JP2005109436A - 抵抗不良評価装置、抵抗不良評価方法及び抵抗不良評価装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ウェハ100の各チップ領域101毎に、抵抗変動不良となる抵抗変動成分を測定できる長さを持つ抵抗不良評価パターン102が設けられている。抵抗不良評価パターン102の長さをAとし、製品となる半導体集積回路装置110に搭載された抵抗素子111の合計長さをBとすると、チップ領域101の1つに含まれる抵抗不良評価パターン102の数はB/Aの1/100倍以上で且つ10倍以下である。
【選択図】 図1
Description
Charles Weber 、"Standard Defect Monitor" 、1988 IEEE Proceedings on Microelectronic Test Structures、Vol.1 、No.1、1988年 2月、p.114-119 Andrew Grenville et al. 、"Electrical Critical Dimension Metrology for 100-nm Linewidths and Below" 、In Optical Microlithography XIII、Proceedings of SPIE 、Vol.4000、2000年、p.452-459 Takeshi Hamamoto et.al、"Measurement of Contact Resistance Distribution Using a 4k-Contacts Array"、IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing、Vol.9 、No.1、1996年 2月、p.9-14
に従って算出する第2の工程と、第2の工程で算出された電気的換算寸法ECD及び第1の工程で測定された抵抗不良評価パターンの抵抗値RをそれぞれX軸及びY軸にプロットすることによってグラフを作成するか、又は、抵抗不良評価パターンの長さをAとして、各ブロックにおける抵抗不良評価パターンのシート抵抗値Rsを、
Rs=R×ECD/A
に従って算出し、算出されたシート抵抗値Rs及び第2の工程で算出された電気的換算寸法ECDをそれぞれY軸及びX軸にプロットすることによってグラフを作成する第3の工程と、第3の工程で作成されたグラフに基づいて、抵抗不良評価パターンの抵抗値R又はシート抵抗値Rsが離散的に上昇したポイントを抽出することにより、抵抗不良評価パターンの抵抗変動不良の検出を行なう第4の工程とを備えている。
RR'(1)=RR×r1(Ave) /r1
に従って算出する第2の工程と、第2の工程で算出された補正値RR'(1)のウェハ面内又は各チップ領域内若しくは各ショット領域内における分布図を作成する第3の工程と、第3の工程で作成された分布図に基づいて、補正値RR'(1)が離散的に上昇したポイントを抽出することにより、抵抗不良評価パターンの抵抗変動不良の検出を行なう第4の工程とを備えている。
RR'(2)=RR×r3(Ave) /r3
に従って算出する第2の工程と、第2の工程で算出された補正値RR'(2)のウェハ面内又は各チップ領域内若しくは各ショット領域内における分布図を作成する第3の工程と、第3の工程で作成された分布図に基づいて、補正値RR'(2)が離散的に上昇したポイントを抽出することにより、抵抗不良評価パターンの抵抗変動不良の検出を行なう第4の工程とを備えている。
RR'(1)=RR×r1(Ave) /r1
RR'(2)=RR×r3(Ave) /r3
RR'(3)=RR×r1(Ave) ×r3(Ave) /(r1×r3)
に従って算出する第2の工程と、第2の工程で算出された補正値RR'(1)、補正値RR'(2)及び補正値RR'(3) のそれぞれのウェハ面内又は各チップ領域内若しくは各ショット領域内における分布図を作成する第3の工程と、第3の工程で作成された各分布図に基づいて、補正値RR'(1)、補正値RR'(2)及び補正値RR'(3)が離散的に上昇したポイントを抽出することにより、抵抗不良評価パターンの抵抗変動不良の検出を行なう第4の工程とを備えている。
d=(ρc/(π×rc))1/2
に従って算出すると共に、第1の工程で測定された各ブロックにおけるコンタクトチェーン抵抗パターンの抵抗値をRcとして、算出された電気的換算コンタクト径d又はその逆数及びコンタクトチェーン抵抗パターンの抵抗値RcをそれぞれX軸及びY軸にプロットすることによってグラフを作成する第3の工程と、第3の工程で作成されたグラフに基づいて、コンタクトチェーン抵抗パターンの抵抗値Rcが離散的に上昇したポイントを抽出することにより、コンタクトチェーン抵抗パターンの抵抗変動不良の検出を行なう第4の工程とを備えている。
Rc’=Rc×Ru(Ave) /Ru
に従って算出する第3の工程と、第3の工程で算出された補正値Rc’のウェハ面内又は各チップ領域内若しくは各ショット領域内における分布図を作成する第4の工程と、第4の工程で作成された分布図に基づいて、補正値Rc’が離散的に上昇したポイントを抽出することにより、コンタクトチェーン抵抗パターンの抵抗変動不良の検出を行なう第5の工程とを備えている。
以下、本発明の第1の実施形態に係る抵抗不良評価装置(抵抗不良モニター装置)、具体的には、半導体集積回路装置に搭載される抵抗素子の抵抗変動不良を評価するためにウェハ(評価用ウェハ)上に設けられる評価装置について、図面を参照しながら説明する。
(RB−RA)/RA×100≧2%
を満たすように設定される。具体的には、本実施形態ではA=280μmとした。この理由については図2(a)〜(f)を用いて後述する。
(RB−RA)/RA×100=12.5%
となり、これは前述の閾値(2%)以上の値であるため、抵抗不良評価パターンの長さAを280μmに設定することが妥当であることが分かる。
Y=EXP(−λ×N)
が成り立つ。この総パターンの歩留まりYの計算式を用いて、長さ280μmの抵抗不良評価パターンの不良発生率λが100ppmであった場合の総パターンの歩留まりYを様々なトータル配線長Lについて算出した結果を図3に示している。
