JP2005079298A - 発光素子及び発光素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 金属層を介して発光層部とSi基板とを貼り合せた構造を有し、かつ、貼り合せ強度や反射率の低下などが生じにくい発光素子を提供する。
【解決手段】 発光層部24を有した化合物半導体層の第一主表面を光取出面とし、該化合物半導体層の第二主表面側に金属層10を介してSi基板7が結合され、該金属層10の化合物半導体層との接合面が反射面を形成する。そして、金属層10が、Si基板からのSiが反射面に拡散により沸きあがることを阻止するための、Sn、Pb、In及びGaの1種又は2種以上からなるSi拡散阻止成分を含有したAu又はAgを主成分とするSi拡散阻止金属層10dを有する。
【選択図】 図1
Description
発光層部を有した化合物半導体層の第一主表面を光取出面とし、該化合物半導体層の第二主表面側に金属層を介してSi基板が結合され、該金属層の化合物半導体層との接合面が反射面を形成するとともに、金属層が、Si基板からのSiが反射面に拡散により沸きあがることを阻止するための、Sn、Pb、In及びGaの1種又は2種以上からなるSi拡散阻止成分を含有したAu又はAgを主成分とするSi拡散阻止金属層を有する。なお、本明細書において「主成分」とは、最も質量含有率の高い成分のことをいう。
金属層を、Si基板からのSiが反射面に拡散により沸きあがることを阻止するための、Sn、Pb、In及びGaの1種又は2種以上からなるSi拡散阻止成分を含有したAu又はAgを主成分とするSi拡散阻止金属層を有するものとして形成し、該金属層を介してSi基板と化合物半導体層とを貼り合わせることを特徴とする。
図1は、本発明の一実施形態である発光素子100を示す概念図である。発光素子100は、Si基板をなす導電性基板であるn型Si単結晶よりなるSi基板7の第一主表面上に金属層10を介して発光層部24が貼り合わされた構造を有してなる。発光層部24は、ノンドープ(AlxGa1−x)yIn1−yP(ただし、0≦x≦0.55,0.45≦y≦0.55)混晶からなる活性層5を、第一導電型クラッド層、本実施形態ではp型(AlzGa1−z)yIn1−yP(ただしx<z≦1)からなるp型クラッド層6と、前記第一導電型クラッド層とは異なる第二導電型クラッド層、本実施形態ではn型(AlzGa1−z)yIn1−yP(ただしx<z≦1)からなるn型クラッド層4とにより挟んだ構造を有し、活性層5の組成に応じて、発光波長を、緑色から赤色領域(発光波長(ピーク発光波長)が550nm以上670nm以下)にて調整できる。発光素子100においては、金属電極9側にp型AlGaInPクラッド層6が配置されており、金属層10側にn型AlGaInPクラッド層4が配置されている。なお、ここでいう「ノンドープ」とは、「ドーパントの積極添加を行なわない」との意味であり、通常の製造工程上、不可避的に混入するドーパント成分の含有(例えば1013〜1016/cm3程度を上限とする)をも排除するものではない。
まず、図2の工程1に示すように、発光層成長用基板をなす半導体単結晶基板であるGaAs単結晶基板1の主表面に、p型GaAsバッファ層2を例えば0.5μm、AlAsからなる剥離層3を例えば0.5μm、さらにp型AlGaAsよりなる電流拡散層20を例えば5μm、この順序にてエピタキシャル成長させる。また、その後、発光層部24として、1μmのp型AlGaInPクラッド層6、0.6μmのAlGaInP活性層(ノンドープ)5、及び1μmのn型AlGaInPクラッド層4を、この順序にエピタキシャル成長させる。
4 n型クラッド層(第二導電型クラッド層)
5 活性層
6 p型クラッド層(第一導電型クラッド層)
7 Si単結晶基板(Si基板)
9 金属電極
10 金属層
10a 第一Au系層
10b 第二Au系層
10c 反射層
10d Si拡散阻止層
10m 主金属層
24 発光層部
100,200,300,400 発光素子
Claims (10)
- 発光層部を有した化合物半導体層の第一主表面を光取出面とし、該化合物半導体層の第二主表面側に金属層を介してSi基板が結合され、該金属層の前記化合物半導体層との接合面が反射面を形成するとともに、前記金属層が、前記Si基板からのSiが前記反射面に拡散により沸きあがることを阻止するための、Sn、Pb、In及びGaの1種又は2種以上からなるSi拡散阻止成分を含有したAu又はAgを主成分とするSi拡散阻止金属層を有することを特徴とする発光素子。
- 前記Si拡散阻止層は、前記Si拡散阻止成分の含有量が1質量%以上20質量%以下であることを特徴とする請求項1記載の発光素子。
- 前記Si拡散阻止層と前記Si基板との間に、該Si基板と前記Si拡散阻止層との接合抵抗を低減するための基板側接合合金化層が介挿されてなる請求項1又は請求項2に記載の発光素子。
- 前記金属層において、前記化合物半導体層と前記Si拡散阻止層との間に、前記Si拡散阻止層よりもSi拡散阻止成分の含有量が少ない主金属層が設けられてなることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の発光素子。
- 前記Si拡散阻止層の厚さが50nm以上5μm以下であることを特徴とする請求項4記載の発光素子。
- 前記Si拡散阻止層がAuを主成分とするものであり、前記主金属層は、前記反射面を形成するAuを主成分とするAu系主金属層からなることを特徴とする請求項4又は請求項5に記載の発光素子。
- 前記Si拡散阻止層がAuを主成分とするものであり、前記主金属層の該Si拡散阻止層と接する部分がAuを主成分とするAu系結合層とされ、前記反射面を形成する部分が、Agを主成分とするAg系反射層又はAlを主成分とするAl系反射層とされてなることを特徴とする請求項4ないし請求項6のいずれか1項に記載の発光素子。
- 前記Si拡散阻止層により前記反射面が形成されてなることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の発光素子。
- 発光層部を有した化合物半導体層の第一主表面を光取出面とし、該化合物半導体層の第二主表面側に金属層を介してSi基板が結合され、該金属層の前記化合物半導体層との接合面が反射面を形成する発光素子の製造方法であって、
