JP4903029B2 - ピラニ真空計および圧力測定方法 - Google Patents
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Description
測定可能な圧力範囲の上限は、気体の平均自由工程λとフィラメントの半径rとの比λ/rに比例することが確認されている。したがって、フィラメントの半径rを小さくすることにより、測定可能な圧力範囲の上限を引き上げることができる。
そこで本発明は、測定可能な圧力範囲の拡大が可能であり、また圧力測定精度の向上が可能なピラニ真空計の提供を課題とする。
また、処理装置内の圧力を簡単かつ低コストで測定することが可能な圧力測定方法の提供を課題とする。
これらの温度係数が高い材料で電気抵抗体を形成することにより、圧力測定精度を向上させることができる。
この構成によれば、電気抵抗体と浮膜との密着性を向上させることができる。
これらの熱伝導率が低い材料で浮膜、連結膜および周辺膜を形成することにより、電気抵抗体から浮膜、連結膜および周辺膜への熱流出を抑制することが可能になる。したがって、測定可能な圧力範囲の下限を引き下げることができる。
この構成によれば、基板の穴部の形成プロセスを簡略化することができる。
この構成によれば、処理装置の改造を伴うことなく、処理装置内の圧力を簡単かつ低コストで測定することができる。
この構成によれば、被処理基板上における圧力分布を簡単かつ低コストで測定することができる。
本発明に係る圧力測定方法によれば、処理装置の改造を伴うことなく、処理装置内の圧力を簡単かつ低コストで測定することができる。
図1は、本実施形態に係るピラニ真空計の使用形態の説明図であり、図3のA−A線に相当する部分における断面図である。図1に示すように、本実施形態に係るピラニ真空計10は、真空チャンバの壁面2の開口部2aに配置して使用される。その開口部2aを外側から塞ぐように、Oリング3を介してフランジ4が配置されている。そのフランジ4の内面中央部にピラニ真空計10が装着され、フランジ4の周縁部に複数の貫通電極6が立設されている。
図3はセンサ部の平面図であり、図4は図3のB−B線における断面図である。図4に示すように、センサ部20は、シリコンや石英等の熱伝導率が低い材料からなる基板22を備えている。基板22は平面視略正方形状とされ、その一辺は例えば5mm程度に形成されている。また基板22の厚さは、例えば500±25μm程度に形成されている。基板22の中央部には、平面視矩形状の貫通孔24が形成されている。貫通孔24は、基板22の裏面から表面にかけて開口面積が小さくなるように、テーパ状に形成されている。
Qg=Kc(Tf−Tw)P=I2R ・・・ (1)
ただし、Kcは被測定ガスにより輸送される熱量の熱伝導係数、Tfは電気抵抗体40の温度、Twは電気抵抗体40の周辺温度(室温)、Pは被測定ガスの圧力、Iは電気抵抗体40を流れる電流、Rは電気抵抗体40の抵抗値である。
温度補償体50の一方端部は、周辺膜36の表面に形成された電極52に接続されている。また温度補償体50の他方端部は、電気抵抗体40の一方の電極42aに接続されている。これにより電極42bは、電気抵抗体40および温度補償体50の共通電極として機能する。
次に、本実施形態に係るピラニ真空計の製造方法につき、図6ないし図9を用いて説明する。図6ないし図9は、ピラニ真空計のセンサ部の製造工程図である。
ここでは、素子の数μmレベルの微細化に有利な電気機械システム(Micro Electro Mechanical System;MEMS)技術を用いて、マイクロピラニセンサを形成する。MEMS技術とは、金属の蒸着やスパッタリング法などを用いる成膜技術や、基板上に数μmレベルのパターンを作製することができるリソグラフィ技術、さらには金属や半導体、酸化物などの膜を酸性やアルカリ性の薬液や、気体の放電現象により発生するイオンの化学反応を用いて、部分的に取り除くエッチング技術などを用いて、3次元構造の素子を基板上に多数作製するものである。
次に図7(a)に示すように、凹部75の内部およびレジスト74の表面全体に、スパッタ法等によりAu膜28aを形成する。
