JP2005054259A - プラスチックフィルム及びその製造方法及びそれを応用したフレキシブルプリント回路基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】酸素分圧が(1〜10)×10-6Paとなる酸素を含有する窒素ガスを用いて、プラスチックフィルムに高周波電力を印加しグロー放電させ、その酸素を含有する窒素ガスをイオン化し、そのイオン化された窒素を含むガスにより、上記プラスチックフィルム面上をプラズマ処理して粗化し、そのプラズマ処理後、酸素分圧が(1〜10)×10-6Paとなる酸素を含有するアルゴンガスを用いて、グロー放電させ、そのグロー放電下で、銅または銅を主成分とする合金からなる金属を溶融させてその金属をイオン化し、上記プラスチックフィルムに銅薄膜を蒸着するプラスチックフィルムの製造方法。
【選択図】図1
Description
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、高温放置を繰り返しても、高い密着性を維持するプラスチックフィルム及びその製造方法及びそれを応用したフレキシブルプリント回路基板を提供することを目的とする。
真空中に酸素分圧が(1〜10)×10-6Paとなる酸素を含有する窒素ガスを用いて、プラスチックフィルムに高周波電力を印加しグロー放電させ、そのグロー放電下でプラスチックフィルムに誘起される負の直流電圧とにより、前記酸素を含有する窒素ガスをイオン化し、そのイオン化された窒素を含むガスにより、前記プラスチックフィルム面上をプラズマ処理して粗化する工程と、
前記プラズマ処理後、酸素分圧が(1〜10)×10-6Paとなる酸素を含有するアルゴンガスを用いて、プラスチックフィルムに高周波電力を印加しグロー放電させ、そのグロー放電下で、銅または銅を主成分とする合金からなる金属を溶融させ、前記グロー放電中に存在する電離プラズマにより前記金属をイオン化し、且つプラスチックフィルムに誘起される負の直流電圧により前記イオン化された金属粒子を加速して、前記プラスチックフィルムに銅薄膜を蒸着する工程とからなることを特徴としたものである。
また、本発明のプラスチックフィルムは、プラスチックフィルムを真空中で脱水処理し、
真空中に酸素分圧が(1〜10)×10-6Paとなる酸素を含有する窒素ガスを用いて、プラスチックフィルムに高周波電力を印加しグロー放電させ、そのグロー放電下でプラスチックフィルムに誘起される負の直流電圧とにより、前記酸素を含有する窒素ガスをイオン化し、そのイオン化された窒素を含むガスにより、前記プラスチックフィルム面上をプラズマ処理して粗化し、
前記プラズマ処理後、酸素分圧が(1〜10)×10-6Paとなる酸素を含有するアルゴンガスを用いて、プラスチックフィルムに高周波電力を印加しグロー放電させ、そのグロー放電下で、銅または銅を主成分とする合金からなる金属を溶融させ、前記グロー放電中に存在する電離プラズマにより前記金属をイオン化し、且つプラスチックフィルムに誘起される負の直流電圧により前記イオン化された金属粒子を加速して、前記プラスチックフィルムに銅薄膜を蒸着して生成されることを特徴としたものである。
また、本発明のフレキシブル回路基板は、プラスチックフィルムを真空中で脱水処理し、
真空中に酸素分圧が(1〜10)×10-6Paとなる酸素を含有する窒素ガスを用いて、プラスチックフィルムに高周波電力を印加しグロー放電させ、そのグロー放電下でプラスチックフィルムに誘起される負の直流電圧とにより、前記酸素を含有する窒素ガスをイオン化し、そのイオン化された窒素を含むガスにより、前記プラスチックフィルム面上をプラズマ処理して粗化し、
前記プラズマ処理後、酸素分圧が(1〜10)×10-6Paとなる酸素を含有するアルゴンガスを用いて、プラスチックフィルムに高周波電力を印加しグロー放電させ、そのグロー放電下で、銅または銅を主成分とする合金からなる金属を溶融させ、前記グロー放電中に存在する電離プラズマにより前記金属をイオン化し、且つプラスチックフィルムに誘起される負の直流電圧により前記イオン化された金属粒子を加速して、前記プラスチックフィルムに銅薄膜を蒸着し、
前記銅薄膜が蒸着されたプラスチックフィルム上に金属導体層を形成して成ることを特徴としたものである。
図1は、本発明の第1の実施例におけるフレキシブルプリント回路基板の製造装置の装置構成例を示す図である。
また、本実施の形態1のフィルム加熱手段による脱水処理する工程を、プラズマ処理で脱水することにより、熱によるフィルムのダメージも少なくなり、また、加熱した後の冷却工程が必要としないため、タクトを短くすることすることができる。