(RB−RA)/RA×100≧2%(RA:正常なゲート電極配線抵抗値、RB:不良が1箇所生じているゲート電極配線抵抗値)に設定したが、この範囲が特に限定されないことは言うまでもない。また、(RB−RA)/RA×100は100%以下であることが好ましい。すなわち、一般的に、評価パターンの抵抗ばらつきが目標値に対して±10%程度以内の変動であれば評価パターンが良品であるという評価を行なうので、100%以下の抵抗変動成分の大きさを検出できればよい。また、完全な断線が生じた場合には検出される抵抗変動成分の大きさは無限大倍(∞%)になるので、従来の長配線パターンである櫛状(Comb)及び蛇状(Serp)の配線パターンを用いて抵抗不良評価を行なうことができる。従って、このような従来の長配線パターンによる抵抗不良評価と区別するためには、(RB−RA)/RA×100は10000%以下であってもよい。
以下、本発明の第2の実施形態に係る抵抗不良評価装置(抵抗不良モニター装置)、具体的には、半導体集積回路装置に搭載される抵抗素子の抵抗変動不良を評価するためにウェハ(評価用ウェハ)上に設けられる評価装置について、図面を参照しながら説明する。
以下、本発明の第3の実施形態に係る抵抗不良評価装置(抵抗不良モニター装置)、具体的には、半導体集積回路装置に搭載される抵抗素子の抵抗変動不良を評価するためにウェハ(評価用ウェハ)上に設けられる評価装置について、図面を参照しながら説明する。
(RB−RA)/RA×100≧2%
を満たすように、言い換えると、抵抗変動不良となる抵抗変動成分の大きさ(割合)が2%以上になるように設定される。
以下、本発明の第4の実施形態に係る抵抗不良評価装置(抵抗不良モニター装置)、具体的には、半導体集積回路装置に搭載される抵抗素子の抵抗変動不良を評価するためにウェハ(評価用ウェハ)上に設けられる評価装置について、図面を参照しながら説明する。尚、第4の実施形態に係る抵抗不良モニター装置は、半導体集積回路装置のゲート電極配線に用いられている、ポリシリコン電極とその上に形成されたシリサイド層との積層構造における該シリサイド層の断線に起因するソフトオープン不良の評価を実施する抵抗不良モニター装置である。
(RB−RA)/RA×100≧2%
を満たすように、つまり、抵抗変動不良となる抵抗変動成分の大きさ(RB−RA)が正常な抵抗不良評価パターンの抵抗値RAに対して2%以上になるように設定される。
以下、本発明の第5の実施形態に係る抵抗不良モニター装置について図面を参照しながら説明する。
以下、本発明の第6の実施形態に係る抵抗不良モニター装置について図面を参照しながら説明する。
以下、本発明の第7の実施形態に係る抵抗不良評価方法(抵抗不良モニター方法)、具体的には、第4の実施形態に係る抵抗不良モニター装置を用いた、半導体集積回路装置に搭載される抵抗素子の抵抗変動不良を評価する方法について、図面を参照しながら説明する。尚、本実施形態に係る抵抗不良モニター方法は、半導体集積回路装置のゲート電極配線に用いられている、ポリシリコン電極とその上に形成されたシリサイド層との積層構造における該シリサイド層の断線に起因するソフトオープン不良の評価を実施する抵抗不良モニター方法である。
ECD=DR×R2/R1 ・・・ (式1)
に従って算出する。
Rs=R×ECD/A ・・・ (式2)
に従って算出する。続いて、電気的換算寸法ECD及び算出された抵抗不良評価パターン102のシート抵抗値RsをそれぞれX軸及びY軸にプロットする。図12(b)は、当該プロットにより得られたグラフである。図12(b)に示すように、抵抗不良評価パターン102の抵抗値(R)をシート抵抗値(Rs)に換算し直すことによって、ソフトオープン不良の分離をより容易に行なうことができる。具体的には、電気的換算寸法(ECD)に対する抵抗不良評価パターン102のシート抵抗値(Rs)をプロットした後、該プロットにより得られたグラフに基づいて、抵抗不良評価パターン102のシート抵抗値(Rs)が離散的に上昇したポイントを抽出することにより、抵抗不良評価パターン102におけるソフトオープン不良を検出することが可能となる。このように、電気的換算寸法(ECD)に対する抵抗不良評価パターンのシート抵抗値(Rs)のプロットの結果に基づいて、抵抗不良評価パターンのシート抵抗値(Rs)が離散的に上昇したポイントを抽出することによっても、抵抗不良評価パターン102の不良、具体的にはシリサイド層の断線不良(ソフトオープン不良)を正確に検出することが可能となる。尚、抵抗不良評価パターン102のシート抵抗値(Rs)についても、図11(a)〜(c)に示すようなウェハマップ化又はチップマップ化(若しくはショットマップ化)を行なうことが可能であり、該マップに基づいて、ウェハ面内又はチップ領域内(若しくはショット領域内)のどこでソフトオープン不良が発生しているかを評価することも可能である。
以下、本発明の第8の実施形態に係る抵抗不良評価方法(抵抗不良モニター方法)、具体的には、第6の実施形態に係る抵抗不良モニター装置を用いた、半導体集積回路装置に搭載される抵抗素子の抵抗変動不良を評価する方法について、図面を参照しながら説明する。尚、本実施形態に係る抵抗不良モニター方法は、半導体集積回路装置のゲート電極配線に用いられている、ポリシリコン電極とその上に形成されたシリサイド層との積層構造における該シリサイド層の断線に起因するソフトオープン不良の評価を実施する抵抗不良モニター方法である。
RR'(1)=RR×r1(Ave) /r1 ・・・ (式3)
RR'(2)=RR×r3(Ave) /r3 ・・・ (式4)
RR'(3)=RR×r1(Ave) ×r3(Ave) /(r1×r3) ・・・ (式5)
に従って算出する。
以下、本発明の第9の実施形態に係る抵抗不良評価装置(抵抗不良モニター装置)の製造方法、具体的には、第2〜第6の実施形態に係る抵抗不良モニター装置における抵抗不良評価パターン102及び校正用パターン121(複数種類ある場合は少なくとも1種類の校正用パターン)を形成する方法について図面を参照しながら説明する。尚、本実施形態は、半導体集積回路装置に搭載されるMOSトランジスタにおけるシリサイド化されたゲート電極配線に生じるソフトオープン不良を評価するための抵抗不良モニター装置の製造を対象とする。
