JP2005102138A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2005102138A5
JP2005102138A5 JP2004141105A JP2004141105A JP2005102138A5 JP 2005102138 A5 JP2005102138 A5 JP 2005102138A5 JP 2004141105 A JP2004141105 A JP 2004141105A JP 2004141105 A JP2004141105 A JP 2004141105A JP 2005102138 A5 JP2005102138 A5 JP 2005102138A5
Authority
JP
Japan
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2004141105A
Other versions
JP3951058B2 (ja
JP2005102138A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2004141105A priority Critical patent/JP3951058B2/ja
Priority claimed from JP2004141105A external-priority patent/JP3951058B2/ja
Priority to US10/916,602 priority patent/US7015631B2/en
Priority to CNB200410058590XA priority patent/CN100440562C/zh
Publication of JP2005102138A publication Critical patent/JP2005102138A/ja
Publication of JP2005102138A5 publication Critical patent/JP2005102138A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3951058B2 publication Critical patent/JP3951058B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

JP2004141105A 2003-08-19 2004-05-11 音叉型圧電振動片 Expired - Lifetime JP3951058B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004141105A JP3951058B2 (ja) 2003-08-19 2004-05-11 音叉型圧電振動片
US10/916,602 US7015631B2 (en) 2003-08-19 2004-08-12 Tuning-fork type piezo-oscillator piece and mounting method thereof
CNB200410058590XA CN100440562C (zh) 2003-08-19 2004-08-18 音叉型压电振动片及音叉型压电振动片的安装方法

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003295606 2003-08-19
JP2004141105A JP3951058B2 (ja) 2003-08-19 2004-05-11 音叉型圧電振動片

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006287991A Division JP4529143B2 (ja) 2003-08-19 2006-10-23 音叉型圧電振動片

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2005102138A JP2005102138A (ja) 2005-04-14
JP2005102138A5 true JP2005102138A5 (ja) 2005-09-22
JP3951058B2 JP3951058B2 (ja) 2007-08-01

Family

ID=34315608

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004141105A Expired - Lifetime JP3951058B2 (ja) 2003-08-19 2004-05-11 音叉型圧電振動片

Country Status (3)

Country Link
US (1) US7015631B2 (ja)
JP (1) JP3951058B2 (ja)
CN (1) CN100440562C (ja)

