JP2005086112A - 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド、ヘッドサスペンションアッセンブリ、および磁気再生装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】電流狭窄効果を弱めること無く高効率にして高い出力を得ることができ、かつ高いブレークダウン電圧を有する磁気抵抗効果素子と、この磁気抵抗効果素子を具備する磁気ヘッド、ヘッドサスペンションアッセンブリ、および磁気再生装置を提供する。
【解決手段】磁化自由層と、非磁性中間層と、磁化固着層とからなるユニットを2つ備え、各ユニットにより1つの磁化自由層を共有するデュアルスピンバルブ構造によりCPP型磁気抵抗効果素子を形成する。そして、各ユニットに電流制御層を一層ずつ形成することで電流狭窄効果を弱めること無く磁気抵抗効果素子のブレークダウン電圧を上昇させ、高い素子出力を得るとともに信頼性を向上させる。
【選択図】 図1
【解決手段】磁化自由層と、非磁性中間層と、磁化固着層とからなるユニットを2つ備え、各ユニットにより1つの磁化自由層を共有するデュアルスピンバルブ構造によりCPP型磁気抵抗効果素子を形成する。そして、各ユニットに電流制御層を一層ずつ形成することで電流狭窄効果を弱めること無く磁気抵抗効果素子のブレークダウン電圧を上昇させ、高い素子出力を得るとともに信頼性を向上させる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、複数の導電性層の積層方向に対しセンス電流を垂直に流すCPP(current perpendicular to plane)方式による磁気抵抗効果素子と、この磁気抵抗効果素子を具備する磁気ヘッド、ヘッドサスペンションアッセンブリ、および磁気再生装置に関する。
近年、ハードディスク装置などの磁気記録装置は急速に小型化、高密度化しており、今後さらに高密度化されることが見込まれている。磁気記録において高密度化を達成するには、記録トラック幅を狭くして記録トラック密度を高めるとともに、記録方向への記録密度すなわち線記録密度を高める必要がある。
従来、媒体信号の再生には誘導型ヘッドが用いられてきた。しかし、高密度化に伴い記録トラック幅が狭くなり記録ビットサイズが小さくなると、誘導型ヘッドでは十分な再生信号出力が得られなくなる。そこで、記録ビットサイズが小さくても十分な再生信号出力が得られるように、異方性磁気抵抗効果(AMR)を用いた再生感度の高いAMRヘッドが開発され、シールド型再生ヘッドとして用いられるようになった。最近では、巨大磁気抵抗効果(GMR)を応用し、より感度の高いスピンバルブ型GMRヘッドが用いられるようになっている。
さらに高い再生感度を得ることのできるトンネル磁気抵抗効果(TMR)やCPP(Current Perpendicular-to-the-Plane)−GMR素子を用いた磁気ヘッドの開発と実用化のための研究が進められている。これらの素子では、既存のCIP(Current In Plane)−GMR素子が膜面内にセンス電流を流すことと異なり、膜面に垂直方向にセンス電流が流される。CPP−GMR素子は、例えば特許文献1および2に開示される。このように再生感度の高い磁気ヘッドが開発され、それらを用いることによって、記録ビットサイズがごく小さくなっても記録信号の再生が可能になってきている。
ところでCPP−GMR素子においては、CPP−GMR膜の膜厚方向の抵抗が小さいため抵抗変化量の絶対値が小さく、高出力を得難いことが知られている。そこで、電流狭窄効果を利用し、適切な抵抗値と高い抵抗変化率を有するCPP−GMR素子が開示されている(例えば、特許文献3および4を参照)。電流狭窄効果とは、絶縁体を主体とする層に散在的に設けられる導電部に電流を狭窄的に流すことで抵抗変化率を拡大させる効果である。電流狭窄効果を生じさせる層を、以下、電流制御層と称する。特に特許文献3には、複数の導電性層からなる一つのユニットに複数の電流制御層を備える磁気抵抗効果素子が開示される。
特開平10-55512号公報
米国特許第5,668,688号公報
特開2002-208744号公報
米国特許第6,560,077号公報
しかしながら、特に複数の電流制御層を利用する場合には、各電流制御層が備える導電部の位置が意味を持つ。引用文献3の[0078]に記載のように、複数の電流制御層の導電部(ピンホール)の位置がずれている場合には抵抗値自体を上げることは可能であるものの、近年の研究では、電流狭窄効果により抵抗変化率を拡大する効果は弱くなることが判ってきている。既存の技術では複数の電流制御層の導電部の位置を合わせ込むことは困難であることから、何らかの対策が望まれる。
また、電流制御層の厚みには限度があるため、絶縁体に耐圧以上の電圧が加わると絶縁破壊、すなわちブレークダウンを生じる。このことは印加可能なセンス電流に限度があり、従って素子出力が頭打ちになることを意味する。さらにブレークダウンは経年劣化の要因となるため、磁気抵抗効果素子の長期信頼性を低下させることにもつながる。
本発明は上記事情によりなされたもので、その目的は、電流狭窄効果を弱めること無く高効率にして高い出力を得ることのできる磁気抵抗効果素子と、この磁気抵抗効果素子を具備する磁気ヘッド、ヘッドサスペンションアッセンブリ、および磁気再生装置を提供することにある。
また本発明の別の目的は、ブレークダウンを生じ難くして信頼性を高めた磁気抵抗効果素子と、この磁気抵抗効果素子を具備する磁気ヘッド、ヘッドサスペンションアッセンブリ、および磁気再生装置を提供することにある。
また本発明の別の目的は、ブレークダウンを生じ難くして信頼性を高めた磁気抵抗効果素子と、この磁気抵抗効果素子を具備する磁気ヘッド、ヘッドサスペンションアッセンブリ、および磁気再生装置を提供することにある。