以下、本発明の第10の実施形態に係る抵抗不良評価装置(抵抗不良モニター装置)の製造方法、具体的には、第2〜第6の実施形態に係る抵抗不良モニター装置における抵抗不良評価パターン102及び校正用パターン121(複数種類ある場合は少なくとも1種類の校正用パターン)を形成する方法について図面を参照しながら説明する。尚、本実施形態は、半導体集積回路装置に搭載されるMOSトランジスタにおけるシリサイド化されたソース/ドレイン不純物層に生じるソフトオープン不良を評価するための抵抗不良モニター装置の製造を対象とする。
以下、本発明の第11の実施形態に係るコンタクト抵抗不良評価装置(コンタクト抵抗不良モニター装置)、具体的には、半導体集積回路装置に搭載されるコンタクトの抵抗変動不良を評価するためにウェハ(評価用ウェハ)上に設けられる評価装置について、図面を参照しながら説明する。
Rc=n×rc+Δr
となる。従って、例えば1つのコンタクト電極215の不良に起因する抵抗変動成分を、コンタクトチェーン抵抗パターンの全抵抗Rcに対して1%以上の精度で検出しようとした場合、
(Δr/Rc)×100=(Δr/(n×rc+Δr))×100≧1%
で表される関係が成立する必要がある。すなわち、
n≦99×Δr/rc
が満たされなければならない。
n=99×40/20=198個
でなければならない。本実施形態では、以上のような理由から、コンタクト数n=198個のコンタクトチェーン抵抗パターンを形成した。
P0=N/n=1×107 /198=50505個
と計算される。
Yield=EXP(−λ×N)
が成り立つ。この総コンタクトの歩留まりYieldの計算式を用いて、1コンタクトの不良発生率λが1ppb(ppb:10億分の1)、10ppb、100ppb及び1000ppbのそれぞれであった場合の総コンタクトの歩留まりYieldを様々な総コンタクト数Nについて算出した結果を図20に示している。
(Δr/Rc)×100=(Δr/(n×rc+Δr))×100≧1%(Rc:コンタクトチェーン抵抗パターンの全抵抗(=n×rc+Δr)、n:コンタクトチェーン抵抗パターンのコンタクト数、rc:正常な1つのコンタクト電極の抵抗値、Δr:1つの不良コンタクト電極に生じた抵抗変動成分)に設定したが、この範囲が特に限定されないことは言うまでもない。また、(Δr/Rc)×100は1倍(100%)以下であることが好ましい。すなわち、一般的に、評価パターンの抵抗ばらつきが目標値に対して±10%程度以内の変動であれば評価パターンが良品であるという評価を行なうので、100%以下の抵抗変動成分の大きさを検出できればよい。また、完全な断線が生じた場合には検出される抵抗変動成分の大きさは無限大倍(∞%)になるので、従来の大規模なコンタクトチェーン抵抗パターンを用いて抵抗不良評価を行なうことができる。従って、このような従来の大規模なコンタクトチェーン抵抗パターンによる抵抗不良評価と区別するためには、(Δr/Rc)×100が10000%以下であってもよい。
以下、本発明の第12の実施形態に係るコンタクト抵抗不良評価装置(コンタクト抵抗不良モニター装置)、具体的には、半導体集積回路装置に搭載されるコンタクトの抵抗変動不良を評価するためにウェハ(評価用ウェハ)上に設けられる評価装置について、図面を参照しながら説明する。
以下、本発明の第13の実施形態に係るコンタクト抵抗不良評価装置(コンタクト抵抗不良モニター装置)、具体的には、半導体集積回路装置に搭載されるコンタクトの抵抗変動不良を評価するためにウェハ(評価用ウェハ)上に設けられる評価装置について、図面を参照しながら説明する。
以下、本発明の第14の実施形態に係るコンタクト抵抗不良評価方法(コンタクト抵抗不良モニター方法)、具体的には、第12の実施形態に係るコンタクト抵抗不良モニター装置を用いた、半導体集積回路装置に搭載されるコンタクトの抵抗変動不良(ソフトオープン不良)を評価する方法について、図面を参照しながら説明する。ここで、第12の実施形態に係るコンタクト抵抗不良モニター装置においては、各ブロック内に、1つのコンタクトチェーン抵抗パターンに加えて、コンタクトチェーン抵抗パターンの抵抗値を決定する下地パターン(例えばゲート電極配線層又はソース/ドレイン不純物層)の抵抗値を校正するために用いられる、L1(=評価対象パターン長L)、L2及びL3の異なる3種類のパターン長を持つ第1校正用パターン群が設けられている。
rc=Rr/m
に従って算出する。尚、mは各第1校正用パターンのコンタクト数であり、本実施形態ではm=2である。ここで、コンタクト1つ当たりの抵抗値rcの算出において、コンタクト同士を接続する上側パターン(例えば図21(a)〜(d)に示す上層金属配線216)の抵抗値は無視できる程度の大きさである。
d=(ρc/(π×rc))1/2 ・・・ (式6)
に従って算出する。続いて、第1の工程で測定された各ブロックにおけるコンタクトチェーン抵抗パターンの抵抗値をRcとして、算出された電気的換算コンタクト径d又はその逆数及びコンタクトチェーン抵抗パターンの抵抗値RcをそれぞれX軸及びY軸にプロットすることによってグラフを作成する。図23(c)は、このようにして作成されたグラフの一例を示している。尚、図23(c)において、電気的換算コンタクト径dの逆数1/dをX軸に、コンタクトチェーン抵抗パターンの抵抗値RcをY軸にそれぞれプロットしている。このように第3の工程で作成されたグラフに基づいて、第4の工程において、コンタクトチェーン抵抗パターンの抵抗値Rcが離散的に上昇したポイントを抽出することによっても、コンタクトチェーン抵抗パターンのソフトオープン不良の検出を行なうことができる。
以下、本発明の第15の実施形態に係るコンタクト抵抗不良評価方法(コンタクト抵抗不良モニター方法)、具体的には、第12の実施形態に係るコンタクト抵抗不良モニター装置を用いた、半導体集積回路装置に搭載されるコンタクトの抵抗変動不良(ソフトオープン不良)を評価する方法について、図面を参照しながら説明する。ここで、第12の実施形態に係るコンタクト抵抗不良モニター装置においては、各ブロック内に、1つのコンタクトチェーン抵抗パターンに加えて、コンタクトチェーン抵抗パターンの抵抗値を決定する下地パターン(例えばゲート電極配線層又はソース/ドレイン不純物層)の抵抗値を校正するために用いられる、L1(=評価対象パターン長L)、L2及びL3の異なる3種類のパターン長を持つ第1校正用パターン群が設けられている。
