JP2005079216A - 基板洗浄装置の洗浄部材の初期化方法、基板洗浄装置並びに基板研磨及び洗浄システム - Google Patents
基板洗浄装置の洗浄部材の初期化方法、基板洗浄装置並びに基板研磨及び洗浄システム Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】初期化用液体を供給しながら初期化用基板1の表面1aに、裏面側を洗浄する不織布で形成された洗浄部材21を接触させスクラブすることにより、洗浄部材の十分な初期化を行うことができる。また、前記の初期化方法で初期化した洗浄部材を備える基板洗浄装置では、基板を清浄度よく洗浄することができる。更に、前記の基板洗浄装置を備える基板研磨及び洗浄システムでは、基板を平坦化且つ鏡面化した上で、基板を清浄度よく洗浄することができる。
【選択図】 図3
Description
1a 表面
1b 裏面
2 基板
10 基板研磨装置
12 トップリング
20 基板洗浄装置
21 裏面洗浄部材
21a 不織布
21b 軸体
21c アーム
22 表面洗浄部材
24 ローラ
30 二次洗浄装置
41 受渡台
42 反転機
43,44 搬送機
50 ロード・アンロード部
Claims (4)
- 洗浄液を散布しながら不織布で形成された洗浄部材でスクラブして基板を洗浄する基板洗浄装置の、新たに設置した前記洗浄部材の初期化方法において;
新たに設置した洗浄部材を清浄にするための初期化用基板の表面を前記洗浄部材に接触させて、接触面に初期化用液体を供給しながら相対運動をさせてスクラブすることにより、前記洗浄部材を初期化する;
洗浄部材の初期化方法。 - 前記洗浄部材が基板の裏面を洗浄する洗浄部材である;
請求項1に記載の洗浄部材の初期化方法。 - 請求項1又は請求項2に記載の洗浄部材の初期化方法で初期化された洗浄部材と;
前記基板を保持し回転させる回転部と;
前記回転部に保持され回転している前記基板に洗浄液を散布するノズルとを備える;
基板洗浄装置。 - 請求項3に記載の基板洗浄装置と;
前記基板を、スラリーを用いて化学機械研磨する基板研磨装置とを備える;
基板研磨及び洗浄システム。
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