上記目的を達成するために、本願発明の一態様によれば、複数の導電性層の積層面に垂直にセンス電流を流すCPP(Current Perpendicular-to-the-Plane)方式による磁気抵抗効果素子であり、磁化自由層と第1の磁化固着層とを備える第1のユニットおよび磁化自由層と第2の磁化固着層とを備える第2のユニットを具備し、前記磁化自由層が前記第1および第2のユニットに共用されるデュアルスピンバルブ型の磁気抵抗効果素子であって、前記第1のユニットに設けられ前記センス電流の流量を制限する第1の電流制御層と、前記第2のユニットに設けられ前記センス電流の流量を制限する第2の電流制御層とを具備することを特徴とする磁気抵抗効果素子が提供される。
このような構成であるから、いわゆるデュアルスピンバルブ構成において電流制御層が複数のユニットにそれぞれ一つずつ設けられ、磁化自由層が2つの電流制御層に挟まれる格好となる。従って電流制御層の間隔を離間させることができるので、導電部の位置が互いに異なっている場合においても電流狭窄効果が弱くなる虞が無い。しかも一つのユニットに複数の電流制御層を設ける場合に比べ、複数の層の膜厚を大きくすること無しに、電流制御層の間隔を離間させることができる。よって素子サイズを拡大させる必要が無く、記録密度が犠牲になる虞も無い。このようなことから、高効率にして高い素子出力を得ることが可能になる。なお上記特許文献1〜4のいずれにも、デュアルスピンバルブ型磁気抵抗効果素子に複数の電流制御層を設けることに関する具体的記述は無い。
また上記手段によれば、磁気抵抗効果素子に印加されるセンス電流により生じる電圧は、複数の電流制御層により分圧される。これにより、充分なセンス電流を流しつつも個々の電流制御層にかかる電圧を下げることができる。従って電流制御層の厚みを増すこと無しにブレークダウン電圧を高められ、これによりブレークダウンを生じ難くして信頼性を高めつつ高出力を得ることが可能になる。
本発明によれば、電流狭窄効果を弱めること無く高効率にして高い出力を得ることのできる磁気抵抗効果素子と、この磁気抵抗効果素子を具備する磁気ヘッド、ヘッドサスペンションアッセンブリ、および磁気再生装置を提供することができる。また本発明によれば、ブレークダウンを生じ難くして信頼性を高めた磁気抵抗効果素子と、この磁気抵抗効果素子を具備する磁気ヘッド、ヘッドサスペンションアッセンブリ、および磁気再生装置を提供することができる。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態につき説明する。
[実施例1]
図1は本発明に係わる磁気抵抗効果素子の第1の実施例を概略的に示す断面図である。図1において、図示しない基板上に下部電極1、下地層2、下側磁化固着層3、第1の電流制御層8、下側非磁性中間層4、磁化自由層5、上側非磁性中間層6A、第2の電流制御層9、上側非磁性中間層6B、上側磁化固着層7、保護層10、上部電極11がこの順に積層される。
[実施例1]
図1は本発明に係わる磁気抵抗効果素子の第1の実施例を概略的に示す断面図である。図1において、図示しない基板上に下部電極1、下地層2、下側磁化固着層3、第1の電流制御層8、下側非磁性中間層4、磁化自由層5、上側非磁性中間層6A、第2の電流制御層9、上側非磁性中間層6B、上側磁化固着層7、保護層10、上部電極11がこの順に積層される。
第1の電流制御層8は下側磁化固着層3と下側非磁性中間層4との界面に形成される。また上側非磁性中間層6Aと上側非磁性中間層6Bとは本来は同じ膜(上側非磁性中間層6)として形成され、その膜中に第2の電流制御層9が介在して形成される。図1の磁気抵抗効果素子は垂直通電型(CPP)であり、センス電流は下部電極1と上部電極11との間に通電される。
図1において、磁化自由層5にはNi,Fe,Coを主成分とする金属磁性体を主に用いることができる。磁化固着層3,7にCoPtなどの硬質磁性膜を主に用いることができる。非磁性中間層4,6には、Cu,Au,Ag,Pt,Pd,Ir,Osなどの導電性膜を主に用いることができる。
上記構成の磁気抵抗効果素子は、外部磁気に感応して磁化自由層5の磁化方向が変化することにより抵抗変化を生じるスピンバルブ構造を有する。また上記構成においては、磁化自由層、非磁性中間層、および、磁化固着層により形成されるユニットが2つ設けられ、各ユニットにより磁化自由層5が共有される、いわゆるデュアルスピンバルブ型である。さらに、電流制御層が各ユニットに1つずつ設けられていることが特徴的である。
図2は、図1の電流制御層8,9の構造を模式的に示す断面図である。電流制御層21は、B,Si,Ge,Ta,W,Nb,Al,Mo,P,V,As,Sb,Zr,Ti,Zn,Pb,Th,Be,Cd,Sc,Y,Cr,Sn,Ga,In,Rh,Pd,Mg,Li,Ba,Ca,Sr,Mn,Fe,Co,Ni,Rbおよび希土類金属から選択される少なくとも1種の元素の酸化物、窒化物または酸窒化物を主成分とすることができる。さらに電流制御層21は、Cu,Au,Ag,Pt,Pd,Ir,Osから選択される少なくとも1種の金属を1%以上50%以下の範囲で含有することができる。
電流制御層21を形成するには、上述した元素の合金を酸化、窒化、または酸窒化処理することで得られる。酸化、窒化、または酸窒化処理の方法としては、成膜装置のチャンバー内に酸素ガスを導入するのみの自然酸化法、成膜装置のチャンバー内に酸素ガスを導入しながらアルゴン、窒素などのイオンを照射するイオンアシスト酸化(酸窒化)法、酸素、窒素イオンを照射するイオンビーム照射酸化法などがある。
電流制御層21はその上下の層を電気的に絶縁する絶縁体23を主体とし、上下の層を電気的に接続する導電体24が、絶縁体23に散在して設けられる。この構成において電流が膜面に垂直に流れる場合、電流は導電体24に絞り込まれて流れる。これが電流狭窄効果であり、外部磁気の変動に応じてセンス電流に対する高い抵抗変化率をもたらす。なお図2において電流制御層21の下側層を非磁性中間層22Aとし、上側層を非磁性中間層22Bとした。これに限らず、電流制御層21に如何なる層が隣接していても電流狭窄効果を得ることができる。
本実施形態に係わる磁気抵抗効果素子では、本質的に導体部分を電流が流れることからオーミック性を有する。よってトンネル性を示す場合とは例えば抵抗の温度依存性が異なることで区別できる。
