JP2004006468A - 半導体発光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】発光ダイオードのp電極のほぼ全面を、絶縁膜を介さずに導電性材料によって支持体の正電極に接着することにより、発光層近傍で発生した熱をp電極のほぼ全面から直接に導電性材料を介して、支持体の正電極に伝達させる。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、窒化物半導体からなる発光素子を有する発光装置に関し、特に、発光ダイオードチップが、正電極と負電極を有する支持体に、フリップチップで実装されている半導体発光装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
現在、窒化物半導体は、高輝度青色および緑色発光LED、紫外LD等の発光ダイオードとして注目されている。
【0003】
市販されている窒化物半導体の発光ダイオードは、主にサファイア基板上に、窒化物半導体層を成長し、その発光ダイオードの窒化物半導体層側にp電極およびn電極を形成する構成からなる。そのため、前記両電極が発光ダイオードの発光層からの光を吸収し、光の取り出し効率を低下させているだけでなく、サファイア基板の熱伝導率が、他の材料よりなる半導体基板に比較して悪いため、発光ダイオードから発生する熱を逃がし難く、発光ダイオードの特性が劣化し易いという問題点があった。
【0004】
近年では、窒化物半導体の発光ダイオードのさらなる高出力化が求められ、それに伴って発光層およびその近傍における動作時の発熱量も増加してくるため、実装された発光ダイオードの放熱特性のさらなる改善が望まれている。
【0005】
そこで、サファイア基板上の窒化物半導体の発光ダイオードを、正電極と負電極を有する支持体上にフリップチップで接着する構造とすることにより、サファイア基板側から、光を取り出すと共に、発光ダイオードから支持体へと熱を逃がし、発光ダイオードの放熱特性を向上させる提案がなされている。
【0006】
例えば、特開平2001−358371号公報には窒化物半導体の発光ダイオードと支持体を接着し、発光ダイオードチップの放熱効果を改善した例が開示されている。
【0007】
これは、図3に示されるように、基板1の上に、n型窒化物半導体層2、活性層3、p型窒化物半導体層4を順次に積層させた後、p型窒化物半導体層4の一部をエッチングで除去し、n型窒化物半導体層2を表面に露出させている。
【0008】
そして、n電極5は露出したn型窒化物半導体層2の一部に形成され、p電極6はp型窒化物半導体層4を実質的に覆うように形成され、そのp電極6の表面の一部にpパッド電極7を形成することによって構成される。
【0009】
また、n電極5とpパッド電極7の上を除いては、pとnの電極間および電極と半導体層間の短絡を防止するための絶縁膜8が形成されている。
【0010】
このように構成された窒化物半導体の発光ダイオードチップは、図4に示されるように、n電極5とpパッド電極7が各々導電性材料9によって、正電極10および負電極11を有する支持体12に接着される。
【0011】
ここで、導電性材料9はp電極上の絶縁膜8と正電極10の間に充填しており、互いに対向するp電極6と正電極10との間で、絶縁膜8および導電性材料9を介して熱が伝達され、pパッド電極7とn電極5のみで支持体12の正電極10と負電極11へ接着した従来の発光装置に比較して、発光ダイオードチップからの放熱が改善されることが示されている。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述の方法では、発光ダイオードチップと支持体12とは、導電性材料9で接着されているものの、p電極6と導電性材料9の間に絶縁膜8が存在する。このため、絶縁膜8が形成された領域からの放熱効率は、絶縁膜8が熱の流れにとって障害となるため、pパッド電極7からの放熱効率に比較して低下するといった問題がある。
【0013】
また、絶縁膜8が形成された領域では発光ダイオードチップと支持体12との接着強度は弱くなり、発光ダイオードチップが支持体12から剥離しやすいといった問題も発生する。
【0014】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の窒化物半導体の発光装置の構成について鋭意検討を行った。その結果、発光ダイオードのp電極のほぼ全面を、導電性材料を用いて、支持体の正電極に接着することにより、発光ダイオードからの放熱特性を従来よりも改善できることを見出した。
【0015】
以上のように本発明に係る窒化物半導体の発光装置では、発光層近傍で発生した熱を、p電極のほぼ全面から直接に導電性材料を介して、支持体の正電極側に伝達することにより、絶縁膜を介して放熱させる従来の方法に比較して発光ダイオードの放熱効果を高めることができ、発光ダイオードの特性劣化を抑制することができる。