Families Citing this family (79)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8766745B1 (en) 2007-07-25 2014-07-01 Hrl Laboratories, Llc Quartz-based disk resonator gyro with ultra-thin conductive outer electrodes and method of making same
US7994877B1 (en) 2008-11-10 2011-08-09 Hrl Laboratories, Llc MEMS-based quartz hybrid filters and a method of making the same
JP4049017B2 (ja) * 2003-05-16 2008-02-20 セイコーエプソン株式会社 圧電振動子
JP4301200B2 (ja) 2004-10-20 2009-07-22 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片および圧電デバイス
JP4415382B2 (ja) * 2005-01-20 2010-02-17 セイコーエプソン株式会社 振動ジャイロ素子、振動ジャイロ素子の支持構造およびジャイロセンサ
JP4658625B2 (ja) * 2005-01-25 2011-03-23 日本電波工業株式会社 角速度センサ及びその製造方法
JP4415389B2 (ja) * 2005-04-27 2010-02-17 セイコーエプソン株式会社 圧電デバイス
DE602005012488D1 (de) * 2005-06-09 2009-03-12 Eta Sa Mft Horlogere Suisse Kompakter piezoelektrischer Resonator
US20060279176A1 (en) * 2005-06-09 2006-12-14 Eta Manufacture Horlogere Suisse Small-sized piezoelectric resonator
DE602005005647T2 (de) * 2005-06-09 2009-04-16 Eta Sa Manufacture Horlogère Suisse Piezoelektrischer Resonator mit kleinen Abmessungen
US7112914B1 (en) 2005-06-09 2006-09-26 Eta Sa Manufacture Horlogere Suisse Piezoelectric resonator and assembly comprising the same enclosed in a case
DE602005005646T2 (de) * 2005-06-09 2009-04-16 Eta Sa Manufacture Horlogère Suisse Piezoelektrischer Resonator und Anordnung mit dem in ein Gehäuse eingeschlossenen Resonator
US7084556B1 (en) * 2005-06-09 2006-08-01 Eta Sa Manufacture Horlogere Suisse Small-sized piezoelectric resonator
US7138752B1 (en) * 2005-06-09 2006-11-21 Eta Sa Manufacture Horlogere Suisse Small-sized piezoelectric resonator
EP1732218B1 (en) * 2005-06-09 2008-12-10 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Small-sized piezoelectric resonator
JPWO2007004348A1 (ja) * 2005-06-30 2009-01-22 株式会社大真空 圧電振動片及び圧電振動デバイス
US7694734B2 (en) * 2005-10-31 2010-04-13 Baker Hughes Incorporated Method and apparatus for insulating a resonator downhole
JP4389924B2 (ja) 2006-11-07 2009-12-24 エプソントヨコム株式会社 圧電デバイス
JP5015678B2 (ja) * 2007-07-02 2012-08-29 日本電波工業株式会社 圧電デバイス及び圧電振動片
US10266398B1 (en) 2007-07-25 2019-04-23 Hrl Laboratories, Llc ALD metal coatings for high Q MEMS structures
JP5062413B2 (ja) * 2007-11-08 2012-10-31 セイコーエプソン株式会社 音叉型圧電振動片及び音叉型圧電振動子
EP2071721B1 (en) * 2007-12-13 2011-02-23 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Piezoelectric resonator in a small-sized package
US20090174289A1 (en) * 2007-12-28 2009-07-09 Adaptivenergy Llc Magnetic impulse energy harvesting device and method
JP4629094B2 (ja) * 2007-12-28 2011-02-09 日本電波工業株式会社 圧電振動片、圧電デバイス及びそれらの製造方法
US8151640B1 (en) 2008-02-05 2012-04-10 Hrl Laboratories, Llc MEMS on-chip inertial navigation system with error correction
US7802356B1 (en) 2008-02-21 2010-09-28 Hrl Laboratories, Llc Method of fabricating an ultra thin quartz resonator component
JP2009206759A (ja) * 2008-02-27 2009-09-10 Seiko Instruments Inc 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計並びに圧電振動片の製造方法
JP5522796B2 (ja) * 2008-03-18 2014-06-18 シチズンホールディングス株式会社 圧電デバイス
WO2009143492A1 (en) * 2008-05-23 2009-11-26 Statek Corporation Piezoelectric resonator
JP5181938B2 (ja) * 2008-09-03 2013-04-10 株式会社大真空 音叉型水晶振動子
