JP2005077343A - フローセンサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 耐食性の金属ダイヤフラムと、金属ダイヤフラムの一方の面に形成された絶縁膜と、当該絶縁膜上に形成された流量測定用のセンサとを備え、金属ダイヤフラムの他方の面が被測定流体に接するダイヤフラムを備えたフローセンサ1であって、センサデバイス25が形成された絶縁膜122と金属ダイヤフラムとの間に当該絶縁膜122の線膨張係数と耐食性金属の線膨張係数との中間の線膨張係数を有する緩衝層121を介在させることで、フローセンサの感度及び応答性を向上させると共に耐熱性を向上させている。
【選択図】 図2
Description
(1)マルテンサイト系ステンレスの線膨張係数(SUS400番台)
・・・10×10−6/°C前後
(2)オーステナイト系ステンレスの線膨張係数(SUS300番台)
・・・16×10−6/°C前後
(3)酸化シリコンの線膨張係数
・・・0.8×10−6/°C前後
このようなマルテンサイト系ステンレスとオーステナイト系ステンレスの線膨張係数の違いから分かるように、ステンレスの表面に単一の絶縁膜を形成する場合、温度の上昇や下降による熱応力を緩和するために、ダイヤフラムに適用できるステンレスがマルテンサイト系のステンレスに限定されてしまい、材料選択上の自由度が限定される。すなわち、本来、より耐食性の高いオーステナイト系ステンレス表面に酸化シリコンなどの絶縁膜を形成するのが好ましいが、このような構成によると、上述の両者の線膨張係数の違いから熱応力によって絶縁膜にクラックが入るなどの不具合が発生してしまう。従って、現状ではオーステナイトステンレスはフローセンサの金属ダイヤフラムには使用できない。
続いて、以上のように構成されたフローセンサ1の作用について以下に説明する。
110 センサチップ
111 厚肉部
112 凹み部
113 薄肉部
120 絶縁層
121 緩衝層
122 絶縁膜
130 流路形成部材
131,132 貫通孔
135 凸部
210 基板
221 緩衝層
222 絶縁膜
230 流路形成部材
250 プレート
Claims (2)
- 耐食性の金属ダイヤフラムと、前記金属ダイヤフラムの一方の面に形成された絶縁膜と、当該絶縁膜上に形成された流量測定用のセンサとを備え、前記金属ダイヤフラムの他方の面が被測定流体に接するようになったフローセンサにおいて、
前記センサが形成された絶縁膜と前記金属ダイヤフラムとの間に当該絶縁膜の線膨張係数と耐食性金属の線膨張係数との中間の線膨張係数を有する緩衝部材を介在させていることを特徴とするフローセンサ。 - 前記絶縁膜が液体ソースからなることを特徴とする、請求項1に記載のフローセンサ。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014057536A1 (ja) * | 2012-10-10 | 2014-04-17 | 株式会社岡野製作所 | 圧力センサおよび該センサを用いた真空加工装置 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP5052275B2 (ja) * | 2007-09-20 | 2012-10-17 | アズビル株式会社 | フローセンサの取付構造 |
EP2282180A1 (en) * | 2007-09-20 | 2011-02-09 | Yamatake Corporation | Flow sensor and manufacturing method therefor |
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CN108240850B (zh) * | 2018-01-29 | 2020-06-26 | 国电锅炉压力容器检验中心 | 奥氏体不锈钢管内氧化物的堆积量检测方法 |
CN109579928B (zh) * | 2018-11-23 | 2020-10-23 | 北京控制工程研究所 | 一种热式微流量测量传感器流道及密封结构 |
US11280651B2 (en) * | 2019-03-25 | 2022-03-22 | Flo Technologies, Inc. | Thin film thermal mass flow sensor in fluid applications |
US11965762B2 (en) | 2019-10-21 | 2024-04-23 | Flusso Limited | Flow sensor |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05142009A (ja) * | 1991-11-21 | 1993-06-08 | Meidensha Corp | 流量センサおよび流量センサの製造方法 |
JPH08166305A (ja) * | 1994-12-14 | 1996-06-25 | Yokogawa Electric Corp | 半導体圧力計 |
JP2002014070A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-01-18 | Yazaki Corp | 熱型センサ |
JP2002039828A (ja) * | 2000-07-19 | 2002-02-06 | Ngk Insulators Ltd | 感温性抵抗素子及びこれを用いた熱式流量センサ |
JP2003240618A (ja) * | 2002-02-20 | 2003-08-27 | Yamatake Corp | フローセンサ |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5142009A (en) * | 1974-10-08 | 1976-04-09 | Nippon Kokan Kk | Saitoensuikeijono yoyutenkazai |
US4203128A (en) * | 1976-11-08 | 1980-05-13 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Electrostatically deformable thin silicon membranes |
JPH10148591A (ja) * | 1996-09-19 | 1998-06-02 | Fuji Koki Corp | 圧力検出装置 |
JP2004053344A (ja) * | 2002-07-18 | 2004-02-19 | Tem-Tech Kenkyusho:Kk | 荷重変換型の金属ダイヤフラム圧力センサ |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05142009A (ja) * | 1991-11-21 | 1993-06-08 | Meidensha Corp | 流量センサおよび流量センサの製造方法 |
JPH08166305A (ja) * | 1994-12-14 | 1996-06-25 | Yokogawa Electric Corp | 半導体圧力計 |
JP2002014070A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-01-18 | Yazaki Corp | 熱型センサ |
JP2002039828A (ja) * | 2000-07-19 | 2002-02-06 | Ngk Insulators Ltd | 感温性抵抗素子及びこれを用いた熱式流量センサ |
JP2003240618A (ja) * | 2002-02-20 | 2003-08-27 | Yamatake Corp | フローセンサ |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014057536A1 (ja) * | 2012-10-10 | 2014-04-17 | 株式会社岡野製作所 | 圧力センサおよび該センサを用いた真空加工装置 |
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Publication number | Publication date |
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