前記金属層を、前記Si基板からのSiが前記反射面に拡散により沸きあがることを阻止するための、Sn、Pb、In及びGaの1種又は2種以上からなるSi拡散阻止成分を含有したAu又はAgを主成分とするSi拡散阻止金属層を有するものとして形成し、該金属層を介して前記Si基板と前記化合物半導体層とを貼り合わせることを特徴とする発光素子の製造方法。 - 前記Si基板と前記化合物半導体層とを前記金属層を介して重ね合わせ、その状態で貼り合わせ熱処理することにより、前記Si基板と前記化合物半導体層とを貼り合わせることを特徴とする請求項9記載の発光素子の製造方法。
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---|---|
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007015330A1 (ja) * | 2005-08-03 | 2007-02-08 | Stanley Electric Co., Ltd. | 半導体発光素子及びその製造方法 |
JP2007116065A (ja) * | 2005-10-24 | 2007-05-10 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 発光素子および発光素子の製造方法 |
WO2007105626A1 (ja) * | 2006-03-10 | 2007-09-20 | Matsushita Electric Works, Ltd. | 発光素子 |
KR100912448B1 (ko) | 2006-02-23 | 2009-08-14 | 아리마 옵토일렉트로닉스 코포레이션 | 금속 확산 본딩 기술을 이용하여 제조된 발광 다이오드 및이러한 발광 다이오드의 제조 방법 |
WO2012157163A1 (ja) * | 2011-05-18 | 2012-11-22 | 株式会社 東芝 | 半導体発光素子 |
JP2012231014A (ja) * | 2011-04-26 | 2012-11-22 | Toshiba Corp | 半導体発光素子 |
WO2013019314A1 (en) * | 2011-08-02 | 2013-02-07 | Bridgelux, Inc. | High temperature gold-free wafer bonding for light emitting diodes |
JP2018516460A (ja) * | 2015-05-29 | 2018-06-21 | オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングOsram Opto Semiconductors GmbH | オプトエレクトロニクス部品およびオプトエレクトロニクス部品の製造方法 |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62156245A (ja) * | 1985-12-28 | 1987-07-11 | Takeshi Masumoto | 感温性材料 |
JPH01234394A (ja) * | 1988-03-15 | 1989-09-19 | Nec Corp | 結晶成長方法 |
JPH0429374A (ja) * | 1990-05-24 | 1992-01-31 | Omron Corp | 面出射型半導体発光素子およびその作製方法 |
JPH06246479A (ja) * | 1993-02-25 | 1994-09-06 | Nec Corp | 接合金属シート |
JPH10126000A (ja) * | 1996-10-18 | 1998-05-15 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光半導体装置モジュール |
JP2001244503A (ja) * | 1999-12-21 | 2001-09-07 | Nichia Chem Ind Ltd | 窒化物半導体発光素子 |
JP2001339100A (ja) * | 2000-05-30 | 2001-12-07 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 発光素子及びその製造方法 |
JP2002001576A (ja) * | 2000-04-13 | 2002-01-08 | Agere Systems Guardian Corp | 耐クリープ性があり、かつ応力を低減したはんだを含む物品 |
JP2002084029A (ja) * | 2000-09-11 | 2002-03-22 | Canon Inc | ヒートパイプを備えた半導体光素子 |
JP2002368212A (ja) * | 2001-06-12 | 2002-12-20 | Hitachi Ltd | 絶縁ゲート型電界効果トランジスタ及びその製造方法 |
JP2003031895A (ja) * | 2001-07-13 | 2003-01-31 | Sharp Corp | 半導体発光装置およびその製造方法 |
JP2004363532A (ja) * | 2003-06-03 | 2004-12-24 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 垂直構造窒化ガリウム系発光ダイオードの製造方法 |
-
2003
- 2003-08-29 JP JP2003307049A patent/JP2005079298A/ja active Pending
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62156245A (ja) * | 1985-12-28 | 1987-07-11 | Takeshi Masumoto | 感温性材料 |
JPH01234394A (ja) * | 1988-03-15 | 1989-09-19 | Nec Corp | 結晶成長方法 |
JPH0429374A (ja) * | 1990-05-24 | 1992-01-31 | Omron Corp | 面出射型半導体発光素子およびその作製方法 |
