JP2005014937A - 半導体チップトレイ - Google Patents
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Abstract
【課題】レーザ照射による印字の際にも動かないように、半導体チップを凹部内に安定的に支持できる半導体チップトレイを提供する。
【解決手段】半導体チップトレイ10の凹部1の側面13を、開口面12側の斜面13aと底面11側の斜面13bとで形成し、開口面12側の斜面13aを底面11側の斜面13bの傾斜より小さくする。そして、この両部分13a,13bの境界位置13cの凹部1の平面形状を半導体チップ2の平面形状に合わせて形成する。
【選択図】 図2
【解決手段】半導体チップトレイ10の凹部1の側面13を、開口面12側の斜面13aと底面11側の斜面13bとで形成し、開口面12側の斜面13aを底面11側の斜面13bの傾斜より小さくする。そして、この両部分13a,13bの境界位置13cの凹部1の平面形状を半導体チップ2の平面形状に合わせて形成する。
【選択図】 図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体チップを収容する複数の凹部が形成された半導体チップトレイに関し、特に、トレイに収容した半導体チップに精度良くレーザ照射による印字を行うために有効な技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
通常、半導体チップは、複数の凹部が形成された半導体チップトレイの各凹部内に収容されて、複数個同時に搬送されている。
このような半導体チップトレイに関しては、凹部内に半導体チップを容易に収容でき、且つ、搬送時などに半導体チップへの損傷が発生しないようにするための提案がなされている。
【0003】
例えば、下記の特許文献1には、図3に示す半導体チップトレイが提案されている。図3(a),(b)に示すように、この半導体チップトレイ100は、凹部101内に半導体チップ2の表面をなす長方形の各辺21のみを接触させるために、凹部101の側面113を、半導体チップ2より小さな長方形の底面111から開口面112に向かって広がる傾斜面にしている。
【0004】
この半導体チップトレイ100は、凹部101の側面113がこのような傾斜になっているため、半導体チップ2の凹部101内への収容が容易である。また、半導体チップ2を凹部101の底面111に接触しないように収容できるため、半導体チップ2の表面(配線パターン形成面)2Aを凹部101の底面111側に向けて収容することができる。
【0005】
一方、従来より、半導体チップの裏面(配線パターンが形成されていない側)に、レーザ照射により品番等各種情報を印字することが行われているが、半導体チップの小型化に伴って、この印字工程をトレイに収容された半導体チップに対して行うことが要求されている。
【0006】
【特許文献1】
特開平6−298290号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した半導体チップトレイ100には、凹部101により半導体チップ2を安定的に支持するという点で改善の余地がある。すなわち、凹部101に対して真上から半導体チップ2を入れないと、例えば、図3(c)に示すように、半導体チップ2が水平に設置されず、凹部101内に安定的に支持されない。
【0008】
また、図3(b)に示す状態で半導体チップ2にレーザ照射による印字を行っても、レーザ照射の振動により半導体チップ2が凹部101内で動き易い(例えば、図3(c)に示す状態となり易い)。そのため、半導体チップトレイ100内の全ての半導体チップ2に精度よく印字を行うことは困難である。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、レーザ照射による印字の際に動かないように、半導体チップを凹部内に安定的に支持することができる半導体チップトレイを提供することを課題としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】
このような課題を解決するために、本発明の半導体チップトレイは次のような構成からなる。
すなわち、本発明の半導体チップトレイは、半導体チップを収容する凹部が、収容する半導体チップの平面形状より大きい開口面と、前記平面形状より小さい底面と、を有するように形成されている半導体チップトレイにおいて、前記凹部の側面は、図1(a)に示すように、傾斜が異なる開口面側部分Aと底面側部分Bとからなる連続した二つの斜面を有し、前記開口面側部分Aの傾斜αは前記底面側部分Bの傾斜βより小さく、両部分の境界位置Cでの前記凹部の平面形状を半導体チップの平面形状に合わせたことを特徴とするものである。