Rc’=Rc×Ru(Ave) /Ru ・・・ (式7)
に従って算出する。具体的には、下地パターンがゲート電極配線層である場合には、Ru=Rg、Ru(Ave) =Rg(Ave) として、コンタクトチェーン抵抗パターンの抵抗値Rcの補正値Rc’を、
Rc’=Rc×Rg(Ave) /Rg ・・・ (式8)
に従って算出する。また、下地パターンがソース/ドレイン不純物層である場合には、Ru=Rd、Ru(Ave) =Rd(Ave) として、コンタクトチェーン抵抗パターンの抵抗値Rcの補正値Rc’を、
Rc’=Rc×Rd(Ave) /Rd ・・・ (式9)
に従って算出する。
以下、本発明の第16の実施形態に係るコンタクト抵抗不良評価装置(コンタクト抵抗不良モニター装置)の製造方法、具体的には、第12又は第13の実施形態に係るコンタクト抵抗不良モニター装置におけるコンタクトチェーン抵抗パターン及び校正用パターン(複数種類ある場合は少なくとも1種類の校正用パターン)を形成する方法について図面を参照しながら説明する。
101 チップ
101A ショット領域
102 抵抗不良評価パターン
102a ライン部分
102b 端子
103 抵抗不良
104 ポリシリコン層
105 シリサイド層
110 半導体集積回路装置
111 抵抗素子
120 ブロック
121 校正用パターン
121A 第1の校正用パターン
121B 第2の校正用パターン
121C 第3の校正用パターン
131 シリコン基板
132 絶縁膜
133 ポリシリコン電極
134 シリサイド層
135 サイドウォール絶縁膜
136 シリサイド化防止絶縁膜
151 半導体基板
152 第1の絶縁膜
153 シリコン膜
153A パターニングされたシリコン膜
154 サイドウォール絶縁膜
155 第2の絶縁膜
156 シリサイド層
161 半導体基板
161a トレンチ
162 第1の絶縁膜
162A パターンニングされた第1の絶縁膜
163 第2の絶縁膜
163A トレンチ分離
164 不純物層
165 第3の絶縁膜
166 シリサイド層
200 ウェハ
201 チップ
202 ブロック
211 基板
212 絶縁膜
213 下層配線
214 層間絶縁膜
215 コンタクト電極
215A 不良コンタクト電極
216 上層金属配線
251 シリコン基板
252 絶縁膜
253 第1の導電体膜
253A 下地パターン
254 層間絶縁膜
255 コンタクト電極
256 上層金属配線
Claims (34)
- 集積回路装置の構成要素の抵抗変動不良を評価するためにウェハ上に設けられた評価装置であって、
前記ウェハの各チップ領域毎に又は各ショット領域毎に、前記抵抗変動不良となる抵抗変動成分を測定できる評価パターンを有し、
前記チップ領域の1つ又は前記ショット領域の1つに含まれる前記評価パターンの数は、前記集積回路装置の歩留まり予測ができるように設定されていることを特徴とする抵抗不良評価装置。 - 半導体集積回路装置に搭載される抵抗素子の抵抗変動不良を評価するためにウェハ上に設けられた評価装置であって、
前記ウェハの各チップ領域毎に又は各ショット領域毎に、前記抵抗変動不良となる抵抗変動成分を測定できる長さを持つ抵抗不良評価パターンを有し、
前記抵抗不良評価パターンの長さをAとし、前記半導体集積回路装置に搭載された前記抵抗素子の合計長さをBとすると、前記チップ領域の1つ又は前記ショット領域の1つに含まれる前記抵抗不良評価パターンの数は、B/Aの1/100倍以上で且つ10倍以下であることを特徴とする抵抗不良評価装置。 - 半導体集積回路装置に搭載される抵抗素子の抵抗変動不良を評価するためにウェハ上に設けられた評価装置であって、
前記ウェハの各チップ領域又は各ショット領域を区画する複数のブロックのそれぞれに、前記抵抗変動不良となる抵抗変動成分を測定できる長さを持つ抵抗不良評価パターンと、前記抵抗不良評価パターンの抵抗値を決定する寸法、膜厚及び抵抗率のうちの少なくとも1つを校正するために用いられる校正用パターンとを有し、
前記ウェハ面内及び前記各チップ領域又は前記各ショット領域のそれぞれの内部において前記各ブロックは均一に配置されていることを特徴とする抵抗不良評価装置。 - 前記抵抗不良評価パターンの長さをAとし、前記半導体集積回路装置に搭載された前記抵抗素子の合計長さをBとすると、前記チップ領域の1つ又は前記ショット領域の1つに含まれる前記抵抗不良評価パターンの数は、B/Aの1/100倍以上で且つ10倍以下であることを特徴とする請求項3に記載の抵抗不良評価装置。
- 前記抵抗不良評価パターン及び前記校正用パターンにはそれぞれ独立したプロービング用パッドが設けられていることを特徴とする請求項3に記載の抵抗不良評価装置。
- 前記抵抗不良評価パターンの長さAは、
抵抗変動不良が少なくとも1箇所で生じている前記抵抗不良評価パターンの第1の抵抗値と抵抗変動不良が存在しない前記抵抗不良評価パターンの第2の抵抗値との差である抵抗変動成分が前記第2の抵抗値に対して2%以上になるように設定されることを特徴とする請求項2〜5のいずれか1項に記載の抵抗不良評価装置。 - 前記抵抗素子は、MOSトランジスタ本体、バイポーラトランジスタ本体、pn接合ダイオード、MOSトランジスタのゲート電極配線若しくはソース/ドレイン不純物層、金属配線、不純物層と配線層とを接続するコンタクト、又は配線層同士を接続するビアであることを特徴とする請求項2〜6のいずれか1項に記載の抵抗不良評価装置。
- 半導体集積回路装置に搭載されるMOSトランジスタを構成するゲート電極配線及びソース/ドレイン不純物層のうちの少なくとも一方であり且つシリコン含有層とその上に形成されたシリサイド層とからなる抵抗素子の抵抗変動不良を評価するためにウェハ上に設けられた評価装置であって、
前記ウェハの各チップ領域又は各ショット領域を区画する複数のブロックのそれぞれに、前記シリサイド層の断線に起因する前記抵抗変動不良となる抵抗変動成分を測定できる長さを持ち且つ前記抵抗素子と同一の幅の前記シリコン含有層及び前記シリサイド層からなる抵抗不良評価パターンと、前記抵抗不良評価パターンと同一の長さを持ち且つ前記抵抗素子と同一の幅の前記シリコン含有層からなる第1校正用パターンとを有し、