US8400048B2 (en) * 2008-09-26 2013-03-19 Daishinku Corporation Tuning-fork type piezoelectric resonator plate comprising leg portions and a bonding portion respectively provided on first and second end faces of a base portion
JP4685910B2 (ja) * 2008-09-29 2011-05-18 日本電波工業株式会社 圧電デバイス
JP4709884B2 (ja) 2008-09-29 2011-06-29 日本電波工業株式会社 圧電振動片および圧電デバイス
JP4714770B2 (ja) * 2008-10-06 2011-06-29 日本電波工業株式会社 音叉型圧電振動片及び音叉型圧電振動片の製造方法
US7811862B2 (en) * 2008-12-17 2010-10-12 Infineon Technologies Ag Thermally enhanced electronic package
US8067880B2 (en) * 2008-12-27 2011-11-29 Seiko Epson Corporation Flexural vibration element and electronic component
US8552624B2 (en) * 2009-09-18 2013-10-08 Seiko Epson Corporation Impact resistance vibrating reed, vibrator, oscillator, and electronic device
TW201131975A (en) * 2009-09-18 2011-09-16 Seiko Epson Corp Vibrating reed, vibrator, oscillator, and electronic device
US8176607B1 (en) 2009-10-08 2012-05-15 Hrl Laboratories, Llc Method of fabricating quartz resonators
JP5593979B2 (ja) * 2009-11-11 2014-09-24 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、発振器、センサー及び電子機器
US8299863B2 (en) * 2009-12-25 2012-10-30 Seiko Epson Corporation Flexural mode resonator element, resonating device, and electronic apparatus
JP5732728B2 (ja) * 2010-02-25 2015-06-10 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子及び発振器
US8283988B2 (en) * 2010-02-25 2012-10-09 Seiko Epson Corporation Resonator element, resonator, oscillator, and electronic device
JP5782707B2 (ja) * 2010-12-01 2015-09-24 セイコーエプソン株式会社 電子機器
US8692632B2 (en) * 2010-03-17 2014-04-08 Seiko Epson Corporation Resonator element, resonator, oscillator, and electronic device
JP2011220997A (ja) * 2010-03-26 2011-11-04 Seiko Epson Corp 物理量検出素子、物理量検出装置、および電子機器
JP5062784B2 (ja) 2010-03-31 2012-10-31 日本電波工業株式会社 音叉型圧電振動片及び圧電デバイス
JP5085681B2 (ja) * 2010-03-31 2012-11-28 日本電波工業株式会社 圧電振動片、圧電デバイスおよび圧電振動片の製造方法
JP5085682B2 (ja) * 2010-04-26 2012-11-28 日本電波工業株式会社 圧電デバイス
JP2010246126A (ja) * 2010-04-28 2010-10-28 Seiko Epson Corp 圧電振動片および圧電デバイス
US8912711B1 (en) * 2010-06-22 2014-12-16 Hrl Laboratories, Llc Thermal stress resistant resonator, and a method for fabricating same
JP5585240B2 (ja) * 2010-06-25 2014-09-10 セイコーエプソン株式会社 振動片及び振動デバイス
US20120098389A1 (en) * 2010-10-21 2012-04-26 Micro Crystal Ag Method for mounting a piezoelectric resonator in a case and packaged piezoelectric resonator
CN102455193A (zh) * 2010-10-26 2012-05-16 查红红 一种开放式传感器中的碗型振子及其成型方法
EP2624450B1 (en) * 2011-02-25 2015-02-11 Daishinku Corporation Piezoelectric vibrating reed, piezoelectric vibrator, method for manufacturing piezoelectric vibrating reed, and method for manufacturing piezoelectric vibrator
TW201242246A (en) * 2011-02-25 2012-10-16 Seiko Epson Corp Piezoelectric vibration element, piezoelectric vibrator, piezoelectric oscillator, vibration gyro element, vibration gyro sensor, and electronic apparatus
JP5911349B2 (ja) * 2012-03-28 2016-04-27 京セラクリスタルデバイス株式会社 水晶デバイス
TWI493866B (zh) * 2012-05-10 2015-07-21 Siward Crystal Technology Co Ltd Piezoelectric components
JP6119134B2 (ja) 2012-07-19 2017-04-26 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、発振器および電子機器
JP6155897B2 (ja) 2013-06-24 2017-07-05 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器及び移動体
US9599470B1 (en) 2013-09-11 2017-03-21 Hrl Laboratories, Llc Dielectric high Q MEMS shell gyroscope structure
