JP2005085317A - 磁気ヘッド装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 装置42により、スライダのスライダ接合面上に導電性樹脂を塗布した後、さらに前記装置42により前記導電性樹脂膜40下の絶縁層41に電圧を印加する。これにより前記絶縁層41が絶縁破壊する。このため前記導電性樹脂膜40と前記舌片24a間の導通性は良好になり、よって支持部材とスライダ間の導通性は向上し、従来に比べて薄膜素子の静電破壊(ESD)を効果的に抑制できる磁気ヘッド装置を提供することができる。
【選択図】図6
Description
前記スライダ接合面の表面には絶縁層が形成され、前記絶縁層は少なくとも一部の領域で絶縁破壊を起こしており、前記絶縁破壊を起こした領域上に前記導電性樹脂膜が形成されていることを特徴とするものである。
(a) 前記支持部材のスライダ接合面上に形成された絶縁層上の少なくとも一部に前記導電性樹脂膜を塗布する工程と、
(b) 前記支持部材のスライダ接合面上に前記導電性樹脂膜を介して前記スライダを接合する工程とを、有し、
(c) 少なくとも前記(b)工程よりも前の段階で、前記導電性樹脂膜下にある前記絶縁層を絶縁破壊する工程を含むことを特徴とするものである。
21 スライダ
22 支持部材
23 ロードビーム
24 フレキシャ
24a 舌片
24b 固定部
25 薄膜素子
40 導電性樹脂膜
41 絶縁層
41a 絶縁破壊された領域
42 装置
43 ノズル部
44 端子
50 電圧印加装置
51 第1の端子
52 第2の端子
Claims (12)
- 記録用及び/または再生用の薄膜素子を有するスライダと、前記スライダを支持する支持部材とを有して成り、前記支持部材のスライダ接合面の少なくとも一部に導電性樹脂膜を介して前記スライダが接合される磁気ヘッド装置において、
前記スライダ接合面の表面には絶縁層が形成され、前記絶縁層は少なくとも一部の領域で絶縁破壊を起こしており、前記絶縁破壊を起こした領域上に前記導電性樹脂膜が形成されていることを特徴とする磁気ヘッド装置。 - 前記導電性樹脂膜は、樹脂内に導電性フィラーが混入されたものであり、導電性フィラー間で絶縁破壊を起こしている請求項1記載の磁気ヘッド装置。
- 前記スライダと支持部材との間に0.5V以下の電圧を印加したときの抵抗値が100Ω以下である請求項1または2に記載の磁気ヘッド装置。
- 記録用及び/または再生用の薄膜素子を有するスライダと、前記スライダを支持する支持部材とを有して成り、前記支持部材のスライダ接合面の少なくとも一部に導電性樹脂膜を介して前記スライダを接合する磁気ヘッド装置の製造方法において、
(a) 前記支持部材のスライダ接合面上に形成された絶縁層上の少なくとも一部に前記導電性樹脂膜を塗布する工程と、
(b) 前記支持部材のスライダ接合面上に前記導電性樹脂膜を介して前記スライダを接合する工程とを、有し、
(c) 少なくとも前記(b)工程よりも前の段階で、前記導電性樹脂膜下にある前記絶縁層を絶縁破壊する工程を含むことを特徴とする磁気ヘッド装置の製造方法。 - 前記(a)工程で、前記導電性樹脂膜を塗布した後、前記(c)工程により、前記導電性樹脂膜下にある絶縁層に電圧を印加して、前記絶縁層を絶縁破壊する請求項4記載の磁気ヘッド装置の製造方法。
- 前記導電性樹脂膜の塗布と電圧印加の両方が可能な装置を用い、前記装置のノズル部で前記導電性樹脂膜の塗布を行った後、前記ノズル部を前記導電性樹脂膜下にある絶縁層の表面にまで押付けた状態で、前記絶縁層に電圧を印加する請求項5記載の磁気ヘッド装置の製造方法。
- 前記導電性樹脂膜を塗布した後、電圧印加が可能な装置を用い、前記導電性樹脂膜を通して絶縁層に電圧を印加する請求項5記載の磁気ヘッド装置の製造方法。
- 前記導電性樹脂膜は樹脂内に導電フィラーが混入されたものであり、前記電圧印加によって前記導電フィラー間を絶縁破壊する請求項7記載の磁気ヘッド装置の製造方法。
- 前記電圧印加を行う前に、前記導電性樹脂膜を乾燥工程に付する請求項7または8に記載の磁気ヘッド装置の製造方法。
- 前記(a)工程よりも前に、前記(c)工程により、前記絶縁層の一部の領域を絶縁破壊し、その後、前記(a)工程により、前記絶縁破壊された領域上に導電性樹脂膜を塗布する請求項4記載の磁気ヘッド装置の製造方法。
- 前記絶縁層に電圧を印加して、前記絶縁層の一部の領域を絶縁破壊する請求項10記載の磁気ヘッド装置の製造方法。
- 前記(c)工程で、前記導電性樹脂膜とは別の接着剤を前記絶縁層上に塗布し、その後、前記スライダを前記スライダ接合面上に接合する請求項4ないし11のいずれかに記載の磁気ヘッド装置の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003313399A JP3908706B2 (ja) | 2003-09-05 | 2003-09-05 | 磁気ヘッド装置の製造方法 |
CNB2004100575274A CN1315129C (zh) | 2003-09-05 | 2004-08-17 | 磁头装置及其制造方法 |
US10/932,720 US7193818B2 (en) | 2003-09-05 | 2004-09-02 | Magnetic head device and method for making the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003313399A JP3908706B2 (ja) | 2003-09-05 | 2003-09-05 | 磁気ヘッド装置の製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006316762A Division JP2007080510A (ja) | 2006-11-24 | 2006-11-24 | 磁気ヘッド装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005085317A true JP2005085317A (ja) | 2005-03-31 |