電流制御層21の厚みが原子半径程度になると、その上下の層が絶縁体23を介して分離されている状態を作り出せず、電流を制御すべき部分の絶縁性が低下し、電流狭窄効果が低下する。これを避けるため電流制御層21の厚みは0.4nm以上を確保することが望ましい。逆に、厚みが過度になると電流制御層21の上下の層(図2では非磁性中間層22A,22B)を導電体24により接続することが困難になる。よって電流制御層21の厚みは3nm以下、好ましくは2nm以下が望ましい。
ところで、電流制御層21においてセンス電流は本質的に導電体24に流れるが、センス電流を流すための電圧は絶縁体23にも加わることになる。この電圧が絶縁体23の絶縁耐圧を超えるとブレークダウンを生じ、素子破壊に至る。上記したように電流制御層21の膜厚を厚くすることは困難であるので、電流制御層21の厚みにより耐圧を上げることは困難である。
そこで本実施形態では、電流制御層21を複数備えることでブレークダウン電圧を上昇させるようにしている。図1において、例えば電流制御層8のブレークダウン電圧をVb1とし、電流制御層9のブレークダウン電圧をVb2とする。電流制御層8,9は電気的に直列に接続されているので、センス電流を流すための電圧は、電流制御層8,9に分配される。よって磁気抵抗効果素子全体のブレークダウン電圧をVbとしたとき、Vb=Vb1+Vb2となる。従って本実施形態によれば磁気抵抗効果素子のブレークダウン電圧Vbを向上させることができ、特に長期的な信頼性を向上させることが可能になる。またセンス電流を増加させて高い素子出力を得ることが可能になる。
ところで、スピンバルブ磁気抵抗効果素子においては、磁化自由層と、非磁性中間層と、磁化固着層とが1つの組をなし、この組がユニットとして作用する。1つのユニット内に2つの電流制御層を設ける場合には、2つの電流制御層の導電体24の位置が成膜方向に対して一致している状態において最大限の電流狭窄効果を得られることが判ってきている。しかしながらこの状態を実現することは既存の技術では難しく、多くの場合には各電流制御層の導電体の位置は不揃いになるために、電流狭窄効果が減少する。
そこで本実施形態では、各ユニットに設けられる電流制御層の数を1に留め、ユニットを複数設けることで複数の電流制御層を具備する構成としている。このような構成によれば、複数の電流制御層の導電体の位置が一致していなくとも、電流狭窄効果が弱まることを防ぐことができる。従って高い抵抗変化率を確保することが可能となり、これにより高レベルの素子出力を得ることが可能になる。もちろん、デュアルスピンバルブ構造であること自体によっても素子出力を高レベル化できることが知られており、本実施形態によればこのことと相俟ってさらに高い素子出力を得ることが可能になる。
以上をまとめると本実施形態では、磁化自由層と、非磁性中間層と、磁化固着層とからなるユニットを2つ備え、各ユニットにより1つの磁化自由層を共有するデュアルスピンバルブ構造によりCPP型磁気抵抗効果素子を形成する。そして、各ユニットに電流制御層を一層ずつ形成することで、電流狭窄効果を弱めること無く磁気抵抗効果素子のブレークダウン電圧を上昇させられるようにしている。これにより高い素子出力を得られるとともに信頼性を向上させることが可能になる。
[実施例2]
図3は本発明に係わる磁気抵抗効果素子の第2の実施例を概略的に示す断面図である。図3において図1と共通する部分には同じ符号を付して示し、ここでは異なる部分について説明する。図3において、図示しない基板上に下部電極1、下地層2、下側反強磁性層12、下側磁化固着層3、下側非磁性中間層4A、第1の電流制御層8、下側非磁性中間層4B、磁化自由層5、上側非磁性中間層6、上側磁化固着層7、第2の電流制御層9、上側反強磁性層13、保護層10、上部電極11がこの順に積層される。
図3は本発明に係わる磁気抵抗効果素子の第2の実施例を概略的に示す断面図である。図3において図1と共通する部分には同じ符号を付して示し、ここでは異なる部分について説明する。図3において、図示しない基板上に下部電極1、下地層2、下側反強磁性層12、下側磁化固着層3、下側非磁性中間層4A、第1の電流制御層8、下側非磁性中間層4B、磁化自由層5、上側非磁性中間層6、上側磁化固着層7、第2の電流制御層9、上側反強磁性層13、保護層10、上部電極11がこの順に積層される。
第2の電流制御層9は上側磁化固着層7と上側反強磁性層13との界面に形成される。第1の電流制御層8は、下側非磁性中間層4Aと下側非磁性中間層4Bとの間に介在して設けられる。すなわち第1の電流制御層8は、図1に示されるような下側非磁性中間層4の膜中に介在して形成される。
図3においては、下側反強磁性層12と上側反強磁性層13とを備えることが特徴的である。この場合、磁化固着層3,7にはNi,Fe,Coを主成分とする金属磁性体(すなわち磁化自由層5と同様の組成)を主に用いることができる。特に、複数の磁性体層がRuなどの非磁性体層を層間に挟み込む、いわゆるシンセティック構造により磁化固着層3,7を形成してもよい。
下側反強磁性層12は下側磁化固着層3の磁化方向をより強固に安定化させる。上側反強磁性層13は上側磁化固着層7の磁化方向をより強固に安定化させる。このような構成により実施例1と同様の効果を得られるに加え、安定した抵抗変化率を得ることが可能になる。つまり、外部磁気の変化に敏感に追従して変化する抵抗変化率を、長期的な時間の経過によらず安定して得ることが可能になる。従って高レベルの素子出力を安定して得ることが可能になる。
[実施例3]
図4は本発明に係わる磁気抵抗効果素子の第3の実施例を概略的に示す断面図である。図4において図1および図3と共通する部分には同じ符号を付して示し、ここでは異なる部分について説明する。図4において、図示しない基板上に下部電極1、下地層2、下側反強磁性層12、下側磁化固着層3、下側非磁性中間層4A、第1の電流制御層8、下側非磁性中間層4B、磁化自由層5、上側非磁性中間層6A、第2の電流制御層9、上側非磁性中間層6B、上側磁化固着層7、上側反強磁性層13、保護層10、上部電極11がこの順に積層される。第2の電流制御層9は、上側非磁性中間層6Aと上側非磁性中間層6Bとの間に介在して設けられる。また上側磁化固着層7は上側反強磁性層13に隣接して積層される。