【0016】
【発明の実施の形態】
請求項1に記載の発明は、基板上に、n型窒化物半導体層、発光層、p型窒化物半導体層が順次に積層され、前記p型窒化物半導体層の上に形成されたp電極と、前記p型窒化物半導体層と前記発光層の一部を除去して前記n型窒化物半導体層を露出させた領域上に形成されたn電極と、を有する発光ダイオードが、少なくとも正電極と負電極を有する支持体に、前記p電極と前記n電極をそれぞれ前記正電極と前記負電極に接続させてフリップチップで搭載されている半導体発光装置であって、前記p電極のほぼ全面が、導電性材料によって前記正電極に接着されていることを特徴とする半導体発光装置であり、発光層近傍で発生した熱をp電極のほぼ全面から直接に導電性材料を介して、支持体の正電極に伝達することができるので、従来よりも発光ダイオードの放熱効果を高めることができるという作用を有する。
【0017】
また、p電極のほぼ全面が、絶縁膜を介さずに支持体の正電極と導電性材料のみで接着されるので、発光ダイオードと支持体との接着強度を高めることができるという作用を有する。
【0018】
請求項2に記載の発明は、前記導電性材料がはんだであることを特徴とする請求項1に記載の半導体発光装置であり、正電極に対して、p電極のほぼ全面を均一に接着することができるという作用を有する。
【0019】
請求項3に記載の発明は、前記はんだがAu、Ag、Si、Sn、Pb、Inのいずれかを含むことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体発光装置であり、正電極に対して、p電極のほぼ全面を均一に接着することができるという作用を有する。
【0020】
請求項4に記載の発明は、前記導電性材料が前記正電極または前記p電極上に蒸着された薄膜であることを特徴とする請求項1から請求項3に記の半導体発光装置であり、正電極またはp電極に、p電極のほぼ全面が覆われる程度の大きさで、導電性材料を蒸着し、発光ダイオードを接着することにより、正電極に対して、p電極のほぼ全面を均一に接着することができるという作用を有する。
【0021】
また、p電極とほぼ同一の形状で接着することができるため、接着面積をさらに大きくできるため、発光ダイオードの放熱効果をより高めることができるという作用を有する。
【0022】
請求項5に記載の発明は、前記p電極の前記正電極に接着されている面積が、前記p電極の表面積の80%以上であることを特徴とする請求項1から請求項4に記載の半導体発光装置の製造方法であり、発光ダイオードの放熱効果を高めることができるという作用を有する。
【0023】
請求項6に記載の発明は、前記支持体がSi、SiC、Al2O3、Cu、CuW、BN、PBN、AlN、ダイヤモンドのいずれかであることを特徴とする請求項1から請求項5に記載の半導体発光装置であり、発光ダイオードからの熱を効率よく支持体へと伝達することができるという作用を有する。
【0024】
請求項7に記載の発明は、前記発光装置の熱抵抗が200℃/W以下であることを特徴とする請求項1から請求項6に記載の半導体発光装置であり、発光ダイオードの放熱効果を高めることができるという作用を有する。
【0025】
以下に、本発明の実施の形態について具体例を、図面を参照しながら説明する。
【0026】
ここで、図1は本発明の実施の形態1に係る発光ダイオードチップの断面図である。
【0027】
まず、基板1上にn型の窒化物半導体層2(以下「n層2」と略称する。)、活性層3、p型の窒化物半導体層4(以下「p層4」と略称する。)を順次に積層し、発光ダイオードの構造とする。
【0028】
n層2上にn電極を形成するために、RIE(反応性イオンエッチング装置)等によるドライエッチングあるいはウェットエッチングを用いて、p層4、活性層3、n層2をエッチングし、n層2の表面の一部を露出させる。そして、フォトリソグラフィとウェットエッチングを用いて、p層4上にp電極6を、エッチングによって露出したn層2上にn電極5を形成する。
【0029】
このようにして得られた発光ダイオードのウエハーの基板1側を研磨した後、スクライバーやダイサー等を用いて、チップに分離する。そして、図2に示すように、p電極6及びn電極5を導電性材料9を介して、それぞれ支持体12の正電極10及び負電極11にフリップチップにて接着させる。このようにして、p電極6のほぼ全面を支持体の正電極10に接着することができる。
【0030】
導電性材料は、Pb−Sn、In−Sn、Sn−Pd、Sn−Zn、Sn−Cu、Pb−Ag−Sn、In−Ag−Pb、Ag−Pd、Au−Ge、Au−Si、Au−Sn等を用いることができ、少なくともAu、Ag、Si、Sn、Pb、Inのいずれかの材料を含むことが望ましい。
【0031】
このような導電性材料は、厚さ数μmから数10μmの固形はんだの薄片、ペースト状はんだ、固形はんだの薄膜を用いることができる。
【0032】
