、2、2、・・・は搬送ローラーで、シート状の被液処理材4を支持しつつ、図示しない回転駆動手段、例えばモーター等で回転せしめられて搬送する。本実施例では、図1における右方向に搬送する。
14、14、・・・は洗浄水噴出ノズルで、洗浄液16を噴出する。このエッチング液噴出ノズル14、14、・・・の配置部は上記山状部分よりも下手側に配置されている。
尚、洗浄水16は下手側から上手側に戻る虞は少ないが、仮に戻ろうとしたとしても、山状部分の下り傾斜部において自重により搬送先側に戻り、山状部分を越えてそれよりも搬送元側のエッチング液噴出ノズル10配置部迄戻ってエッチング液に混ざるという虞は全くない。
6・・・上ローラ、10・・・薬液スプレー部(エッチング液噴出ノズル)、
12・・・薬液(エッチング液)、14・・・洗浄液スプレー部(洗浄水噴出ノズル)、
16・・・洗浄液(洗浄水)。
Claims (2)
- 複数のローラーにより被液処理材を搬送する搬送機構と、
上記搬送機構の上側及び/又は下側に設けられ上記被液処理材の表面に薬液を噴射する薬液スプレー部と、
上記搬送機構の上側及び/又は下側であって上記薬液スプレー部より被液処理材搬送先側に設けられ上記被液処理材の表面に洗浄液を噴射する洗浄液スプレー部と、
を有し、
上記搬送機構の上記被液処理材の搬送高さが上記薬液スプレー部と上記洗浄液スプレー部との間の部分において他の部分よりも高くされてなる
ことを特徴とする薬液処理装置。 - バンプ形成用の金属層の一方の主面にエッチングバリア層を形成し、該エッチングバリア層の主表面に導体回路形成用の金属層を形成した三層構造の配線回路基板形成用部材の上記バンプ形成用金属膜のバンプを形成する選択的エッチングに用いられる
ことを特徴とする請求項1記載の薬液処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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JP2005113206A true JP2005113206A (ja) | 2005-04-28 |
JP4383819B2 JP4383819B2 (ja) | 2009-12-16 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2008270660A (ja) * | 2007-04-24 | 2008-11-06 | Matsushita Electric Works Ltd | プリント配線板の製造装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR101341013B1 (ko) * | 2008-09-04 | 2013-12-13 | 엘지디스플레이 주식회사 | 세정 장치 |
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JP2008270660A (ja) * | 2007-04-24 | 2008-11-06 | Matsushita Electric Works Ltd | プリント配線板の製造装置 |
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JP4383819B2 (ja) | 2009-12-16 |
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A711 | Notification of change in applicant |
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A521 | Written amendment |
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A621 | Written request for application examination |
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|
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121002 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121002 Year of fee payment: 3 |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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