図4は本発明に係わる磁気抵抗効果素子の第3の実施例を概略的に示す断面図である。図4において図1および図3と共通する部分には同じ符号を付して示し、ここでは異なる部分について説明する。図4において、図示しない基板上に下部電極1、下地層2、下側反強磁性層12、下側磁化固着層3、下側非磁性中間層4A、第1の電流制御層8、下側非磁性中間層4B、磁化自由層5、上側非磁性中間層6A、第2の電流制御層9、上側非磁性中間層6B、上側磁化固着層7、上側反強磁性層13、保護層10、上部電極11がこの順に積層される。第2の電流制御層9は、上側非磁性中間層6Aと上側非磁性中間層6Bとの間に介在して設けられる。また上側磁化固着層7は上側反強磁性層13に隣接して積層される。
上記構成によっても、第1および第2の実施例と同様の効果を得ることができる。さらに、電流狭窄効果は、電流制御層が非磁性中間層に挿入される状態で設けられる場合に最も高い抵抗変化率をもたらす。つまり電流制御層のもつ2つの界面の両方に非磁性中間層が隣接して積層される状態において、電流狭窄効果による抵抗変化率の向上が最も効率良く実現される。
図4の積層構造はこのことを実現するものであり、従って第1および第2の実施例よりもさらに高い抵抗変化率を得ることができる。このことから本発明の実施にあたり図4の構成が最も好ましく、最大の素子出力を得ることが可能となる。
[実施例4]
図5は、図1〜図4に示す磁気抵抗効果素子を用いて形成される磁気ヘッドの一例を模式的に示す断面図である。図5において、図示しないアルティック基板上に厚さ約1μmのNiFeを形成し、下側電極兼シールド層32とする。本実施例では、下側電極兼シールド層32をフォトリソグラフィーおよびドライエッチングによりパターニングした後、Ta5nm/Ru2nmの下地層2、CoPt10nmの下側磁化固着層3、CuAl積層膜1nmを酸化処理した第1の電流制御層8、Cu1nmの下側非磁性層4、CoFe1nm/NiFe4nm/CoFe1nmの磁化自由層5、Cu0.5nmの上側非磁性中間層6A、CuAl積層膜1nmを酸化処理した第2の電流制御層9、Cu0.5nmの上側非磁性中間層6B、CoPt10nmの上側磁化固着層7、Cu1nm/Ta5nmの保護層10をこの順に成膜し、磁気抵抗効果膜31を形成する。このプロセスにより積層される磁気抵抗効果膜31は、図1と同様の構成となる。
図5は、図1〜図4に示す磁気抵抗効果素子を用いて形成される磁気ヘッドの一例を模式的に示す断面図である。図5において、図示しないアルティック基板上に厚さ約1μmのNiFeを形成し、下側電極兼シールド層32とする。本実施例では、下側電極兼シールド層32をフォトリソグラフィーおよびドライエッチングによりパターニングした後、Ta5nm/Ru2nmの下地層2、CoPt10nmの下側磁化固着層3、CuAl積層膜1nmを酸化処理した第1の電流制御層8、Cu1nmの下側非磁性層4、CoFe1nm/NiFe4nm/CoFe1nmの磁化自由層5、Cu0.5nmの上側非磁性中間層6A、CuAl積層膜1nmを酸化処理した第2の電流制御層9、Cu0.5nmの上側非磁性中間層6B、CoPt10nmの上側磁化固着層7、Cu1nm/Ta5nmの保護層10をこの順に成膜し、磁気抵抗効果膜31を形成する。このプロセスにより積層される磁気抵抗効果膜31は、図1と同様の構成となる。
次に、成膜した磁気抵抗効果膜31に270°C−10h(時間)の磁界中熱処理を施したのち、フォトリソグラフィーとドライエッチングによりパターニングする。そして、パターニングに用いたレジストを残したままAl2O3からなる絶縁層34、NiFeからなる磁性層36、IrMnからなる反強磁性層37を成膜し、さらに絶縁層34を成膜したのちリフトオフする。そして前記磁界中熱処理の時の磁界方向と直交する方向に磁界をかけて200°C−1h(時間)の磁界中熱処理を施す。最後に、厚さ約1μmのNiFe膜を形成し、フォトリソグラフィーとドライエッチングによりパターニングして上側電極兼シールド層33とする。
以上のプロセスにより形成した磁気ヘッドを実施例4サンプルとする。図1の構成から第1の電流制御層8と第2の電流制御層9とを省略した磁気抵抗効果膜を用いて同様のプロセスにより形成した磁気ヘッドを、比較例1サンプルとする。さらに、図1の構成から第2の電流制御層9だけを省略した磁気抵抗効果膜を用いて同様のプロセスにより形成した磁気ヘッドを比較例2サンプルとする。
実施例4サンプルは、抵抗変化率、ブレークダウン電圧ともに比較例1および2のサンプルよりも高い値を示す。特に、ブレークダウン電圧は500mV以上と良好な値を示す。比較例2サンプルの抵抗変化率は比較例1サンプルよりも高いが、ブレークダウン電圧は低下している。このようなことから、実施例1の積層構造を持つ磁気抵抗効果素子を用いて磁気ヘッドを形成することにより、高い抵抗変化率と高いブレークダウン電圧とを両立できることが実証された。
[実施例5]
図6は、図1〜図4に示す磁気抵抗効果素子を用いて形成される磁気ヘッドの他の例を模式的に示す断面図である。図6において、図示しないアルティック基板上に厚さ約1μmのNiFeを形成し、下側電極兼シールド層32とする。本実施例では、下側電極兼シールド層32をフォトリソグラフィーとドライエッチングによりパターニングした後、Ta5nm/Ru2nmの下地層2、PtMn12nmの下側反強磁性層12、CoFe4nm/Ru1nm/CoFe4nmの下側磁化固着層3、Cu0.5nmの下側非磁性層4A、CuCr積層膜0.7nmを酸化処理した第1の電流制御層8、Cu0.5nmの下側非磁性層4B、CoFe1nm/NiFe4nm/CoFe1nmの磁化自由層5、Cu1nmの上側非磁性中間層6、CoFe4nm/Ru1nm/CoFe4nmの上側磁化固着層7、CuCr積層膜0.7nmを酸化処理した第2の電流制御層9、PtMn12nmの上側反強磁性層13、Cu1nm/Ta5nmの保護層10からなる積層膜をこの順に成膜し、磁気抵抗効果膜31を形成する。このプロセスにより積層される磁気抵抗効果膜31は、図3と同様の構成となる。
