JP2005108482A - プラズマ表面処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 反応ガスをプラズマ化するリアクタ4、5、6の対向電極を、被処理基板wと対面する一方の電極7、16a、16bと、これと所定の間隙を保ち、一方の電極によって被処理基板wから隠される位置に配置される他方の電極8、8a、8b、17とから構成し、一方の電極を高周波電源RFの接地側出力端子に接続し、リアクタ4、5、6の外周に、一方の電極と反応ガスの噴射孔の位置を除いて、接地導体板3を配置する。また、反応ガスに添加される酸素を個別にプラズマ活性化した後に反応ガスに混入して、電力効率を高める。
【選択図】 図2
Description
このようにUVランプやエキシマランプを用いた表面改質は、製造コストの増大を招く。
(A)リアクタの対向電極の間隙を通り、その一側端に抜ける反応ガスが、被処理基板に向けて噴射されるように構成されている構造。
なお、酸素を単独でプラズマ活性化する構造は、上記(C)以外の構造であってもよい。
固体誘電体9で覆ったのは、平板電極7、8の金属で被処理基板wが汚染されるのを防止するためで、固体誘電体9の比誘電率が大きく、固体誘電体9の表面間に電界が集中するので、固体誘電体9の間隙が、実質的な電極間隙Gとなる。この電極間隙Gの長さは、改質性能に大きい変化を与えるので、通過する反応ガスの励起状態を発光分光器で観測することにより決定する。
反応ガスは、絶縁体12に設けた内部空洞22から、拡散板23aを備えた拡散室23に流され、乱流をなくした状態で対向した一方の電極7と他方の電極8との間に供給される構造となっている。
2 コンベア
3 シールドケース
4、5、6 リアクタ
7、16a、16b 一方の電極
8、8a、8b、17 他方の電極
9 固体誘電体
10、13、20、21 反応ガスの供給孔
12 絶縁物
11、14、15、18 反応ガスの噴射孔
19a、19b 供給路
22、25 内部空洞
23a、26a 拡散板
23、26 拡散室
24、27、28 冷却用空洞
29 混合室
30、31 流量調整弁
32 混合器
G 電極間隙
RF 高周波電源
Claims (8)
- リアクタの対向電極間の高周波電界によってプラズマ化された反応ガスを、大気圧近傍の圧力の下に被処理基板に噴射供給して表面処理を行う装置において、
リアクタの対向電極が、被処理基板と対面する一方の電極と、この一方の電極と所定の間隙を保ち、この一方の電極によって被処理基板から隠される位置に配置される他方の電極とから構成されていることを特徴とするプラズマ表面処理装置。 - 被処理基板に対面する一方の電極が、高周波電源の出力端子の接地側に接続されていることを特徴とする請求項1に記載のプラズマ表面処理装置。
- リアクタの外周に、一方の電極と反応ガスの噴射孔の位置を除いて、接地導体板を配置したことを特徴とする請求項1または2に記載のプラズマ表面処理装置。
- リアクタの対向電極の間隙を通り、その一側端に抜ける反応ガスが、被処理基板に向けて噴射されるように構成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載したプラズマ表面処理装置。
- 被処理基板から隠される位置に配置される他方の電極が、反応ガスの供給孔となる間隔を開けて二分割され、この供給孔を通って対向電極の間隙に流入し、対向電極の両側端に達した反応ガスが、被処理基板に向けて別々に噴射されるように構成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載したプラズマ表面処理装置。
- 被処理基板と対面する一方の電極が、反応ガスの噴射孔となる間隔を開けて二分割され、被処理基板から隠される位置に配置される他方の電極の形状が、二分割された一方の電極の夫々との間に、反応ガスの供給路となる所定の間隙を形成し、かつ、これら二つの供給路が合流して、前記反応ガスの噴射孔につながるものとされていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載したプラズマ表面処理装置。
- 反応ガスとしてキャリアガスに酸素を添加したものを用いる場合において、酸素を単独でプラズマ化する専用の対向電極を備えたことを特徴とするプラズマ表面処理装置。
- 反応ガスとしてキャリアガスに酸素を添加したものを用いる場合において、一方の供給路にキャリアガスを供給し、他方の供給路に酸素を供給することを特徴とする請求項6に記載したプラズマ表面処理装置。
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