JP2005051233A - 半導体発光装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】発光層近傍で発生した熱を、p型電極11のほぼ全面から直接に導電性材料17等を介して、支持体23の正電極19側に伝達することにより、絶縁膜を介して放熱させる従来の方法に比較して発光素子の放熱効果を高めることができ、発光素子の特性劣化を抑制することができる。
さらに、支持体23と正電極19との間にも絶縁膜を極力、設けないことにより、発光素子から正電極に伝達された熱を支持体全面に急速に伝達でき、放熱効果をより高めることができる。
【選択図】図1
Description
また、n層3の面積に対するp層7の面積及びp型電極11の面積をできるだけ大きくすると、さらに放熱効果が高まる。発光層5で発生した熱の支持体23への伝達は主にp型電極11を通して行われているからである。
さらに、p層7の面積を大きくする、つまりp層7の下の発光層5の面積を大きくすると、発光面積が増え、発光効率が高まる。また、同じ電圧がかかった場合の、発光面積の大きい発光素子の電流密度と発光面積の小さい発光素子の電流密度とを比較すると、発光面積の大きい発光素子の方が電流密度が低い。発光面積が大きいほど、電流が分散するからである。つまり、発光面積を増やすと、電流密度を低く抑えることができる。また、そうすることにより、発光素子の劣化を抑制することができ、発光素子の寿命を向上させることができる。
図7は、本発明の実施例1に係る半導体発光装置の断面図である。
図7において、絶縁膜25は正電極19と接している。つまり、図1との相違点は、正電極19と負電極21との間に絶縁膜25が配置されている点である。他の構成は図1と同じ構成である。このような構成とすることにより、正電極19と負電極21との電気的短絡をより確実に防止することができる。
このような構成において、支持体23と正電極19との間に絶縁膜25が設けられていないので、発光素子から正電極19に伝達された熱が支持体23全面に急速に伝達され、放熱効果をより高めることができる。
図8は、n型電極9が発光素子の4隅の角に配置された半導体発光装置の天面図である。
図8のようにn型電極9が発光素子の4隅の角に配置された半導体発光装置は、n型電極9が発光素子の1隅の角に配置されている半導体発光装置と比較して、p型電極11内のn型電極9から一番遠い部分とn型電極9との距離が短いので、発光素子の電気抵抗が低い。つまり、n型電極9が発光素子の4隅の角に配置されている構成とすることにより、発光素子内での電流の流れる距離を短くすることができ、電気抵抗を低くすることができる。そのため、発光による発熱を低く抑えることができる。なお、発光素子内での電流の流れる距離が短くなりさえすればよいので、例えば、n型電極9が発光素子の角でなく、発光素子の主発光面の裏側の面の略中央部に配置された構成の半導体発光装置であってもかまわない。
このような半導体発光装置において、発光素子のp型電極11のほぼ全面を、導電性材料17によって支持体23の正電極19に接着することにより、発光層5近傍で発生した熱がp型電極11のほぼ全面から直接に導電性材料17を介して、支持体23の正電極19に伝達される。さらに、支持体23と正電極19との間に絶縁膜25を設けないことにより、発光素子から正電極19に伝達された熱が支持体23全面に急速に伝達されるので、放熱効果をより高めることができる。
特に、通常の略300μm□よりも大きいサイズの発光素子は、発光素子内での電流の流れる距離が長いので、通常サイズの発光素子と比べて電気抵抗が高い。そこで、本実施例のようにn型電極9が発光素子の4隅の角に配置された構成にすることにより、電気抵抗を低くすることができ、発光による発熱を小さく抑えることができる。
また、基板1がサファイアからなるものである場合、サファイアは絶縁性なので、基板1に電流が流れない。つまり、発光素子内での電流の流れる部分の断面積が小さいので、半導体発光装置の電気抵抗が高い。そこで、発光素子内での電流の流れる距離が短い本実施例のような構成であると、電気抵抗を低く抑えることができ、発光による発熱を小さく抑えることができる。
3 n層
5 発光層
7 p層
9 n型電極
11 p型電極
13 pパッド電極
15 絶縁膜
17、17P、17N 導電性材料
19 正電極
21 負電極
23 支持体
25 絶縁膜
29、31 レジスト
Claims (13)
- 基板上に形成された化合物半導体層の同一面側にn型電極とp型電極が設けられた発光素子と、
前記p型電極に接続された正電極と前記n型電極に接続された負電極と絶縁膜を有する支持体とを備え、
前記正電極と前記負電極は支持体の同一面側に形成され、前記絶縁膜は前記負電極と前記支持体の間に形成される半導体発光装置。 - 前記絶縁膜は前記負電極と前記支持体の間にのみ形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体発光装置。
- 前記発光素子は基板上にn層と発光層とp層とが順次積層され、前記p層の上に形成されたp型電極と、少なくとも前記p層と前記発光層の一部を除去して前記n層を露出させた領域に形成されたn型電極とを有することを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の半導体発光装置。
- 前記絶縁膜は前記支持体表面からの前記正電極の高さと前記支持体表面からの前記負電極の高さとの段差が前記基板表面からの前記p型電極の高さと前記基板表面からの前記n型電極の高さとの段差とほぼ同一となるように形成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の半導体発光装置。
- 前記発光素子側と前記支持体側のいずれか一方の上に蒸着された導電性の薄膜により前記p型電極を前記正電極に、前記n型電極を前記負電極にそれぞれ接続させることを特徴とする請求項4に記載の半導体発光装置。
- 半田により前記p型電極を前記正電極に、前記n型電極を前記負電極にそれぞれ接続させることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の半導体発光装置。
- 前記半田がAu、Ag、Si、Sn、Pb、Inのいずれかを含むことを特徴とする請求項6に記載の半導体発光装置。
- 前記p型電極の前記正電極と接している面積が、前記p型電極の表面積の80%以上であることを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載の半導体発光装置。
- 前記支持体がSi、SiC、Al2O3、Cu、CuW、BN、PBN、AlN、ダイヤモンドのいずれかであることを特徴とする請求項1ないし8のいずれかに記載の半導体発光装置。
- 前記半導体発光装置の熱抵抗が190℃/W以下であることを特徴とする請求項1ないし9のいずれかに記載の半導体発光装置。
- 基板上に形成された化合物半導体層の同一面側にn型電極とp型電極が設けられた発光素子と、
正電極と負電極を有する支持体とを備えた半導体発光装置の製造方法において、
前記支持体上に絶縁膜を積層し、パターニングしてエッチング用マスクを形成する工程と、
エッチングにより前記負電極を形成する領域以外の前記絶縁膜を除去する工程と、
前記支持体上に前記正電極を、前記絶縁膜上に前記負電極を同時に蒸着形成する工程と、
前記p型電極を前記正電極に、前記n型電極を前記負電極にそれぞれ接続させる工程とを有する半導体発光装置の製造方法。 - 前記発光素子は基板上にn層と発光層とp層とが順次積層され、前記p層の上に形成されたp型電極と、少なくとも前記p層と前記発光層の一部を除去して前記n層を露出させた領域に形成されたn型電極とを有することを特徴とする請求項11に記載の半導体発光装置の製造方法。
- 前記半導体発光装置の製造方法は前記正電極と前記負電極の上にそれぞれ導電性材料を載せる工程をさらに有し、
前記p型電極を前記正電極に、前記n型電極を前記負電極にそれぞれ接続させる工程は前記発光素子と前記支持体で前記導電性材料を挟み、加熱加圧することによりなされることを特徴とする請求項11または12のいずれかに記載の半導体発光装置の製造方法。
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