図6は、図1〜図4に示す磁気抵抗効果素子を用いて形成される磁気ヘッドの他の例を模式的に示す断面図である。図6において、図示しないアルティック基板上に厚さ約1μmのNiFeを形成し、下側電極兼シールド層32とする。本実施例では、下側電極兼シールド層32をフォトリソグラフィーとドライエッチングによりパターニングした後、Ta5nm/Ru2nmの下地層2、PtMn12nmの下側反強磁性層12、CoFe4nm/Ru1nm/CoFe4nmの下側磁化固着層3、Cu0.5nmの下側非磁性層4A、CuCr積層膜0.7nmを酸化処理した第1の電流制御層8、Cu0.5nmの下側非磁性層4B、CoFe1nm/NiFe4nm/CoFe1nmの磁化自由層5、Cu1nmの上側非磁性中間層6、CoFe4nm/Ru1nm/CoFe4nmの上側磁化固着層7、CuCr積層膜0.7nmを酸化処理した第2の電流制御層9、PtMn12nmの上側反強磁性層13、Cu1nm/Ta5nmの保護層10からなる積層膜をこの順に成膜し、磁気抵抗効果膜31を形成する。このプロセスにより積層される磁気抵抗効果膜31は、図3と同様の構成となる。
次に、成膜した磁気抵抗効果膜31に270°C−10h(時間)の磁界中熱処理を施したのち、フォトリソグラフィーとドライエッチングによりパターニングする。そして、パターニングに用いたレジストを残したままAl2O3からなる絶縁層34、CoPtからなるバイアス層35を成膜し、さらに絶縁層34を成膜したのちリフトオフする。最後に、厚さ約1μmのNiFe膜を形成し、フォトリソグラフィーとドライエッチングによりパターニングして上側電極兼シールド層33とする。
以上のプロセスにより形成した磁気ヘッドを実施例5サンプルとする。図3の構成から第1の電流制御層8と第2の電流制御層9とを省略した磁気抵抗効果膜を用いて同様のプロセスにより形成した磁気ヘッドを、比較例3サンプルとする。さらに、図3の構成から第2の電流制御層9だけを省略した磁気抵抗効果膜を用いて同様のプロセスにより形成した磁気ヘッドを比較例4サンプルとする。
実施例5サンプルは、抵抗変化率、ブレークダウン電圧ともに比較例3および4のサンプルよりも高い値を示す。特に、ブレークダウン電圧は500mV以上と良好な値を示す。比較例4サンプルの抵抗変化率は比較例3サンプルよりも高いが、ブレークダウン電圧は低下している。このようなことから、実施例2の積層構造を持つ磁気抵抗効果素子を用いて磁気ヘッドを形成することによっても、高い抵抗変化率と高いブレークダウン電圧とを両立できることが実証された。さらに、実施例2の積層構造を持つ磁気抵抗効果素子は、実施例1の積層構造を持つ磁気抵抗効果素子に比べ良好な成績を示すことも実証された。
[実施例6]
実施例6においては、実施例5に比べ、磁気抵抗効果膜31の積層構造が異なる。図6において、図示しないアルティック基板上に厚さ約1μmのNiFeを形成し、下側電極兼シールド層32とする。本実施例においては、下側電極兼シールド層32をフォトリソグラフィーとドライエッチングによりパターニングした後、Ta5nm/Ru2nmの下地層2、IrMn5nmの下側反強磁性層12、CoFe4nm/Ru1nm/CoFe4nmの下側磁化固着層3、Cu0.3nmの下側非磁性層4A、CuAl積層膜0.9nmを酸化処理した第1の電流制御層8、Cu0.3nmの下側非磁性層4B、CoFe1nm/NiFe4nm/CoFe1nmの磁化自由層5、Cu0.3nmの上側非磁性中間層6A、CuAl積層膜0.9nmを酸化処理した第2の電流制御層9、Cu0.3nmの上側非磁性中間層6B、CoFe4nm/Ru1nm/CoFe4nmの上側磁化固着層7、IrMn5nmの上側反強磁性層13、Cu1nm/Ta5nmの保護層10からなる積層膜をこの順に成膜し、磁気抵抗効果膜31を形成する。このプロセスにより積層される磁気抵抗効果膜31は、図4と同様の構成となる。
実施例6においては、実施例5に比べ、磁気抵抗効果膜31の積層構造が異なる。図6において、図示しないアルティック基板上に厚さ約1μmのNiFeを形成し、下側電極兼シールド層32とする。本実施例においては、下側電極兼シールド層32をフォトリソグラフィーとドライエッチングによりパターニングした後、Ta5nm/Ru2nmの下地層2、IrMn5nmの下側反強磁性層12、CoFe4nm/Ru1nm/CoFe4nmの下側磁化固着層3、Cu0.3nmの下側非磁性層4A、CuAl積層膜0.9nmを酸化処理した第1の電流制御層8、Cu0.3nmの下側非磁性層4B、CoFe1nm/NiFe4nm/CoFe1nmの磁化自由層5、Cu0.3nmの上側非磁性中間層6A、CuAl積層膜0.9nmを酸化処理した第2の電流制御層9、Cu0.3nmの上側非磁性中間層6B、CoFe4nm/Ru1nm/CoFe4nmの上側磁化固着層7、IrMn5nmの上側反強磁性層13、Cu1nm/Ta5nmの保護層10からなる積層膜をこの順に成膜し、磁気抵抗効果膜31を形成する。このプロセスにより積層される磁気抵抗効果膜31は、図4と同様の構成となる。
以上のプロセスにより形成した磁気ヘッドを実施例6サンプルとする。図4の構成から第1の電流制御層8と第2の電流制御層9とを省略した磁気抵抗効果膜を用いて同様のプロセスにより形成した磁気ヘッドを、(比較例5)サンプルとする。さらに、図4の構成から第2の電流制御層9だけを省略した磁気抵抗効果膜を用いて同様のプロセスにより形成した磁気ヘッドを(比較例6)サンプルとする。
実施例6サンプルは、抵抗変化率、ブレークダウン電圧ともに比較例5および6のサンプルよりも高い値を示す。特に、ブレークダウン電圧は500mV以上と良好な値を示す。比較例6サンプルの抵抗変化率は比較例3サンプルよりも高いが、ブレークダウン電圧は低下している。このようなことから、実施例3の積層構造を持つ磁気抵抗効果素子を用いて磁気ヘッドを形成することによっても、高い抵抗変化率と高いブレークダウン電圧とを両立できることが実証された。さらに、実施例3の積層構造を持つ磁気抵抗効果素子は、実施例2の積層構造を持つ磁気抵抗効果素子に比べ良好な成績を示すことも実証された。