【0010】
前記凹部の側面には、前記境界位置Cに、両斜面A,Bによる角部が180°未満の角度で形成されている。そして、この境界位置Cでの凹部の平面形状が半導体チップの平面形状に合わせてある。なお、図1(b)に示すように、各側面が一つの斜面からなる凹部にはこのような角部は無く、図1(c)に示すように、開口面側部分Aの傾斜αが底面側部分Bの傾斜βより大きい場合には両斜面A,Bによる角部の角度が180°より大きくなる。
【0011】
そのため、本発明の半導体チップトレイの凹部に対して上方から半導体チップを入れると、この半導体チップは開口面側部分Aの斜面で案内されて、境界位置Cの角部により安定的に支持されて水平に設置される。
すなわち、本発明の半導体チップトレイによれば、凹部の各側面が一つの斜面からなる半導体チップトレイ(図1(b)参照)及び「開口面側部分の傾斜が底面側部分の傾斜より大きい」点のみが本発明と異なる半導体チップトレイ(図1(c)参照)と比較して、半導体チップを凹部内に水平状態で安定的に支持することができる。これにより、印字のためのレーザ照射で凹部内に設置された半導体チップが動くことが防止され、水平状態が保持された状態で印字されるため、印字の精度が良好になる。
【0012】
なお、本発明の半導体チップトレイにおいて、前記開口面側部分Aの傾斜αは30°であり、前記底面側部分Bの傾斜βは45°であることが好ましい。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
図2は、本発明の半導体チップトレイの一構成例を示し、(a)は平面図、(b)は図2(a)の部分拡大平面図であり、(c)は図2(a)のA−A線に沿った部分拡大断面図である。なお、図2(b)及び図2(c)は、半導体チップを収容した状態を示す。
【0014】
本実施形態の半導体チップトレイ10は、図2(a),(b)に示すように、半導体チップ2を収容する複数の凹部1を有する。この半導体チップトレイ10は、カーボンブラックが含有されたポリスチレン樹脂製であり、射出成形法によって形成されている。
ここでは、長方形の板状の半導体チップ2を収容するため、凹部1の底面11及び開口面12を長方形にしている。凹部1の側面13は、傾斜が異なる連続した二つの斜面13a,13bからなる。凹部1の平面形状は、図2(b)に示すように、両斜面13a,13bの境界位置13cで半導体チップ2と同じ長方形Hであり、底面11がこの長方形Hより小さい長方形であり、開口面12がこの長方形Hより大きい長方形である。
【0015】
側面13の開口面12側の斜面(開口面側部分)13aの傾斜(角度θ1)は30°であり、底面11側の斜面(底面側部分)13bの傾斜(角度θ2)は45°である。これにより、境界位置13cには、両斜面13a,13bによる165°(θ3)の角部が形成されている。
なお、底面11側の斜面13bは、半導体チップ2に設けられた半田ボール22が凹部1の底面11及び側面13に接触しないような傾斜及び深さとした。
【0016】
図2(c)に示すように、この半導体チップトレイ10の凹部1内に対して上方から、半導体チップ2として半田ボール付きCSP(Chip Size Package)を、半田ボール22が形成された表面(配線パターン形成面)2Aを凹部1の底面11側に向けて入れたところ、半導体チップ2は開口面12側の斜面13aに案内されて、その表面2A側の長方形Hの各辺21が側面13の境界位置13cで支持された。このとき、半田ボール22は、凹部13の底面11及び側面13と接触しなかった。
【0017】
このように、本実施形態の半導体チップトレイ10によれば、凹部1の側面13に、開口面12側の斜面13aが30°で底面11側の斜面13bが45°の、傾斜が異なる連続した二つの斜面を設けたことにより、半導体チップ2を凹部1内に安定的に支持することができる。よって、半導体チップトレイ10に収容した半導体チップ2の裏面2Bにレーザ照射による印字を行う際に、凹部1内で半導体チップ2が動かないようにできるため、半導体チップトレイ10内の全ての半導体チップ2に精度よく印字を行えるようになる。
【0018】
なお、本実施形態においては、開口面12側の斜面13aの角度θ1を30°とし底面11側の斜面13bの角度θ2を45°としたが、θ1<θ2であればこれに限らず適宜変更可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体チップトレイの作用効果を示す説明図である。