1 真空槽
2 巻出しロール
3 巻取りロール
4 フィルム加熱手段
5a 第1の電極
5b 第2の電極
6a、6b 高周波電源
7a、7b マッチングボックス
8a 蒸発源
8b 第3の電極
9a、9b ガス供給部
10a、10b 遮蔽板
11a〜11b ガイドロール
12a〜12c 真空ポンプ
13 プラスチックフィルム
14 フィルム室
15 成膜室
16 プラズマ処理室
Claims (9)
- プラスチックフィルムを真空中で脱水処理する工程と、
真空中に酸素分圧が(1〜10)×10-6Paとなる酸素を含有する窒素ガスを用いて、プラスチックフィルムに高周波電力を印加してグロー放電させ、そのグロー放電下でプラスチックフィルムに誘起される負の直流電圧とにより、前記酸素を含有する窒素ガスをイオン化し、そのイオン化された窒素を含むガスにより、前記プラスチックフィルム面上をプラズマ処理して粗化する工程と、
前記プラズマ処理後、酸素分圧が(1〜10)×10-6Paとなる酸素を含有するアルゴンガスを用いて、プラスチックフィルムに高周波電力を印加しグロー放電させ、そのグロー放電下で、銅または銅を主成分とする合金からなる金属を溶融させ、前記グロー放電中に存在する電離プラズマにより前記金属をイオン化し、且つプラスチックフィルムに誘起される負の直流電圧により前記イオン化された金属粒子を加速して、前記プラスチックフィルムに銅薄膜を蒸着する工程とからなるプラスチックフィルムの製造方法。 - 前記銅薄膜を生成する成膜質の真空度は、10-3Paから10-1Paの範囲であることを特徴とする請求項1に記載のプラスチックフィルムの製造方法。
- 前記プラスチックフィルム面上を粗化するプラズマ処理において、粗化の範囲は2nm〜5nmであることを特徴とする請求項1に記載のプラスチックフィルムの製造方法。
- 前記プラスチックフィルムは、ポリイミドフィルムであることを特徴とする請求項1に記載のプラスチックフィルムの製造方法。
- 前記脱水処理する工程がプラズマ処理からなることを特徴とする請求項1に記載のプラスチックフィルムの製造方法。
- 前記銅または銅を主成分とする合金からなる金属は、銅の全重量比に占める割合が99.99%以上の合金であることを特徴とする請求項1に記載のプラスチックフィルムの製造方法。
- プラスチックフィルムを真空中で脱水処理し、
真空中に酸素分圧が(1〜10)×10-6Paとなる酸素を含有する窒素ガスを用いて、プラスチックフィルムに高周波電力を印加しグロー放電させ、そのグロー放電下でプラスチックフィルムに誘起される負の直流電圧とにより、前記酸素を含有する窒素ガスをイオン化し、そのイオン化された窒素を含むガスにより、前記プラスチックフィルム面上をプラズマ処理して粗化し、
前記プラズマ処理後、酸素分圧が(1〜10)×10-6Paとなる酸素を含有するアルゴンガスを用いて、プラスチックフィルムに高周波電力を印加しグロー放電させ、そのグロー放電下で、銅または銅を主成分とする合金からなる金属を溶融させ、前記グロー放電中に存在する電離プラズマにより前記金属をイオン化し、且つプラスチックフィルムに誘起される負の直流電圧により前記イオン化された金属粒子を加速して、前記プラスチックフィルムに銅薄膜を蒸着して生成されるプラスチックフィルム。 - プラスチックフィルムを真空中で脱水処理し、
真空中に酸素分圧が(1〜10)×10-6Paとなる酸素を含有する窒素ガスを用いて、プラスチックフィルムに高周波電力を印加しグロー放電させ、そのグロー放電下でプラスチックフィルムに誘起される負の直流電圧とにより、前記酸素を含有する窒素ガスをイオン化し、そのイオン化された窒素を含むガスにより、前記プラスチックフィルム面上をプラズマ処理して粗化し、
前記プラズマ処理後、酸素分圧が(1〜10)×10-6Paとなる酸素を含有するアルゴンガスを用いて、プラスチックフィルムに高周波電力を印加しグロー放電させ、そのグロー放電下で、銅または銅を主成分とする合金からなる金属を溶融させ、前記グロー放電中に存在する電離プラズマにより前記金属をイオン化し、且つプラスチックフィルムに誘起される負の直流電圧により前記イオン化された金属粒子を加速して、前記プラスチックフィルムに銅薄膜を蒸着し、
前記銅薄膜が蒸着されたプラスチックフィルム上に金属導体層を形成して成るフレキシブル回路基板。 - 前記プラスチックフィルム面上を粗化するプラズマ処理において、粗化の範囲は2nm〜3nmであることを特徴とする請求項7に記載のフレキシブル回路基板。
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