JP3908706B2 JP3908706B2 (ja) | 2007-04-25 |
Family
ID=34114161
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003313399A Expired - Fee Related JP3908706B2 (ja) | 2003-09-05 | 2003-09-05 | 磁気ヘッド装置の製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7193818B2 (ja) |
JP (1) | JP3908706B2 (ja) |
CN (1) | CN1315129C (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007331050A (ja) * | 2006-06-14 | 2007-12-27 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置 |
JP2010250917A (ja) * | 2009-04-20 | 2010-11-04 | Nhk Spring Co Ltd | 圧電アクチュエータ処理装置および圧電アクチュエータ処理方法 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4326484B2 (ja) * | 2005-02-21 | 2009-09-09 | 日本発條株式会社 | ヘッドサスペンション |
JP4386863B2 (ja) * | 2005-02-21 | 2009-12-16 | 日本発條株式会社 | ヘッド・サスペンション |
JP2007305270A (ja) * | 2006-05-15 | 2007-11-22 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 磁気ヘッド・アセンブリ及び磁気ディスク装置 |
JP2007080510A (ja) * | 2006-11-24 | 2007-03-29 | Alps Electric Co Ltd | 磁気ヘッド装置の製造方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06201761A (ja) * | 1992-12-28 | 1994-07-22 | Kawasaki Steel Corp | 絶縁膜の経時絶縁破壊特性測定方法 |
US5901014A (en) * | 1993-08-10 | 1999-05-04 | Fujitsu Limited | Thin film magnetic head and assembly configured to reduce risk of discharge between the coil and the core slider |
JPH08235653A (ja) * | 1995-02-27 | 1996-09-13 | Sharp Corp | 走査型プローブ記録再生装置 |
JP3354751B2 (ja) | 1995-07-06 | 2002-12-09 | アルプス電気株式会社 | 磁気ヘッド装置およびその製造方法 |
JP2000215428A (ja) * | 1999-01-27 | 2000-08-04 | Tdk Corp | ヘッドスライダ支持体およびヘッド装置、ならびにそれらの製造方法 |
JP3759344B2 (ja) * | 1999-08-02 | 2006-03-22 | アルプス電気株式会社 | 磁気ヘッド及び磁気ヘッドの製造方法 |
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JP3790696B2 (ja) * | 2001-03-16 | 2006-06-28 | アルプス電気株式会社 | 磁気ヘッド |
JP2003203450A (ja) * | 2001-12-28 | 2003-07-18 | Alps Electric Co Ltd | 磁気ヘッド |
-
2003
- 2003-09-05 JP JP2003313399A patent/JP3908706B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-08-17 CN CNB2004100575274A patent/CN1315129C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2004-09-02 US US10/932,720 patent/US7193818B2/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1315129C (zh) | 2007-05-09 |
JP3908706B2 (ja) | 2007-04-25 |
US20050030667A1 (en) | 2005-02-10 |
CN1591661A (zh) | 2005-03-09 |
US7193818B2 (en) | 2007-03-20 |
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Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060705 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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