前記ウェハ面内及び前記各チップ領域又は前記各ショット領域のそれぞれの内部において前記各ブロックは均一に配置されていることを特徴とする抵抗不良評価装置。 - 半導体集積回路装置に搭載されるMOSトランジスタを構成するゲート電極配線及びソース/ドレイン不純物層のうちの少なくとも一方であり且つシリコン含有層とその上に形成されたシリサイド層とからなる抵抗素子の抵抗変動不良を評価するためにウェハ上に設けられた評価装置であって、
前記ウェハの各チップ領域又は各ショット領域を区画する複数のブロックのそれぞれに、前記シリサイド層の断線に起因する前記抵抗変動不良となる抵抗変動成分を測定できる長さを持ち且つ前記抵抗素子と同一の幅の前記シリコン含有層及び前記シリサイド層からなる抵抗不良評価パターンと、前記抵抗不良評価パターンと同一の長さを持ち且つ前記抵抗素子の5倍以上の幅の前記シリコン含有層からなる第2校正用パターンとを有し、
前記ウェハ面内及び前記各チップ領域又は前記各ショット領域のそれぞれの内部において前記各ブロックは均一に配置されていることを特徴とする抵抗不良評価装置。 - 半導体集積回路装置に搭載されるMOSトランジスタを構成するゲート電極配線及びソース/ドレイン不純物層のうちの少なくとも一方であり且つシリコン含有層とその上に形成されたシリサイド層とからなる抵抗素子の抵抗変動不良を評価するためにウェハ上に設けられた評価装置であって、
前記ウェハの各チップ領域又は各ショット領域を区画する複数のブロックのそれぞれに、前記シリサイド層の断線に起因する前記抵抗変動不良となる抵抗変動成分を測定できる長さを持ち且つ前記抵抗素子と同一の幅の前記シリコン含有層及び前記シリサイド層からなる抵抗不良評価パターンと、前記抵抗不良評価パターンと同一の長さを持ち且つ前記抵抗素子の5倍以上の幅の前記シリコン含有層及び前記シリサイド層からなる第3校正用パターンとを有し、
前記ウェハ面内及び前記各チップ領域又は前記各ショット領域のそれぞれの内部において前記各ブロックは均一に配置されていることを特徴とする抵抗不良評価装置。 - 半導体集積回路装置に搭載されるMOSトランジスタを構成するゲート電極配線及びソース/ドレイン不純物層のうちの少なくとも一方であり且つシリコン含有層とその上に形成されたシリサイド層とからなる抵抗素子の抵抗変動不良を評価するためにウェハ上に設けられた評価装置であって、
前記ウェハの各チップ領域又は各ショット領域を区画する複数のブロックのそれぞれに、前記シリサイド層の断線に起因する前記抵抗変動不良となる抵抗変動成分を測定できる長さを持ち且つ前記抵抗素子と同一の幅の前記シリコン含有層及び前記シリサイド層からなる抵抗不良評価パターンと、前記抵抗不良評価パターンと同一の長さを持ち且つ前記抵抗素子と同一の幅の前記シリコン含有層からなる第1校正用パターンと、前記抵抗不良評価パターンと同一の長さを持ち且つ前記抵抗素子の5倍以上の幅の前記シリコン含有層からなる第2校正用パターンとを有し、
前記ウェハ面内及び前記各チップ領域又は前記各ショット領域のそれぞれの内部において前記各ブロックは均一に配置されていることを特徴とする抵抗不良評価装置。 - 前記各ブロックに、前記抵抗不良評価パターンと同一の長さを持ち且つ前記抵抗不良評価パターンと異なる2種類以上の幅の前記シリコン含有層及び前記シリサイド層からなる複数の他の抵抗不良評価パターンと、前記第1校正用パターンと同一の長さを持ち且つ前記第1校正用パターンと異なる2種類以上の幅の前記シリコン含有層からなる複数の他の第1校正用パターンとをさらに有していることを特徴とする請求項11に記載の抵抗不良評価装置。
- 前記各ブロックに、前記抵抗不良評価パターンと同一の長さを持ち且つ前記抵抗素子の5倍以上の幅の前記シリコン含有層及び前記シリサイド層からなる第3校正用パターンをさらに有していることを特徴とする請求項11又は12に記載の抵抗不良評価装置。
- 半導体集積回路装置に搭載されるMOSトランジスタを構成するゲート電極配線及びソース/ドレイン不純物層のうちの少なくとも一方であり且つシリコン含有層とその上に形成されたシリサイド層とからなる抵抗素子の抵抗変動不良を評価するためにウェハ上に設けられた評価装置であって、
前記ウェハの各チップ領域又は各ショット領域を区画する複数のブロックのそれぞれに、前記シリサイド層の断線に起因する前記抵抗変動不良となる抵抗変動成分を測定できる長さを持ち且つ前記抵抗素子と同一の幅の前記シリコン含有層及び前記シリサイド層からなる抵抗不良評価パターンと、前記抵抗不良評価パターンと同一の長さを持ち且つ前記抵抗素子と同一の幅の前記シリコン含有層からなる第1校正用パターンと、前記抵抗不良評価パターンと同一の長さを持ち且つ前記抵抗素子の5倍以上の幅の前記シリコン含有層及び前記シリサイド層からなる第3校正用パターンとを有し、
前記ウェハ面内及び前記各チップ領域又は前記各ショット領域のそれぞれの内部において前記各ブロックは均一に配置されていることを特徴とする抵抗不良評価装置。 - 前記抵抗不良評価パターンの長さAは、
抵抗変動不良が少なくとも1箇所で生じている前記抵抗不良評価パターンの第1の抵抗値と抵抗変動不良が存在しない前記抵抗不良評価パターンの第2の抵抗値との差である抵抗変動成分が前記第2の抵抗値に対して2%以上になるように設定され、
前記半導体集積回路装置に搭載された前記抵抗素子の合計長さをBとすると、前記チップ領域の1つ又は前記ショット領域の1つに含まれる前記抵抗不良評価パターンの数は、B/Aの1/10倍以上で且つ10倍以下であることを特徴とする請求項8〜14のいずれか1項に記載の抵抗不良評価装置。 - 半導体集積回路装置に搭載されるMOSトランジスタを構成するゲート電極配線及びソース/ドレイン不純物層のうちの少なくとも一方であり且つシリコン含有層とその上に形成されたシリサイド層とからなる抵抗素子の抵抗変動不良を評価する評価方法であって、
請求項11に記載の抵抗不良評価装置を使用して、前記各ブロック内の前記抵抗不良評価パターン、前記第1校正用パターン及び前記第2校正用パターンのそれぞれの抵抗値を、前記ウェハ面内及び前記各チップ領域内又は前記各ショット領域内における複数の箇所で測定する第1の工程と、