[実施例7]
図7は、図1〜図6に示す磁気抵抗効果素子を搭載可能なハードディスク装置を示す外観斜視図である。本発明に係わる磁気抵抗効果素子は、ハードディスクドライブのプラッタに代表されるような磁気記録媒体に磁気的に記録されるディジタルデータを読み取る磁気再生装置に搭載することが可能である。さらに本発明に係わる磁気抵抗効果素子は、磁気記録媒体にディジタルデータを書き込む機能を併せ持つ磁気記録再生装置に搭載することが可能である。
図7は、図1〜図6に示す磁気抵抗効果素子を搭載可能なハードディスク装置を示す外観斜視図である。本発明に係わる磁気抵抗効果素子は、ハードディスクドライブのプラッタに代表されるような磁気記録媒体に磁気的に記録されるディジタルデータを読み取る磁気再生装置に搭載することが可能である。さらに本発明に係わる磁気抵抗効果素子は、磁気記録媒体にディジタルデータを書き込む機能を併せ持つ磁気記録再生装置に搭載することが可能である。
図7のハードディスク装置150は、ロータリーアクチュエータを用いる形式である。図7において、記録用の媒体ディスク200はスピンドル152に装着され、駆動装置制御部(図示せず)からの制御信号に応答するモータ(図示せず)により、矢印Aの方向に回転駆動される。なお媒体ディスク200を複数備え、複数プラッタ型としても良い。
媒体ディスク200に記録される情報の記録/再生を行うヘッドスライダ153は、薄膜状のサスペンション154の先端に取り付けられる。ヘッドスライダ153は、図5または図6の磁気ヘッドをその先端付近に搭載する。
媒体ディスク200が回転することにより、ヘッドスライダ153の媒体対向面(ABS)は媒体ディスク200の表面から一定の浮上量で保持される。あるいはスライダが媒体ディスク200と接触するいわゆる「接触走行型」であってもよい。
サスペンション154は、駆動コイル(図示せず)を保持するボビン部(図示せず)などを有するアクチュエータアーム155の一端に接続される。アクチュエータアーム155の他端には、リニアモータの一種であるボイスコイルモータ156が設けられる。ボイスコイルモータ156は、アクチュエータアーム155のボビン部に巻き上げられた駆動コイル(図示せず)と、このコイルを挟み込むように対向して配置される永久磁石および対向ヨークからなる磁気回路とから構成される。
アクチュエータアーム155は、スピンドル157の上下2箇所に設けられた図示しないボールベアリングによって保持され、ボイスコイルモータ156により回転摺動が自在にできるようになっている。
[実施例8]
図8は、図7のハードディスク装置における磁気ヘッドアッセンブリ160のアクチュエータアーム155から先端の部分をディスク側から眺めた拡大斜視図である。図8において、磁気ヘッドアッセンブリ160はアクチュエータアーム155を有する。アクチュエータアーム155の一端にはサスペンション154が接続される。サスペンション154の先端には、図5または図6の磁気ヘッドを備えるヘッドスライダ153が取り付けられる。サスペンション154は信号の書き込みおよび読み取り用のリード線164を有し、ヘッドスライダ153に組み込まれる磁気ヘッドの各電極がリード線164に電気的に接続される。リード線164は電極パッド165に接続される。
図8は、図7のハードディスク装置における磁気ヘッドアッセンブリ160のアクチュエータアーム155から先端の部分をディスク側から眺めた拡大斜視図である。図8において、磁気ヘッドアッセンブリ160はアクチュエータアーム155を有する。アクチュエータアーム155の一端にはサスペンション154が接続される。サスペンション154の先端には、図5または図6の磁気ヘッドを備えるヘッドスライダ153が取り付けられる。サスペンション154は信号の書き込みおよび読み取り用のリード線164を有し、ヘッドスライダ153に組み込まれる磁気ヘッドの各電極がリード線164に電気的に接続される。リード線164は電極パッド165に接続される。
図7および図8に示されるように、図1〜図4の磁気抵抗効果素子、ひいては図5、図6の磁気ヘッドを用いてハードディスク装置を実施することにより、既存のハードディスク装置よりもブレークダウン電圧が高く、かつ高い再生出力を得ることが可能となる。ひいては磁気記録密度をさらに向上させ、記録容量の更なる増大を促すことが可能になる。
[他の実施例]
図9は本発明に係わる磁気抵抗効果素子の他の実施例を概略的に示す断面図である。図1において、図示しない基板上に下部電極1、下地層2、下側磁化固着層3、第1の電流制御層8、磁化自由層5、第2の電流制御層9、上側磁化固着層7、保護層10、上部電極11がこの順に積層される。
図9は本発明に係わる磁気抵抗効果素子の他の実施例を概略的に示す断面図である。図1において、図示しない基板上に下部電極1、下地層2、下側磁化固着層3、第1の電流制御層8、磁化自由層5、第2の電流制御層9、上側磁化固着層7、保護層10、上部電極11がこの順に積層される。
第1の電流制御層8は下側磁化固着層3と磁化自由層5との間に形成される。また第2の電流制御層9は磁化自由層5と上側磁化固着層7との間に形成される。図9の磁気抵抗効果素子は垂直通電型(CPP)であり、センス電流は下部電極1と上部電極11との間に通電される。
図9において、磁化自由層5にはNi,Fe,Coを主成分とする金属磁性体を主に用いることができる。磁化固着層3,7にCoPtなどの硬質磁性膜を主に用いることができる。
上記構成の磁気抵抗効果素子は、外部磁気に感応して磁化自由層5の磁化方向が変化することにより抵抗変化を生じるスピンバルブ構造を有する。また上記構成においては、磁化自由層、非磁性中間層、および、磁化固着層により形成されるユニットが2つ設けられ、各ユニットにより磁化自由層5が共有される、いわゆるデュアルスピンバルブ型である。さらに、電流制御層が各ユニットに1つずつ設けられていることが特徴的であり、ここでは電流制御層が各ユニットの非磁性中間層の役割も担っている。
図10は、図9の電流制御層8,9の構造を模式的に示す断面図である。