【図2】本発明の半導体チップトレイの一構成例を示す図である。
【図3】従来の半導体チップトレイの一構成例を示す図である。
【符号の説明】
1,101…凹部、11,111…底面、12,112…開口面、13,113…側面、13a…開口面側の斜面(開口面側部分)、13b…底面側の斜面(底面側部分)、13c…境界位置。2…半導体チップ、21…半導体チップをなす長方形の各辺、10,100…半導体チップトレイ。
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体チップを収容する複数の凹部が形成された半導体チップトレイに関し、特に、トレイに収容した半導体チップに精度良くレーザ照射による印字を行うために有効な技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
通常、半導体チップは、複数の凹部が形成された半導体チップトレイの各凹部内に収容されて、複数個同時に搬送されている。
このような半導体チップトレイに関しては、凹部内に半導体チップを容易に収容でき、且つ、搬送時などに半導体チップへの損傷が発生しないようにするための提案がなされている。
【0003】
例えば、下記の特許文献1には、図3に示す半導体チップトレイが提案されている。図3(a),(b)に示すように、この半導体チップトレイ100は、凹部101内に半導体チップ2の表面をなす長方形の各辺21のみを接触させるために、凹部101の側面113を、半導体チップ2より小さな長方形の底面111から開口面112に向かって広がる傾斜面にしている。
【0004】
この半導体チップトレイ100は、凹部101の側面113がこのような傾斜になっているため、半導体チップ2の凹部101内への収容が容易である。また、半導体チップ2を凹部101の底面111に接触しないように収容できるため、半導体チップ2の表面(配線パターン形成面)2Aを凹部101の底面111側に向けて収容することができる。
【0005】
一方、従来より、半導体チップの裏面(配線パターンが形成されていない側)に、レーザ照射により品番等各種情報を印字することが行われているが、半導体チップの小型化に伴って、この印字工程をトレイに収容された半導体チップに対して行うことが要求されている。
【0006】
【特許文献1】
特開平6−298290号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した半導体チップトレイ100には、凹部101により半導体チップ2を安定的に支持するという点で改善の余地がある。すなわち、凹部101に対して真上から半導体チップ2を入れないと、例えば、図3(c)に示すように、半導体チップ2が水平に設置されず、凹部101内に安定的に支持されない。
【0008】
また、図3(b)に示す状態で半導体チップ2にレーザ照射による印字を行っても、レーザ照射の振動により半導体チップ2が凹部101内で動き易い(例えば、図3(c)に示す状態となり易い)。そのため、半導体チップトレイ100内の全ての半導体チップ2に精度よく印字を行うことは困難である。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、レーザ照射による印字の際に動かないように、半導体チップを凹部内に安定的に支持することができる半導体チップトレイを提供することを課題としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】
このような課題を解決するために、本発明の半導体チップトレイは次のような構成からなる。
すなわち、本発明の半導体チップトレイは、半導体チップを収容する凹部が、収容する半導体チップの平面形状より大きい開口面と、前記平面形状より小さい底面と、を有するように形成されている半導体チップトレイにおいて、前記凹部の側面は、図1(a)に示すように、傾斜が異なる開口面側部分Aと底面側部分Bとからなる連続した二つの斜面を有し、前記開口面側部分Aの傾斜αは前記底面側部分Bの傾斜βより小さく、両部分の境界位置Cでの前記凹部の平面形状を半導体チップの平面形状に合わせたことを特徴とするものである。
【0010】
前記凹部の側面には、前記境界位置Cに、両斜面A,Bによる角部が180°未満の角度で形成されている。そして、この境界位置Cでの凹部の平面形状が半導体チップの平面形状に合わせてある。なお、図1(b)に示すように、各側面が一つの斜面からなる凹部にはこのような角部は無く、図1(c)に示すように、開口面側部分Aの傾斜αが底面側部分Bの傾斜βより大きい場合には両斜面A,Bによる角部の角度が180°より大きくなる。