前記第2校正用パターンの幅の設計値をDRとし、前記第1の工程で測定された前記第1校正用パターン及び前記第2校正用パターンのそれぞれの抵抗値をR1及びR2として、前記各ブロックにおける前記抵抗不良評価パターンの電気的換算寸法ECDを、
ECD=DR×R2/R1
に従って算出する第2の工程と、
前記第2の工程で算出された前記電気的換算寸法ECD及び前記第1の工程で測定された前記抵抗不良評価パターンの抵抗値RをそれぞれX軸及びY軸にプロットすることによってグラフを作成するか、又は、
前記抵抗不良評価パターンの長さをAとして、前記各ブロックにおける前記抵抗不良評価パターンのシート抵抗値Rsを、
Rs=R×ECD/A
に従って算出し、算出された前記シート抵抗値Rs及び前記第2の工程で算出された前記電気的換算寸法ECDをそれぞれY軸及びX軸にプロットすることによってグラフを作成する第3の工程と、
前記第3の工程で作成されたグラフに基づいて、前記抵抗不良評価パターンの抵抗値R又は前記シート抵抗値Rsが離散的に上昇したポイントを抽出することにより、前記抵抗不良評価パターンの抵抗変動不良の検出を行なう第4の工程とを備えていることを特徴とする抵抗不良評価方法。 - 前記各ブロックには、前記抵抗不良評価パターンと同一の長さを持ち且つ前記抵抗不良評価パターンと異なる2種類以上の幅の前記シリコン含有層及び前記シリサイド層からなる複数の他の抵抗不良評価パターンと、前記第1校正用パターンと同一の長さを持ち且つ前記第1校正用パターンと異なる2種類以上の幅の前記シリコン含有層からなる複数の他の第1校正用パターンとがさらに設けられており、
前記第1の工程は、前記各ブロック内の前記各他の抵抗不良評価パターン及び前記各他の第1校正用パターンのそれぞれの抵抗値を、前記ウェハ面内及び前記各チップ領域内又は前記各ショット領域内における複数の箇所で測定する工程を含むことを特徴とする請求項16に記載の抵抗不良評価方法。 - 半導体集積回路装置に搭載されるMOSトランジスタを構成するゲート電極配線及びソース/ドレイン不純物層のうちの少なくとも一方であり且つシリコン含有層とその上に形成されたシリサイド層とからなる抵抗素子の抵抗変動不良を評価する評価方法であって、
請求項8に記載の抵抗不良評価装置を使用して、前記各ブロック内の前記抵抗不良評価パターン及び前記第1校正用パターンのそれぞれの抵抗値を、前記ウェハ面内及び前記各チップ領域内又は前記各ショット領域内における複数の箇所で測定する第1の工程と、
前記第1の工程で測定された前記各ブロックにおける前記抵抗不良評価パターン及び前記第1校正用パターンのそれぞれの抵抗値をRR及びr1とし、前記第1の工程で測定された前記ウェハ面内における全ての前記第1校正用パターンの抵抗値の平均値をr1(Ave) として、前記抵抗不良評価パターンの抵抗値RRの補正値RR'(1)を、
RR'(1)=RR×r1(Ave) /r1
に従って算出する第2の工程と、
前記第2の工程で算出された前記補正値RR'(1)の前記ウェハ面内又は前記各チップ領域内若しくは前記各ショット領域内における分布図を作成する第3の工程と、
前記第3の工程で作成された前記分布図に基づいて、前記補正値RR'(1)が離散的に上昇したポイントを抽出することにより、前記抵抗不良評価パターンの抵抗変動不良の検出を行なう第4の工程とを備えていることを特徴とする抵抗不良評価方法。 - 半導体集積回路装置に搭載されるMOSトランジスタを構成するゲート電極配線及びソース/ドレイン不純物層のうちの少なくとも一方であり且つシリコン含有層とその上に形成されたシリサイド層とからなる抵抗素子の抵抗変動不良を評価する評価方法であって、
請求項10に記載の抵抗不良評価装置を使用して、前記各ブロック内の前記抵抗不良評価パターン及び前記第3校正用パターンのそれぞれの抵抗値を、前記ウェハ面内及び前記各チップ領域内又は前記各ショット領域内における複数の箇所で測定する第1の工程と、
前記第1の工程で測定された前記各ブロックにおける前記抵抗不良評価パターン及び前記第3校正用パターンのそれぞれの抵抗値をRR及びr3とし、前記第1の工程で測定された前記ウェハ面内における全ての前記第3校正用パターンの抵抗値の平均値をr3(Ave) として、前記抵抗不良評価パターンの抵抗値RRの補正値RR'(2)を、
RR'(2)=RR×r3(Ave) /r3
に従って算出する第2の工程と、
前記第2の工程で算出された前記補正値RR'(2)の前記ウェハ面内又は前記各チップ領域内若しくは前記各ショット領域内における分布図を作成する第3の工程と、
前記第3の工程で作成された前記分布図に基づいて、前記補正値RR'(2)が離散的に上昇したポイントを抽出することにより、前記抵抗不良評価パターンの抵抗変動不良の検出を行なう第4の工程とを備えていることを特徴とする抵抗不良評価方法。 - 半導体集積回路装置に搭載されるMOSトランジスタを構成するゲート電極配線及びソース/ドレイン不純物層のうちの少なくとも一方であり且つシリコン含有層とその上に形成されたシリサイド層とからなる抵抗素子の抵抗変動不良を評価する評価方法であって、
請求項14に記載の抵抗不良評価装置を使用して、前記各ブロック内の前記抵抗不良評価パターン、前記第1校正用パターン及び前記第3校正用パターンのそれぞれの抵抗値を、前記ウェハ面内及び前記各チップ領域内又は前記各ショット領域内における複数の箇所で測定する第1の工程と、
前記第1の工程で測定された前記各ブロックにおける前記抵抗不良評価パターン、前記第1校正用パターン及び前記第3校正用パターンのそれぞれの抵抗値をRR、r1及びr3とし、前記第1の工程で測定された前記ウェハ面内における全ての前記第1校正用パターンの抵抗値及び全ての前記第3校正用パターンの抵抗値のそれぞれの平均値をr1(Ave) 及びr3(Ave) として、前記抵抗不良評価パターンの抵抗値RRの補正値RR'(1)、補正値RR'(2)及び補正値RR'(3)をそれぞれ、
RR'(1)=RR×r1(Ave) /r1
RR'(2)=RR×r3(Ave) /r3
RR'(3)=RR×r1(Ave) ×r3(Ave) /(r1×r3)
に従って算出する第2の工程と、
前記第2の工程で算出された前記補正値RR'(1)、前記補正値RR'(2)及び前記補正値RR'(3)のそれぞれの前記ウェハ面内又は前記各チップ領域内若しくは前記各ショット領域内における分布図を作成する第3の工程と、