また、導電性材料は、正電極上またはp電極上に、p電極の領域内に入る大きさで形成され、正電極上またはp電極上に、導電性材料を形成する方法としては、次の4つが挙げられる。
【0033】
1・正電極上またはp電極上に、直接固形はんだの薄片を載せる。
【0034】
2・正電極上またはp電極上に、ペースト状はんだを用いてスタンピングを行う。
【0035】
3・正電極上またはp電極上に、ペースト状はんだを用いてスクリーニング印刷を行う。
【0036】
4・正電極またはp電極上に、固形はんだを蒸着し、薄膜とする。
【0037】
この後は、p電極と正電極を圧着して加熱することによって、発光ダイオードと支持体を接着することができる。
【0038】
また、n電極の接着に関しては、上述のような方法で実施してもよいし、バンプを用いてもよい。
【0039】
以上のように、導電性材料を用いて、発光ダイオードと支持体を接着する際には、p電極の正電極に接着されている面積が、p電極の表面積の80%以上であることが望ましい。前記面積が80%よりも小さい場合は、支持体への放熱効果が十分得ることができない。
【0040】
次に、前記支持体はSi、SiC、Al2O3、Cu、CuW、BN、PBN、AlN、ダイヤモンド等の絶縁材料、あるいは導電性材料を用いることができる。この中でも特に、ダイヤモンドは熱伝導性に優れており、支持体の材料としては有効である。
【0041】
さらに、発光ダイオードと支持体の接着部の熱抵抗を200℃/W以下とする前記発光装置により、従来のフリップチップ型発光装置に比較して、発光ダイオードからの放熱効果を高めることができる。
【0042】
【実施例】
以下に、本発明の半導体発光装置の具体例について、図面を参照しながら説明する。
【0043】
(実施例1)
まず、図1に示すように、厚さ400μm、径2インチφ、(0001)面を主面としたGaNよりなる基板1、をMOCVD(有機金属気相成長)装置内に挿入し、前記GaNの基板1上にSiドープGaNクラッド層および、アンドープAlGaN層を順次に積層したn層2、InGaNの活性層3、Mgド−プAlGaN層とMgド−プAlGaNコンタクト層を順次に積層したp層4を順次に積層した。
【0044】
このようにして形成した窒化物半導体の全面に、SiO2を形成し、ウエットエッチでマスクパターンを形成した後、塩素系ガスを用いたRIEにより、SiドープGaNクラッド層の表面を露出させた。その後、NiおよびAuを蒸着してn電極5を前記SiドープGaNクラッド層上に形成し、最後にリフトオフによって白金および金をMgド−プAlGaNコンタクト層上に蒸着することにより、発光ダイオードを形成した。
【0045】
また、p電極6とn電極5を除く領域では絶縁膜8を形成してもよい。
【0046】
このようにして形成されたウエハーは、基板1の裏面を鏡面研磨して100μm程度にまで薄くし、スクライブによって350μm□のチップ状に分離した。
【0047】
図5は、支持体12に発光ダイオードチップを接着する際に、はんだを用いた場合のはんだの位置を示す発光装置の天面図(断面図は図2)である。
【0048】
支持体12には、ダイヤモンド板に正電極10および負電極11が形成されたものを用いた。支持体の材料としては、他にも、Si、SiC、Al2O3、Cu、CuW、BN、PBN、AlN等を用いてもよい。
【0049】
はんだに関しては、Sn−Agを、スタンピングを用いて、正電極10のAの位置および、負電極11のBの位置に長方形状に形成した。
【0050】
このように、スタンピングの場合、他にもSn−Ag−Cu、Sn−Ag−Bi−In−Cu、Sn−Pb−In−Sb−Ag等のペースト状はんだを使用することができる。
【0051】
また、スクリーニング印刷ではんだを形成する場合も同様に、上述のペ−スト状はんだを用いることができる。
【0052】
また、固形はんだの薄片を10のAの位置および、負電極11のBの位置に載せてもよい。
【0053】
上述の方法で形成したはんだの上に発光ダイオードチップを、チップの割れや欠けが発生しない程度の圧力で押圧しながら搭載した。そして、加熱してはんだを溶融させることにより、図6(断面図は図2)のCの領域およびDの領域に示すように、p電極6およびn電極5の約80%がはんだで接着された発光装置を作製した。
【0054】
また、はんだは先にチップのp電極6側に接着した後に、支持体12の正電極10に接着することもできる。一方、n電極5の接着は、はんだだけではなく、バンプを用いて接着することもできる。
【0055】
以上のようにして発光装置を計3個作製し、熱抵抗を測定した結果、150〜200℃/Wであった。また、図4に示す従来構造のように、pパット電極7およびn電極5を除いた領域に絶縁膜8を形成した場合、計3個作製した発光装置の熱抵抗は300〜350℃/Wであった。
【0056】
このように、発光ダイオードのp電極6の80%を、絶縁膜8を介すことなく、はんだによって直接に支持体12の正電極10に接着した発光装置によって、発光ダイオードの放熱特性を従来よりも高めることができた。