JP6346423B2 (ja) * 2013-09-25 2018-06-20 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 圧電振動子
JP6216213B2 (ja) * 2013-10-29 2017-10-18 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 圧電振動片、及び圧電振動子
US9879997B1 (en) * 2013-11-19 2018-01-30 Hrl Laboratories, Llc Quartz resonator with plasma etched tethers for stress isolation from the mounting contacts
JP6375622B2 (ja) 2013-12-27 2018-08-22 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、発振器、電子機器、センサーおよび移動体
US9977097B1 (en) 2014-02-21 2018-05-22 Hrl Laboratories, Llc Micro-scale piezoelectric resonating magnetometer
JP6636683B2 (ja) * 2014-03-07 2020-01-29 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 圧電振動片及び圧電振動子
US9991863B1 (en) 2014-04-08 2018-06-05 Hrl Laboratories, Llc Rounded and curved integrated tethers for quartz resonators
JP5787007B2 (ja) * 2014-06-20 2015-09-30 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子及び発振器
US10308505B1 (en) 2014-08-11 2019-06-04 Hrl Laboratories, Llc Method and apparatus for the monolithic encapsulation of a micro-scale inertial navigation sensor suite
JP6450551B2 (ja) * 2014-09-30 2019-01-09 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 圧電振動片及び圧電振動子
JP5885825B1 (ja) * 2014-12-25 2016-03-16 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 圧電振動子および圧電振動子の製造方法
US10031191B1 (en) 2015-01-16 2018-07-24 Hrl Laboratories, Llc Piezoelectric magnetometer capable of sensing a magnetic field in multiple vectors
JP6536783B2 (ja) * 2015-02-09 2019-07-03 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、発振器、リアルタイムクロック、電子機器、および移動体
WO2017110126A1 (ja) * 2015-12-21 2017-06-29 株式会社村田製作所 共振子及び共振装置
US10175307B1 (en) 2016-01-15 2019-01-08 Hrl Laboratories, Llc FM demodulation system for quartz MEMS magnetometer
US11342901B2 (en) * 2016-08-30 2022-05-24 Daishinku Corporation Crystal resonator plate and crystal resonator device
JP6939876B2 (ja) * 2017-03-30 2021-09-22 株式会社大真空 音叉型圧電振動片および当該音叉型圧電振動片を用いた音叉型圧電振動子
WO2023013169A1 (ja) * 2021-08-03 2023-02-09 株式会社村田製作所 共振子及び共振装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5458395A (en) 1977-10-19 1979-05-11 Matsushima Kogyo Kk Piezooelectric vibrator
JPS5685922A (en) 1979-12-14 1981-07-13 Seiko Epson Corp Quartz oscillator
JPS5685921A (en) 1979-12-14 1981-07-13 Seiko Epson Corp Quartz oscillator
JPS57185717A (en) 1981-05-12 1982-11-16 Citizen Watch Co Ltd Tuning fork type quartz oscillator
JP2002319838A (ja) * 2001-02-19 2002-10-31 Seiko Epson Corp 圧電デバイス及びそのパッケージ
JP3900846B2 (ja) * 2001-03-02 2007-04-04 セイコーエプソン株式会社 音叉型水晶振動片、振動子、発振器及び携帯用電話装置
TW567664B (en) * 2001-10-09 2003-12-21 Ebauchesfabrik Eta Ag Piezoelectric resonator and assembly comprising the same enclosed in a case
JP4049017B2 (ja) * 2003-05-16 2008-02-20 セイコーエプソン株式会社 圧電振動子

Similar Documents

Publication Publication Date Title
BE2015C038I2 (ja)
BRPI0518216C1 (ja)
BRPI0515516B8 (ja)
BR122015024347A2 (ja)
JP2005102138A5 (ja)
JP2005304899A5 (ja)
JP2006048535A5 (ja)
IN2006DE05680A (ja)
JP2005335163A5 (ja)
JP2005254589A5 (ja)
JP2005050345A5 (ja)
JP2006046138A5 (ja)
JP2005251132A5 (ja)
JP2006053352A5 (ja)
JP2005305926A5 (ja)
JP2005273142A5 (ja)
JP2004344169A5 (ja)
JP2005325548A5 (ja)
BRPI0508033A (ja)
CN300763786S (zh) 传感器壳体
CN300736473S (zh) 洗手盆
CN300765107S (zh) 椅子
CN300764069S (zh) 便携式媒体播放机
CN300764034S (zh) 便携式媒体播放机
CN300775620S (zh) 太阳能逆变器