前記第3の工程で作成された前記各分布図に基づいて、前記補正値RR'(1)、前記補正値RR'(2)及び前記補正値RR'(3)が離散的に上昇したポイントを抽出することにより、前記抵抗不良評価パターンの抵抗変動不良の検出を行なう第4の工程とを備えていることを特徴とする抵抗不良評価方法。 - 前記第2の工程において、前記平均値r1(Ave) に代えて、前記第1の工程で測定された前記チップ領域の1つ若しくは前記ショット領域の1つにおける全ての前記第1校正用パターンの抵抗値の平均値r1shot(Ave) 、又は前記第1の工程で測定された前記ブロックの1つにおける全ての前記第1校正用パターンの抵抗値の平均値r1block(Ave)を用いることを特徴とする請求項18又は20に記載の抵抗不良評価方法。
- 前記第2の工程において、前記平均値r3(Ave) に代えて、前記第1の工程で測定された前記チップ領域の1つ若しくは前記ショット領域の1つにおける全ての前記第3校正用パターンの抵抗値の平均値r3shot(Ave) 、又は前記第1の工程で測定された前記ブロックの1つにおける全ての前記第3校正用パターンの抵抗値の平均値r3block(Ave)を用いることを特徴とする請求項19又は20に記載の抵抗不良評価方法。
- 請求項3〜15のいずれか1項に記載の抵抗不良評価装置の製造方法であって、
評価対象となる前記抵抗素子は、前記半導体集積回路装置に搭載されるMOSトランジスタを構成するゲート電極配線であって、
前記ウェハよりなる基板上に第1の絶縁膜を形成する工程と、
前記第1の絶縁膜上にシリコン含有層を堆積する工程と、
第1のマスクパターンを用いて前記シリコン含有層に対してエッチングを行なうことにより、前記シリコン含有層を前記抵抗不良評価パターン及び前記校正用パターンのそれぞれの形状にパターンニングする工程と、
パターニングされた前記シリコン含有層の側面にサイドウォールを形成した後、シリサイド化を防止するための第2の絶縁膜を堆積する工程と、
第2のマスクパターンを用いて前記第2の絶縁膜に対してエッチングを行なうことにより、前記第2の絶縁膜を除去したシリサイド化領域と、前記第2の絶縁膜を残存させたシリサイド化防止領域とを設定する工程と、
サリサイドプロセスを用いて前記シリサイド化領域の前記シリコン含有層の上部にシリサイド層を形成することによってゲート電極配線を形成する工程とを備えていることを特徴とする抵抗不良評価装置の製造方法。 - 請求項3〜15のいずれか1項に記載の抵抗不良評価装置の製造方法であって、
評価対象となる前記抵抗素子は、前記半導体集積回路装置に搭載されるMOSトランジスタを構成するソース/ドレイン不純物層であって、
前記ウェハよりなる半導体基板上に第1の絶縁膜を形成する工程と、
第1のマスクパターンを用いて前記第1の絶縁膜に対してエッチングを行なうことにより、前記第1の絶縁膜を前記抵抗不良評価パターン及び前記校正用パターンのそれぞれの形状にパターンニングする工程と、
パターニングされた前記第1の絶縁膜をマスクとして、前記半導体基板に対してエッチングを行なってトレンチを形成する工程と、
前記トレンチ内に第2の絶縁膜を埋め込む工程と、
CMPにより前記第2の絶縁膜の表面を平坦化した後、前記第1の絶縁膜を除去してトレンチ分離を形成する工程と、
前記トレンチ分離が形成されていない前記半導体基板の露出表面部に対して不純物を導入することによって不純物層を形成した後、前記半導体基板上に、シリサイド化を防止するための第3の絶縁膜を堆積する工程と、
第2のマスクパターンを用いて前記第3の絶縁膜に対してエッチングを行なうことにより、前記第3の絶縁膜を除去したシリサイド化領域と、前記第3の絶縁膜を残存させたシリサイド化防止領域とを設定する工程と、
サリサイドプロセスを用いて前記シリサイド化領域の前記不純物層の上部にシリサイド層を形成することによってソース/ドレイン不純物層を形成する工程とを備えていることを特徴とする抵抗不良評価装置の製造方法。 - 半導体集積回路装置に搭載されるコンタクトの抵抗変動不良を評価するためにウェハ上に設けられた評価装置であって、
前記ウェハの各チップ領域毎に又は各ショット領域毎に、前記抵抗変動不良となる抵抗変動成分を測定できるコンタクト数を持つコンタクトチェーン抵抗パターンを有し、
前記コンタクトチェーン抵抗パターンのコンタクト数をnとし、前記半導体集積回路装置に搭載された前記コンタクトの総数をNとすると、前記チップ領域の1つ又は前記ショット領域の1つに含まれる前記コンタクトチェーン抵抗パターンの数は、N/nの1/10倍以上で且つ10倍以下であることを特徴とするコンタクト不良評価装置。 - 前記コンタクトチェーン抵抗パターンは、前記ウェハの各チップ領域又は各ショット領域を区画する複数のブロックのそれぞれに配置されており、
前記各ブロックにおける前記コンタクトチェーン抵抗パターンの近傍に、前記コンタクトチェーン抵抗パターンの抵抗値を決定する下地パターンの抵抗値を校正するために用いられ且つ評価対象のコンタクト間パターン長Lと同等のコンタクト間パターン長L1、前記コンタクト間パターン長L1よりも長いコンタクト間パターン長L2及び前記コンタクト間パターン長L2よりも長いコンタクト間パターン長L3のそれぞれを持つ複数の第1校正用パターンを有し、
前記ウェハ面内及び前記各チップ領域又は前記各ショット領域のそれぞれの内部において前記各ブロックは均一に配置されていることを特徴とする請求項25に記載のコンタクト不良評価装置。 - 前記コンタクトチェーン抵抗パターンは、前記ウェハの各チップ領域又は各ショット領域を区画する複数のブロックのそれぞれに配置されており、
前記各ブロックにおける前記コンタクトチェーン抵抗パターンの近傍に、評価対象のコンタクト径dよりも小さいコンタクト径d1、前記コンタクト径dと同等のコンタクト径d2及び前記コンタクト径dよりも大きいコンタクト径d3のそれぞれを持つ複数の第2校正用パターンを有し、
前記ウェハ面内及び前記各チップ領域又は前記各ショット領域のそれぞれの内部において前記各ブロックは均一に配置されていることを特徴とする請求項25に記載のコンタクト不良評価装置。 - 前記コンタクトチェーン抵抗パターンのコンタクト数nは、