【0057】
また、少なくともp電極6およびn電極5上に絶縁膜8が形成されていないことにより、発光ダイオードと支持体12は強固に接着され、従来のフリップチップタイプの発光装置に比較して、発光ダイオードと支持体との接着強度が向上した。
【0058】
(実施例2)
実施例1と同様の方法で、発光ダイオードのチップを形成した後、図7(断面図は図2)に示すようにEの領域およびFの領域にAu−Snを蒸着し、発光ダイオードを圧着して融着することによって、支持体11の正電極10上に接着した。
【0059】
ここで、p電極6と正電極10の接着部分の面積は、p電極6の面積の約90%であった。
【0060】
この場合、計5個作製した発光装置の熱抵抗は100〜140℃/Wとなり、発光ダイオードの放熱効果をさらに高めることができた。
【0061】
(実施例3)
実施例2と同様の方法で、図7のEの領域のAu−Snの蒸着する面積を変え、p電極6と正電極10の接着部分の面積が、p電極6の面積のそれぞれ60%、70%、80%、の3通りで発光装置を作製した。
【0062】
この場合、それぞれ5個ずつ作製した発光装置の熱抵抗は、前記接着部分の面積の小さい発光装置から順に、300〜340℃/W、250〜280℃/W、150〜200℃/Wであった。
【0063】
実施例2の結果も合わせて、図8にはp電極面積に対するp電極接着面積の比(百分率)と熱抵抗との関係のグラフを示す。これより、正電極10に接着されている面積が、p電極6の面積の80%以上であれば、従来よりも、発光ダイオードの放熱効果を大幅に改善することができた。
【0064】
【発明の効果】
本発明により以下の効果を奏することができる。
【0065】
発光ダイオードのp電極のほぼ全面を、導電性材料によって支持体の正電極に接着することにより、発光層近傍で発生した熱をp電極のほぼ全面から直接に導電性材料を介して、支持体の正電極に伝達することができるので、従来よりも発光ダイオードの放熱効果を高めることができる。
【0066】
また、p電極のほぼ全面が、絶縁膜を介さずに支持体の正電極に接着されているので、発光ダイオードと支持体との接着強度を従来よりも高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1に係る発光ダイオードチップの断面図
【図2】本発明の実施の形態1に係る発光装置の断面図
【図3】従来の技術に示す発光ダイオードの断面図
【図4】従来の技術に示す発光装置の断面図
【図5】本発明の実施例1に係る接着前の発光装置の天面図
【図6】本発明の実施例1に係る接着後の発光装置の天面図
【図7】本発明の実施例2に係る接着前の発光装置の天面図
【図8】本発明の実施例2に係るp電極面積に対するp電極接着面積の比(百分率)と熱抵抗の関係を示すグラフ
【符号の説明】
1 基板
2 n層
3 活性層
4 p層
5 n電極
6 p電極
7 pパット電極
8 絶縁膜
9 導電性材料
10 正電極
11 負電極
12 支持体
Claims (7)
- 基板上に、n型窒化物半導体層、発光層、p型窒化物半導体層が順次に積層され、前記p型窒化物半導体層の上に形成されたp電極と、前記p型窒化物半導体層と前記発光層の一部を除去して前記n型窒化物半導体層を露出させた領域上に形成されたn電極と、を有する発光ダイオードチップが、少なくとも正電極と負電極を有する支持体に、前記p電極と前記n電極をそれぞれ前記正電極と前記負電極に接続させてフリップチップで搭載されている半導体発光装置であって、前記p電極のほぼ全面が、導電性材料によって前記正電極に接着されていることを特徴とする半導体発光装置。
- 前記導電性材料がはんだであることを特徴とする請求項1に記載の半導体発光装置。
- 前記はんだがAu、Ag、Si、Sn、Pb、Inのいずれかを含むことを特徴とする請求項1または請求項2いずれか1記載の半導体発光装置。
- 前記導電性材料が前記正電極または前記p電極上に蒸着された薄膜であることを特徴とする請求項1から請求項3いずれか1記載の半導体発光装置。
- 前記p電極の前記正電極に接着されている面積が、前記p電極の表面積の80%以上であることを特徴とする請求項1から請求項4いずれか1記載の半導体発光装置。
- 前記支持体がSi、SiC、Al2O3、Cu、CuW、BN、PBN、AlN、ダイヤモンドのいずれかであることを特徴とする請求項1から請求項5いずれか1記載の半導体発光装置。
- 前記発光装置の熱抵抗が200℃/W以下であることを特徴とする請求項1から請求項6いずれか1記載の半導体発光装置。
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009088521A (ja) * | 2007-09-27 | 2009-04-23 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 窒化ガリウム系発光ダイオード素子 |