【0011】
そのため、本発明の半導体チップトレイの凹部に対して上方から半導体チップを入れると、この半導体チップは開口面側部分Aの斜面で案内されて、境界位置Cの角部により安定的に支持されて水平に設置される。
すなわち、本発明の半導体チップトレイによれば、凹部の各側面が一つの斜面からなる半導体チップトレイ(図1(b)参照)及び「開口面側部分の傾斜が底面側部分の傾斜より大きい」点のみが本発明と異なる半導体チップトレイ(図1(c)参照)と比較して、半導体チップを凹部内に水平状態で安定的に支持することができる。これにより、印字のためのレーザ照射で凹部内に設置された半導体チップが動くことが防止され、水平状態が保持された状態で印字されるため、印字の精度が良好になる。
【0012】
なお、本発明の半導体チップトレイにおいて、前記開口面側部分Aの傾斜αは30°であり、前記底面側部分Bの傾斜βは45°であることが好ましい。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
図2は、本発明の半導体チップトレイの一構成例を示し、(a)は平面図、(b)は図2(a)の部分拡大平面図であり、(c)は図2(a)のA−A線に沿った部分拡大断面図である。なお、図2(b)及び図2(c)は、半導体チップを収容した状態を示す。
【0014】
本実施形態の半導体チップトレイ10は、図2(a),(b)に示すように、半導体チップ2を収容する複数の凹部1を有する。この半導体チップトレイ10は、カーボンブラックが含有されたポリスチレン樹脂製であり、射出成形法によって形成されている。
ここでは、長方形の板状の半導体チップ2を収容するため、凹部1の底面11及び開口面12を長方形にしている。凹部1の側面13は、傾斜が異なる連続した二つの斜面13a,13bからなる。凹部1の平面形状は、図2(b)に示すように、両斜面13a,13bの境界位置13cで半導体チップ2と同じ長方形Hであり、底面11がこの長方形Hより小さい長方形であり、開口面12がこの長方形Hより大きい長方形である。
【0015】
側面13の開口面12側の斜面(開口面側部分)13aの傾斜(角度θ1)は30°であり、底面11側の斜面(底面側部分)13bの傾斜(角度θ2)は45°である。これにより、境界位置13cには、両斜面13a,13bによる165°(θ3)の角部が形成されている。
なお、底面11側の斜面13bは、半導体チップ2に設けられた半田ボール22が凹部1の底面11及び側面13に接触しないような傾斜及び深さとした。
【0016】
図2(c)に示すように、この半導体チップトレイ10の凹部1内に対して上方から、半導体チップ2として半田ボール付きCSP(Chip Size Package)を、半田ボール22が形成された表面(配線パターン形成面)2Aを凹部1の底面11側に向けて入れたところ、半導体チップ2は開口面12側の斜面13aに案内されて、その表面2A側の長方形Hの各辺21が側面13の境界位置13cで支持された。このとき、半田ボール22は、凹部13の底面11及び側面13と接触しなかった。
【0017】
このように、本実施形態の半導体チップトレイ10によれば、凹部1の側面13に、開口面12側の斜面13aが30°で底面11側の斜面13bが45°の、傾斜が異なる連続した二つの斜面を設けたことにより、半導体チップ2を凹部1内に安定的に支持することができる。よって、半導体チップトレイ10に収容した半導体チップ2の裏面2Bにレーザ照射による印字を行う際に、凹部1内で半導体チップ2が動かないようにできるため、半導体チップトレイ10内の全ての半導体チップ2に精度よく印字を行えるようになる。
【0018】
なお、本実施形態においては、開口面12側の斜面13aの角度θ1を30°とし底面11側の斜面13bの角度θ2を45°としたが、θ1<θ2であればこれに限らず適宜変更可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体チップトレイの作用効果を示す説明図である。
【図2】本発明の半導体チップトレイの一構成例を示す図である。
【図3】従来の半導体チップトレイの一構成例を示す図である。
【符号の説明】
1,101…凹部、11,111…底面、12,112…開口面、13,113…側面、13a…開口面側の斜面(開口面側部分)、13b…底面側の斜面(底面側部分)、13c…境界位置。2…半導体チップ、21…半導体チップをなす長方形の各辺、10,100…半導体チップトレイ。