抵抗変動不良が少なくとも1箇所で生じている前記コンタクトチェーン抵抗パターンの第1の抵抗値と前記抵抗変動不良が存在しない前記コンタクトチェーン抵抗パターンの第2の抵抗値との差である抵抗変動成分が前記第1の抵抗値に対して1%以上になるように設定されることを特徴とする請求項25〜27のいずれか1項に記載のコンタクト不良評価装置。 - 前記コンタクトは、コンタクトホール内に高融点金属膜又は金属膜を埋め込むことによって形成されたコンタクト電極であることを特徴とする請求項25〜28のいずれか1項に記載のコンタクト不良評価装置。
- 前記コンタクトの下地パターンは、ゲート電極配線層、ソース/ドレイン不純物層又は下層金属配線層であることを特徴とする請求項25〜29のいずれか1項に記載のコンタクト不良評価装置。
- 半導体集積回路装置に搭載されるコンタクトの抵抗変動不良を評価する評価方法であって、
請求項26に記載のコンタクト不良評価装置を使用して、前記各ブロック内の前記コンタクトチェーン抵抗パターン及び前記各第1校正用パターンのそれぞれの抵抗値を、前記ウェハ面内及び前記各チップ領域内又は前記各ショット領域内における複数の箇所で測定する第1の工程と、
前記第1の工程で測定された前記各ブロックにおける前記各第1校正用パターンの抵抗値を前記コンタクト間パターン長L1、L2及びL3のそれぞれについてr1、r2及びr3として、前記コンタクト間パターン長L1、L2及びL3並びに前記各第1校正用パターンの抵抗値r1、r2及びr3をそれぞれX軸及びY軸にプロットすることによってグラフを作成し、作成したグラフのY切片の値から、当該ブロックにおける前記コンタクトチェーン抵抗パターンを構成するコンタクトの1つ当たりの抵抗値rcを算出する第2の工程と、
前記第1の工程で測定された前記各ブロックにおける前記コンタクトチェーン抵抗パターンの抵抗値をRcとして、前記第2の工程で算出された前記コンタクトの1つ当たりの抵抗値rc及び前記コンタクトチェーン抵抗パターンの抵抗値RcをそれぞれX軸及びY軸にプロットすることによってグラフを作成するか、又は、
前記第2の工程で算出された前記コンタクトの1つ当たりの抵抗値rc及び単位面積当たりのコンタクト抵抗値ρcを用いて、前記各ブロックにおける電気的換算コンタクト径dを、
d=(ρc/(π×rc))1/2
に従って算出すると共に、前記第1の工程で測定された前記各ブロックにおける前記コンタクトチェーン抵抗パターンの抵抗値をRcとして、算出された電気的換算コンタクト径d又はその逆数及び前記コンタクトチェーン抵抗パターンの抵抗値RcをそれぞれX軸及びY軸にプロットすることによってグラフを作成する第3の工程と、
前記第3の工程で作成されたグラフに基づいて、前記コンタクトチェーン抵抗パターンの抵抗値Rcが離散的に上昇したポイントを抽出することにより、前記コンタクトチェーン抵抗パターンの抵抗変動不良の検出を行なう第4の工程とを備えていることを特徴とするコンタクト不良評価方法。 - 半導体集積回路装置に搭載されているコンタクトの抵抗変動不良を評価する評価方法であって、
請求項26に記載のコンタクト不良評価装置を使用して、前記各ブロック内の前記コンタクトチェーン抵抗パターン及び前記各第1校正用パターンのそれぞれの抵抗値を、前記ウェハ面内及び前記各チップ領域内又は前記各ショット領域内における複数の箇所で測定する第1の工程と、
前記第1の工程で測定された前記各ブロックにおける前記各第1校正用パターンの抵抗値を前記コンタクト間パターン長L1、L2及びL3のそれぞれについてr1、r2及びr3として、前記コンタクト間パターン長L1、L2及びL3並びに前記各第1校正用パターンの抵抗値r1、r2及びr3をそれぞれX軸及びY軸にプロットすることによってグラフを作成し、作成したグラフの傾きの値から、当該ブロックにおける前記コンタクトチェーン抵抗パターンの前記下地パターンの単位長さ当たり抵抗値Ruを算出する第2の工程と、
前記第1の工程で測定された前記各ブロックにおける前記コンタクトチェーン抵抗パターンの抵抗値をRcとし、前記第2の工程で算出された前記ウェハ面内における全ての前記コンタクトチェーン抵抗パターンの前記下地パターンの単位長さ当たり抵抗値Ruの平均値をRu(Ave) として、前記コンタクトチェーン抵抗パターンの抵抗値Rcの補正値Rc’を、
Rc’=Rc×Ru(Ave) /Ru
に従って算出する第3の工程と、
前記第3の工程で算出された前記補正値Rc’の前記ウェハ面内又は前記各チップ領域内若しくは前記各ショット領域内における分布図を作成する第4の工程と、
前記第4の工程で作成された前記分布図に基づいて、前記補正値Rc’が離散的に上昇したポイントを抽出することにより、前記コンタクトチェーン抵抗パターンの抵抗変動不良の検出を行なう第5の工程とを備えていることを特徴とするコンタクト不良評価方法。 - 前記第3の工程において、前記平均値Ru(Ave) に代えて、前記第2の工程で算出された前記チップ領域の1つ若しくは前記ショット領域の1つにおける全ての前記コンタクトチェーン抵抗パターンの前記下地パターンの単位長さ当たり抵抗値Ruの平均値Rushot(Ave) 、又は前記第2の工程で算出された前記ブロックの1つにおける全ての前記コンタクトチェーン抵抗パターンの前記下地パターンの単位長さ当たり抵抗値Ruの平均値Rublock(Ave)を用いることを特徴とする請求項32に記載のコンタクト不良評価方法。
- 請求項26〜30のいずれか1項に記載のコンタクト不良評価装置の製造方法であって、
前記ウェハよりなる基板上に、前記コンタクトチェーン抵抗パターン及び前記校正用パターンのそれぞれの下地パターンを形成する工程と、
前記下地パターンが形成された前記基板上に絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜に、前記各下地パターンに達する複数のホールを形成する工程と、
前記各ホールに導電体膜を埋め込んで複数のコンタクトを形成する工程と、
前記各コンタクトの上及び前記絶縁膜の上に上層配線を形成する工程とを備えていることを特徴とするコンタクト不良評価装置の製造方法。
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