電流制御層41は、B,Si,Ge,Ta,W,Nb,Al,Mo,P,V,As,Sb,Zr,Ti,Zn,Pb,Th,Be,Cd,Sc,Y,Cr,Sn,Ga,In,Rh,Pd,Mg,Li,Ba,Ca,Sr,Mn,Fe,Co,Ni,Rbおよび希土類金属より選択された少なくとも1種の元素の酸化物、窒化物または酸窒化物を主成分とすることができる。さらに電流制御層41は、Cu,Au,Ag,Pt,Pd,Ir,Osより選択された少なくとも1種の金属を1%以上50%以下の範囲で含有することができる。
電流制御層41は、B,Si,Ge,Ta,W,Nb,Al,Mo,P,V,As,Sb,Zr,Ti,Zn,Pb,Th,Be,Cd,Sc,Y,Cr,Sn,Ga,In,Rh,Pd,Mg,Li,Ba,Ca,Sr,Mn,Fe,Co,Ni,Rbおよび希土類金属より選択された少なくとも1種の元素の酸化物、窒化物または酸窒化物を主成分とすることができる。さらに電流制御層41は、Cu,Au,Ag,Pt,Pd,Ir,Osより選択された少なくとも1種の金属を1%以上50%以下の範囲で含有することができる。
電流制御層41を形成するには、上述した元素の合金を酸化、窒化、または酸窒化処理することで得られる。酸化、窒化、または酸窒化処理の方法としては、成膜装置のチャンバー内に酸素ガスを導入するのみの自然酸化法、成膜装置のチャンバー内に酸素ガスを導入しながらアルゴン、窒素などのイオンを照射するイオンアシスト酸化(酸窒化)法、酸素、窒素イオンを照射するイオンビーム照射酸化法などがある。
電流制御層41はその上下の層を電気的に絶縁する絶縁体23を主体とし、上下の層を電気的に接続する導電体24が、絶縁体23に散在して設けられる。この構成において電流が膜面に垂直に流れる場合、電流は導電体24に絞り込まれて流れる。これが電流狭窄効果であり、外部磁気の変動に応じてセンス電流に対する高い抵抗変化率をもたらす。なお図10において電流制御層41の上下の層を磁性層42A,Bとし、たとえば下側層を磁化自由層とし、上側層を磁化固着層とすることができる。これに限らず、電流制御層41に如何なる層が隣接していても電流狭窄効果を得ることができる。
本実施例に係わる磁気抵抗効果素子では、本質的に導体部分を電流が流れることからオーミック性を有する。よってトンネル性を示す場合とは例えば抵抗の温度依存性が異なることで区別できる。
電流制御層41の厚みが原子半径程度になると、その上下の層が絶縁体23を介して分離されている状態が作り出せず、電流を制御すべき部分の絶縁性が低下し、電流狭窄効果が低下してしまう。これを避けるため電流制御層41の厚みは0.4nm以上を確保することが望ましい。逆に、厚みが過度になると電流制御層41の上下の層(図10では磁性層42A,42B)を導電体24により接続することが困難になる。よって電流制御層41の厚みは3nm以下、好ましくは2nm以下が望ましい。
ところで、電流制御層41においてセンス電流は本質的に導電体24に流れるが、センス電流を流すための電圧は絶縁体23にも加わることになる。この電圧が絶縁体23の絶縁耐圧を超えるとブレークダウンを生じ、素子破壊に至る。上記したように電流制御層21の膜厚を厚くすることは困難であるので、電流制御層21の厚みにより耐圧を上げることは困難である。
そこで本実施例では、電流制御層41を複数備えることでブレークダウン電圧を上昇させるようにしている。図9において、例えば電流制御層8のブレークダウン電圧をVb1とし、電流制御層9のブレークダウン電圧をVb2とする。電流制御層8,9は電気的に直列に接続されているので、センス電流を流すための電圧は、電流制御層8,9に分配される。よって磁気抵抗効果素子全体のブレークダウン電圧をVbとしたとき、Vb=Vb1+Vb2となる。従って本実施例によれば磁気抵抗効果素子のブレークダウン電圧Vbを向上させることができ、特に長期的な信頼性を向上させることが可能になる。またセンス電流を増加させて高い素子出力を得ることが可能になる。
ところで、スピンバルブ磁気抵抗効果素子においては、磁化自由層と、非磁性中間層と、磁化固着層とが1つの組をなし、この組がユニットとして作用する。1つのユニット内に2つの電流制御層を設ける場合には、2つの電流制御層の導電体24の位置が成膜方向に対して一致している状態において最大限の電流狭窄効果を得られることが判ってきている。しかしながらこの状態を実現することは既存の技術では難しく、多くの場合には各電流制御層の導電体の位置は不揃いになるために、電流狭窄効果が減少する。
そこで本実施例では、各ユニットに設けられる電流制御層の数を1に留め、ユニットを複数設けることで複数の電流制御層を具備する構成としている。このような構成によれば、複数の電流制御層の導電体の位置が一致していなくとも、電流狭窄効果が弱まることを防ぐことができる。従って高い抵抗変化率を確保することが可能となり、これにより高レベルの素子出力を得ることが可能になる。もちろん、デュアルスピンバルブ構造であること自体によっても素子出力を高レベル化できることが知られており、本実施例によればこのことと相俟ってさらに高い素子出力を得ることが可能になる。またさらに高いブレークダウン電圧を得るために、各ユニットに複数の電流制御層を設けることも可能である。
以上をまとめると本実施例では、磁化自由層と、非磁性中間層兼電流制御層と、磁化固着層とからなるユニットを2つ備え、各ユニットにより1つの磁化自由層を共有するデュアルスピンバルブ構造によりCPP型磁気抵抗効果素子を形成する。そして、各ユニットに電流制御層を一層ずつ形成されていることで、電流狭窄効果を弱めること無く磁気抵抗効果素子のブレークダウン電圧を上昇させられるようにしている。これにより高い素子出力を得られるとともに信頼性を向上させることが可能になる。
なお、本発明は上記実施の形態に限定されるものではない。例えば各導電性層の積層の順序は図1〜図4、図9、図10に限られない。要するに、CPP型デュアルスピンバルブ磁気抵抗効果素子において、磁化自由層と磁化固着層とを備えるユニットに一層の電流制御層を形成することで本発明の目的は達成される。また各ユニットに非磁性中間層を必ずしも形成する必要は無い。
