JP2005088128A - 研磨パッドのドレッシング方法及び製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 研磨パッド11を所定時間ドレッシングし(ステップ50)、その後、研磨パッド11の表面粗さ(凹凸)をレーザーフォーカス変位計から成る光学的測定装置20により測定する(ステップ51)。そして、ドレッシング時間と研磨パッド11の表面粗さとの特性曲線を取得する(ステップ52)。次に、上記ドレッシング時間と表面粗さとの特性曲線の傾き求め(ステップ53)、その傾きが、予め設定した所定の傾きに達した場合、ドレッシングを終了する。一方、上記ドレッシング時間と表面粗さとの特性曲線の傾きが、所定の傾きに達しない間は、ステップ50からステップ53を繰り返し実行する(ステップ54)。
【選択図】 図6
Description
20 光学的測定装置 21 レーザー光源 22 音叉
23 振動レンズ 24 対物レンズ 25 ハーフミラー
26 受光素子 27 位置検出センサ 30 移動装置
TG 対象物 PH ピンホール
Claims (6)
- 研磨パッドを所定時間ドレッシングし、その後該研磨パッドの表面粗さを光学的測定手段により測定する工程を繰り返し、
前記研磨パッドの表面粗さのドレッシング時間に対する特性曲線の傾きが、所定の傾きに達した時に、ドレッシングを終了することを特徴とする研磨パッドのドレッシング方法。 - 前記光学的測定手段を、前記研磨パッド上において移動させながら、表面粗さの測定を行うことを特徴とする請求項1記載の研磨パッドのドレッシング方法。
- 前記光学的測定手段は、レーザーフォーカス変位計であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の研磨パッドのドレッシング方法。
- 前記研磨パッドの表面粗さは、該研磨パッドの表面の凹凸の最大振幅値であることを特徴とする請求項1,2,3のいずれかに記載の研磨パッドのドレッシング方法。
- 研磨テーブルと、
該研磨テーブル上に装着された研磨パッドと、
前記パッドをドレッシングするドレッサーと、
前記研磨パッドの表面粗さを測定するための光学的測定手段と、
前記光学的測定手段を、前記パッド上の所定位置まで移動させる移動装置と、
を有することを特徴とした製造装置。 - 前記光学的測定手段は、レーザーフォーカス変位計であることを特徴とする請求項5記載の製造装置。
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