次に図7(b)に示すように、レジスト74を剥離するとともに、レジスト74に積層されたAu膜28aを除去する。これにより、凹部75の内部に形成されたAu膜28aが電気絶縁膜30の表面に残り、封止膜28が形成される。
これにより、図7(d)に示すように、電気絶縁膜30にスリット31が形成される。このスリット31により、浮膜32が周辺膜36から分離され、浮膜32の外周が連結膜(不図示)により周辺膜36に連結された状態になる。なおスリット31と同時に、電気抵抗体40と温度補償体(不図示)との間に溝部(不図示)が形成される。その後、レジスト78を剥離する。
これにより、図8(b)に示すように、基板22の貫通孔の形成領域に存在する電気絶縁膜60が除去されて、凹部61が形成される。その後、基板22の表面のレジスト80を残して、裏面のレジスト80のみを剥離する。
次に図9(a)に示すように、基板22の裏面全体に、スパッタ法等によりAu膜29aを形成する。
次に図9(b)に示すように、レジスト84を剥離するとともに、レジスト84に積層されたAu膜29aを除去する。これにより、電気絶縁膜60の表面のみにAu膜29aが残り、封止膜29が形成される。
以上により、本実施形態に係るピラニ真空計のセンサ部20が形成される。
次に、本実施形態のピラニ真空計を用いた圧力測定方法について説明する。
本実施形態のピラニ真空計は、図1に示すように真空チャンバの壁面2の開口部に配置して使用することも可能であるが、本実施形態のピラニ真空計を被処理基板上に搭載し、その被処理基板を処理装置内に導入して、前記処理装置内の圧力を測定することも可能である。このような可搬型センサを形成することにより、処理装置の改造を伴うことなく、処理装置内の圧力を簡単かつ低コストで測定することが可能になる。特に、複数の処理室で連続処理を行う処理装置において、ピラニ真空計を搭載した被処理基板を各処理室に流通させることが効果的である。なお被処理基板上には、ピラニ真空計とともに、無線通信デバイスや論理回路、メモリ、バッテリ等を搭載することが望ましい。これにより、圧力測定結果の無線出力や、メモリへの記録が可能になる。
Claims (7)
- 気体と熱交換を行う電気抵抗体を備え、前記電気抵抗体の熱損失量から前記気体の圧力を測定するピラニ真空計であって、
前記電気抵抗体を表面に配置して、基板の穴部を跨ぐように形成された浮膜と、
前記浮膜を囲むように前記基板の表面に形成された周辺膜と、
前記電気抵抗体が配置された側における前記周辺膜の表面に形成され、該電気抵抗体の周辺温度の変化を補償する温度補償体と、
前記浮膜の中心を挟んで対称に配置され、前記浮膜の外周を前記周辺膜に連結する一対の連結膜と、を備え、
前記電気抵抗体の両端部が、前記一対の連結膜の表面を通って、前記周辺膜の表面に形成された電極に引き出され、
前記電気抵抗体と前記温度補償体との間における前記周辺膜の表面に、溝部が形成されていることを特徴とするピラニ真空計。 - 前記電気抵抗体は、Pt、NiCrまたはWを主成分とする材料で形成されていることを特徴とする請求項1に記載のピラニ真空計。
- 前記電気抵抗体と前記浮膜との間に、CrまたはTiを主成分とする密着層が設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載のピラニ真空計。
- 前記浮膜、前記周辺膜および前記連結膜は、酸化シリコンまたは窒化シリコンを主成分とする材料で形成されていることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のピラニ真空計。
- 前記基板は、シリコンを主成分とする材料で形成されていることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載のピラニ真空計。
- 請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載のピラニ真空計を被処理基板上に搭載し、前記被処理基板を処理装置内に導入して、前記処理装置内の圧力を測定することを特徴とする圧力測定方法。
- 前記被処理基板上に複数の前記ピラニ真空計を搭載して、前記被処理基板上における圧力分布を測定することを特徴とする請求項6に記載の圧力測定方法。
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