Claims (2)
- 半導体チップを収容する凹部が、収容する半導体チップの平面形状より大きい開口面と、前記平面形状より小さい底面と、を有するように形成されている半導体チップトレイにおいて、
前記凹部の側面は、傾斜が異なる開口面側部分と底面側部分とからなる連続した二つの斜面を有し、前記開口面側部分の傾斜は前記底面側部分の傾斜より小さく、
両部分の境界位置での前記凹部の平面形状を半導体チップの平面形状に合わせたことを特徴とする半導体チップトレイ。 - 前記開口面側部分の傾斜は30°であり、前記底面側部分の傾斜は45°であることを特徴とする請求項1に記載の半導体チップトレイ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003179594A JP2005014937A (ja) | 2003-06-24 | 2003-06-24 | 半導体チップトレイ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003179594A JP2005014937A (ja) | 2003-06-24 | 2003-06-24 | 半導体チップトレイ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005014937A true JP2005014937A (ja) | 2005-01-20 |
Family
ID=34180879
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003179594A Withdrawn JP2005014937A (ja) | 2003-06-24 | 2003-06-24 | 半導体チップトレイ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005014937A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013254865A (ja) * | 2012-06-07 | 2013-12-19 | Nitto Denko Corp | 半導体素子のマーキング方法、半導体装置の製造方法、及び半導体装置 |
CN103508082A (zh) * | 2012-06-25 | 2014-01-15 | 联建(中国)科技有限公司 | 组件置放盘结构 |
CN104716272A (zh) * | 2013-12-13 | 2015-06-17 | 株式会社东芝 | 半导体装置的制造方法 |
TWI513637B (zh) * | 2014-05-01 | 2015-12-21 | Himax Tech Ltd | 晶片托盤及晶片容置系統 |
JP2022142375A (ja) * | 2021-03-16 | 2022-09-30 | シノン電気産業株式会社 | 半導体集積回路用トレー |
-
2003
- 2003-06-24 JP JP2003179594A patent/JP2005014937A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013254865A (ja) * | 2012-06-07 | 2013-12-19 | Nitto Denko Corp | 半導体素子のマーキング方法、半導体装置の製造方法、及び半導体装置 |
CN103508082A (zh) * | 2012-06-25 | 2014-01-15 | 联建(中国)科技有限公司 | 组件置放盘结构 |
CN104716272A (zh) * | 2013-12-13 | 2015-06-17 | 株式会社东芝 | 半导体装置的制造方法 |
JP2015115560A (ja) * | 2013-12-13 | 2015-06-22 | 株式会社東芝 | 半導体装置の製造方法 |
TWI513637B (zh) * | 2014-05-01 | 2015-12-21 | Himax Tech Ltd | 晶片托盤及晶片容置系統 |
JP2022142375A (ja) * | 2021-03-16 | 2022-09-30 | シノン電気産業株式会社 | 半導体集積回路用トレー |
JP7180911B2 (ja) | 2021-03-16 | 2022-11-30 | シノン電気産業株式会社 | 半導体集積回路用トレー |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060905 |