JPH06246479A (ja) * | 1993-02-25 | 1994-09-06 | Nec Corp | 接合金属シート |
JPH10126000A (ja) * | 1996-10-18 | 1998-05-15 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光半導体装置モジュール |
JP2001244503A (ja) * | 1999-12-21 | 2001-09-07 | Nichia Chem Ind Ltd | 窒化物半導体発光素子 |
JP2002001576A (ja) * | 2000-04-13 | 2002-01-08 | Agere Systems Guardian Corp | 耐クリープ性があり、かつ応力を低減したはんだを含む物品 |
JP2001339100A (ja) * | 2000-05-30 | 2001-12-07 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 発光素子及びその製造方法 |
JP2002084029A (ja) * | 2000-09-11 | 2002-03-22 | Canon Inc | ヒートパイプを備えた半導体光素子 |
JP2002368212A (ja) * | 2001-06-12 | 2002-12-20 | Hitachi Ltd | 絶縁ゲート型電界効果トランジスタ及びその製造方法 |
JP2003031895A (ja) * | 2001-07-13 | 2003-01-31 | Sharp Corp | 半導体発光装置およびその製造方法 |
JP2004363532A (ja) * | 2003-06-03 | 2004-12-24 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 垂直構造窒化ガリウム系発光ダイオードの製造方法 |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8043879B2 (en) | 2005-08-03 | 2011-10-25 | Stanley Electric Co., Ltd. | Semiconductor light emitting device manufacture method |
JP4970265B2 (ja) * | 2005-08-03 | 2012-07-04 | スタンレー電気株式会社 | 半導体発光素子及びその製造方法 |
JPWO2007015330A1 (ja) * | 2005-08-03 | 2009-02-19 | スタンレー電気株式会社 | 半導体発光素子及びその製造方法 |
WO2007015330A1 (ja) * | 2005-08-03 | 2007-02-08 | Stanley Electric Co., Ltd. | 半導体発光素子及びその製造方法 |
US7834371B2 (en) | 2005-08-03 | 2010-11-16 | Stanley Electric Co., Ltd. | Reflective type semiconductor light emitting device |
JP2007116065A (ja) * | 2005-10-24 | 2007-05-10 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 発光素子および発光素子の製造方法 |
KR100912448B1 (ko) | 2006-02-23 | 2009-08-14 | 아리마 옵토일렉트로닉스 코포레이션 | 금속 확산 본딩 기술을 이용하여 제조된 발광 다이오드 및이러한 발광 다이오드의 제조 방법 |
US8049233B2 (en) | 2006-03-10 | 2011-11-01 | Panasonic Electric Works Co., Ltd. | Light-emitting device |
WO2007105626A1 (ja) * | 2006-03-10 | 2007-09-20 | Matsushita Electric Works, Ltd. | 発光素子 |
JP2012231014A (ja) * | 2011-04-26 | 2012-11-22 | Toshiba Corp | 半導体発光素子 |
WO2012157163A1 (ja) * | 2011-05-18 | 2012-11-22 | 株式会社 東芝 | 半導体発光素子 |
JP2012256811A (ja) * | 2011-05-18 | 2012-12-27 | Toshiba Corp | 半導体発光素子 |
WO2013019314A1 (en) * | 2011-08-02 | 2013-02-07 | Bridgelux, Inc. | High temperature gold-free wafer bonding for light emitting diodes |
US9142743B2 (en) | 2011-08-02 | 2015-09-22 | Kabushiki Kaisha Toshiba | High temperature gold-free wafer bonding for light emitting diodes |
JP2018516460A (ja) * | 2015-05-29 | 2018-06-21 | オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングOsram Opto Semiconductors GmbH | オプトエレクトロニクス部品およびオプトエレクトロニクス部品の製造方法 |
US10475778B2 (en) | 2015-05-29 | 2019-11-12 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Optoelectronic component and method for producing an optoelectronic component |
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