JP2010212733A (ja) * | 2010-06-02 | 2010-09-24 | Sony Corp | 半導体発光素子の製造方法、半導体素子の製造方法および素子の製造方法 |
CN102034925A (zh) * | 2010-10-28 | 2011-04-27 | 山东华光光电子有限公司 | 平板倒装焊GaN基LED芯片结构 |
JP2013120945A (ja) * | 2013-03-21 | 2013-06-17 | Napura:Kk | 発光素子及び発光デバイス |
US8704208B2 (en) | 2007-10-08 | 2014-04-22 | Lg Innotek Co., Ltd. | Semiconductor light emitting device and method for manufacturing the same |
WO2015076591A1 (ko) * | 2013-11-21 | 2015-05-28 | 주식회사 루멘스 | 발광 소자 패키지, 백라이트 유닛, 조명 장치 및 발광 소자 패키지의 제작 방법 |
KR101524044B1 (ko) * | 2013-11-21 | 2015-06-02 | 주식회사 루멘스 | 발광 소자 패키지, 백라이트 유닛 및 조명 장치 |
-
2002
- 2002-05-31 JP JP2002159071A patent/JP2004006468A/ja active Pending
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009088521A (ja) * | 2007-09-27 | 2009-04-23 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 窒化ガリウム系発光ダイオード素子 |
US8704208B2 (en) | 2007-10-08 | 2014-04-22 | Lg Innotek Co., Ltd. | Semiconductor light emitting device and method for manufacturing the same |
US8829490B2 (en) | 2007-10-08 | 2014-09-09 | Lg Innotek Co., Ltd. | Semiconductor light emitting device and method for manufacturing the same |
US8927961B2 (en) | 2007-10-08 | 2015-01-06 | Lg Innotek Co., Ltd. | Semiconductor light emitting device and method for manufacturing the same |
JP2010212733A (ja) * | 2010-06-02 | 2010-09-24 | Sony Corp | 半導体発光素子の製造方法、半導体素子の製造方法および素子の製造方法 |
CN102034925A (zh) * | 2010-10-28 | 2011-04-27 | 山东华光光电子有限公司 | 平板倒装焊GaN基LED芯片结构 |
JP2013120945A (ja) * | 2013-03-21 | 2013-06-17 | Napura:Kk | 発光素子及び発光デバイス |
WO2015076591A1 (ko) * | 2013-11-21 | 2015-05-28 | 주식회사 루멘스 | 발광 소자 패키지, 백라이트 유닛, 조명 장치 및 발광 소자 패키지의 제작 방법 |
KR101524044B1 (ko) * | 2013-11-21 | 2015-06-02 | 주식회사 루멘스 | 발광 소자 패키지, 백라이트 유닛 및 조명 장치 |
US9831407B2 (en) | 2013-11-21 | 2017-11-28 | Lumens Co., Ltd. | Light emitting device package, backlight unit, illumination apparatus, and method of manufacturing light emitting device package |
US10074788B2 (en) | 2013-11-21 | 2018-09-11 | Lumens Co., Ltd. | Light emitting device package, backlight unit, illumination apparatus, and method of manufacturing light emitting device package |
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