また図5の磁気抵抗効果膜31に、図3、図4、および図9のいずれかの磁気抵抗効果膜を適用することも可能である。さらに、図6の磁気抵抗効果膜31に図1、および図9のいずれかの磁気抵抗効果膜を適用することも可能である。
さらに、本発明は上記実施例そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施例に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施例に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施例にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
本発明に係わる技術思想は、ハードディスク装置を代表として、情報を磁気的に記録する媒体からの読み出し技術に好適に利用し得る。さらに、本発明に係わる技術思想は、磁気的に情報を書き換え可能なMRAM(Magnetic Random Access Memory)に適用した場合にも、高い抵抗変化率と高いブレークダウン電圧とを得ることができる。すなわち、抵抗変化率とブレークダウン電圧とを上昇させることができることから、MRAMのセルサイズを微細化してもデータの書き込み/読み出しのいずれも確実に実施することができる。
1…下部電極、2…下地層、3…下側磁化固着層、4(4A,4B)…下側非磁性中間層、5…磁化自由層、6(6A,6B)…上側非磁性中間層、7…上側磁化固着層、8…第1の電流制御層、9…第2の電流制御層、10…保護層、11…上部電極、12…下側反強磁性層、13…上側反強磁性層、21…電流制御層、22A,22B…非磁性中間層、23…絶縁体、24…導電体、31…磁気抵抗効果膜、32…下側電極兼シールド層、33…上側電極兼シールド層、34…絶縁層、35…バイアス層、36…磁性層、37…反強磁性層、41…電流制御層、42(42A,42B)…磁性層、150…ハードディスク装置、152…スピンドル、153…ヘッドスライダ、154…サスペンション、155…アクチュエータアーム、156…ボイスコイルモータ、157…スピンドル、160…磁気ヘッドアッセンブリ、164…リード線、165…電極パッド、200…媒体ディスク
Claims (14)
- 複数の導電性層の積層面に垂直にセンス電流を流すCPP(Current Perpendicular-to-the-Plane)方式による磁気抵抗効果素子であり、磁化自由層と第1の磁化固着層とを備える第1のユニットおよび磁化自由層と第2の磁化固着層とを備える第2のユニットを具備し、前記磁化自由層が前記第1および第2のユニットに共用されるデュアルスピンバルブ型の磁気抵抗効果素子であって、
前記第1のユニットに設けられ前記センス電流の流量を制限する第1の電流制御層と、
前記第2のユニットに設けられ前記センス電流の流量を制限する第2の電流制御層とを具備することを特徴とする磁気抵抗効果素子。 - 前記第1および第2のユニットの少なくとも一方は、前記磁化自由層と前記磁化固着層との間に設けられる非磁性中間層を備えることを特徴とする請求項1に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記第1および第2のユニットの少なくとも一方は、前記磁化固着層の磁化方向を固着させる反強磁性層を備えることを特徴とする請求項1に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記第1および第2の電流制御層の少なくともいずれか一方は、前記複数の導電性層の界面に設けられることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記第1および第2の電流制御層の少なくともいずれか一方は、前記複数の導電性層の膜中に形成されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記第1のユニットが前記非磁性中間層を備える場合に、前記第1の電流制御層は当該非磁性中間層と前記磁化自由層との界面に設けられることを特徴とする請求項2に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記第1のユニットが前記非磁性中間層を備える場合に、前記第1の電流制御層は当該非磁性中間層と前記第1の磁化固着層との界面に設けられることを特徴とする請求項2に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記第1のユニットが前記非磁性中間層を備える場合に、前記第1の電流制御層は当該非磁性中間層の膜中に形成されることを特徴とする請求項2に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記第1および第2の電流制御層の少なくともいずれか一方は、隣接する層間を電気的に絶縁する絶縁体と、当該絶縁体内に分散的に形成され前記隣接する層間を電気的に接続して前記センス電流を狭窄的に通過させる導電体とを備えることを特徴とする請求項1に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記絶縁体の膜厚は、0.4nm以上かつ3nm以下であることを特徴とする請求項9に記載の磁気抵抗効果素子。
- 請求項1乃至10のいずれか1項に記載の磁気抵抗効果素子を具備することを特徴とする磁気ヘッド。
- 請求項11に記載の磁気ヘッドと、当該磁気ヘッドを磁気記録媒体の記録面に対して支持する支持機構とを具備することを特徴とするヘッドサスペンションアッセンブリ。
- 請求項11に記載の磁気ヘッドを具備し、磁気記録媒体に記録された磁気的情報を前記磁気ヘッドを用いて読み取ることを特徴とする磁気再生装置。
- 請求項12に記載のヘッドサスペンションアッセンブリを具備し、磁気記録媒体に記録された磁気的情報を前記磁気ヘッドを用いて読み取ることを特徴とする磁気再生装置。
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